JP6576801B2 - 研削装置 - Google Patents
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Description
15 円形凹部
16 環状凸部
22 保持テーブル
31 傾き調節手段
35 テーブル回転軸
45 研削ホイール回転軸
46 研削手段
48 研削砥石
49 研削ホイール
61 研削送り手段
71 厚み測定器
73 走査手段
86 記憶部
87 算出部
O ウエーハの中心
P0 厚み測定器を走査させ測定した厚み値とウエーハの中心の厚み値との差が最も大きくなる箇所
C 円形凹部の外周部
W ウエーハ
Claims (1)
- 砥石でウエーハの中央を研削し、中央に円形凹部を形成すると共に外周部に環状凸部を形成し、該円形凹部の厚みを予め設定した仕上げ厚みまで研削する研削装置であって、
ウエーハを保持する保持テーブルと、該保持テーブルを回転させるテーブル回転軸と、ウエーハの半径より小さい直径で環状に該砥石を配設する研削ホイールと、該研削ホイールを取付け回転させる研削ホイール回転軸を備える研削手段と、該保持テーブルと該研削手段とを相対的に接近および離間させる方向に移動させる研削送り手段と、該テーブル回転軸と該研削ホイール回転軸とを相対的に傾き調節する傾き調節手段と、該保持テーブルに保持されるウエーハを研削し形成される該円形凹部のウエーハ厚みを測定する厚み測定器と、該厚み測定器をウエーハの径方向に走査させる走査手段と、該厚み測定器を該走査手段で走査させウエーハの厚みを測定した該円形凹部の少なくとも3箇所の厚み値を記憶する記憶部と、該記憶部に記憶された厚み値から該研削ホイール回転軸に対する該テーブル回転軸の傾きを算出する算出部と、を備え、
該少なくとも3箇所の厚み値を測定する測定動作は、該円形凹部の厚みが予め設定した該仕上げ厚みに達する前に該研削送りを一時停止させて行い、
該少なくとも3箇所の厚み値は、
ウエーハの中心の厚み値と、
該走査手段で該厚み測定器をウエーハの中心から外周に向かって走査させ測定した厚み値の極大値と、
該円形凹部の外周部の厚み値と、からなり、
該少なくとも3箇所の厚み値の差が最も小さくなるときの該研削ホイール回転軸に対する該テーブル回転軸の傾きを該算出部で算出し、
該算出部が算出した該傾きに該傾き調節手段で該テーブル回転軸と該研削ホイール回転軸とを相対的に傾き調節したのち、該円形凹部の厚みが該仕上げ厚みになるまで研削する研削装置。
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