CN107615030B - 压电膜传感器以及保持状态检测装置 - Google Patents
压电膜传感器以及保持状态检测装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN107615030B CN107615030B CN201680030652.7A CN201680030652A CN107615030B CN 107615030 B CN107615030 B CN 107615030B CN 201680030652 A CN201680030652 A CN 201680030652A CN 107615030 B CN107615030 B CN 107615030B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- adhesive
- electrode
- piezoelectric film
- piezoelectric
- main surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims description 46
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 123
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 62
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims abstract description 37
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 11
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 60
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 60
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 27
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 27
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 claims description 18
- 239000004626 polylactic acid Substances 0.000 claims description 14
- 229920000747 poly(lactic acid) Polymers 0.000 claims description 13
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 9
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims description 3
- 239000012466 permeate Substances 0.000 claims 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 11
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 5
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 5
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 4
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 description 3
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 description 2
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- 230000005616 pyroelectricity Effects 0.000 description 2
- 229920000106 Liquid crystal polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004977 Liquid-crystal polymers (LCPs) Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 1
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
- G01L1/16—Measuring force or stress, in general using properties of piezoelectric devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L5/00—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L5/00—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes
- G01L5/16—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring several components of force
- G01L5/167—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring several components of force using piezoelectric means
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/30—Piezoelectric or electrostrictive devices with mechanical input and electrical output, e.g. functioning as generators or sensors
- H10N30/302—Sensors
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/802—Circuitry or processes for operating piezoelectric or electrostrictive devices not otherwise provided for, e.g. drive circuits
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
Abstract
压电膜传感器(20)具备:绝缘性基材(22),在至少一个主面形成有第一电极(21);压电膜(24),具有第一主面以及第二主面,在上述第一电极(21)侧设置有上述第一主面;以及导电性薄膜部件(25),设置于上述第二主面侧。压电膜传感器(20)的特征在于,上述第一主面被配置于按压面侧。
Description
技术领域
本发明涉及检测按压的压电膜传感器以及具备该压电膜传感器的保持状态检测装置。
背景技术
使用了压电膜的传感器例如公知有如专利文献1那样的构造。
专利文献1的传感器为用一对压电膜夹持刚性大的中央电极层,并且从其外侧用刚性相对较小的外侧电极层夹住的构造。
专利文献1:日本特开平6-216422号公报
专利文献1的传感器的构造成为设想来自上面侧以及下面侧的按压,从而上下对称地变形的构造。但是,例如若按压面侧的电极层的刚性小,则按压所引起的变形被该电极层吸收,因而存在按压不施加于压电膜的情况。另外,若与按压面相反侧的电极层的刚性大,则存在阻碍压电膜的变形的情况。
发明内容
鉴于此,本发明的目的在于,提供对于预先知道施加按压的方向的物体能够高灵敏度地检测按压的压电膜传感器以及具备该压电膜传感器的保持状态检测装置。
本发明的压电膜传感器具备:绝缘性基材,至少在一个主面形成有第一电极;压电膜,具有第一主面以及第二主面,且在上述第一电极侧设置有上述第一主面;以及导电性薄膜部件,设置于上述第二主面侧,其特征在于,上述第一主面被配置于按压面侧。
这样,压电膜传感器配置在按压面侧形成有电极的绝缘性基材,在与按压面相反侧配置导电性薄膜部件。导电性薄膜部件比绝缘性基材以及第一电极的厚度薄或者弹性率比绝缘性基材以及第一电极低,以免阻碍压电膜的动作。由此,能够对于预先知道施加按压的方向的物体高灵敏度地检测按压。
此外,也可以是绝缘性基材在另一个主面形成有第二电极的方式。
另外,导电性薄膜部件也可以与第二电极连接。在将第二电极作为信号电极,将导电性薄膜部件作为接地电极的情况下,也因为在同一面上配置信号电极和接地电极,所以与检测用电路的连接变得容易。
此外,优选压电膜包括单轴拉伸的聚乳酸。
另外,本发明的压电膜传感器通过粘贴于圆筒形状的壳体的内壁面,能够实现具备基于压电膜传感器的输出电压的变动量来检测上述壳体的保持状态的检测部的保持状态检测装置。
根据本发明,能够对于预先知道施加按压的方向的物体高灵敏度地检测按压。
附图说明
图1(A)是电子笔的外观立体图,图1(B)是电子笔的剖视图。
图2(A)是压电膜传感器的剖视图,图2(B)是压电膜传感器的分解立体图,图2(C)是压电膜传感器的一部分俯视图。
图3是电子笔的功能框图。
图4是表示电子笔中的保持的检测流程的流程图。
图5是表示电子笔中的保持状态的检测流程的流程图。
图6(A)是压电膜传感器的剖视图,图6(B)是分解立体图。
图7是压电传感器20的剖视图。
图8是压电传感器20所具备的压电膜24和导电性薄膜部件25被粘贴前的剖视图。
图9是压电传感器820的剖视图。
图10是压电传感器120的剖视图。
图11是压电传感器220的剖视图。
图12是压电传感器320的剖视图。
图13(A)是在压电传感器320中粘贴了压电膜24和导电性薄膜部件25时的剖视图,图13(B)~(D)是在所示的压电传感器320中压电膜24和导电性薄膜部件25粘贴后被按压时的剖视图。
图14是比较进行了按压后的压电传感器320的输出特性和未进行按压的压电传感器320而得到的图。
图15是压电传感器420的剖视图。
图16是压电传感器520的剖视图。
具体实施方式
图1(A)是具备本发明的压电膜传感器的电子笔10的立体图。图1(B)是电子笔10的剖视图。图2(A)是表示压电传感器20的构造的剖视图,图2(B)是分解立体图。图3是电子笔10的功能框图。
电子笔10具有圆筒形状的壳体101。壳体101的内部为中空。在壳体101的内部配置有压电传感器20、检测部30以及功能模块501。在壳体101的长边方向(与圆周方向正交的方向)的一端设置有尖端越来越细形状的端部102。
压电传感器20是具有挠性的平膜形状,如图1(B)所示,配置于壳体101的内面壁。此时,压电传感器20在壳体101的内壁面被配置为沿着圆周方向。
如图2(A)、图2(B)以及图2(C)所示,压电传感器20具备第一电极21、FPC22、第二电极23、压电膜24、以及导电性薄膜部件25。
