JP6291822B2 - 基板および基板接合方法 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 498
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 32
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 10
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 5
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 5
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000007872 degassing Methods 0.000 claims 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 171
- 230000000994 depressogenic effect Effects 0.000 description 60
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 35
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 35
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 28
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 28
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 20
- 230000008569 process Effects 0.000 description 14
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 10
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 5
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 4
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 3
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 3
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 2
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 2
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910017855 NH 4 F Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QCEUXSAXTBNJGO-UHFFFAOYSA-N [Ag].[Sn] Chemical compound [Ag].[Sn] QCEUXSAXTBNJGO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 230000003466 anti-cipated effect Effects 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 230000013011 mating Effects 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
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- Pressure Welding/Diffusion-Bonding (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Description
[特許文献1] 特表2006−517344号公報
Claims (18)
- 他の基板に接合される接合面と、
前記接合面に形成された凹部と、
前記凹部内に形成され、表面が前記接合面よりも下方に位置するとともに、前記表面の中央がさらに下方に位置している導通領域と、
前記凹部内における前記導通領域の前記表面上の空間に連通した空洞部と、
を備える基板。 - 前記空洞部は、前記接合面に開口している請求項1に記載の基板。
- 前記空洞部は、前記導通領域の周囲に形成されている請求項1または2に記載の基板。
- 前記空洞部は、前記接合面に形成された多孔質層を含む請求項1から3のいずれか一項に記載の基板。
- 前記空洞部は、前記基板の周縁部まで連通する部分を有する請求項1から請求項4までのいずれか一項に記載の基板。
- 前記空洞部の一部は、前記他の基板の前記表面に形成された突出部と相補的な形状を有する部分を含む請求項1から請求項5までのいずれか一項に記載の基板。
- 前記導通領域内に前記空洞部としての穴が設けられている請求項1に記載の基板。
- 他の基板に接合される接合面と、
前記接合面に形成された凹部と、
前記凹部内に形成され、表面の少なくとも一部が前記接合面よりも下方に位置する導通領域と、
前記凹部内における前記導通領域の前記表面上の空間に連通した空洞部と、
前記導通領域を包囲するとともに、前記空洞部の内部において少なくとも一部が除去されているバリア層と
を備える基板。 - 基板の接合面に凹部を形成する段階と、
表面が前記接合面よりも下方に位置するとともに、前記表面の中央がさらに下方に位置している導通領域を、前記凹部内に形成する段階と、
前記凹部内における前記導通領域の前記表面上の空間に連通した空洞部を形成する段階と、
前記接合面を他の基板の接合面に接触させる段階と、
前記接合面同士を接触させた後に、前記導通領域を前記他の基板の導通領域に接触させる段階と、
を含む基板接合方法。 - 前記空洞部を形成する段階は、前記基板の周縁部まで連通する部分を形成する段階を含み、
前記接合面を他の基板の接合面に接触させる段階は、前記基板および前記他の基板の間を、前記空洞部を通じて脱気する段階を含む請求項9に記載の基板接合方法。 - 前記脱気する段階は、前記基板および前記他の基板の少なくとも一方を加熱する段階を含む請求項10に記載の基板接合方法。
- 前記脱気する段階は、前記基板および前記他の基板の接合に先立って前記基板および前記他の基板の間を、前記空洞部を通じて脱気する段階を含む請求項10または請求項11に記載の基板接合方法。
- 前記脱気する段階は、前記基板および前記他の基板を接合しつつ、前記基板および前記他の基板の間を、前記空洞部を通じて脱気する段階を含む請求項10から請求項12までのいずれか一項に記載の基板接合方法。
- 前記導通領域を包囲するバリア層の少なくとも一部を前記空洞部の内部において除去する段階を更に含む請求項9から13のいずれか一項に記載の基板接合方法。
- 前記空洞部を形成する段階は、前記基板が前記他の基板に接合された場合に、前記他の基板に設けられた導通領域の縁部を包含する領域に形成される請求項9から請求項14までのいずれか一項に記載の基板接合方法。
