JP6269899B2 - 圧電フィルムセンサおよび保持状態検出装置 - Google Patents
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Description
20…圧電センサ
21…第1電極
21A…第1主面
21B…第2主面
22…FPC
23…第2電極
24…圧電フィルム
25…導電性薄膜部材
26…FPC
29…第3電極
30…検出部
101…筐体
102…端部
120…圧電センサ
124…金属シート
202…第2粘着剤
203…第1粘着剤
220…圧電センサ
224…金属不織布
320…圧電センサ
327…基材
328…第3粘着剤
420…圧電センサ
425…凹凸部材
501…機能モジュール
520…圧電センサ
525…多孔質部材
820…圧電センサ
825…金属シート
Claims (12)
- 少なくとも一方の主面に第1電極が形成された絶縁性基材と、
第1主面および第2主面を有し、前記第1電極側に前記第1主面が設けられた圧電フィルムと、
前記第2主面側に設けられた導電性薄膜部材と、
を備えた圧電フィルムセンサであって、
前記第1主面が押圧面側に配置され、
前記導電性薄膜部材は、第1粘着剤を介して貼付され、前記導電性薄膜部材には粘着剤が浸透している圧電フィルムセンサ。 - 請求項1に記載の圧電フィルムセンサにおいて、
前記第1電極は第2粘着剤を介して圧電フィルムに添付されており、前記第1電極には粘着剤が浸透している、圧電フィルムセンサ。 - 請求項1に記載の圧電フィルムセンサにおいて、
前記絶縁性基材に塗布された第3粘着剤を備え、
前記導電性薄膜部材には前記第3粘着剤が浸透し、
前記第1粘着剤と前記第3粘着剤とが導電性薄膜部材の中で連結している、圧電フィルムセンサ。 - 請求項1に記載の圧電フィルムセンサおいて、
前記導電性薄膜部材は第1粘着剤を介して貼付され、前記導電性薄膜部材には粘着剤が浸透していて、
前記第1電極は第2粘着剤を介して圧電フィルムに添付されており、前記第1電極には粘着剤が浸透していて、
前記絶縁性基材に塗布された第3粘着剤を備え、
前記導電性薄膜部材には前記第3粘着剤が浸透し、
前記第1粘着剤と前記第3粘着剤とが導電性薄膜部材の中で連結している、圧電フィルムセンサ。 - 請求項2または請求項4に記載の圧電フィルムセンサにおいて、
前記第1電極または前記導電性薄膜部材の少なくとも一方は、多孔質材料で構成されている、圧電フィルムセンサ。 - 請求項5に記載の圧電フィルムセンサにおいて、
前記多孔質材料は、金属不織布である、圧電フィルムセンサ。 - 請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の圧電フィルムセンサにおいて、
前記第1電極の少なくとも一部は、前記第1主面に接触する、圧電フィルムセンサ。 - 前記絶縁性基材は、他方の主面に第2電極が形成されている請求項1乃至請求項7のいずれかに記載の圧電フィルムセンサ。
- 少なくとも一方の主面に第1電極が形成された絶縁性基材と、
第1主面および第2主面を有し、前記第1電極側に前記第1主面が設けられた圧電フィルムと、
前記第2主面側に設けられた導電性薄膜部材と、
を備えた圧電フィルムセンサであって、
前記第1主面が押圧面側に配置され、
前記絶縁性基材は、他方の主面に第2電極が形成され、
前記導電性薄膜部材は、前記第2電極に接続されている圧電フィルムセンサ。 - 前記絶縁性基材および前記第1電極は、前記導電性薄膜部材よりも弾性率が高い請求項1乃至請求項9のいずれかに記載の圧電フィルムセンサ。
- 前記圧電フィルムは、一軸方向に延伸されたポリ乳酸を含む請求項1乃至請求項10のいずれかに記載の圧電フィルムセンサ。
- 請求項1乃至請求項11のいずれかに記載の圧電フィルムセンサと、
円筒形状の筐体と、
前記圧電フィルムセンサの出力電圧の変動量に基づいて前記筐体の保持状態を検出する検出部と、
を備えた保持状態検出装置であって、
前記圧電フィルムセンサは、前記筐体の内壁面に貼り付けられる保持状態検出装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6695713B2 (ja) * | 2016-03-16 | 2020-05-20 | セイコーエプソン株式会社 | 指示体 |
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US10189626B2 (en) * | 2017-05-23 | 2019-01-29 | Reuben Bahar | Package handling system |
JP6566182B1 (ja) * | 2017-10-03 | 2019-08-28 | 株式会社村田製作所 | 押圧センサ及び電子機器 |
CN109873074B (zh) * | 2017-12-01 | 2023-06-02 | 深圳市豪恩声学股份有限公司 | 压电薄膜传感器及其制备方法 |
JP6708315B2 (ja) * | 2018-06-20 | 2020-06-10 | 株式会社村田製作所 | 押圧センサ及び押圧検出装置 |
JP7293898B2 (ja) * | 2019-06-18 | 2023-06-20 | Tdk株式会社 | 圧電素子 |
US11460362B2 (en) * | 2019-07-23 | 2022-10-04 | Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. | Flexible printed pressure transducer with sensor diffusion stack materials and methods incorporating the same |
US20230160762A1 (en) * | 2021-11-25 | 2023-05-25 | National Taiwan University Of Science And Technology | Pressure Sensing Element with Porous Structure Based Flexible Base |
CN114812898B (zh) * | 2022-03-10 | 2023-10-27 | 森霸传感科技股份有限公司 | 一种带有薄膜传感器的构件及制备方法 |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3093849B2 (ja) | 1991-08-09 | 2000-10-03 | 呉羽化学工業株式会社 | 可撓性積層圧電素子 |
JP3270527B2 (ja) * | 1992-07-08 | 2002-04-02 | 呉羽化学工業株式会社 | 筒状ないし曲面化圧電素子 |
JPH0623836A (ja) * | 1992-07-09 | 1994-02-01 | Shimadzu Corp | ポリ乳酸延伸フィルムの製造方法 |
JP3767151B2 (ja) * | 1997-02-26 | 2006-04-19 | ソニー株式会社 | 薄型電池 |
US6735468B2 (en) * | 2000-02-02 | 2004-05-11 | Massachusetts Institute Of Technology | Arthroscopic impedance probe to detect cartilage degeneration |
US20040263483A1 (en) | 2003-06-24 | 2004-12-30 | Aufderheide Brian E | Sensing device |
CN101569085B (zh) * | 2006-12-25 | 2013-01-23 | 株式会社尼康 | 振动致动器、镜头镜筒、照相机 |
CN102027609B (zh) * | 2008-05-12 | 2013-11-06 | 学校法人关西大学 | 压电元件以及音响装置 |
US8183755B2 (en) * | 2008-06-12 | 2012-05-22 | Samsung Mobile Display Co., Ltd. | Flat panel display apparatus and method of manufacturing the same |
US8544337B2 (en) * | 2010-04-06 | 2013-10-01 | International Business Machines Corporation | Piezoelectric chromic impact sensor |
JP5231515B2 (ja) * | 2010-12-17 | 2013-07-10 | シャープ株式会社 | 太陽電池の製造方法 |
EP2781886B1 (en) * | 2011-04-08 | 2017-06-14 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Operation device including displacement sensor |
TWI530670B (zh) * | 2012-01-25 | 2016-04-21 | Murata Manufacturing Co | Displacement sensor |
WO2014017407A1 (ja) * | 2012-07-26 | 2014-01-30 | 株式会社村田製作所 | 押圧力センサ |
JP5950053B2 (ja) * | 2013-09-20 | 2016-07-13 | 株式会社村田製作所 | 押圧検出センサ |
JP5689523B1 (ja) | 2013-12-18 | 2015-03-25 | 日本写真印刷株式会社 | 圧力検出器を備えたタッチパネル |
DE102014102157A1 (de) * | 2014-02-20 | 2015-08-20 | Karlsruher Institut für Technologie | Vorrichtung für die ultraschallgestützte Reflexions- und Transmissions-Tomographie |
EP2916378B1 (en) * | 2014-03-07 | 2016-05-25 | Toto Ltd. | Solid oxide fuel cell device and method for manufacturing same |
JP6265272B2 (ja) * | 2014-09-12 | 2018-01-24 | 株式会社村田製作所 | 保持状態検出装置 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7113146B2 (ja) | 2018-12-11 | 2022-08-04 | ヨアノイム リサーチ フォルシュングスゲゼルシャフト エムベーハー | 湾曲した機能フィルム構造およびその作製方法 |
JP2022153516A (ja) * | 2018-12-11 | 2022-10-12 | ヨアノイム リサーチ フォルシュングスゲゼルシャフト エムベーハー | 湾曲した機能フィルム構造およびその作製方法 |
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