JP6274917B2 - 高周波パッケージ - Google Patents
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Description
図1は、本実施の形態に係る高周波パッケージの構成を示している。本実施の形態に係る高周波パッケージは、マイクロ波帯やミリ波帯の高周波信号を扱う高周波デバイス1を収納する。そのような高周波デバイス1として、例えば、MMIC(Monolithic Microwave Integrated Circuit)チップが挙げられる。尚、高周波デバイス1は、アクティブ素子を含んでいる。
Claims (6)
- 第1表面を有する第1誘電体基板と、
前記第1表面上に形成された第1表面グランド導体及び信号配線と、
複数の端子を介して、前記第1表面グランド導体及び前記信号配線に対してフリップチップ接続された高周波デバイスと、
前記第1誘電体基板と対向するように配置され、前記第1表面と対向する第2表面を有する第2誘電体基板と、
前記第2表面上に形成された第2表面グランド導体と、
前記第1表面グランド導体と前記第2表面グランド導体とを接続し、且つ、前記高周波デバイスの周りを囲むように配置された複数の基板間接続導体と、
前記高周波デバイスと対向する領域における前記第2誘電体基板の内部に形成され、前記第2表面グランド導体と接続された内部グランド導体と、
前記第1表面グランド導体の形成された前記第1誘電体基板と、前記内部グランド導体および前記第2表面グランド導体の形成された前記第2誘電体基板と、前記基板間接続導体とで囲まれた遮蔽空間内に、
前記内部グランド導体と、前記第2表面とで囲まれた前記第2誘電体基板の誘電体領域を仕切るように形成され、且つ、前記内部グランド導体と接続された隔壁導体と
を備え、
前記遮蔽空間内に前記高周波デバイスを格納する
ことを特徴とする高周波パッケージ。 - 前記複数の端子は、前記信号配線に接続された少なくとも2つの入出力端子を含み、
前記隔壁導体は、前記2つの入出力端子の間に位置するように形成されている
ことを特徴とする請求項1に記載の高周波パッケージ。 - 前記内部グランド導体は、
前記第2誘電体基板内部に形成された層状の導体パターンである第1内部グランド導体と、
前記第1内部グランド導体と前記第2表面グランド導体とを接続する第2内部グランド導体と
を含み、
前記隔壁導体は、前記第1内部グランド導体に接続されている
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の高周波パッケージ。 - 前記隔壁導体は、前記第1内部グランド導体から前記第2表面にかけて形成されている
ことを特徴とする請求項3に記載の高周波パッケージ。 - 前記隔壁導体は、層状の導体パターンと層間を接続するビアとの組み合わせで形成されている
ことを特徴とする請求項3又は4に記載の高周波パッケージ。 - 前記第2内部グランド導体は、層状の導体パターンと層間を接続するビアとの組み合わせで形成されており、
前記隔壁導体の前記導体パターンと前記第2内部グランド導体の前記導体パターンは、同じ層に形成されている
ことを特徴とする請求項5に記載の高周波パッケージ。
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