- 前記空洞部を形成する段階は、
前記基板において他の回路に接続されない独立導通領域を形成する段階と、
前記独立導通領域の周囲に、前記基板の周縁部まで連通する部分を前記空洞部に形成する段階と
を含む請求項9から請求項15までのいずれか一項に記載の基板接合方法。 - 前記空洞部を形成する段階において、前記空洞部としての穴を前記導通領域内に設ける請求項9に記載の基板接合方法。
- 基板の接合面に凹部を形成する段階と、
表面の少なくとも一部が前記接合面よりも下方に位置する導通領域を、前記凹部内に形成する段階と、
前記凹部内における前記導通領域の前記表面上の空間に連通した空洞部を形成する段階と、
前記接合面を他の基板の接合面に接触させる段階と、
前記接合面同士を接触させた後に、前記導通領域を前記他の基板の導通領域に接触させる段階と、
を含み、
前記導通領域を包囲するバリア層の少なくとも一部を前記空洞部の内部において除去する段階を更に含む基板接合方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013255156A JP6291822B2 (ja) | 2012-12-25 | 2013-12-10 | 基板および基板接合方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012281788 | 2012-12-25 | ||
JP2012281788 | 2012-12-25 | ||
JP2013255156A JP6291822B2 (ja) | 2012-12-25 | 2013-12-10 | 基板および基板接合方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014143399A JP2014143399A (ja) | 2014-08-07 |
JP2014143399A5 JP2014143399A5 (ja) | 2016-12-28 |
JP6291822B2 true JP6291822B2 (ja) | 2018-03-14 |
Family
ID=51424439
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013255156A Active JP6291822B2 (ja) | 2012-12-25 | 2013-12-10 | 基板および基板接合方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6291822B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6471426B2 (ja) * | 2014-08-08 | 2019-02-20 | 株式会社ニコン | 基板 |
CN107408567B (zh) * | 2015-03-31 | 2022-03-18 | 索尼半导体解决方案公司 | 固态图像捕获元件与电子设备 |
JP6856974B2 (ja) | 2015-03-31 | 2021-04-14 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 固体撮像素子および電子機器 |
US10020336B2 (en) | 2015-12-28 | 2018-07-10 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Imaging device and electronic device using three dimentional (3D) integration |
KR102572133B1 (ko) * | 2016-09-07 | 2023-08-30 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 에어 갭을 가진 적층형 이미지 센서 |
CN111226311B (zh) | 2020-01-07 | 2021-01-29 | 长江存储科技有限责任公司 | 金属-电介质键合方法和结构 |
JP2022096892A (ja) * | 2020-12-18 | 2022-06-30 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 半導体装置、半導体装置の製造方法、及び電子機器 |
WO2022201530A1 (ja) * | 2021-03-26 | 2022-09-29 | 昭和電工マテリアルズ株式会社 | 半導体装置の製造方法、半導体装置、集積回路要素、及び、集積回路要素の製造方法 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04148526A (ja) * | 1990-10-12 | 1992-05-21 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | シリコン基板の製造方法 |
JPH0963912A (ja) * | 1995-08-18 | 1997-03-07 | Hoya Corp | 貼り合わせ基板製造方法 |
JP3383811B2 (ja) * | 1996-10-28 | 2003-03-10 | 松下電器産業株式会社 | 半導体チップモジュール及びその製造方法 |
JP4126749B2 (ja) * | 1998-04-22 | 2008-07-30 | ソニー株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP2000182916A (ja) * | 1998-12-11 | 2000-06-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体デバイスおよび半導体ウェーハおよび製造方法 |
JP3440057B2 (ja) * | 2000-07-05 | 2003-08-25 | 唯知 須賀 | 半導体装置およびその製造方法 |
JP3927925B2 (ja) * | 2003-06-04 | 2007-06-13 | 直江津電子工業株式会社 | 半導体接合ウエハ |
JP2008288384A (ja) * | 2007-05-17 | 2008-11-27 | Sony Corp | 3次元積層デバイスとその製造方法、及び3次元積層デバイスの接合方法 |
US7683459B2 (en) * | 2008-06-02 | 2010-03-23 | Hong Kong Applied Science and Technology Research Institute Company, Ltd. | Bonding method for through-silicon-via based 3D wafer stacking |
-
2013
- 2013-12-10 JP JP2013255156A patent/JP6291822B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014143399A (ja) | 2014-08-07 |
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