JP5874853B1 - プラズマ処理装置 - Google Patents
プラズマ処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5874853B1 JP5874853B1 JP2015084769A JP2015084769A JP5874853B1 JP 5874853 B1 JP5874853 B1 JP 5874853B1 JP 2015084769 A JP2015084769 A JP 2015084769A JP 2015084769 A JP2015084769 A JP 2015084769A JP 5874853 B1 JP5874853 B1 JP 5874853B1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- antenna
- antennas
- plasma
- frequency current
- capacitor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims abstract description 49
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims abstract description 75
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 59
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 59
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims abstract description 56
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 claims abstract description 12
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 68
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 claims description 14
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims description 13
- 230000006698 induction Effects 0.000 claims description 9
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 6
- 239000004020 conductor Substances 0.000 abstract description 20
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 25
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 22
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 19
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 19
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 19
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 description 10
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 8
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000004380 ashing Methods 0.000 description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 3
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 3
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical class N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004696 Poly ether ether ketone Substances 0.000 description 2
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 2
- 229920006351 engineering plastic Polymers 0.000 description 2
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 229920002530 polyetherether ketone Polymers 0.000 description 2
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N Sulphide Chemical compound [S-2] UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000007865 diluting Methods 0.000 description 1
- 239000003085 diluting agent Substances 0.000 description 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 1
- 238000002294 plasma sputter deposition Methods 0.000 description 1
- -1 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Plasma Technology (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Abstract
Description
C=ε・S/d
ZA =2R+j(2ωL−1/ωC)
V2 =(R1 +jωL1 )IR
ΔV=V0 sin(ωt)−V0 sin(ωt+φ)
ΔV=2V0 sin(ωt)
装置構成:図9に示す実施形態のもので、アンテナ20は6本
各アンテナ20が有するコンデンサ30の数:3個(従って金属パイプ26の数は4個)
絶縁パイプ22の材質:石英
2台の高周波電源56a、56b間の位相差:180度
各アンテナ20への供給高周波電力:500W/アンテナ
真空容器2内へのガス供給、プラズマ点灯:無し
各コイル66のインダクタンス:180nH
装置構成:図9に示す実施形態のもので、アンテナ20は6本
各アンテナ20が有するコンデンサ30の数:3個(従って金属パイプ26の数は4個)
絶縁パイプ22の材質:石英
2台の高周波電源56a、56b間の位相差:180度
各アンテナ20への供給高周波電力:1.5kW/アンテナ
真空容器2内へのガス種と流量:SiF4 /N2 /H2 =500/500/500ccm
真空容器2内の圧力:2.7Pa
各コイル66のインダクタンス:180nH
8 ガス
10 基板
16 プラズマ
20 アンテナ
22 絶縁パイプ
24 アンテナ本体
26 金属パイプ
28 中空絶縁体
30 コンデンサ
44 冷却水
51 給電端部
52 終端部
56、56a、56b 高周波電源
66、66a、66b コイル
68 位相制御器
Claims (7)
- 真空容器内に配置されたアンテナに高周波電流を流すことによって前記真空容器内に誘導電界を発生させて誘導結合型のプラズマを生成し、当該プラズマを用いて基板に処理を施すプラズマ処理装置であって、
前記アンテナは、絶縁パイプと、その中に配置されていて内部に冷却水が流される中空のアンテナ本体とを備えており、
前記アンテナ本体は、(a)複数の金属パイプを、隣り合う金属パイプ間に中空絶縁体を介在させて直列接続した構造をしていて、当該接続部は真空および前記冷却水に対するシール機能を有しており、(b)かつ前記中空絶縁体の部分に設けられたコンデンサを有していて、前記中空絶縁体の両側の前記金属パイプと当該コンデンサとを電気的に直列接続した構造をしており、
前記中空絶縁体および前記コンデンサは前記真空容器内に配置されており、
更に、前記アンテナ本体の一方端部である給電端部に接続されていて前記アンテナ本体に前記高周波電流を供給する高周波電源を備えており、
かつ、前記アンテナ本体の他方端部である終端部をコイルを介して接地している、ことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 前記コンデンサは、前記中空絶縁体の外周部に配置された層状のコンデンサであり、(a)前記中空絶縁体の外周部に配置された電極であって、当該中空絶縁体の一方側に接続された前記金属パイプに電気的に接続された第1の電極と、(b)前記中空絶縁体の外周部に、前記第1の電極と重なるように配置された電極であって、当該中空絶縁体の他方側に接続された前記金属パイプに電気的に接続された第2の電極と、(c)前記第1の電極および第2の電極間に配置された誘電体とを有している請求項1記載のプラズマ処理装置。
- 前記アンテナは直線状のアンテナであり、当該アンテナを複数、前記基板の表面に沿う方向に並列に配置しており、
前記複数のアンテナのアンテナ本体の給電端部を一つの前記高周波電源に接続しており、
前記複数のアンテナのアンテナ本体の終端部を個々にコイルを介して接地している請求項1または2記載のプラズマ処理装置。 - 前記アンテナは直線状のアンテナであり、当該アンテナを複数、前記基板の表面に沿う方向に並列に配置しており、
前記複数のアンテナのアンテナ本体の給電端部を一つの前記高周波電源に接続しており、
前記複数のアンテナのアンテナ本体の終端部を一括してコイルを介して接地している請求項1または2記載のプラズマ処理装置。 - 前記アンテナは直線状のアンテナであり、当該アンテナを複数、前記基板の表面に沿う方向に並列に配置しており、
前記複数のアンテナを、隣り合うアンテナが異なるグループに属するように第1および第2のグループに分けており、
前記第1のグループに属するアンテナのアンテナ本体に高周波電流を供給する第1の高周波電源と、
前記第2のグループに属するアンテナのアンテナ本体に高周波電流を供給する第2の高周波電源と、
前記第1の高周波電源から出力する高周波電流と前記第2の高周波電源から出力する高周波電流との間の位相差を制御する位相制御器とを備えており、
更に、前記第1および第2のグループに属するアンテナのアンテナ本体の終端部を個々にコイルを介して接地している請求項1または2記載のプラズマ処理装置。 - 前記アンテナは直線状のアンテナであり、当該アンテナを複数、前記基板の表面に沿う方向に並列に配置しており、
前記複数のアンテナを、隣り合うアンテナが異なるグループに属するように第1および第2のグループに分けており、
前記第1のグループに属するアンテナのアンテナ本体に高周波電流を供給する第1の高周波電源と、
前記第2のグループに属するアンテナのアンテナ本体に高周波電流を供給する第2の高周波電源と、
前記第1の高周波電源から出力する高周波電流と前記第2の高周波電源から出力する高周波電流との間の位相差を制御する位相制御器とを備えており、
更に、前記第1のグループに属するアンテナのアンテナ本体の終端部を一括して第1のコイルを介して接地しており、
かつ、前記第2のグループに属するアンテナのアンテナ本体の終端部を一括して第2のコイルを介して接地している請求項1または2記載のプラズマ処理装置。 - 前記位相制御器は、前記第1の高周波電源から出力する高周波電流と前記第2の高周波電源から出力する高周波電流との間の位相差を実質的に180度に制御するものである請求項6記載のプラズマ処理装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015084769A JP5874853B1 (ja) | 2015-04-17 | 2015-04-17 | プラズマ処理装置 |
CN201510627231.XA CN105491780B (zh) | 2014-10-01 | 2015-09-28 | 等离子体产生用的天线及具备该天线的等离子体处理装置 |
KR1020150138483A KR101763277B1 (ko) | 2014-10-01 | 2015-10-01 | 플라즈마 발생용 안테나 및 이를 구비하는 플라즈마 처리 장치 |
US14/872,144 US9947511B2 (en) | 2014-10-01 | 2015-10-01 | Antenna for plasma generation and plasma processing device having the same |
TW104132294A TWI580324B (zh) | 2014-10-01 | 2015-10-01 | 電漿產生用的天線及具備該天線的電漿處理裝置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015084769A JP5874853B1 (ja) | 2015-04-17 | 2015-04-17 | プラズマ処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP5874853B1 true JP5874853B1 (ja) | 2016-03-02 |
JP2016207322A JP2016207322A (ja) | 2016-12-08 |
Family
ID=55434659
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015084769A Active JP5874853B1 (ja) | 2014-10-01 | 2015-04-17 | プラズマ処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5874853B1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110351942A (zh) * | 2019-07-24 | 2019-10-18 | 李学军 | 一种可控浓度的等离子制剂装置 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7001958B2 (ja) * | 2018-03-06 | 2022-01-20 | 日新電機株式会社 | プラズマ処理装置 |
JP7001959B2 (ja) * | 2018-03-16 | 2022-02-04 | 日新電機株式会社 | プラズマ処理装置、プラズマ処理方法、及びプラズマ処理装置用プログラム |
JP7101335B2 (ja) * | 2018-03-19 | 2022-07-15 | 日新電機株式会社 | アンテナ及びプラズマ処理装置 |