第一电极21以及第二电极23预先分别形成于FPC22的两主面。第二电极23经由粘着剂等粘贴于壳体101。第二电极23作为屏蔽导体发挥作用。此外,如图6所示,在例如壳体101是金属部件,作为屏蔽导体发挥作用的情况下,也能够省略第二电极23。此外,虽然在图2中未图示,但在FPC22的下表面侧刻画图案以免导电性薄膜部件25和第二电极23短路,并且以便与第三电极29导通。另外,例如压电膜24和FPC22通过粘着片等粘贴,但关于这些未图示。
FPC22是聚酰亚胺、PET、或者液晶聚合物等具有挠性的绝缘性基材。第二电极23形成于FPC26的下表面侧(壳体101侧)。在FPC22的上表面侧形成有第一电极21。第一电极21作为用于检测在压电膜24产生的电荷的信号电极发挥作用。第一电极21沿着FPC22的长边方向(上述壳体101的圆周方向)延长,与检测部30电连接。第一电极21以及导电性薄膜部件25也与检测部(接地部)30连接。
在第一电极21的上表面粘贴有压电膜24的下表面(第一主面)。另外,在压电膜24的上表面(第二主面)粘贴有导电性薄膜部件25。导电性薄膜部件25与形成于FPC22的上表面的第三电极29电连接。第三电极29沿着FPC22的长边方向延长,与检测部30电连接。
由此,导电性薄膜部件25作为屏蔽导体发挥作用。另外,根据这种构造,信号电极和接地电极都能够从相同的FPC22的上表面(同一面)取出,安装变得容易。此外,优选导电性薄膜部件25的上表面还被PET膜等覆盖、保护。
导电性薄膜部件25例如使用在导电性无纺布形成有粘着剂的部件、或者在浸渍了树脂的铜箔形成有粘着剂的部件。导电性薄膜部件25被粘贴为覆盖压电膜24,并且覆盖第三电极29。但是,导电性薄膜部件25不一定需要覆盖全部,只要至少覆盖一部分即可。导电性薄膜部件25的刚性比第一电极21以及第二电极23低,以免阻碍压电膜的变形。
例如,在第一电极21以及第二电极23由弹性率为1.0×109Pa左右的铜箔构成,导电性薄膜部件25由弹性率为1.0×105Pa~1.0×106Pa左右的导电性无纺布构成的情况下,来自作为按压面的壳体101的外周侧面的按压所引起的变形容易传递到压电膜24,压电膜24的变形也不会被阻碍。另外,在导电性薄膜部件25、第一电极21以及第二电极23由相同的材料构成的情况下,通过使导电性薄膜部件25的厚度比第一电极21以及第二电极23的厚度薄,从而也不阻碍压电膜24的变形。
压电膜24是通过伸缩而在对置的平膜面产生电荷的压电材料。例如,压电膜24使用手性高分子。更优选而言,压电膜24使用单轴拉伸的聚乳酸(PLA),更具体而言,使用L型聚乳酸(PLLA)。聚乳酸的单轴拉伸方向是相对于压电膜的长边方向(在图1的例子中,为沿着壳体101的内面壁的圆周方向)呈大致45°的方向。其中,最优选的是该所成的角为45°,但只要在±10°左右的范围内即可。
手性高分子的主链具有螺旋构造,若被单轴拉伸而分子取向,则具有压电性。手性高分子因为在通过拉伸等所进行的分子的取向处理中产生压电性,所以不需要如PVDF等其他聚合物或压电陶瓷那样进行极化(poling)处理。特别是,因为聚乳酸没有焦电性(pyroelectricity),所以即便在操作者把持、利用者的手指等的热量传递的情况下,检测到的电荷量也不发生变化。另外,被单轴拉伸的PLLA的压电常量在高分子中属于非常高的类别。例如,PLLA的压电应变常量d14通过调整拉伸条件、热处理条件、添加物的配合等条件而得到10~20pC/N这样的高值。并且,PLLA的压电常量不随时间变动,极其稳定。
此外,优选压电膜的拉伸倍率是3~8倍左右。通过在拉伸后实施热处理,可促进聚乳酸的长链结晶的结晶且压电常量提高。此外,在二轴拉伸的情况下通过使各个轴的拉伸倍率不同而能够得到与单轴拉伸同样的效果。例如在将某一方向作为X轴并对该方向实施了8倍的拉伸,且对与该轴正交的Y轴方向实施了2倍的拉伸的情况下,关于压电常量可得到与对X轴方向实施了大致4倍的单轴拉伸的情况几乎相等的效果。由于单纯地单轴拉伸的压电膜容易沿着拉伸轴方向裂开,所以能够通过进行上述那样的二轴拉伸而稍微增加强度。
当然,本发明的压电膜即便是PVDF也能够实现。
接下来,图4是表示电子笔10中的保持的检测流程的流程图。此外,虽然该动作在检测部30中进行,但也可以成为作为功能模块501中的功能被实现的方式。
首先,检测部30观测压电传感器20的输出电压(S101)。检测部30计算预先设定的单位时间的输出电压的变动量(S102)。变动量例如是单位时间内的最大电压与最小电压的差。
检测部30比较变动量和阈值电压Vw。检测部30若检测为变动量大于阈值电压Vw(S103:是),则判断为壳体101正被保持(被拿起),检测为是保持状态(S104)。
另一方面,若变动量是阈值电压Vw以下(S103:否),则检测部30判断为壳体101未被保持。而且,检测部30继续测量输出电压,按每个单位时间计算变动量,与阈值相比较。
由此,电子笔10能够检测壳体101是否被保持,作为保持状态检测装置发挥作用。
另外,检测部30能够通过执行图5所示的流程,来检测壳体101的保持状态。其中,在图5中,到步骤S104为止与图4所示的例子相同,省略说明。
检测部30继续进行变动量与阈值电压Vw的比较,在变动量不在阈值电压Vw以下的期间(S105:否)中,继续判断为是壳体101正被保持的状态。
另一方面,若检测部30检测到变动量是阈值电压Vw以下(S105:是),则开始计时。检测部30将检测到变动量是阈值电压Vw以下的时机作为基准,测量变动量是阈值电压Vw以下的状态持续的时间作为经过时间。检测部30在经过时间比阈值时间短的期间(S106:否)中,继续判断为是壳体101正被保持的状态。
若经过时间到达阈值时间,则检测部30识别为壳体101的保持(拿起)被解除了(S107)。
由此,检测部30能够检测壳体101的保持状态(是否正被保持)。
此外,检测部30也可以将未被保持的期间(初始状态)中的平均电压作为基准电压,将测量单位时间内的最大电压或最小电压与基准电压的差设定为变动量。该情况下,只要使用以距离基准电压的电位差规定的阈值Va即可。
通过成为这样的构成,能够正确并且可靠地检测为壳体101被操作者保持。
特别是,本实施方式的压电传感器20因为压电传感器20被粘贴于壳体101的内壁面,所以施加按压的方向决定于FPC22、第一电极21以及第二电极23侧。因此,压电传感器20通过使导电性薄膜部件25的厚度比FPC22、第一电极21以及第二电极23的厚度薄,或者使弹性率低,从而来自按压面的按压所引起的变形容易传递到压电膜24,并且也不会阻碍压电膜24的变形。
另外,本发明的压电膜传感器能够通过被组装于电子笔而使内置于电子笔的电池持久。另外,本发明的压电膜传感器的构造并不局限于电子笔,能够使用于智能手机、遥控器、或者无线鼠标等内置电池的无线通信设备。另外,由于通过使压电膜传感器具有挠性,从而也粘贴于弯曲部或者屈曲部,所以对于设备的小型化是有效的。
接下来,图7是变形例中的压电传感器20的剖视图。图8是变形例中的压电传感器20所具备的压电膜24和导电性薄膜部件25被粘贴前的剖视图。
压电传感器20具备导电性薄膜部件25、第一粘着剂203、压电膜24、第二粘着剂202、以及FPC26。
其中,导电性薄膜部件25相当于第一电极部件的一个例子。压电膜24相当于压电体的一个例子。导电性薄膜部件25相当于本发明的第一电极部件的一个例子。
压电膜24具有第一主面21A以及第二主面21B。第二粘着剂202涂覆于第二主面21B。FPC26经由第二粘着剂202粘贴于压电膜24的第二主面21B。
第一粘着剂203被涂覆于第一主面21A。导电性薄膜部件25经由第一粘着剂203粘贴于第一主面21A。导电性薄膜部件25在经由第一粘着剂203粘贴于第一主面21A后,被以规定温度朝向压电膜24进行按压。因此,如图7以及图8所示,第一粘着剂203渗透到导电性薄膜部件25。
而且,导电性薄膜部件25以及第二电极23与检测部30电连接。
压电膜24的材料是PLLA(L型聚乳酸)。因此,例如若压电膜24在长边方向进行伸缩,则压电膜24在厚度方向极化(polarize)。由此,在导电性薄膜部件25以及第二电极23之间产生电压。压电传感器20将该电压输出到检测部30。检测部30检测从压电传感器20输出的电压,检测壳体101是否被用户保持。
接下来,比较上述的压电传感器20和压电传感器820。首先,对压电传感器820的构成进行说明。
图9是比较例涉及的压电传感器820的剖视图。压电传感器820与上述的压电传感器20不同的点是金属片材(metal sheet)825。金属片材825例如由铜箔或铝箔等构成。其他的构成相同,因此省略说明。
如图9所示,在压电传感器820中,在金属片材825以及压电膜24之间,通过粘着剂203形成有粘着层。因此,在压电传感器820中与以往的压电传感器同样,金属片材825以及压电膜24之间的距离Z2宽了粘着层的厚度的量。
与此相对,在压电传感器20中,如图7所示,第一粘着剂203渗透到导电性薄膜部件25。因此,导电性薄膜部件25以及第二电极23之间的距离Z1较窄。从而,压电传感器20能够使检测灵敏度比包括压电传感器820的以往的压电传感器提高。
另外,构成导电性薄膜部件25的金属无纺布的弹性率比压电膜24的弹性率低。因此,导电性薄膜部件25不会阻碍压电膜24的动作。从而,压电传感器20能够进一步提高检测灵敏度。
另外,导电性薄膜部件25成为纤维状。因此,压电传感器20在第一粘着剂203渗透到导电性薄膜部件25的情况下,能够通过固着效果(anchor effect)减轻在界面剥离的情况。
另外,优选导电性薄膜部件25的至少一部分与第一主面21A接触。该情况下,导电性薄膜部件25的至少一部分最接近压电膜24。该情况下,压电传感器20能够进一步提高检测灵敏度。
此外,在本实施方式中,形成有第二电极23的FPC26经由第二粘着剂202粘贴于压电膜24的第二主面21B,但并不局限于此。例如图10所示,也可以代替FPC26而金属片材124经由第二粘着剂202粘贴于压电膜24的第二主面21B。金属片材124例如由铜箔或铝箔等构成。
接下来,参照附图对压电传感器220进行说明。
图11是本发明的第二实施方式涉及的压电传感器220的剖视图。压电传感器220与第一实施方式的压电传感器20不同的点是代替FPC26而具备金属无纺布224的点。金属无纺布224相当于第二电极部件的一个例子。
金属无纺布224经由第二粘着剂202粘贴于第二主面21B。金属无纺布224在经由第二粘着剂202粘贴于第二主面21B后,被以规定温度朝向压电膜24按压。因此,第二粘着剂202渗透到金属无纺布224。因为其他的构成相同,所以省略说明。
在压电传感器220中,进而如图11所示,第二粘着剂202渗透到金属无纺布224。因此,导电性薄膜部件25与金属无纺布224之间的距离Z3进一步变窄。
另外,构成金属无纺布224的金属无纺布的弹性率比压电膜24的弹性率低。因此,金属无纺布224不会阻碍压电膜24的动作。
从而,压电传感器220能够使检测灵敏度比上述的压电传感器20提高。
另外,金属无纺布224成为纤维状。因此,压电传感器220在第二粘着剂202渗透到金属无纺布224的情况下,能够通过固着效果减轻在界面剥离的情况。
接下来,图12是压电传感器320的剖视图。
压电传感器320与压电传感器20不同的点是具备第三粘着剂328以及基材327的点。基材327例如由PET膜构成。基材327与导电性薄膜部件25对置。第三粘着剂328涂覆于基材327。第一粘着剂203和第三粘着剂328渗透到导电性薄膜部件25。而且,第一粘着剂203和第三粘着剂328在导电性薄膜部件25中连结。由于其他的构成相同,所以省略说明。
在压电传感器20中,如图7所示,当导电性薄膜部件25在压电传感器20的表面露出的状态下被按压的情况下,通过导电性薄膜部件25本身的变形而按压的力难以传递。
鉴于此,在压电传感器320中,以规定温度将基材327的表面朝向压电膜24按压。在基材327被朝向压电膜24按压的情况下,第一粘着剂203和第三粘着剂328双方渗透到导电性薄膜部件25。由此,第一粘着剂203和第三粘着剂328在导电性薄膜部件25中连结,部分地粘合。
从而,压电传感器320还能够提高基材327、导电性薄膜部件25以及压电膜24的粘合强度。
另外,在压电传感器320中,如图12所示,第一粘着剂203渗透到导电性薄膜部件25。因此,导电性薄膜部件25以及第二电极23之间的距离Z1较窄。从而,压电传感器320与第一实施方式的压电传感器20同样,能够使检测灵敏度比以往的压电传感器提高。
另外,构成导电性薄膜部件25的金属无纺布的弹性率比压电膜24的弹性率低。因此,导电性薄膜部件25不阻碍压电膜24的动作。从而,压电传感器320能够进一步提高检测灵敏度。
另外,导电性薄膜部件25成为纤维状。因此,压电传感器320在第一粘着剂203渗透到导电性薄膜部件25的情况下,能够通过固着效果减轻在界面剥离的情况。
图13(A)是在压电传感器320中压电膜24和导电性薄膜部件25被粘贴时的剖视图。图13(B)是在压电传感器320中压电膜24和导电性薄膜部件25被粘贴后以64℃按压时的剖视图。图13(C)是在压电传感器320中压电膜24和导电性薄膜部件25被粘贴后以108℃按压时的剖视图。图13(D)是在压电传感器320中压电膜24和导电性薄膜部件25被粘贴后以140℃按压时的剖视图。
其中,图13(B)~(D)示出使用厚度1mm的硅橡胶加热器对压电传感器320进行加热,以0.33MPa在10秒期间对压电传感器320进行按压后的剖面。
根据图13(A)~(D)可知,随着按压温度变高而FPC26与导电性薄膜部件25之间的距离变窄。可认为成为这样的结果的理由是因为随着按压温度变高而第一粘着剂203的流动性提高。其中,按压温度需要小于压电膜24的熔融温度。
接下来,比较进行按压后的压电传感器320的输出特性和图13(A)所示的未进行按压的压电传感器320的输出特性。
图14是比较进行按压后的压电传感器320的输出特性和未进行按压的压电传感器320的图。图14示出准备以100℃朝向压电膜24按压了基材327的表面的压电传感器320和图13(A)所示的未进行按压的压电传感器32,多次测定从各压电传感器320输出的电压值的实验结果。
根据实验可知,未进行按压的压电传感器320在0.82V以上1.3V以下的范围内输出平均1.02V的电压。与此相对,可知进行按压后的压电传感器320在0.95V以上1.53V以下的范围输出平均1.18V的电压。
即,可知进行按压后的压电传感器320的输出特性与未进行按压的压电传感器320的输出特性相比约提高14%。可认为成为这样的结果的理由是因为通过按压而第一粘着剂203渗透到导电性薄膜部件25,导电性薄膜部件25以及第二电极23之间的距离Z1变窄。
接下来,图15是压电传感器420的剖视图。压电传感器420与压电传感器20不同的点是代替导电性薄膜部件25而具备凹凸部件425的点。凹凸部件425的压电膜24侧的主面是凹凸形状,具有多个凹部。凹凸部件425的材料由铜等金属构成。凹凸部件425相当于第一电极部件的一个例子。
在压电传感器420中,如图15所示,第一粘着剂203渗透到凹凸部件425的多个凹部。因此,凹凸部件425以及第二电极23之间的距离Z1较窄。从而,压电传感器420能够与压电传感器20同样地使检测灵敏度比以往的压电传感器提高。
接下来,图16是压电传感器520的剖视图。压电传感器520与压电传感器20不同的点是代替导电性薄膜部件25而具备多孔部件(porous member)525的点。多孔部件525的压电膜24侧的主面具有多个凹部。多孔部件525的材料由铜等金属构成。多孔部件525相当于第一电极部件的一个例子。
在压电传感器520中,如图16所示,第一粘着剂203渗透到多孔部件525的多个孔。因此,多质部件525以及第二电极23之间的距离Z1较窄。从而,压电传感器520能够与压电传感器20同样地使检测灵敏度比以往的压电传感器提高。
此外,在上述的实施方式中,示出电子笔10作为以使基材弯曲的状态安装于壳体的电子设备的一个例子,但并不局限于此。在实施时,例如能够应用于鼠标、平板终端、智能手机等其他电子设备。
另外,检测部30被安装于壳体101的内部,但并不局限于此。在实施时,检测部30也可以配置于壳体101的外部。在配置于壳体101的外部的方式中,压电传感器20和检测部30只要通过有线或者无线连接即可。
另外,在上述的实施方式中,示出了压电传感器20、120、220、320、420、520使用聚乳酸的压电膜24的例子,但并不局限于此。在实施时,也能够使用PVDF等其他压电膜。
最后,应该认为上述实施方式的说明的所有点都是例示,并不是限制性的内容。本发明的范围并不是上述的实施方式,而由技术方案示出。并且,本发明的范围包含与技术方案等同的意思以及范围内的所有变更。
附图标记说明
10…电子笔;20…压电传感器;21…第一电极;21A…第一主面;21B…第二主面;22…FPC;23…第二电极;24…压电膜;25…导电性薄膜部件;26…FPC;29…第三电极;30…检测部;101…壳体;102…端部;120…压电传感器;124…金属片材;202…第二粘着剂;203…第一粘着剂;220…压电传感器;224…金属无纺布;320…压电传感器;327…基材;328…第三粘着剂;420…压电传感器;425…凹凸部件;501…功能模块;520…压电传感器;525…多孔部件;820…压电传感器;825…金属片材。
Claims (12)
1.一种压电膜传感器,具备:
绝缘性基材,在至少一个主面形成有第一电极;
压电膜,具有第一主面以及第二主面,在上述第一电极侧设置有上述第一主面;以及
导电性薄膜部件,设置于上述第二主面侧,其中,
上述第一主面被配置于按压面侧,
上述绝缘性基材以及上述第一电极的弹性率比上述导电性薄膜部件高。
2.一种压电膜传感器,具备:
绝缘性基材,在至少一个主面形成有第一电极;
压电膜,具有第一主面以及第二主面,在上述第一电极侧设置有上述第一主面;以及
导电性薄膜部件,设置于上述第二主面侧,其中,
上述第一主面被配置于按压面侧,
上述导电性薄膜部件经由第一粘着剂粘贴,粘着剂渗透到上述导电性薄膜部件。
3.根据权利要求2所述的压电膜传感器,其中,
上述第一电极经由第二粘着剂附着于压电膜,粘着剂渗透到上述第一电极。
4.根据权利要求1所述的压电膜传感器,其中,
具备涂覆于上述绝缘性基材的第三粘着剂,
上述第三粘着剂渗透到上述导电性薄膜部件,
上述第一粘着剂和上述第三粘着剂在导电性薄膜部件中连结。
5.根据权利要求2所述的压电膜传感器,其中,
上述导电性薄膜部件经由第一粘着剂粘贴,粘着剂渗透到上述导电性薄膜部件,
上述第一电极经由第二粘着剂附着于压电膜,粘着剂渗透到上述第一电极,
具备涂覆于上述绝缘性基材的第三粘着剂,
上述第三粘着剂渗透到上述导电性薄膜部件,
上述第一粘着剂和上述第三粘着剂在导电性薄膜部件中连结。
6.根据权利要求3或者5所述的压电膜传感器,其中,
上述第一电极或者上述导电性薄膜部件的至少一方由多孔材料构成。
7.根据权利要求6所述的压电膜传感器,其中,
上述多孔材料是金属无纺布。
8.根据权利要求1、2、4、5、7中的任意一项所述的压电膜传感器,其中,
上述第一电极的至少一部分与上述第一主面接触。
9.根据权利要求1、2、4、5、7中的任意一项所述的压电膜传感器,其中,
在上述绝缘性基材的另一个主面形成有第二电极。
10.根据权利要求9所述的压电膜传感器,其中,
上述导电性薄膜部件以及上述第二电极与被输出在该导电性薄膜部件和该第二电极之间产生的电压的检测部电连接。
11.根据权利要求1、2、4、5、7中的任意一项所述的压电膜传感器,其中,
上述压电膜包括单轴拉伸的聚乳酸。
12.一种保持状态检测装置,其中,具备:
权利要求1至11中的任意一项所述的压电膜传感器;
圆筒形状的壳体;以及
检测部,基于上述压电膜传感器的输出电压的变动量来检测上述壳体的保持状态,
上述压电膜传感器粘贴于上述壳体的内壁面。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015-109322 | 2015-05-29 | ||
JP2015109322 | 2015-05-29 | ||
JP2015179841 | 2015-09-11 | ||
JP2015-179841 | 2015-09-11 | ||
PCT/JP2016/065240 WO2016194690A1 (ja) | 2015-05-29 | 2016-05-24 | 圧電フィルムセンサおよび保持状態検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN107615030A CN107615030A (zh) | 2018-01-19 |
CN107615030B true CN107615030B (zh) | 2020-05-01 |
Family
ID=57440888
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201680030652.7A Active CN107615030B (zh) | 2015-05-29 | 2016-05-24 | 压电膜传感器以及保持状态检测装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10605678B2 (zh) |
JP (1) | JP6269899B2 (zh) |
CN (1) | CN107615030B (zh) |
WO (1) | WO2016194690A1 (zh) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6695713B2 (ja) * | 2016-03-16 | 2020-05-20 | セイコーエプソン株式会社 | 指示体 |
DE202017002718U1 (de) * | 2017-05-22 | 2018-08-23 | Stabilo International Gmbh | Stift |
US10189626B2 (en) * | 2017-05-23 | 2019-01-29 | Reuben Bahar | Package handling system |
CN110494725B (zh) * | 2017-10-03 | 2021-04-20 | 株式会社村田制作所 | 按压传感器和电子设备 |
CN109873074B (zh) * | 2017-12-01 | 2023-06-02 | 深圳市豪恩声学股份有限公司 | 压电薄膜传感器及其制备方法 |
WO2019244594A1 (ja) * | 2018-06-20 | 2019-12-26 | 株式会社村田製作所 | 押圧センサ及び押圧検出装置 |
DE102018131760A1 (de) | 2018-12-11 | 2020-06-18 | Hueck Folien Gmbh | Gewölbte Funktionsfolienstruktur und Verfahren zur Herstellung derselben |
JP7293898B2 (ja) * | 2019-06-18 | 2023-06-20 | Tdk株式会社 | 圧電素子 |
US11460362B2 (en) * | 2019-07-23 | 2022-10-04 | Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. | Flexible printed pressure transducer with sensor diffusion stack materials and methods incorporating the same |
US20230160762A1 (en) * | 2021-11-25 | 2023-05-25 | National Taiwan University Of Science And Technology | Pressure Sensing Element with Porous Structure Based Flexible Base |
CN114812898B (zh) * | 2022-03-10 | 2023-10-27 | 森霸传感科技股份有限公司 | 一种带有薄膜传感器的构件及制备方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001056468A2 (en) * | 2000-02-02 | 2001-08-09 | Massachusetts Institute Of Technology | Arthroscopic impedance probe to detect cartilage degeneration |
JP2007521569A (ja) * | 2003-06-24 | 2007-08-02 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 検出装置 |
JP5689523B1 (ja) * | 2013-12-18 | 2015-03-25 | 日本写真印刷株式会社 | 圧力検出器を備えたタッチパネル |
WO2015041198A1 (ja) * | 2013-09-20 | 2015-03-26 | 株式会社村田製作所 | 押圧検出センサ |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3093849B2 (ja) | 1991-08-09 | 2000-10-03 | 呉羽化学工業株式会社 | 可撓性積層圧電素子 |
JP3270527B2 (ja) * | 1992-07-08 | 2002-04-02 | 呉羽化学工業株式会社 | 筒状ないし曲面化圧電素子 |
JPH0623836A (ja) * | 1992-07-09 | 1994-02-01 | Shimadzu Corp | ポリ乳酸延伸フィルムの製造方法 |
JP3767151B2 (ja) * | 1997-02-26 | 2006-04-19 | ソニー株式会社 | 薄型電池 |
CN101569085B (zh) * | 2006-12-25 | 2013-01-23 | 株式会社尼康 | 振动致动器、镜头镜筒、照相机 |
JP5473905B2 (ja) * | 2008-05-12 | 2014-04-16 | 学校法人 関西大学 | 圧電素子および音響機器 |
US8183755B2 (en) * | 2008-06-12 | 2012-05-22 | Samsung Mobile Display Co., Ltd. | Flat panel display apparatus and method of manufacturing the same |
US8544337B2 (en) * | 2010-04-06 | 2013-10-01 | International Business Machines Corporation | Piezoelectric chromic impact sensor |
JP5231515B2 (ja) * | 2010-12-17 | 2013-07-10 | シャープ株式会社 | 太陽電池の製造方法 |
JP5831542B2 (ja) * | 2011-04-08 | 2015-12-09 | 株式会社村田製作所 | 変位センサ、変位検出装置 |
TWI530670B (zh) * | 2012-01-25 | 2016-04-21 | Murata Manufacturing Co | Displacement sensor |
WO2014017407A1 (ja) * | 2012-07-26 | 2014-01-30 | 株式会社村田製作所 | 押圧力センサ |
DE102014102157A1 (de) * | 2014-02-20 | 2015-08-20 | Karlsruher Institut für Technologie | Vorrichtung für die ultraschallgestützte Reflexions- und Transmissions-Tomographie |
EP2916378B1 (en) * | 2014-03-07 | 2016-05-25 | Toto Ltd. | Solid oxide fuel cell device and method for manufacturing same |
CN106716310A (zh) * | 2014-09-12 | 2017-05-24 | 株式会社村田制作所 | 保持状态检测装置 |
-
2016
- 2016-05-24 JP JP2017521830A patent/JP6269899B2/ja active Active
- 2016-05-24 WO PCT/JP2016/065240 patent/WO2016194690A1/ja active Application Filing
- 2016-05-24 CN CN201680030652.7A patent/CN107615030B/zh active Active
-
2017
- 2017-10-25 US US15/793,194 patent/US10605678B2/en active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001056468A2 (en) * | 2000-02-02 | 2001-08-09 | Massachusetts Institute Of Technology | Arthroscopic impedance probe to detect cartilage degeneration |
JP2007521569A (ja) * | 2003-06-24 | 2007-08-02 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 検出装置 |
WO2015041198A1 (ja) * | 2013-09-20 | 2015-03-26 | 株式会社村田製作所 | 押圧検出センサ |
JP5689523B1 (ja) * | 2013-12-18 | 2015-03-25 | 日本写真印刷株式会社 | 圧力検出器を備えたタッチパネル |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPWO2016194690A1 (ja) | 2018-02-15 |
US20180058954A1 (en) | 2018-03-01 |
WO2016194690A1 (ja) | 2016-12-08 |
JP6269899B2 (ja) | 2018-01-31 |
US10605678B2 (en) | 2020-03-31 |
CN107615030A (zh) | 2018-01-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN107615030B (zh) | 压电膜传感器以及保持状态检测装置 | |
JP6399192B2 (ja) | 保持状態検出装置 | |
US10309844B2 (en) | Press detecting sensor | |
JP2005156531A (ja) | 圧力センサおよび生体情報処理装置 | |
US10197460B2 (en) | Piezoelectric sensor including a sensor unit having a first adhesive layer with different properties than a second adhesive layer | |
EP2977718A1 (en) | Displacement sensor, pushing amount detection sensor, and touch input device | |
US10656729B2 (en) | Pressing detector and electronic device | |
JP6004123B2 (ja) | 圧電センサの製造方法 | |
WO2015080109A1 (ja) | 圧電センサおよび携帯端末 | |
JP6079931B2 (ja) | 押圧センサ | |
JP6497264B2 (ja) | タッチ式入力装置 | |
CN110494725B (zh) | 按压传感器和电子设备 | |
CN107532950B (zh) | 接触力测试装置,这种接触力测试装置的应用以及用于制造这种接触力测试装置的方法 | |
WO2015019981A1 (ja) | 押圧検出センサ | |
WO2018008572A1 (ja) | 圧電センサ | |
JP6493647B2 (ja) | 把持検知センサ | |
JP6052434B2 (ja) | 圧電センサの製造方法 | |
WO2015093356A1 (ja) | 圧電センサの製造方法 | |
JP6206604B2 (ja) | 押圧検知装置 | |
CN214748552U (zh) | 按压传感器和按压检测装置 | |
CN107924987B (zh) | 柔性基板、压电器件以及电子设备 | |
JP2015210244A (ja) | 感圧ポリマーデバイス | |
JP5994949B2 (ja) | 操作入力装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |