JP6298674B2 - 切削装置 - Google Patents

Description

本発明は、円板状ワークの外周部分を円周状に切削する切削装置に関する。

外周部分が丸く面取りされた円板状のワークを研削して薄化すると、外周部分にシャープエッジが形成され、僅かな衝撃で割れやすくなる場合がある。このため、ワークを薄化する前に、ワークの外周部分を切削してエッジトリミングすることにより、薄化後にシャープエッジが形成されるのを防ぎ、これによりワークが割れるのを防ぐ技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０００−１７３９６１号公報

ワークの外周部分をエッジトリミングする場合において、チャックテーブルの回転中心とワークの中心とが一致していないと、トリミング幅が広い部分と狭い部分とが生じ、トリミング幅が狭すぎると、後の研削時にシャープエッジの形成を防ぐことができない。一方、エッジトリミング時に、ワークを保持するチャックテーブルの回転中心とワークの中心とが一致するようにワークを保持できれば、切削のための砥石をチャックテーブルの回転軸から所定距離離れた位置に位置付けることにより、ワークの外周縁から一定の幅を有する範囲をトリミングすることができる。

しかし、ウェーハを搬送する搬送機構がウェーハを受け取る工程やチャックテーブルにウェーハを載置する工程を工夫したり、搬送機構を調整したりしても、チャックテーブルの回転軸とワークの中心とをマイクロメートル単位で完全に一致させることは難しい。そこで、この問題を解決するために、チャックテーブルの回転軸とワークの中心との間のずれの量を算出し、算出したずれ量に基づいて、ウェーハの回転角度に応じてワークの径方向に砥石を移動させることにより、ワークの外周縁から所定の幅を有する範囲をトリミングすることも考えられている。

しかし、チャックテーブルの回転軸とワークの中心との間のずれ量は、ワークの外周縁の位置を測定した後、測定結果に基づいてずれの向きとともに算出する。そして、かかる算出の後、算出結果に基づいてトリミングを行うという手順になっており、ずれの測定と加工とを別々に行うために、エッジトリミング処理全体にかかる時間が長くなるという問題がある。

本発明は、このような問題にかんがみなされたもので、ワークの外周縁から所定の幅を有する範囲をエッジトリミングできるようにするとともに、エッジトリミング処理全体にかかる時間を短縮することを目的とする。

本発明に係る切削装置は、円板状のワークを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルを回転させるチャックテーブル回転部と、スピンドルに装着される砥石を回転させて、該チャックテーブルに保持されたワークの外周部分を外周に沿って切削する切削手段と、該切削手段と該チャックテーブルとを該チャックテーブルの径方向に相対的に移動させる移動手段と、を備えた切削装置であって、所定の測定範囲内において、該チャックテーブルに保持された該ワークの外周縁の位置を測定する測定手段と、該チャックテーブル回転部が回転させている該チャックテーブルの回転角度と、該測定手段によって測定された該外周縁の位置とを対応づけた関係データを生成する認識部と、該測定手段によって測定される該外周縁の位置の基準となる第１の基準位置に対応する、該チャックテーブルとの相対的な関係における該切削手段の位置である第２の基準位置を記憶する記憶部と、該認識部が生成した関係データと、該記憶部が記憶した第２の基準位置とに基づいて、該チャックテーブル回転部が回転させている該チャックテーブルの回転角度に応じて、該移動手段を制御することにより、該ワークの外周縁から中心方向に所定の幅を有する範囲を切削させる制御部と、を備え、該測定手段による該ワークの外周縁の位置測定と並行して、該切削手段による切削を、該測定手段よりも該チャックテーブルの回転方向下流側の位置において行う。
測定手段は、所定の幅を有する測定光を被測定物に投光する投光部と、該投光部が投光した該測定光が該被測定物に反射した反射光を集光して受光する受光センサーと、を備え、該受光センサーが該反射光を受光した位置に基づいて該被測定物までの距離を算出する光学式変位計であることが好ましい。

本発明に係る切削装置によれば、測定手段が実測したワークの外周縁の位置に基づいて移動手段を制御するので、チャックテーブルの回転軸とワークの中心との間のずれを算出する必要がなく、外周縁の測定と並行してワークの外周縁から所定の幅を有する範囲をトリミングすることができ、エッジトリミング処理全体にかかる時間を短縮することができる。

切削装置を示す斜視図。 切削装置の一部を示す平面図（ａ）、側面視断面図（ｂ）及び正面図（ｃ）。 測定手段による測定結果を示すグラフ図。 切削装置の一部を示す平面図（ａ）及び側面視断面図（ｂ）。 切削装置の一部を示す平面図（ａ）及び側面視断面図（ｂ）。 切削装置の一部を示す平面図（ａ）及び側面視断面図（ｂ）。 切削装置の一部を示す平面図（ａ）及び側面視断面図（ｂ）。 切削装置の一部を示す平面図（ａ）及び側面視断面図（ｂ）。 切削装置の一部を示す平面図（ａ）及び側面視断面図（ｂ）。 切削装置の一部を示す平面図（ａ）及び側面視断面図（ｂ）。 別の切削装置を示す斜視図。 別の切削装置の一部を示す平面図（ａ）及び側面視断面図（ｂ）。 測定手段による測定結果を示すグラフ図。

図１に示す切削装置１０は、円板状のワークをＸＹ平面に平行に保持するチャックテーブル１１と、ＸＹ平面に垂直な±Ｚ方向に平行な回転軸を中心としてチャックテーブル１１を回転させるチャックテーブル回転部（不図示）と、チャックテーブル１１及びチャックテーブル回転部を±Ｘ方向に移動させるチャックテーブル移動手段１２と、チャックテーブル１１に保持されたワークの外周部分を砥石３０でその外周に沿って切削する切削手段１３と、切削手段１３を±Ｚ方向に移動させる切込み送り手段１４と、切削手段１３及び切込み送り手段１４を±Ｙ方向に移動させる移動手段１５と、チャックテーブル１１に保持されたワークの外周縁の位置を測定する測定手段１６と、測定手段１６の測定結果からワークの外周縁を認識する認識部１７と、ワークの外周縁の位置と切削手段の±Ｙ方向の位置との対応関係を記憶する記憶部１８と、切削装置１０全体を制御する制御部１９とを備え、チャックテーブル１１に保持されたワークの外周部分を切削手段１３が円周状に切削して除去することによりエッジトリミングを行う装置である。

チャックテーブル移動手段１２は、±Ｘ方向に平行なねじ軸２１をモータ２２が回転させることにより、ねじ軸２１に係合した移動部２３がガイド２４に案内されて±Ｘ方向に移動する構成となっている。チャックテーブル１１及び不図示のチャックテーブル回転部は、移動部２３に固定され、移動部２３の移動に伴って±Ｘ方向に移動する。チャックテーブル移動手段１２は、チャックテーブル１１を＋Ｘ方向に移動させることにより、チャックテーブル１１を、ワークの搬出入が行われる位置である搬出入位置に位置付けることができる。また、チャックテーブル移動手段１２は、わーくを保持したチャックテーブル１１を−Ｘ方向に移動させて、チャックテーブル１１に保持されたワークを切削する切削位置に位置付けることができる。

切込み送り手段１４は、±Ｚ方向に平行なねじ軸４１をモータ４２が回転させることにより、ねじ軸４１に係合した移動部４３がガイド４４に案内されて±Ｚ方向に移動する構成となっている。切削手段１３は、移動部４３に固定され、移動部４３の移動に伴って±Ｚ方向に移動する。切込み送り手段１４が切削手段１３を−Ｚ方向に移動させることにより、切削位置に位置付けられたチャックテーブル１１に保持されたワークに、切削手段１３に装着された砥石３０を所定の深さまで切り込ませてワークを切削することができる。

移動手段１５は、例えばボールねじ機構を有し、±Ｙ方向に平行なねじ軸５１をモータ５２が回転させることにより、ねじ軸５１に係合した移動部５３がガイド５４に案内されて±Ｙ方向に移動する構成となっている。切込み送り手段１４は、移動部５３に固定され、移動部５３の移動に伴って±Ｚ方向に移動し、切削手段１３は、切込み送り手段１４の移動に伴って±Ｚ方向に移動する。移動手段１５が切削手段１３をチャックテーブル１１に対して相対的に±Ｙ方向に移動させることにより、砥石３０が切り込む位置を調整することができる。

図２に示すように、切削手段１３は、スピンドル３１に砥石３０が装着されて構成され、スピンドル３１が±Ｙ方向に平行な回転軸を中心として砥石３０を回転させる。移動手段１５が切削手段１３を±Ｙ方向に移動させると、切削手段１３は、チャックテーブル１１の径方向に移動する。例えば、移動手段１５が切削手段１３を−Ｙ方向に移動させると、切削手段１３は、チャックテーブル１１の中心に近づく方向に移動し、移動手段１５が切削手段１３を＋Ｙ方向に移動させると、切削手段１３は、チャックテーブル１１の中心から遠ざかる方向に移動する。

測定手段１６は、測定光６７を被測定物に投光する投光部６１と、投光部６１が投光した測定光６７が被測定物に反射した反射光６８を受光する受光センサー６２とを備える光学式変位計である。投光部６１が測定光６７を投光する方向は、図２（ｃ）では傾きが強調して描かれているが、実際にはほぼ−Ｚ方向である。投光部６１が投光する測定光６７は、±Ｙ方向に所定の幅を有する。また、投光部６１が投光した測定光６７は、所定の測定範囲６９内で、チャックテーブル１１の上面や、チャックテーブル１１に保持されたワーク９０などの被測定物に当たって反射する。図示の例における測定範囲６９は、切削位置に位置付けられたチャックテーブル１１の回転軸から見て、−Ｙ方向に位置している。したがって、砥石３０がワークを切削する位置と、測定範囲６９とは、切削位置に位置付けられたチャックテーブル１１の回転軸から見て１８０度離れたちょうど反対の方向に位置している。また、測定光６７が±Ｙ方向に所定の幅を有するので、測定範囲６９は、切削位置に位置付けられたチャックテーブル１１の径方向に長い範囲となっている。

受光センサー６２は、投光部６１に対して＋Ｘ方向に配置され、測定範囲６９内からの反射光６８を集光してやや斜め上方の位置で受光する。このため、測定光６７が反射した反射点の±Ｚ方向の位置により、受光センサー６２が反射光６８を受光する±Ｘ方向の位置が変化する。受光センサー６２は、例えば複数の受光部が±Ｘ方向に並べて配設され、どの受光部が反射光６８を受光したかによって反射光６８を受光した±Ｘ方向の位置を判別し、それに基づいて反射点の±Ｚ方向の位置を測定する。また、複数の受光部は±Ｙ方向にも並べて配設され、±Ｙ方向における複数の位置で、反射点の±Ｚ方向の位置を同時に並行して測定することができる。

チャックテーブル１１の上面とそこに保持されたワーク９０の上面とでは、±Ｚ方向の位置が異なるため、チャックテーブル１１の径方向における複数の位置において光の反射点の±Ｚ方向の位置を測定することにより、ワーク９０の外周縁９１を検出することができ、チャックテーブル１１の回転軸から外周縁９１までの距離を求めることができる。

不図示のチャックテーブル回転部がチャックテーブル１１を回転させながら、測定手段１６が測定を行うことにより、測定手段１６は、ワーク９０の全周において、チャックテーブル１１の回転軸から外周縁９１までの距離を測定することができる。認識部１７（図１参照）は、不図示のチャックテーブル回転部が回転させるチャックテーブル１１の回転角度と測定手段１６が測定した外周縁９１の位置とを対応づけて認識し、チャックテーブル１１の回転角度と外周縁９１の位置とを対応づけた関係データを生成する。

測定手段１６が外周縁９１の位置を測定する測定範囲６９の中には、外周縁の位置の基準となる±Ｙ方向の位置である第１の基準位置８１を設定する。また、切削手段１３がワーク９０の外周部分を外周に沿って切削する範囲の幅を、トリミング幅８２とする。

一方、チャックテーブル１１の回転軸からワーク９０の外周縁９１までの距離が、チャックテーブル１１の回転軸から第１の基準位置８１までの距離と等しいと仮定した場合において、移動手段１５がトリミング幅８２を有する範囲を切削手段１３が切削できるように切削手段１３を位置付けたときのチャックテーブル１１に対する切削手段１３の相対的な位置を第２の基準位置８３とし、記憶部１８（図１参照）に記憶させておく。第２の基準位置８３は、例えば移動手段１５を構成するモータ５２がパルスモータである場合は、モータ５２に対するパルス数によって把握することができる。また、移動手段１５にリニアスケールを配設し、移動部５３の±Ｙ方向の位置をリニアスケールによって読み取ることもできる。

第２の基準位置８３は、例えば、チャックテーブル１１が調整用のダミーワークを保持し、移動手段１５が切削手段１３を任意の位置に位置付けてチャックテーブル１１に保持されたダミーワークを切削し、切削された位置を測定手段１６が測定することにより求めることができる。また、実際のトリミング対象のワーク９０を切削しているときに、外周縁９１の位置と切削された位置とを測定手段１６が測定して、切削された範囲の幅がトリミング幅８２に一致しているか否かを検査し、一致していない場合は、記憶部１８が記憶した第２の基準位置８３を補正して更新する構成であってもよい。

次に、測定手段１６によるチャックテーブル１１の回転軸から外周縁９１までの距離の測定について、詳しく説明する。かかる測定は、チャックテーブル１１を回転させながら行う。

図３の横軸は、測定範囲６９内におけるチャックテーブル１１の径方向の位置を示し、右がチャックテーブル１１の中心に近い＋Ｙ方向、左がチャックテーブル１１の中心から遠い−Ｙ方向である。縦軸は、測定手段１６が測定した反射点の±Ｚ方向における位置を示し、上が測定手段１６に近い＋Ｚ方向、下が測定手段１６から遠い−Ｚ方向である。

＋Ｙ方向の平坦な領域６３１は、ワーク９０の上面に対応する部分であり、−Ｙ方向の平坦な領域６３２は、チャックテーブル１１の上面に対応する部分であり、領域６３１と領域６３２との間にワーク９０の外周縁９１に対応する領域６３３ａ〜６３３ｃがある。

例えば、測定手段１６は、領域６３３ａ〜６３３ｃにおいて、±Ｚ方向の位置が急激に変化する位置を算出し、外周縁位置６５ａ〜６５ｃとする。

仮に、チャックテーブル１１の回転軸とワーク９０の中心とが完全に一致していたとすると、チャックテーブル１１の回転軸からワーク９０の外周縁９１までの距離は一定となるため、チャックテーブル１１が回転しても、ワーク９０の外周縁９１に対応する領域６３３ａ〜６３３ｃの±Ｙ方向における位置は変わらず、領域６３３ａ〜６３３ｃがすべて重なった状態となって1本の線になる。

一方、チャックテーブル１１の回転軸とワーク９０の中心とが一致していない場合は、チャックテーブル１１の回転に伴って、ワーク９０の外周縁９１に対応する領域６３３ａ〜６３３ｃの±Ｙ方向における位置が変化する。

例えばワーク９０の中心がチャックテーブル１１の回転軸に対して−Ｙ方向にずれている場合、測定手段１６が算出する外周縁の±Ｙ方向における位置は、外周縁位置６５ａのように−Ｙ方向にずれる。そして、チャックテーブル１１が回転すると、ワーク９０の中心のずれ方向が変化するので、外周縁の位置は＋Ｙ方向に移動し、例えば９０度回転した状態では外周縁位置６５ｂのようになり、１８０度回転した状態では外周縁位置６５ｃのようになる。チャックテーブル１１が更に回転すると、外周縁の位置は−Ｙ方向に戻り始め、例えば２７０度回転した状態では外周縁位置６５ｂのようになり、３６０度回転すると外周縁位置６５ａに戻る。

次に、ワーク９０を切削する手順について説明する。図４に示すように、ワーク９０を保持したチャックテーブル１１が切削位置に位置付けられた最初の状態において、ワーク９０の中心が、チャックテーブル１１の回転軸に対して−Ｙ方向にずれているものとする。このとき、測定手段１６が測定した外周縁位置６５は、第１の基準位置８１に対して径方向外側（―Ｙ方向側）にずれている。認識部１７は、このときの第１の基準位置８１に対する外周縁位置６５の相対位置を、チャックテーブル１１の回転角度が０度のときの関係データとして生成する。なお、このとき、切削手段１３は、まだ切削を開始しない。

次に、チャックテーブル回転部がチャックテーブル１１を回転させながら、測定手段１６が外周縁位置６５を測定していく。認識部１７は、測定手段１６が外周縁位置６５を測定するたびに、最初の状態からの回転角度に対応づけた第１の基準位置８１に対する外周縁位置６５の相対位置を表す関係データを生成する。図５に示す例では、チャックテーブル１１の回転に伴い外周縁位置６５が径方向内側に移動し、最初の状態から約９０度回転したときに外周縁位置６５が第１の基準位置８１に一致している。

チャックテーブル１１が更に回転して最初の状態からの回転角度が１８０度になると、切削を開始する。まず、図６に示すように、制御部１９は、認識部１７が生成した関係データに基づいて移動手段１５を制御して、切削手段１３を位置５５に位置付ける。このときの位置５５は、チャックテーブル１１の回転角度が０度のときの第１の基準位置８１に対する外周縁位置６５の相対位置に基づいて定められる。すなわち、第２の基準位置８３に対する位置５５の相対位置は、回転角度０度のときの第１の基準位置８１に対する外周縁位置６５の相対位置と同じであり、位置５５は、第２の基準位置８３に対して径方向外側にずれている。

このようにして切削手段１３を位置５５に位置付けられた状態で、切削手段１３が砥石３０を回転させ、切込み送り手段１４が切削手段１３を−Ｚ方向に移動させて、回転している砥石３０をワーク９０の外周に沿って切り込ませ、切削を開始する。

これ以降は、チャックテーブル回転部がチャックテーブル１１を回転させながら、測定と切削とを並行して実行する。測定手段１６が測定をする測定領域と、切削手段１３が切削する切削領域とは、チャックテーブル１１の回転軸に対してちょうど１８０度ずれている。このため、制御部１９は、現在の回転角度から１８０度を差し引いた回転角度に対応づけられた関係データに基づいて移動手段１５を制御し、切削手段１３の位置を調整してトリミングを行う。すなわち、外周縁位置６５が第１の基準位置８１よりも径方向外側にずれていれば、それと同じ距離だけ第２の基準位置８３から径方向外側にずれた位置５５に切削手段１３を位置付ける。逆に、外周縁位置６５が第１の基準位置８１よりも径方向内側にずれていれば、それと同じ距離だけ第２の基準位置８３から径方向内側にずれた位置５５に切削手段１３を位置付ける。外周縁位置６５が第１の基準位置８１と一致していれば、第２の基準位置８３と一致する位置５５に切削手段１３を位置付ける。これにより、ワーク９０の外周縁９１から中心方向に所定のトリミング幅８２を有する範囲を切削することができる。

例えば、図７に示すように、最初の状態からの回転角度が２７０度になったときに、制御部１９は、回転角度９０度のときの第１の基準位置８１に対する外周縁位置６５の相対位置に基づいて、切削手段１３の位置５５を決定する。

図８に示すように、最初の状態からの回転角度が３６０度に達したときに、切削手段１３による切削は、まだワーク９０の全周の半分しか終わっていないが、測定手段１６による測定は、終了してよい。また、前述したように、切削の結果を検査するため、全周の切削が終了するまで、測定手段１６による測定を続けてもよい。

図９に示すように、チャックテーブル１１が更に９０度回転して最初の状態からの回転角度が４５０度に達すると、切削手段１３による切削は、ワーク９０の全周の４分の３が終了する。

図１０に示すように、チャックテーブル１１が更に９０度回転して最初の状態からの回転角度が５４０度に達したとき、ワーク９０の全周にわたり、切削手段１３による切削が完了する。切込み送り手段１４が切削手段１３を＋Ｚ方向に移動させて、砥石３０をワーク９０から離し、切削を終了する。

このように、測定手段１６による外周縁９１の位置の測定と、切削手段１３による切削とを並行して実行することができるので、トリミング処理全体にかかる時間を短縮することができる。

図１１に示す切削装置１０Ａは、前述した切削装置１０の測定手段１６に代えて、測定手段１６Ａを備えている。それ以外の点では、切削装置１０と同様である。測定手段１６Ａは、切削位置に位置付けられたチャックテーブル１１の＋Ｚ方向ではなく、−Ｙ方向に配置され、チャックテーブル１１に保持されたワークの外周縁の位置を上からではなく横から測定する。

図１２に示すように、測定手段１６Ａは、投光部６１が測定光６７を投光する方向がほぼ＋Ｙ方向であり、投光部６１が投光する測定光６７は、±Ｚ方向に所定の幅を有する。砥石３０がワークを切削する切削領域と測定範囲６９とが、切削位置に位置付けられたチャックテーブル１１の回転軸から見て１８０度離れたちょうど反対の方向に位置する点は、測定手段１６と同じであるが、測定範囲６９は、±Ｚ方向に長い範囲である。測定手段１６Ａは、測定光６７が反射した反射点の±Ｙ方向における位置を測定する。

図１３の縦軸は、測定範囲６９内における±Ｚ方向の位置を示し、上が＋Ｚ方向、下が−Ｚ方向である。横軸は、測定手段１６が測定した反射点の±Ｙ方向における位置を示し、右がチャックテーブル１１の中心に近い＋Ｙ方向、左がチャックテーブル１１の中心から遠い−Ｙ方向である。

このように、測定手段の配置や測定光６７を投光する向きが異なっていても、ＹＺ平面に平行な平面内における反射点の位置を測定できる点では、切削装置１０の測定手段１６と変わらない。したがって、切削装置１０の測定手段１６と同様に、ワーク９０の外周縁９１の位置を測定することができる。

このような構成でワーク９０の外周縁９１の位置を測定する場合でも、外周縁９１の位置の測定と、ワークの外周縁から所定の幅を有する範囲の切削とを並行して実行することができる。したがって、トリミング処理全体にかかる時間を短縮することができる。

なお、切削装置１０，１０Ａのいずれにおいても、移動手段は、チャックテーブル１１と切削手段１３とを相対的にチャックテーブル１１の径方向に移動させるものであればよく、切削手段１３を移動させるのではなく、チャックテーブル１１を移動させる構成であってもよいし、切削手段とチャックテーブル１１との双方を移動させる構成であってもよい。

測定手段１６，１６Ａは、チャックテーブル１１に保持されたワークの外周縁の位置を測定できるものであればよく、光学式変位計に限らず、他の構成であってもよい。例えば、測定手段１６は、チャックテーブルに保持されたワークの外周部分を上から撮影するカメラを有し、カメラが撮影した画像を解析することにより、ワークの外周縁の位置を算出する構成であってもよい。あるいは、測定手段１６Ａは、チャックテーブル１１に保持されたワークの外周部分を横から撮影するカメラを有し、オートフォーカスによりワークの外周縁にピントを合わせたときの焦点距離に基づいて、ワークの外周縁の位置を算出する構成であってもよい。

測定手段１６，１６Ａが外周縁の位置を測定する測定範囲と、切削手段１３がワークを切削する切削範囲とは、チャックテーブル１１の中心から見て１８０度離れた方向ではなく、任意の角度離れた方向であってもよい。すなわち、測定手段１６と切削手段１３とがワークの径方向に対面する構成でなく、例えば、切削手段１３がワークを切削する切削範囲が、測定手段１６，１６Ａが外周縁の位置を測定する測定範囲からチャックテーブル１１の中心を基準として１０度回転した位置とすることもできる。このように、外周縁の測定から切削までの回転角度を小さくすることで、加工時間をより短縮することができる。

１０，１０Ａ 切削装置、
１１ チャックテーブル、
１２ チャックテーブル移動手段、２１ ねじ軸、２２ モータ、２３ 移動部、
２４ ガイド、
１３ 切削手段、３０ 砥石、３１ スピンドル、
１４ 切込み送り手段、４１ ねじ軸、４２ モータ、４３ 移動部、４４ ガイド、
１５ 移動手段、５１ ねじ軸、５２ モータ、５３ 移動部、５４ ガイド、
５５ 位置、
１６，１６Ａ 測定手段、６１ 投光部、６２ 受光センサー、
６３１，６３２，６３３ａ〜６３３ｃ 領域、６４ 閾値、
６５，６５ａ〜６５ｃ 外周縁位置、６７ 測定光、６８ 反射光、６９ 測定範囲、
１７ 認識部、
１８ 記憶部、８１ 第１の基準位置、８２ トリミング幅、８３ 第２の基準位置、
１９ 制御部、３０ 砥石、９０ ワーク、９１ 外周縁

Claims (2)

1. 円板状のワークを保持するチャックテーブルと、
   該チャックテーブルを回転させるチャックテーブル回転部と、
   スピンドルに装着される砥石を回転させて、該チャックテーブルに保持されたワークの外周部分を外周に沿って切削する切削手段と、
   該切削手段と該チャックテーブルとを該チャックテーブルの径方向に相対的に移動させる移動手段と、
   を備えた切削装置であって、
   所定の測定範囲内において、該チャックテーブルに保持された該ワークの外周縁の位置を測定する測定手段と、
   該チャックテーブル回転部が回転させている該チャックテーブルの回転角度と、該測定手段によって測定された該外周縁の位置とを対応づけた関係データを生成する認識部と、
   該測定手段によって測定される該外周縁の位置の基準となる第１の基準位置に対応する、該チャックテーブルとの相対的な関係における該切削手段の位置である第２の基準位置を記憶する記憶部と、
   該認識部が生成した関係データと、該記憶部が記憶した第２の基準位置とに基づいて、該チャックテーブル回転部が回転させている該チャックテーブルの回転角度に応じて、該移動手段を制御することにより、該ワークの外周縁から中心方向に所定の幅を有する範囲を切削させる制御部と、
   を備え、
   該測定手段による該ワークの外周縁の位置測定と並行して、該切削手段による切削を、該測定手段よりも該チャックテーブルの回転方向下流側の位置において行う
   切削装置。
2. 前記測定手段は、
   所定の幅を有する測定光を被測定物に投光する投光部と、
   該投光部が投光した該測定光が該被測定物に反射した反射光を集光して受光する受光センサーと、
   を備え、該受光センサーが該反射光を受光した位置に基づいて該被測定物までの距離を算出する光学式変位計である、請求項１記載の切削装置。

Images