JP7290080B2 (ja) * | 2019-07-19 | 2023-06-13 | 日新電機株式会社 | プラズマ処理装置 |
JP7407607B2 (ja) | 2020-01-31 | 2024-01-04 | 株式会社Screenホールディングス | プラズマ発生装置および基板処理装置 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1174098A (ja) * | 1996-11-27 | 1999-03-16 | Hitachi Ltd | プラズマ処理装置 |
JP2001345311A (ja) * | 2000-03-31 | 2001-12-14 | Lam Res Corp | 誘導結合型プラズマエッチング装置のrfピークトゥピーク電圧を能動的に制御する装置および方法 |
JP2003179037A (ja) * | 1999-05-13 | 2003-06-27 | Tokyo Electron Ltd | 誘導結合プラズマ処理装置 |
JP2006024579A (ja) * | 2005-09-05 | 2006-01-26 | Japan Science & Technology Agency | プラズマ発生装置 |
JP2006216903A (ja) * | 2005-02-07 | 2006-08-17 | Hitachi High-Technologies Corp | プラズマ処理装置 |
JP2010135727A (ja) * | 2008-11-05 | 2010-06-17 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置 |
JP2012084624A (ja) * | 2010-10-08 | 2012-04-26 | Nissin Ion Equipment Co Ltd | プラズマ発生装置 |
-
2015
- 2015-04-17 JP JP2015084769A patent/JP5874853B1/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1174098A (ja) * | 1996-11-27 | 1999-03-16 | Hitachi Ltd | プラズマ処理装置 |
JP2003179037A (ja) * | 1999-05-13 | 2003-06-27 | Tokyo Electron Ltd | 誘導結合プラズマ処理装置 |
JP2001345311A (ja) * | 2000-03-31 | 2001-12-14 | Lam Res Corp | 誘導結合型プラズマエッチング装置のrfピークトゥピーク電圧を能動的に制御する装置および方法 |
JP2006216903A (ja) * | 2005-02-07 | 2006-08-17 | Hitachi High-Technologies Corp | プラズマ処理装置 |
JP2006024579A (ja) * | 2005-09-05 | 2006-01-26 | Japan Science & Technology Agency | プラズマ発生装置 |
JP2010135727A (ja) * | 2008-11-05 | 2010-06-17 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置 |
JP2012084624A (ja) * | 2010-10-08 | 2012-04-26 | Nissin Ion Equipment Co Ltd | プラズマ発生装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110351942A (zh) * | 2019-07-24 | 2019-10-18 | 李学军 | 一种可控浓度的等离子制剂装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016207322A (ja) | 2016-12-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101763277B1 (ko) | 플라즈마 발생용 안테나 및 이를 구비하는 플라즈마 처리 장치 | |
JP5874853B1 (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP5733460B1 (ja) | プラズマ発生用のアンテナおよびそれを備えるプラズマ処理装置 | |
TW202215912A (zh) | 電感耦合電漿產生裝置 | |
JP2017033788A (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP6341329B1 (ja) | プラズマ発生用のアンテナ及びそれを備えるプラズマ処理装置 | |
US20100193128A1 (en) | Surface treatment apparatus | |
JP6931461B2 (ja) | プラズマ発生用のアンテナ、それを備えるプラズマ処理装置及びアンテナ構造 | |
JP2017004602A (ja) | プラズマ発生用のアンテナおよびそれを備えるプラズマ処理装置 | |
WO2018225324A1 (ja) | スパッタリング装置 | |
JP4122467B2 (ja) | 高周波放電装置及び高周波処理装置 | |
WO2018173892A1 (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP6996096B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP2012133899A (ja) | プラズマ処理装置 | |
KR101986744B1 (ko) | 플라즈마 처리 장치 및 방법 | |
TWI584343B (zh) | Plasma processing device | |
JP2011146409A (ja) | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 | |
JP7489603B2 (ja) | アンテナ機構及びプラズマ処理装置 | |
JP2017228422A (ja) | プラズマ生成装置 | |
JP2020087891A (ja) | アンテナ及び成膜装置 | |
CN115053398B (zh) | 天线机构及等离子体处理装置 | |
JP2018156763A (ja) | プラズマ発生用のアンテナ及びそれを備えるプラズマ処理装置 | |
JP5874854B1 (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP2023108422A (ja) | プラズマ処理装置 | |
TW201940014A (zh) | 電漿處理裝置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151127 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20151222 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160104 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5874853 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |