JP6289494B2 - 導電性物品 - Google Patents

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Description

発明の詳細な説明
[背景]
[0001] 導電性を有し、かつ透明な材料及び構成部品が、例えば、液晶ディスプレイ、光電池、タッチディスプレイセンサ、光検出器、エレクトロクロミックウィンドウ、無機エレクトロルミネッセントランプ、有機発光ダイオード(OLED)ランプ、及びディスプレイにおいて電極として用いられている。これらの装置の効率又は性能は、例えば電気的輸送特性(Ω/□の単位で測定される電気シート抵抗Rsによって定量的に記述される)及び光学特性(主として百分率の単位で測定される光透過率T(%)によって定量的に記述される)に依存している。多くの装置では、透明電極の電気シート抵抗が低減されるか又は光透過率が高められる場合に効率又は性能が向上する。低い電気シート抵抗と高い光透過率とは、材料において相矛盾する性質であり、装置の設計、性能、及び効率におけるトレードオフを余儀なくさせるものである。酸化インジウムスズなどの個別の材料又はPEDOT−PSSなどの導電性ポリマーは、それらの固有の限定されたレベルの電気シート抵抗と光透過率を有し、それらの間のトレードオフを有する。したがって、既存の透明な導電性材料及び構成部品に改良を行って、標準的な材料に対して、電気シート抵抗を低減させる、又は光透過率を高めることが当該技術分野で求められている。
[概要]
[0002] 一態様において、本開示は、
第1の主面を有する基板と、前記基板の第1の主面上の導電体パターンと、を有する物品であって、
前記導電体パターンが、離間した第1及び第2の導電性金属トレースの複数の離間したペア(例えば図1〜5を参照)を含み、
各ペアの第1及び第2の導電性金属トレースが、互いに対してそれらの離間間隔の少なくとも5倍(実施形態によっては、少なくとも10倍、25倍、50倍、又は100倍、実施形態によっては、5〜1,000倍、10〜500倍、15〜250倍、又は更には50〜200倍の範囲)の重なり部分の長さを有し、1cm当たりの導電性金属トレースが、少なくとも50個(実施形態によっては、少なくとも75個、100個、150個、200個、250個、500個、1,000個、5,000個、10,000個、25,000個、50,000個、75,000個、100,000個、又は更には少なくとも150,000個、実施形態によっては、100〜150,000個、500〜150,000個、1,000〜150,000個、5,000〜150,000個、10,000〜150,000個、又は更には25,000〜150,000個の範囲)である、物品について述べる。
[0003] 必要に応じて、本明細書に記載の物品は、概ね相対する第1及び第2の主面を有する第1の導電層を更に有し、第1の導電層の一方の主面が、第1及び第2の導電性金属トレースの複数の前記ペアの少なくとも一部(実施形態によっては、前記基板の前記第1の主面とほぼ平行な第1及び第2の導電性金属トレースの複数の前記ペアの少なくとも1%、2%、3%、4%、5%、10%、15%、20%、25%、30%、35%、40%、45%、50%、55%、60%、65%、70%、75%、80%、85%、90%、95%、99%、又は更には100%)と接触する。必要に応じて、導電層はパターン形成され、第1及び第2の離間した領域(実施形態によっては、更なる(例えば第3の)離間した領域)を有し、必要に応じて、第1の領域と電気的に接続された第1のアドレストレース、及び第2の領域と電気的に接続された第2のアドレストレース(及び実施形態によっては、必要に応じて、存在する場合に更なる領域と電気的に接続された更なるアドレストレース)を有する。
[0004] 別の態様において、本開示は、本明細書に述べられる物品を製造する方法であって、
第1の主面を有する基板を提供することと、
前記基板の第1の主面上に、離間した第1及び第2の導電性金属トレースの複数の離間したペアを配置することによって物品を提供することと、を含む方法について述べる。
[0005] 別の態様において、本開示は、本明細書に述べられる物品を製造する方法であって、
第1の主面を有する基板を提供することと、
前記基板の第1の主面上に金属層を提供することと、
前記金属層をエッチングすることによって、前記基板の第1の主面上に、離間した第1及び第2の導電性金属トレースの複数の離間したペアを提供することによって物品を提供することと、を含む方法について述べる。
[0006] 別の態様において、本開示は、本明細書に述べられる物品を製造する方法であって、
第1の主面を有する基板を提供することと、
第1の主面上に第1の導電層を付着させることと、
前記導電層上に、離間した第1及び第2の導電性金属トレースの複数の離間したペアを配置することによって物品を提供することと、を含む方法について述べる。
[0007] 別の態様において、本開示は、本明細書に述べられる物品を製造する方法であって、
第1の主面を有する基板を提供することと、
第1の主面上に第1の導電層を付着させること
前記導電層上に金属層を付着させることにより物品を提供することと、
前記金属層をエッチングすることによって、前記基板の第1の主面上に、離間した第1及び第2の導電性金属トレースの複数の離間したペアを提供することによって物品を提供することと、を含む方法につて述べる。
[0008] 本明細書に述べられる物品の実施形態は、例えば、ディスプレイ、タッチセンサ、照明素子(例えば発光ダイオード(例えば有機発光ダイオード))、光電池、エレクトロクロミックウィンドウ及びディスプレイ、並びにエレクトロルミネッセントランプ及びディスプレイにおいて有用である。
[0009] 本明細書に述べられる物品の実施形態及びその製造方法により得られる利点としては、形成部のサイズの広い範囲(すなわち、同じプロセスから微小(例えばマイクロメートル以下)メッシュトレース及び巨視的(例えばミリメートル)結合パッド)を同時に実現することが可能な単一のパターン形成プロセス、微視的メッシュトレースによる利益を享受しうる透明導電体を用いるすべてのデバイス設計の繰り返しにおける高価で超微細な外注金型、及び金属の微小パターンに対するあらゆる後続のパターン形成プロセスの位置合わせを必要としない点が挙げられる。
本明細書に述べられる物品の代表的な導電性金属トレースの説明図である。 本明細書に述べられる物品の代表的な導電性金属トレースの説明図である。 本明細書に述べられる物品の代表的な導電性金属トレースのペアの説明図である。 本明細書に述べられる物品の代表的な導電性金属トレースの説明図である。 本明細書に述べられる物品の代表的な導電性金属トレースの説明図である。 本明細書に述べられる物品の代表的な導電性金属トレースのペアの説明図である。 本明細書に述べられる物品の代表的な導電性金属トレースのペアの説明図である。 本明細書に述べられる物品の例である。 本明細書に述べられる物品の例である。 本明細書に述べられる物品の例である。 本明細書に述べられる物品の例である。 本明細書に述べられる物品の例である。 本明細書に述べられる物品の例である。 本明細書に述べられる物品の例である。 本明細書に述べられる物品の例である。 本明細書に述べられる代表的な物品を有するタッチスクリーン要素の組み合わせを示す。
[詳細な説明]
[0014] 代表的な基板としては、ガラス及びポリマーフィルム(例えば、ポリ(エチレンテレフタレート)(PET)、環状オレフィンポリマー(COP)、ポリ(エチレンナフタレート)(PEN)、ポリカーボネート(PC)、三酢酸セルロース(TAC)、及び環状ポリオレフィンコポリマーからなる群から選択されるポリマーフィルム)が挙げられる。特定の実施形態では、基板は透明である(すなわち、透過する光の百分率が少なくとも50%(実施形態によっては、少なくとも75%、80%、85%、90%、又は更には少なくとも95%)である)。透明性が必要とされない特定の実施形態では、基板は不透明である(すなわち、透過する光の百分率が5%未満(実施形態によっては、4%、3%、2%、1%、0.5%未満、又は更には0.1%未満)である)。
[0015] 通常、導電体パターンは、オープンエリアの割合が80、90、95、96、97、98、99よりも大きいか、又は更には少なくとも99.5であり、実施形態によっては、80〜99.75、90〜99.75、90〜99.5、95〜99.75、又は更には95〜99.5の範囲であるが、これの典型的な範囲の外側の値も有用である。
[0016] 代表的な導電体パターンを図1〜4に示す。図1を参照すると、導電体パターン10は、離間した第1(11)及び第2(12)の非分枝状導電性金属トレースの複数の離間したペアを有しており、各ペアの第1(11)及び第2(12)の導電性金属トレースは、互いに対してそれらの離間間隔の少なくとも5倍の長さの重なり部分を有している。「導電性」なる用語は、例えば少なくとも10ジーメンス/センチメートル(S/cm)の有効バルク導電率を示すトレース又は層の形の材料について言う。例えば少なくとも1000S/cmのバルク導電率を示す導電性ポリマーが知られている例がある。酸化インジウムスズの組成物は、例えば10,000S/cmのバルク導電率を示しうる。純粋な銀は、6.3×10S/cmのバルク導電率を示す。「有効バルク導電率」における「有効」なる用語は、本開示の導電性材料の範囲内の複合材料の可能性を含めることを意図しており、こうした複合材料は異なる局所的バルク導電率を有する複数の相を有している。「重なり部分」なる用語は、本明細書に述べられるようにペアをなすか、又は、それぞれが離間しているが隣接したペアの構成要素である、隣接して離間した2本の導電性金属トレースの部分のことを指すものであり、導電性トレース同士は基板の平面内で互いから(物理的及び電気的に)離間しており、各部分同士は互いに概ね平行であるか又は重なり部分の距離(長さ)にわたって互いから概ね一定の間隔を維持している。「離間した」とは、各トレース同士が、例えば導電層により電気的に接続されている場合を除き、互いに物理的又は電気的に接続されていないことを意味する。「重なり部分」なる用語は、物理的又は電気的接点を指すものではなく、基板の平面内の一致する位置を指すものでもない。導電性金属トレースは長さ、幅、及び厚さを有している。導電体パターン10は、オープンエリアの割合(すなわち、導電性金属トレースによって覆われていない、導電性金属トレースが設けられた表面の表面積)を有している。
[0017] 図2及び2Aを参照すると、導電体パターン20は、離間した第1(21)及び第2(22)の分枝状導電性金属トレースの複数の離間したペアを有しており、各ペアの第1(21)及び第2(22)の導電性金属トレースは、互いに対してそれらの離間間隔Dの少なくとも5倍の長さの重なり部分OLを有している。導電性金属トレースは長さL、幅、及び厚さを有している。導電体パターン20はオープンエリアの割合及びピッチPを有している。
[0018] 図3を参照すると、導電体パターン30は、離間した第1(31)及び第2(32)の分枝状導電性金属トレースの複数の離間したペアを有しており、各ペアの第1(31)及び第2(22)の導電性金属トレースは、互いに対してそれらの離間間隔の少なくとも5倍の長さの重なり部分を有している。導電性金属トレースは長さ、幅、及び厚さを有している。導電体パターン30はオープンエリアの割合を有している。
[0019] 図4を参照すると、導電体パターン40は、離間した第1(41)及び第2(42)の分枝状導電性金属トレースの複数の離間したペアを有しており、各ペアの第1(41)及び第2(42)の導電性金属トレースは、互いに対してそれらの離間間隔の少なくとも5倍の長さの重なり部分を有している。導電性金属トレースは長さ、幅、及び厚さを有している。導電体パターン40はオープンエリアの割合を有している。
[0020] 特定の実施形態では、第1及び第2の導電性金属トレースは直線状(例えば図1〜3を参照)であるか、非直線状(例えば図4を参照)であるか、又はその両方を含む。特定の実施形態では、第1及び第2の導電性金属トレースは分枝状(すなわち、21、22、31、32、41、42、例えば図2〜4を参照)であるか、非分枝状(すなわち、11、12、例えば図1を参照)であるか、又はその両方を含む。分枝状の導電性トレースは、少なくとも2つの直線状又は非直線状(例えばアーチ形)の長尺状導電体素子が収束する(接続する)少なくとも1つの頂点(本明細書ではノードとも称する)を有する導電性トレースである。頂点においては、各素子間の所定の角度が規定されうる。特定の分枝状導電性トレースは、1つの頂点で収束する3個の素子を有している。特定の分枝状導電性トレースは、1つの頂点で収束する4個の素子を有している。特定の分枝状導電性トレースは、1つの頂点で収束する4個よりも多い素子を有している。分枝状トレースの長さは、例えば図2AのLによって例示されるように、トレースの1つの長尺状導電体素子の端から、少なくとも1つの頂点を通り、トレースの別の長尺状導電体素子の端までで定義することができる最長の経路の長さである。特定の実施形態では、第1及び第2の導電性金属トレースの複数のペアは、繰り返しパターンを概ね形成する(すなわち、平行な線を概ね形成するか、正方形の格子又は歪んだ正方形の格子を概ね形成するか、六角形の網目を概ね形成する。例えば図1〜3を参照)。特定の実施形態では、第1及び第2の導電性金属トレースの複数のペアは、一連の線の繰り返しを概ね形成する(平行な線を概ね形成する。例えば図1を参照)。特定の実施形態では、第1及び第2の導電性金属トレースの複数のペアは、2次元的な網目を概ね形成する。「2次元的な網目を概ね形成している(又は形成する)」なる語句は、導電性金属トレースの所定の配置のことを指し、連続した経路の網目(オープンセル構造を有するメッシュの形)が、トレースのペアの導電性金属トレースを電気的に接続し、隣接するペアの隣接する導電性金属トレースを電気的に接続することにより得られ、隣接するペアの隣接する導電性金属トレースは本明細書で述べた関係の重なり部分と離間との関係を有している。特定の実施形態では、第1及び第2の導電性金属トレースの複数のペアは、格子を概ね構成する(すなわち正方形の格子又は歪んだ正方形の格子を概ね形成する。例えば図2を参照)。特定の実施形態では、第1及び第2の導電性金属トレースの複数のペアは、六角形の繰り返しパターンを概ね形成する(例えば図3を参照)。概ね正方形の格子、歪んだ正方形の格子、又は六角形の繰り返しパターンの形である第1及び第2の導電性金属トレースの複数のペアを含むこれらの実施形態は、概ね2次元的な網目の形の複数のペアの例である。特定の実施形態では、金属製の第1及び第2の導電性金属トレースは、概ね擬似ランダムな2次元的な網目の形である(すなわち、擬似ランダムな2次元的な網目を一般的に形成する。例えば図4を参照)。「擬似ランダムな」とは、並進対称性を欠くが、例えばランダム化アルゴリズムによるパターン幾何形状の生成を含むコンピュータによる設計プロセスなどの決定論的製作プロセス(例えばフォトリソグラフィー又は印刷)により得ることができる導電性トレースの配列のことを指す。特定の実施形態では、第1及び第2の導電性金属トレースの少なくとも一部は、好ましくは分枝状トレースについて互いに対して相補的なテーパー形状であり(例えば図5A参照)、各トレースは、分枝状トレースの頂点(又はノード)からの距離が大きくなるにしたがってより狭い幅にテーパー形状化することが好ましい。図5Aを参照すると、代表的な第1及び第2の導電性金属トレース51、52のペアは、互いに対してそれぞれ相補的なテーパー形状であり、ノードN5A1、N5A2を有している。
[0021] 図5Bを参照すると、ノードN5B1、N5B2、ピッチP5B、セグメント間の間隙(セグメントの長さSL5B)GS5B、及び重なり部分長さOL5Bを有するそれぞれセグメント51A、51B、51C、53A、53B、53Cとして代表的な第1及び第2の導電性金属トレースのペアが示されている。
[0022] 通常、少なくとも約1,000ペア(実施形態によっては、少なくとも10,000、100,000、1,000,000、又は更には少なくとも10,000,000ペア)の導電性金属トレースが設けられるが、これらの典型的な値の外側の値も有用である。
[0023] 通常、複数のペア内の隣接したペアの隣接した導電性金属トレースは、それらの離間間隔の少なくとも5倍(実施形態によっては、5〜1,000、10〜500、15〜250、又は更には50〜200倍の範囲)の互いに対する重なり部分の長さを有する。
[0024] 好ましくは、1cm当たりの導電性金属トレースは、少なくとも50個(実施形態によっては、少なくとも75個、100個、150個、200個、250個、500個、1,000個、5,000個、10,000個、25,000個、50,000個、75,000個、100,000個、又は更には少なくとも150,000個、実施形態によっては、100〜150,000個、500〜150,000個、1,000〜150,000個、5,000〜150,000個、10,000〜150,000個、又は更には25,000〜150,000個の範囲)である。特定の実施形態では、1cm当たりの導電性金属トレースは50個未満であり、例えば1cm当たりの導電性金属トレースは2〜50個、5〜50個、5〜40個、又は10〜30個の範囲である。
[0025] 通常、ペアの導電性金属トレースのすべては、それらの離間間隔の少なくとも5倍(実施形態によっては、5〜1,000倍、10〜500倍、15〜250倍、又は更には50〜200倍の範囲)の隣接するペアの導電性トレースに対する重なり部分の長さを有する。
[0026] 通常、導電性金属トレースの電気シート抵抗(すなわち、バルク電気抵抗を導電性金属トレースの厚さ(基板の平面に垂直なZ軸方向の寸法)で割ったもの)は、5Ω/□以下(実施形態によっては、2、1、0.5、0.4、0.3、0.2、0.1、0.05、0.025、0.01、0.05以下、又は更には0.01Ω/□以下(実施形態によっては、0.01Ω/□〜5Ω/□、0.05Ω/□〜2.5Ω/□、0.1Ω/□〜1Ω/□、又は更には0.2Ω/□〜0.5Ω/□の範囲)であるが、これらの典型的な値の外側の値も有用である。
[0027] 特定の実施形態では、導電性金属トレースは暗化される(すなわち、導電性トレースの可視光反射率が、金属と絶縁体、例えば空気との滑らかな界面を特徴付ける値よりも低い)。導電性金属トレースの暗化は、例えば、導電性金属トレースの表面の制御された反応(例えば銀トレースではスルフィド反応、銀又は銅トレースではプラズマ酸化反応)によって実現可能である。導電性金属トレースの暗化は、例えば、その開示内容を本明細書に参照によって援用する、2012年8月9日公開の国際公開第2012/106417号に述べられるように、適切にナノ構造化された基板表面上に導電性金属トレースを作製又は付着させることによって実現することもできる。例えばタッチスクリーンセンサ用の透明導電体の特定の用途では、透明導電体によって反射される入射光の割合が最小であることが望ましい。タッチスクリーンセンサの場合では、透明な導電体、例えば透明な導電体の少なくとも一部を構成する導電性金属トレースの低い反射率によって、特に例えば日光中など、強い周辺光条件下における下層の情報ディスプレイとタッチセンサとの視覚的干渉が最小に抑えられる。暗化されない導電性金属トレースの可視光反射率は80%よりも高くなりうる。暗化された導電性金属トレースの可視光反射率は、50%未満(実施形態によっては、40%、30%、25%、20%、15%、10%、5%、4%、3%、2%未満、又は更には1%未満)である。
[0028] 代表的な導電性金属トレースは、銀、金、パラジウム、アルミニウム、ニッケル、モリブデン、タングステン、クロム、銅、スズ、又はニッケルのうちの少なくとも1つを含む。
[0029] 通常、導電性金属トレースの幅は25μm以下である(実施形態によっては、15、10、5、4、3、2μm以下、又は更には1μm以下であり、実施形態によっては、0.1μm〜25μm、0.25μm〜10μm、0.5μm〜5μm、又は更には0.75μm〜25μmの範囲である)が、これらの典型的な値の外側の値も有用である。
[0030] 通常、導電性金属トレースの長さは、少なくとも5μmである(実施形態によっては、少なくとも10、25、50、75、100、250、500、1,000、5,000、10,000、25,000μm、又は更には少なくとも50,000μmであり、実施形態によっては、100μm〜500μmの範囲であり、実施形態によっては、10μm〜10mm、25μm〜1μm、又は更には50μm〜500μmの範囲である)が、これらの典型的な値の外側の値も有用である。
[0031] 通常、第1及び第2の導電性金属トレースの厚さは、10nm〜20μmの範囲である(実施形態によっては、20nm〜5μm、30nm〜1μm、40nm〜500nmの範囲、又は更には50nm〜400nmの範囲である)が、これらの典型的な値の外側の値も有用である。
[0032] 通常、少なくとも約1,000ペア(実施形態によっては、少なくとも5,000、10,000、25,000、50,000、75,000、100,000、500,000、1,000,000、5,000,000、又は更には少なくとも10,000,000ペア)の導電性金属トレースが設けられるが、これらの典型的な値の外側の値も有用である。
[0033] 通常、1つのペアの導電性金属トレースの重なり部分の長さは、少なくとも5μmである(実施形態によっては、少なくとも10、25、50、100、250、500、1,000、10,000、25,000μm、又は更には少なくとも50,000μmであり、実施形態によっては、5μm〜9mm、10μm〜1mm、25μm〜500μm、250μm〜500μm、又は更には30μm〜300μmの範囲である)が、これらの典型的な値の外側の値も有用である。
[0034] 通常、隣接するペアの隣接する導電性金属トレースの重なり部分の長さは、少なくとも5μmである(実施形態によっては、少なくとも10、25、50、100、250、500、1,000、10,000、25,000μm、又は更には少なくとも50,000μmであり、実施形態によっては、5μm〜9mm、10μm〜1mm、25μm〜500μm、250μm〜500μm、又は更には30μm〜300μmの範囲である)が、これらの典型的な値の外側の値も有用である。
[0035] 通常、1つのペアの各導電性金属トレースは、互いから最大で100μm離間する(実施形態によっては、最大で75、50、25、15、10、5、4、3、2、1、0.75、0.5μm、又は更には最大で0.25μm、実施形態によっては、0〜100μm、0.5μm〜50μm、0.5μm〜25μm、0.5μm〜15μm、0.5μm〜10μm、0.5μm〜5μm、0.75μm〜3μmの範囲、又は更には1μm〜2μmの範囲)が、これらの典型的な値の外側の値も有用である。
[0036] 通常、隣接するペアの隣接する導電性金属トレースは、互いから最大で100μm離間する(実施形態によっては、最大で75、50、25、15、10、5、4、3、2、1、0.75、0.5μm、又は更には最大で0.25μm、実施形態によっては、0〜100μm、0.5μm〜50μm、0.5μm〜25μm、0.5μm〜15μm、0.5μm〜10μm、0.5μm〜5μm、0.75μm〜3μmの範囲、又は更には1μm〜2μmの範囲)。
[0037] 図6を参照すると、第1(21)及び第2(22)の導電性金属トレースの複数のペアと接触するための導電層63が追加された本明細書に述べられる代表的な物品20が示されている。図6Aは、基板59、第1(21)及び第2(22)の導電性金属トレースの複数のペア、及び導電層63を有する、図6から得られる物品60の断面を示したものである。
[0038] 図7は、基板69、第1(71)及び第2(72)の導電性金属トレースの複数のペア、及び導電層73の配置に関して異なる構成を有する別の物品70の断面を示す。
[0039] 図8は、導電層(図8には示されていない)、例えば透明な導電性材料層が導電性金属トレース上に設けられた所定のパターンの第1(21)及び第2(22)の導電性金属トレースの複数のペア(例えば図1〜4のいずれかに示されるようなパターン)(図8には示されていない)を含む領域85と、導電性金属トレースを含むが導電層は含まない領域86とを有する代表的な物品80を示したものである。図8は、高性能タッチスクリーンセンサを製造するための便宜のよい一連の工程である、第1及び第2の導電性金属トレースの複数の離間したペアをパターン形成するための最適化された第1の処理工程に続いて、例えば透明な導電性材料層をプリントするなど、導電層をパターン形成するための最適化された第2の処理工程にしたがった一般化された物品である。
[0040] 図9は、離間した導電層領域95,96が導電性金属トレース(21,22)上に設けられた第1(91)及び第2(92)の導電性金属トレースの複数のペアのパターン88を備えた基板を有する代表的物品90を示したものである。
[0041] 特定の実施形態では、導電層は透明である(すなわち、透過する光の百分率が少なくとも50%(実施形態によっては、少なくとも75%、80%、85%、90%、又は更には少なくとも95%)である)。透明性が必要とされない特定の実施形態では、導電層は不透明である(すなわち、透過する光が百分率で5%未満(実施形態によっては、4%、3%、2%、1%、0.5%未満、又は更には0.1%未満)である)。
[0042] 導電層が透明である実施形態は、例えば、液晶ディスプレイ、光電池、タッチディスプレイセンサ、光検出器、エレクトロクロミックウィンドウ、無機エレクトロルミネッセントランプ、有機発光ダイオード(OLED)ランプ、及びディスプレイにおいて電極要素として有用である。改良された透明電極が必要とされる(すなわち不透明性が許容される)用途以外に、本明細書に開示される物品及び方法は、例えば、プリント回路基板(PCB)、プリント配線基板(PWB)、フレキシブルプリント回路(FPC)の製作において有利となりうる。透明性が必要とされない実施形態では、導電層は、銅、銀、アルミニウム、金、ニッケル、タングステン、又はモリブデンのうちの少なくとも1つを含む。
[0043] 代表的な導電層は、金属酸化物(例えば、酸化インジウムスズ)、導電性ポリマー(例えば、ポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン)−ポリ(スチレンスルホネート)、金属ナノワイヤ、カーボンナノチューブ、グラフェン、又は金属のうちの少なくとも1つを含む。
[0044] 通常、導電層の電気シート抵抗は、10,000Ω/□以下である(実施形態によっては、5,000、1,000、750、500、400、300、200、100、50、25Ω/□以下、又は10Ω/□以下、実施形態によっては、10Ω/□〜10,000Ω/□、100Ω/□〜10,000Ω/□、250Ω/□〜2,500Ω/□、又は更には、500Ω/□〜2,000Ω/□の範囲である)が、これらの典型的な値の外側の値も有用である。
[0045] 特定の実施形態では、導電層の厚さは、5nm〜10μmの範囲である(実施形態によっては、10nm〜1μmの範囲、20nm〜500nmの範囲、又は更には30nm〜250nmの範囲である)が、これらの典型的な値の外側の値も有用である。
[0046] 特定の実施形態では、導電層はパターン形成され、第1及び第2の離間した領域(及び必要に応じて(例えば第3の)離間した領域)を有し、必要に応じて更に前記第1の領域と電気的に接続された第1のアドレストレース、及び前記第2の領域と電気的に接続された第2のアドレストレース(及び更に必要に応じて、第3の領域が存在する場合には、第3の領域と電気的に接続された第3のアドレストレース)を有する。
[0047] 例えば、図10は、基板99上に導電性金属トレース(例えば、図1〜4のいずれかに示されるパターン)(図10には示されていない)を有する領域104、及び基板99上の導電性金属トレース上に導電層を有する領域105を有する代表的な物品100を示している。物品100は、104及び105に示されるような領域とアドレストレース(例えば107)を介して電気的に接続された接点パッド(例えば106)を更に有している。
[0048] 更に、例えば、図10Aは、基板99A上に導電性金属トレース(例えば、図1〜4のいずれかに示されるパターン)(図10Aには示されていない)を有する領域104A、及び基板99A上の導電性金属トレース上に導電層を有する領域105Aを有する代表的な物品100Aを示している。物品100Aは、104A及び105Aに示されるような領域とアドレストレース(例えば107A)を介して電気的に接続された接点パッド(例えば106A)を更に有している。
[0049] 特定の実施形態では、本明細書に述べられる物品はロールの形である。このため、基板は、芯に巻きつけられるように充分に薄いシートの形である。ポリマー又はガラス基板は、充分に薄くすることができる。このような基板は、供給ロール及び芯から処理装置を介して巻き取りロール及び芯へと移送されうる。このようにして基板を処理することを本明細書ではロール・ツー・ロールと呼ぶ。本明細書に述べられる方法及び物品に基づく、ロール・ツー・ロール処理に適した基板の厚さは、通常、5μm〜500μmである(実施形態によっては、10μm〜250μm、又は更には25μm〜125μmの範囲である)。本明細書における代表的なロール・ツー・ロール処理方法としては、基板上への導電層のコーティング、導電性金属トレースの直接印刷、パターン形成された導電層の直接印刷、エッチングが挙げられる。
[0050] 実施形態によっては、更にライナーを含む。ライナーは、本明細書に述べられる基板の一方又は両方の面に貼着することが可能な、弱く(剥離可能に)接着(例えば静電吸着により実現される)されたポリマーフィルムである。ライナーは、特に例えば上記に述べたロール・ツー・ロール処理のような処理工程の間に導電性金属導電体トレース又は導電層を保護する機能を果たすことができる。
[0051] マイクロコンタクトプリンティング(薄膜金属上へのSAMプリンティング後に化学エッチングを行う)、フォトリソグラフィ(金属層上にフォトレジストでパターン露光した後、化学エッチングを行う)、直接的印刷(例えば、グラビア印刷、フレキソ印刷、スクリーン印刷、オフセット印刷、及びインクジェット印刷)などの、導電性金属トレースを提供するための技術は、当該技術分野では周知のものである。
[0052] 導電性金属トレースを提供するための技術は当該技術分野では周知のものであり、例えば米国特許第8,179,381号(フレイ(Frey)ら)に述べられるような、基板の溝の中に嵌め込まれた導電性金属トレースを得る技術がある。こうした技術は、微細複製、エンボス加工、又はナノインプリントリソグラフィを、その上に行われるエッチング、金属の物理蒸着、及び金属のめっきと組み合わせることによって構造化基板を形成することを含みうる。
[0053] エッチングされることで導電性金属トレースを与える金属層は、例えば物理蒸着(例えばスパッタリング、蒸発)、無電解めっき、又は電解めっきによって付着させることができる。特定の金属を選択するための基準には、得られる導電性金属トレースの所望の電気シート抵抗が含まれる。特定の実施形態では、導電性金属トレースの反射率を低減させることが望ましい場合もある。導電性金属トレースの反射率を低減させるための技術は、上記に暗化として述べたように当該技術分野では周知のものである。
[0054] 代表的な導電層には、導電性酸化物(例えば、酸化インジウムスズ、酸化インジウム亜鉛、フッ素化酸化スズ)、カーボンナノチューブコーティング、金属ナノワイヤコーティング(例えば銀、銅、及びニッケル)、グラフェン、及び導電性ポリマー(例えば、PEDOT−PSS)が含まれる。ロールコーティング、スロットダイコーティング、スパッタリング、蒸発、フレキソ印刷、スクリーン印刷、グラビア印刷、オフセット印刷、及びインクジェット印刷などの導電層を提供するための技術は当該技術分野では周知のものであり、層を構成する特定の材料に適用可能である。導電層の特定の材料を選択するための基準には、得られる導電層の所望の電気シート抵抗が含まれる。
[0055] 接点パッド及び接点パッドとの電気的接続(アドレストレース)を作製するための代表的な材料としては、有機バインダ(印刷インク)中に分散された金属粒子が挙げられる。こうした材料の例としては、エポキシポリマー中に分散された銀粒子が挙げられる。他の有用な導電性材料としては、ナノ粒子含有又はナノ粒子誘導材料(例えば印刷インク)が挙げられる。後者の材料の例としては、銀粒子含有インクが挙げられる。接点パッド及び接点パッドとの電気的接続(アドレストレース)の他の有用な導電性材料としては、パターン形成された(例えばフォトリソグラフィ及びエッチングにより)薄膜金属(例えばスパッタリングされたもの)が挙げられる。アドレストレースのパターン形成に印刷が用いられる場合、有用な印刷方法としては、フレキソ印刷、グラビア印刷、スクリーン印刷、及びインクジェット印刷が挙げられる。
[0056] 本明細書に述べられる物品の異なる要素の幾何形状は、特定の用途における必要に応じて改変することができる。例えば、図10、10A及び12では、導電層の各領域は、ほぼ直交する直線状のアレイとして配列された直線の形態として示されているが、これらの領域は、繰り返しのアレイを形成しないように湾曲したものが配置されてもよい。
[0057] 図11及び12は、タッチスクリーン用途における本明細書に述べられる物品の代表的な使用を示している。タッチスクリーン要素アセンブリ110は、本明細書に述べられる代表的な物品100,100A、光学的に透明な接着剤111,113、及びカバーレンズ115で構成されている。光学的に透明な接着剤はセンサ層を固定する機能を有し、これにより、センサ層の均一な外観、高い光透過率(空気と材料との接触を防止することにより)、及び安定した位置(正確なタッチ位置検出に求められる始点として、一貫した静電気状態を与える)を保証する。
[0058] 本明細書に述べられる物品の少なくとも一部の実施形態に見られる利点の1つとして、比較的電気シート抵抗が高い材料によって比較的電気シート抵抗が低いパターンが得られることがあり、比較的電気シート抵抗が高い材料は、基板の光学特性に対する影響が一般的に小さいために、導電性金属トレースのパターンの視認性が比較的低くなりうる。例えば、ポリ(エチレンテレフタレート)上の「CLEVIOS」(ポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン)−ポリ(スチレンスルホネート)、PEDOT−PSSとしても知られる)の商品名で販売される従来の導電性ポリマーは、350Ω/□で91.7%の光透過率を示す(PETベースフィルム自体と同等のレベル)ことが報告されている(ロン・ルビアネッツ氏(Ron Lubianez)、ヘレウス社(Heraeus KG)導電性ポリマー部門(Clevios)、レバークーゼン、ドイツ)(2012年FLEXフレキシブル電子部品及びディスプレイ学会及び展示会(2012FLEX Flexible Electronics and Displays Conference and Exhibition)、2012年2月6〜9日、アリゾナ州フェニックスにて開催)の代表者)。本明細書に述べられる物品の代表的な実施形態は、350Ω/□の導電体の視認性特性を有するが、電気シート抵抗が100Ω/□よりも低いものとして作製することができる。
[0059] 本明細書に述べられる方法及び/又は物品は、例えばマイクロコンタクトプリンティングで作製されたタッチセンサと比較した場合に、金型のコストが比較的低いこと、特定の設計の金型を得るための取得時間が短いこと、及び、透明な導電体パターンに対する低い視認性で電気シート抵抗が比較的低いことなどの利点を有するものである。一般的に、従来のプリントされた導電性ポリマー、カーボンナノチューブ、及びナノワイヤタッチセンサの特性と同等の、本明細書に述べられる方法及び/又は物品の選択された所望の特性としては、金型のコストが比較的低いこと、特定の設計の金型を得るための取得時間が短いこと、及び、透明な導電性トレースパターンに対する低い視認性で電気シート抵抗が低いことが挙げられる。
[0060] 本明細書に述べられる物品の実施形態は、例えば、ディスプレイ、タッチセンサ、照明素子(例えば発光ダイオード(例えば有機発光ダイオード))、光電池、エレクトロクロミックウィンドウ及びディスプレイ、並びにエレクトロルミネッセントランプ及びディスプレイにおいて有用である。
[0061] 代表的な実施形態
1.
第1の主面を有する基板と、前記基板の前記第1の主面上の導電体パターンと、を有する物品であって、
前記導電体パターンが、離間した第1及び第2の導電性金属トレースの複数の離間したペアを含み、
複数の前記ペアの各ペアの前記第1及び第2の導電性金属トレースが、互いに対してそれらの離間間隔の少なくとも5倍(実施形態によっては、少なくとも10倍、25倍、50倍、又は100倍、実施形態によっては、5〜1,000倍、10〜500倍、15〜250倍、又は更には50〜200倍の範囲)の重なり部分の長さを有し、かつ1cm当たりの導電性金属トレースが、少なくとも50個(実施形態によっては、少なくとも75個、100個、150個、200個、250個、500個、1,000個、5,000個、10,000個、25,000個、50,000個、75,000個、100,000個、又は更には少なくとも150,000個、実施形態によっては、100〜150,000個、500〜150,000個、1,000〜150,000個、5,000〜150,000個、10,000〜150,000個、又は更には25,000〜150,000個の範囲)である、物品。
2.複数の前記ペアのうちの隣接したペアの隣接した導電性金属トレースが、互いに対して、それらの離間間隔の少なくとも5倍(実施形態によっては、5〜1,000倍、10〜500倍、15〜250倍、又は更には50〜200倍の範囲)の重なり部分の長さを有する、代表的実施形態1に記載の物品。
3.前記導電体パターンのオープンエリアの割合が、80%、90%、95%、96%、97%、98%、99%、又は更には99.5%よりも大きく、実施形態によっては、80〜99.75%、90〜99.75%、90〜99.5%、95〜99.75%、又は更には95〜99.5%の範囲である、代表的実施形態1に記載の物品。
4.1つのペアの各導電性金属トレースが、互いから最大で100μm離間している(実施形態によっては、最大で75μm、50μm、25μm、15μm、10μm、5μm、4μm、3μm、2μm、1μm、0.75μm、0.5μm、又は更には最大で0.25μm、実施形態によっては、0μm〜100μm、0.5μm〜50μm、0.5μm〜25μm、0.5μm〜15μm、0.5μm〜10μm、0.5μm〜5μm、0.75μm〜3μmの範囲、又は更には1μm〜2μmの範囲である)、上記代表的実施形態1〜3のいずれか一項に記載の物品。
5.前記導電性金属トレースの幅が25μm以下である(実施形態によっては、15μm、10μm、5μm、4μm、4μm、2μm以下、又は更には1μm以下であり、実施形態によっては、0.1μm〜25μm、0.25μm〜10μm、0.5μm〜5μm、又は更には0.75μm〜25μmの範囲である)、上記代表的実施形態1〜4のいずれか一項に記載の物品。
6.少なくとも約1,000ペア(実施形態によっては、少なくとも5,000ペア、10,000ペア、25,000ペア、50,000ペア、75,000ペア、100,000ペア、500,000ペア、1,000,000ペア、5,000,000ペア、又は更には少なくとも10,000,000ペア)の導電性金属トレースがある、上記代表的実施形態1〜5のいずれか一項に記載の物品。
7.前記導電性金属トレースの長さが、少なくとも5μmである(実施形態によっては、少なくとも10μm、25μm、50μm、75μm、100μm、250μm、500μm、1,000μm、5,000μm、10,000μm、25,000μm、又は更には少なくとも50,000μmであり、実施形態によっては、100μm〜500μmの範囲である)、上記代表的実施形態1〜6のいずれか一項に記載の物品。
8.1つのペアの前記導電性金属トレースの重なり部分の長さが、少なくとも5μmである(実施形態によっては、少なくとも10μm、25μm、50μm、100μm、250μm、500μm、1,000μm、10,000μm、25,000μm、50,000μmであり、実施形態によっては、5μm〜9mm、10μm〜1mm、250μm〜500μm、25μm〜500μm、又は更には30μm〜300μmの範囲である)、上記代表的実施形態1〜7のいずれか一項に記載の物品。
9.前記導電性金属トレースの電気シート抵抗が、5Ω/□以下(実施形態によっては、2Ω/□、1Ω/□、0.5Ω/□、0.4Ω/□、0.3Ω/□、0.2Ω/□、0.1Ω/□、0.05Ω/□、0.025Ω/□、0.01Ω/□、0.05Ω/□以下、又は更には0.01Ω/□以下)である、上記代表的実施形態1〜8のいずれか一項に記載の物品。
10.前記導電性金属トレースが暗化される、上記代表的実施形態1〜9のいずれか一項に記載の物品。
11.前記導電性金属トレースが、銀、金、パラジウム、アルミニウム、ニッケル、モリブデン、タングステン、クロム、銅、スズ、又はニッケルのうちの少なくとも1つを含む、上記代表的実施形態1〜10のいずれか一項に記載の物品。
12.前記基板が透明である、上記代表的実施形態1〜11のいずれか一項に記載の物品。
13.前記基板がガラスである、上記代表的実施形態1〜12のいずれか一項に記載の物品。
14.前記基板がポリマーフィルムである、上記代表的実施形態1〜13のいずれか一項に記載の物品。
15.前記ポリマーフィルムが、ポリ(エチレンテレフタレート)、環状オレフィンポリマー、ポリ(エチレンナフタレート)、ポリカーボネート、三酢酸セルロース、及び環状ポリオレフィンコポリマーからなる群から選択される、代表的実施形態14に記載の物品。
16.前記第1及び第2の導電性金属トレースが直線状である、上記代表的実施形態1〜15のいずれか一項に記載の物品。
17.前記第1及び第2の導電性金属トレースが非直線状である、代表的実施形態1〜16のいずれか一項に記載の物品。
18.前記第1及び第2の導電性金属トレースが分枝状である、上記代表的実施形態1〜17のいずれか一項に記載の物品。
19.前記第1及び第2の導電性金属トレースが非分枝状である、代表的実施形態1〜18のいずれか一項に記載の物品。
20.複数の前記ペアの第1及び第2の導電性金属トレースが、繰り返しパターンを概ね形成する、上記代表的実施形態1〜19のいずれか一項に記載の物品。
21.複数の前記ペアの第1及び第2の導電性金属トレースが、反復する一連の線を概ね形成する、上記代表的実施形態1〜20のいずれか一項に記載の物品。
22.複数の前記ペアの第1及び第2の導電性金属トレースが、格子を概ね形成する、代表的実施形態1〜21のいずれか一項に記載の物品。
23.複数の前記ペアの第1及び第2の導電性金属トレースが、六角形の繰り返しパターンを概ね形成する、代表的実施形態1〜22のいずれか一項に記載の物品。
24.複数の前記ペアの第1及び第2の導電性金属トレースが、擬似ランダムな2次元の網目を概ね形成する、代表的実施形態1〜23のいずれか一項に記載の物品。
25.前記第1及び第2の導電性金属トレースの厚さが、10nm〜20μmの範囲である(実施形態によっては、20nm〜5μm、30nm〜1μm、40nm〜500nm、又は更には50nm〜400nmの範囲である)、上記代表的実施形態1〜24のいずれか一項に記載の物品。
26.前記第1及び第2の導電性金属トレースのペアの少なくとも一部分が、互いに対して相補的なテーパー形状である、上記代表的実施形態1〜25のいずれか一項に記載の物品。
27.概ね相対する第1及び第2の主面を有する導電層を更に有し、前記導電層の一方の主面が、複数の前記ペアの第1及び第2の導電性金属トレースの少なくとも一部分(実施形態によっては、前記基板の前記第1の主面とほぼ平行な複数の前記ペアの第1及び第2の導電性金属トレースの少なくとも1%、2%、3%、4%、5%、10%、15%、20%、25%、30%、35%、40%、45%、50%、55%、60%、65%、70%、75%、80%、85%、90%、95%、99%、又は更には100%)と接触している、上記代表的実施形態1〜26のいずれか一項に記載の物品。
28.前記導電層が、前記基板と、複数の前記ペアの第1及び第2の導電性金属トレースとの間に配置される、代表的実施形態27に記載の物品。
29.複数の前記ペアの第1及び第2の導電性金属トレースが、前記基板と、前記導電層との間に配置される、代表的実施形態27に記載の物品。
30.前記導電層が透明である、代表的実施形態27〜29のいずれか一項に記載の物品。
31.前記導電層が、金属酸化物(例えば、酸化インジウムスズ)、導電性ポリマー(例えば、ポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン)−ポリ(スチレンスルホネート)、金属ナノワイヤ、カーボンナノチューブ、グラフェン、又は金属のうちの少なくとも1つを含む、代表的実施形態30に記載の物品。
32.前記導電層の電気シート抵抗が、10,000Ω/□以下(実施形態によっては、5,000Ω/□、1,000Ω/□、750Ω/□、500Ω/□、400Ω/□、300Ω/□、200Ω/□、100Ω/□、50Ω/□、25Ω/□以下、又は更には10Ω/□以下)である、代表的実施形態27〜31のいずれか一項に記載の物品。
33.前記導電層の厚さが、5nm〜10μmの範囲である(実施形態によっては、10nm〜1μmの範囲、20nm〜500nmの範囲、又は30nm〜250nmの範囲である)、代表的実施形態27〜32のいずれか一項に記載の物品。
34.前記導電層がパターン形成され、かつ第1及び第2の離間した領域を有する、代表的実施形態27〜33のいずれか一項に記載の物品。
35.前記第1及び第2の領域から離間した第3の領域を更に有する、代表的実施形態34に記載の物品。
36.前記第1の領域と電気的に接続された第1のアドレストレース及び前記第2の領域と電気的に接続された第2のアドレストレースを更に有する、代表的実施形態35に記載の物品。
37.前記第3の領域と電気的に接続された第3のアドレストレースを更に有する、代表的実施形態36に記載の物品。
38.前記第1の領域と電気的に接続された第1のアドレストレース及び前記第2の領域と電気的に接続された第2のアドレストレースを更に有する、代表的実施形態34に記載の物品。
39.上記代表的実施形態1〜38のいずれか一項に記載の物品を有するディスプレイ。
40.代表的実施形態1〜38のいずれか一項に記載の物品を有するタッチセンサ。
41.代表的実施形態1〜38のいずれか一項に記載の物品を有する照明素子。
42.前記照明素子が発光ダイオードを含む、代表的実施形態41に記載の照明素子。
43.前記照明素子が有機発光ダイオードを含む、代表的実施形態41又は42に記載の照明素子。
44.前記導電層が不透明である、代表的実施形態27〜29のいずれか一項に記載の物品。
45.前記導電層が、銅、銀、アルミニウム、金、ニッケル、タングステン、又はモリブデンのうちの少なくとも1つを含む、代表的実施形態44に記載の物品。
46.ロールの形態である、代表的実施形態1〜38、44、又は45のいずれか一項に記載の物品。
47.剥離可能なライナーを更に含む、代表的実施形態1〜38、又は44〜46のいずれか一項に記載の物品。
48.代表的実施形態1〜26のいずれか一項に記載の物品を製造する方法であって、
第1の主面を有する基板を提供することと、
前記基板の前記第1の主面上に、離間した第1及び第2の導電性金属トレースの複数の離間したペアを配置することによって物品を提供することと、を含む、方法。
49.前記離間した第1及び第2の導電性金属トレースの複数の離間したペアを配置することが、直接印刷することによる、代表的実施形態48に記載の方法。
50.前記複数の第1及び第2の導電性金属トレース上に導電層を付着させることを更に含む、代表的実施形態48又は49に記載の方法。
51.前記導電層が透明である、代表的実施形態50に記載の方法。
52.前記導電層を付着させることが、直接印刷することによる、代表的実施形態50又は51に記載の方法。
53.前記物品がロールの形態である、代表的実施形態48〜52のいずれか一項に記載の方法。
54.代表的実施形態1〜26のいずれか一項に記載の物品を製造する方法であって、
第1の主面を有する基板を提供することと、
前記基板の前記第1の主面上に金属層を提供することと、
前記金属層をエッチングすることによって、前記基板の前記第1の主面上に、離間した第1及び第2の導電性金属トレースの複数の離間したペアを与え、それによって物品を提供することと、を含む、方法。
55.前記複数の第1及び第2の導電性金属トレース上に導電層を付着させることを更に含む、代表的実施形態54に記載の方法。
56.前記導電層を付着させることが、直接印刷することによる、代表的実施形態55に記載の方法。
57.前記導電層が透明である、代表的実施形態54又は55に記載の方法。
58.前記物品がロールの形態である、代表的実施形態54〜57のいずれか一項に記載の方法。
59.代表的実施形態28に記載の物品を製造する方法であって、
第1の主面を有する基板を提供することと、
前記第1の主面上に第1の導電層を付着させることと、
前記導電層上に、離間した第1及び第2の導電性金属トレースの複数の離間したペアを配置することによって物品を提供することと、を含む、方法。
60.前記第1の導電層が透明である、代表的実施形態59に記載の方法。
61.前記第1の導電層を付着させることが、直接印刷することによる、代表的実施形態59又は60に記載の方法。
62.前記複数の第1及び第2の導電性金属トレース上に第2の導電層を付着させることを更に含む、代表的実施形態59〜61のいずれか一項に記載の方法。
63.前記第2の導電層を付着させることが、直接印刷することによる、代表的実施形態62に記載の方法。
64.前記第2の導電層が透明である、代表的実施形態62又は63に記載の方法。
65.前記物品がロールの形態である、代表的実施形態59〜63のいずれか一項に記載の方法。
66.代表的実施形態28に記載の物品を製造する方法であって、
第1の主面を有する基板を提供することと、
前記第1の主面上に第1の導電層を付着させることと、
前記導電層上に金属層を付着させることにより物品を提供することと、
前記金属層をエッチングすることによって、前記基板の前記第1の主面上に、離間した第1及び第2の導電性金属トレースの複数の離間したペアを提供し、それによって物品を提供することと、を含む、方法。
67.前記導電層が透明である、代表的実施形態66に記載の方法。
68.前記導電層を付着させることが、直接印刷することによる、代表的実施形態66又は67に記載の方法。
69.前記金属層を付着させることが、直接印刷することによる、代表的実施形態66〜68のいずれか一項に記載の方法。
70.前記物品がロールの形態である、代表的実施形態66〜69のいずれか一項に記載の方法。
[0062] 本発明の利点及び実施形態を、以下の実施例により更に例示するが、これらの実施例に記載される特定の材料及びその量、並びに他の条件及び詳細は、本発明を不当に限定するものとして解釈されるべきではない。すべての部及び百分率(%)は、特に断らないかぎりは重量基準である。
[0063] 以下に述べる実施例はすべて、一次導電体トレースの異なる幾何形状について予想される電気的特性の理論的計算に基づいたものである。ハイブリッド透明導電体の電気シート抵抗(例えば、図2、2A、6、及び6Aに基づく第1の領域について)を、ハイブリッド導電体の単位セルを2次元で再現することによって生成することができる、その単位セルを挟んだ電気抵抗をシミュレートすることによって推定した。ハイブリッド導電体とは、一次導電体(離間した第1及び第2の導電性金属トレースの複数の離間したペア)と、二次導電体(導電層)との組み合わせのことを指す。この分析では、以下の2つの工程を行った。すなわち、(1)一次導電体(金属トレース)と、近接した間隔の、平行な一次導電性トレースの間に位置する二次導電体(例えば透明な導電体)(図2Aを参照)との組み合わせについて第1の電気シート抵抗を測定し、更に、(2)工程1の出力から開始し、「工程1のシート導電体」が、近接した間隔の、平行な一次導電性トレースの間の位置の外側に位置する二次導電体の残りの部分と並列で存在するものとみなすことによって「全体の」電気シート抵抗を計算した(1/RS−全体=1/RS−工程1+1/RS−二次)。簡略化のため、この分析では、図2に示されるような一次導電性分枝状トレースの概ね正方形の格子配置を検討した。この場合、各ノード(又は各頂点)間の電気抵抗を、工程1のシート導電体(近接した間隔の、平行な一次導電性トレースと、近接した間隔の導電性トレースの間に位置する二次導電体の部分との組み合わせ)の電気シート抵抗とみなすことができる。
[0064] シミュレーションの結果における高い信頼性を確立するため、上記の第1の工程を2つの異なる方法によって行った。第1の方法では(リニア・テクノロジー社(Linear Technology Corporation)(カリフォルニア州ミルピタス)より「LTSPICE IV」の商品名で入手されるソフトウェアを使用し)、Simulation Program with Integrated Circuit Emphasis(SPICE)を使用して、各実施例の設計に基づいて透明な導電性材料のシート抵抗を計算した。SPICEソフトウェアへの入力は、マスワークス社(MathWorks, Inc.)(マサチューセッツ州ナティック)より「MATLAB」の商品名で入手されるソフトウェアを使用し、各材料設計を抵抗性素子の等価回路により表して生成した。MATLABプログラムへの入力には、セルサイズ、重なり部分の長さ、トレース幅、トレース間隔、導電体の電気抵抗、及び透明な導電体の抵抗を含めた。出力は、構造を電気的に表したテキストベースのSPICEファイルである。電気的要素の粒状性(granularity)は、1μmのメッシュで電気的に分解した。得られた電気回路を、理論的DC(直流)供給電流を使用してSPICEソフトウェアで動作させた。SPICEソフトウェアシミュレーションから得られる理論上の電流を用いて構造のΩ/□を求めた。第2の方法(本明細書では「有限要素解析」と称する)では、有限要素モデリングソフトウェア(AC/DCモジュールを有し、コムソル社(COMSOL, Inc.)(マサチューセッツ州バーリントン)より「COMSOL MULTIPHYSICS」の商品名で入手されるもの)を使用した。「COMSOL MULTIPHYSICS」ソフトウェアを使用し、金属トレース(上記の図において水平方向で一般的に示されている一次導電体)、及び、導電性金属トレースの間の透明な(二次)導電体を含む理論的モデルを生成した。2つの材料の幾何形状及び電気シート抵抗を所与として、理論上の電位差を2つの一次導電体の端部の間に(すなわち、上記の図2A、5A、5BにおけるノードN、N、N5A1、N5A2、N5B1、N5B2)印加して、電流密度を計算した。電流密度の積分(すなわち電流)を印加した電圧で割ることによって、各実施例の場合について有効電気シート抵抗を得た(RS−工程1)。本明細書に示される理論解析結果では、近接した間隔の、平行な一次導電性トレースの外側の二次導電体は、モデルには含まれていないが、代わりにその効果を上記に示したように計算して(RS−全体)を得た。しかしながら、2つの例において、この二次的導電体は「COMSOL」ソフトウェアを用いたシミュレーションに含まれており、単純な並列電気抵抗の式がよい近似であることの理論的確認を与えるものである。理論によって束縛されることを望むものではないが、これらの結果におけるわずかな差は、一次導電性トレースの先端における更なるフリンジング電流(fringing current)によるものと考えられる。
計算実施例1〜7
[0065] ハイブリッド透明導電体について、理論上の有効電気シート抵抗(有効Rs)を計算した。これらの理論的実施例のハイブリッド透明導電体は、図6及び6Aで述べた物品で存在する導電体とみなすことができる。図2、2A、6及び6Aに示される分枝状導電性トレースのほぼ正方形の配列を、上記で述べたようにしてこれらの計算に用いた。隣接した導電性トレースの平行なセグメント間の間隔を、0.1〜10μmの間で変化させた。導電体設計の他のパラメータを下記表1に計算結果とともに示す。
Figure 0006289494
[0066] 一次導電体の理論上の電気シート抵抗(0.4Ω/□)は、スパッタリングした銀の約105nmの物理的厚さ(有効バルク電気抵抗=4.25Ω・cmにおける)と一致していた。二次導電体としては、特定の電気シート抵抗を有する任意の透明な導電体を用いることができる(例えば、ITO、カーボンナノチューブコーティング、金属(例えば銀)ナノワイヤコーティング、導電性ポリマー(例えばPEDOT−PSS)又はグラフェン)。上記に述べた導電体を、例えばPETフィルム(例えばデュポン・テイジン・フィルムズ社(Dupont Teijin Films)(バージニア州チェスター)より「ST580」の商品名で販売されるもの)の主面上に付着させることができる。更に、こうしたフィルムは、例えば、図10〜12に示されるようなパターン形成されたタッチセンサ素子の形をとり得る。
[0067] 図10〜12に示されるような設計を有するタッチセンサに関し、非導電性領域内の近接した間隔の導電性トレースセグメント間で生じうるカップリングのため、隣接した透明導電性バー間の容量性カップリングに関する問題が生じうる。隣接する導電性間の容量性カップリング(クロストーク)は、タッチスクリーンの機能に悪影響を及ぼしうる。この容量性カップリングを調べるため、SPICEソフトウェアを使用して更なるシミュレーションを行ったが、今回は、導電性の平行なセグメント間の静電容量を用いるように改変した。共面ストリップライン(CPS)の式をMATLABソフトウェア内で用いて構造の理論上の静電容量を求め、これをSPICEソフトウェアモデルにおいて、トレースペアに沿って順に分配した。1AのAC供給電流を使用して回路をシミュレーションした。1Aでの駆動により、得られた電圧を、得られるインピーダンス(数値)とみなすことができる。100kHz〜1MHzまで理論的AC解析を行って、得られるインピーダンスを示した。静電容量が最終的なインピーダンスの大部分を与えたため、SPICEソフトウェアを使用して静電容量を分配する代わりに1つの要素としてみなすことにした。最後に、本明細書で報告された構造の理論上のクロストークを、市販のITO系投影型静電容量方式タッチセンサのクロストークと比較することによって、こうしたクロストークが投影型静電容量方式タッチセンサにおいて新規な構造の機能性を損なう確率を推定した。この比較から得られた理論解析結果は、現行のアプローチを用いたセンサ設計の容量カップリングを示している。表2(下記)に報告されているように、本明細書に報告される新規な設計アプローチは、既存の設計と同様のクロストークを示している。
Figure 0006289494
計算実施例8〜12
[0068] 本明細書に述べられる代表的なハイブリッド透明導電体について理論上の有効電気シート抵抗(有効Rs)を計算した。これらの理論的実施例のハイブリッド透明導電体は、図6及び6Aで述べた物品において示される導電体とみなすことができる。図2、2A、6及び6Aに示される分枝状導電性トレースのほぼ正方形の配列を、上記で述べたようにしてこれらの計算に用いた。点間の離間距離、すなわちピッチ(本明細書ではセルサイズとも呼ぶ)及び導電性トレースの幅を変化させた。導電体設計の他のパラメータを表3(下記)に計算結果とともに示す。
Figure 0006289494
[0069] 一次導電体の電気シート抵抗(0.4Ω/□)は、スパッタリングした銀の約105nmの物理的厚さ(有効バルク電気抵抗=4.25Ω・cmにおける)と一致している。二次導電体としては、特定の電気シート抵抗を有する任意の透明な導電体を用いることができる(例えば、ITO、カーボンナノチューブコーティング、金属(例えば銀)ナノワイヤコーティング、導電性ポリマー(例えばPEDOT−PSS)、グラフェン)。上記に述べた導電体を、PETフィルム(例えばST580)の主面上に付着させることができる。更に、こうしたフィルムは、図10〜12に示されるようなパターン形成されたタッチセンサ素子の形をとり得る。
計算実施例13〜16
[0070] 本明細書に述べられる代表的な実施形態のハイブリッド透明導電体について理論上の有効電気シート抵抗(有効Rs)を計算した。これらの理論的実施例のハイブリッド透明導電体は、図6及び6Aで述べた物品で存在する導電体とみなすことができる。図2、2A、6及び6Aに示される分枝状導電性トレースのほぼ正方形の配列を、上記で述べたようにしてこれらの計算に用いた。二次(透明)導電体の電気シート抵抗を変化させた。導電体設計の他のパラメータを表4(下記)に計算結果とともに示す。
Figure 0006289494
[0071] 一次導電体の電気シート抵抗(0.4Ω/□)は、スパッタリングした銀の約105nmの物理的厚さ(有効バルク電気抵抗=4.25Ω・cmにおける)と一致している。二次導電体としては、特定の電気シート抵抗を有する任意の透明な導電体を用いることができる(例えば、ITO、カーボンナノチューブコーティング、金属(例えば銀)ナノワイヤコーティング、導電性ポリマー(例えばPEDOT−PSS)、グラフェン)。上記に述べた導電体を、PETフィルム(例えばST580)の主面上に付着させることができる。更に、こうしたフィルムは、図10〜12に示されるようなパターン形成されたタッチセンサ素子の形をとり得る。
計算実施例17〜20
[0072] 本明細書に述べられる代表的な実施形態のハイブリッド透明導電体について理論上の有効電気シート抵抗(有効Rs)を計算した。これらの理論的実施例のハイブリッド透明導電体は、図6及び6Aで述べた物品で存在する導電体とみなすことができる。図2、2A、6及び6Aに示される分枝状導電性トレースのほぼ正方形の配列を、上記で述べたようにしてこれらの計算に用いた。一次(金属トレース)導電体の電気シート抵抗を0.5Ω/□〜0.1Ω/□まで変化させた。この電気シート抵抗の範囲は、それぞれ、85nm(有効バルク電気抵抗=4.25Ω・cmにおける)〜360nm(有効バルク電気抵抗=3.6Ω・cmにおける)のスパッタリングした銀の物理的厚さの範囲と一致している。導電体設計の他のパラメータを表5(下記)に計算結果とともに示す。
Figure 0006289494
[0073] 二次導電体としては、特定の電気シート抵抗を有する任意の透明な導電体を用いることができる(例えば、ITO、カーボンナノチューブコーティング、金属(例えば銀)ナノワイヤコーティング、導電性ポリマー(例えばPEDOT−PSS)、グラフェン)。上記に述べた導電体を、PETフィルム(例えばST580)の主面上に付着させることができる。更に、こうしたフィルムは、図10〜12に示されるようなパターン形成されたタッチセンサ素子の形をとり得る。
計算実施例21〜26
[0074] 本明細書に述べられる代表的な実施形態のハイブリッド透明導電体について理論上の有効電気シート抵抗(有効Rs)を計算した。これらの理論的実施例のハイブリッド透明導電体は、図6及び6Aで述べた物品で存在する導電体とみなすことができる。図2、5A、6及び6Aに示される分枝状導電性トレースのほぼ正方形の配列を、上記で述べたようにしてこれらの計算に用いた。導電性トレースは、表6(下記)に示されるようなテーパー形状の幅を有していた。
Figure 0006289494
[0075] 導電性トレース幅のテーパー形状の設計は、本明細書において導電性トレースの楔形の設計としても述べられている。表6(上記)の一次導電性トレース幅の表記は、図5Aにおいて頂点から遠ざかる方向に延びる、導電性トレースの頂点から端部までの導電性トレース幅の変化を示している。一次導電体の電気シート抵抗(0.4Ω/□)は、スパッタリングした銀の約105nmの物理的厚さ(有効バルク電気抵抗=4.25Ω・cmにおける)と一致している。導電体設計の他のパラメータを表6(上記)に計算結果とともに示す。二次導電体としては、特定の電気シート抵抗を有する任意の透明な導電体を用いることができる(例えば、ITO、カーボンナノチューブコーティング、金属(例えば銀)ナノワイヤコーティング、導電性ポリマー(例えばPEDOT−PSS)、グラフェン)。上記に述べた導電体を、PETフィルム(例えばST580)の主面上に付着させることができる。更に、こうしたフィルムは、図10〜12に示されるようなパターン形成されたタッチセンサ素子の形をとり得る。
計算実施例27〜32
[0076] 本明細書に述べられる代表的な実施形態のハイブリッド透明導電体について理論上の有効電気シート抵抗(有効Rs)を計算した。これらの理論的実施例のハイブリッド透明導電体は、図6及び6Aで述べた物品で存在する導電体とみなすことができる。図2、5B、6及び6Aに示される分枝状及び非分枝状導電性トレースのほぼ正方形の配列を、上記で述べたようにしてこれらの計算に用いた。導電性トレースは、表7に示され、図5Bに概略的に示される選択された切れ目を有していた。一次導電体の電気シート抵抗(0.4Ω/□)は、スパッタリングした銀の約105nmの物理的厚さ(有効バルク電気抵抗=4.25Ω・cmにおける)と一致している。導電体設計の他のパラメータを表7(下記)に計算結果とともに示す。
Figure 0006289494
[0077] 二次導電体としては、特定の電気シート抵抗を有する任意の透明な導電体を用いることができる(例えば、ITO、カーボンナノチューブコーティング、金属(例えば銀)ナノワイヤコーティング、導電性ポリマー(例えばPEDOT−PSS)、グラフェン)。上記に述べた導電体を、PETフィルム(例えばST580)の主面上に付着させることができる。更に、こうしたフィルムは、図10〜12に示されるようなパターン形成されたタッチセンサ素子の形をとり得る。
計算実施例33〜38
[0078] 本明細書に述べられる代表的な実施形態のハイブリッド透明導電体について理論上の有効電気シート抵抗(有効Rs)を計算した。これらの理論的実施例のハイブリッド透明導電体は、図6及び6Aで述べた物品で存在する導電体とみなすことができる。図2、5B、6及び6Aに示される分枝状導電性トレースのほぼ正方形の配列を、上記で述べたようにしてこれらの計算に用いた。導電性トレースは、表8(下記)に示され、図5Bに概略的に示される選択された切れ目を有していた。
Figure 0006289494
[0079] 一次導電体の電気シート抵抗(0.2Ω/□)は、スパッタリングした銀の約180nmの物理的厚さ(有効バルク電気抵抗=3.60Ω・cmにおける)と一致している。導電体設計の他のパラメータを表8(上記)に計算結果とともに示す。二次導電体としては、特定の電気シート抵抗を有する任意の透明な導電体を用いることができる(例えば、ITO、カーボンナノチューブコーティング、金属(例えば銀)ナノワイヤコーティング、導電性ポリマー(例えばPEDOT−PSS)、グラフェン)。上記に述べた導電体を、PETフィルム(例えばST580)の主面上に付着させることができる。更に、こうしたフィルムは、図10〜12に示されるようなパターン形成されたタッチセンサ素子の形をとり得る。
[0080] 本発明の範囲及び趣旨から逸脱することなく、本開示の予測されうる改変及び変更が当業者には明らかであろう。本発明は、説明を目的として本出願に記載される実施形態に限定されるべきではない。

Claims (5)

  1. 第1の主面を有する基板と、前記基板の前記第1の主面上の導電体パターンと、を有する物品であって、
    前記導電体パターンが、離間した第1及び第2の導電性金属トレースの複数の離間したペアを含み、
    複数の前記ペアの各ペアの前記第1及び第2の導電性金属トレースが、互いに対して、それらの離間間隔の少なくとも5倍の重なり部分の長さを有し、かつ1cm当たりの前記導電性金属トレースが少なくとも50個である、物品。
  2. 1つのペアの各導電性金属トレースが互いから最大で5μm離間しており、前記導電性金属トレースの幅が15μm以下であり、かつ前記導電性金属トレースの長さが少なくとも50μmである、請求項1に記載の物品。
  3. 前記第1及び第2の導電性金属トレースが分枝状である、請求項1に記載の物品。
  4. 概ね相対する第1及び第2の主面を有する導電層を更に有し、前記導電層の一方の主面が、複数の前記ペアの第1及び第2の導電性金属トレースの少なくとも一部分と接触している、請求項1に記載の物品。
  5. 前記導電層が透明であり、かつ金属酸化物、金属ナノワイヤ、導電性ポリマー、カーボンナノチューブ、又はグラフェンの中の少なくとも1つを含む、請求項に記載の物品。
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