JP6269496B2 - 減圧治具及び減圧治具を用いた被加圧物の加圧方法 - Google Patents
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Description
また、本発明は以下の詳細な説明により更に完全に理解できるであろう。しかしながら、詳細な説明および特定の実施例は、本発明の望ましい実施の形態であり、説明の目的のためにのみ記載されているものである。この詳細な説明から、種々の変更、改変が、当業者にとって明らかだからである。
出願人は、記載された実施の形態のいずれをも公衆に献上する意図はなく、開示された改変、代替案のうち、特許請求の範囲内に文言上含まれないかもしれないものも、均等論下での発明の一部とする。
本明細書あるいは請求の範囲の記載において、名詞及び同様な指示語の使用は、特に指示されない限り、または文脈によって明瞭に否定されない限り、単数および複数の両方を含むものと解釈すべきである。本明細書中で提供されたいずれの例示または例示的な用語(例えば、「等」)の使用も、単に本発明を説明し易くするという意図であるに過ぎず、特に請求の範囲に記載しない限り本発明の範囲に制限を加えるものではない。
本発明に係る被加圧物を収容空間に配置して当該収容空間を減圧する減圧治具と、この減圧治具を用いた被加圧物の加圧方法について、図を参照して説明する。
図9に示すように、第2減圧部材20は、平板状の部材として形成してもよい。これによれば、簡単な構造にすることができるとともに、被加圧物Wを保持する領域の剛性が高いため、被加圧物Wを安定して保持することができるので、例えば、スラリー成形体など被加圧物Wの強度が弱い場合に好適に用いることができる。さらに、平板状の部材で形成された第2減圧部材20は、強度の弱い被加圧物Wを第2減圧部材20上に載置するのにも好適である。なお、加圧工程で加熱または冷却を行う場合には、図3に示す構造の方が熱容量を小さくすることができるので、迅速な加熱または冷却を行うことができる。
本発明に係る被加圧物減圧治具の第2実施形態について、図を参照して説明する。ここで、第1実施形態と同様の構成については、同じ符号を用い、説明を省略する。なお、図10(A)の断面図及び図11(A)の断面図においては、構造をわかりやすくするために、部材の一部を誇張して大きく記載してある。
図12に示すように、第1シート部材12の被加圧物Wの反対側に、第1シート部材12より剛性が高い材料からなり、矩形の板状に形成された剛性付与部材70を設けることができる。剛性付与部材70は、被加圧物Wを収容する位置に対応し、加圧可能な位置に配置され、被加圧物Wの外形より大きな寸法に形成される。剛性付与部材70を形成する材料として、金属材料、特に、ステンレス鋼を好適に用いることができる。
本実施形態の減圧治具1及び被加圧物の加圧方法によれば、収容空間Sに被加圧物Wを配置し、予備減圧室Yを排気して減圧した後に収容空間Sを排気することにより、被加圧物Wが第1シート部材から加圧力を受けず、第1シート部材が被加圧物Wに密着しない状態で収容空間Sの排気を行うことができる。また、第1シート部材12は可撓性を有しているので、第1シート部材12を収容空間Sに配置された被加圧物Wに密着させて被加圧物Wを固定することができる。これにより、収容空間Sが十分に減圧された後に、被加圧物Wの加圧を行うことができるため、被加圧物Wに気泡などが残存し、ボイドなどの欠陥が生じることを防ぐことができる。また、被加圧物Wが、収容空間Sの減圧が完了するまで加圧力を負荷したくない材料にも好適に用いることができる。
本発明の減圧治具1は、下記工程に示すセラミック材料の成形工程に用いることもできる。
1.スラリー状セラミック材料をテープ成形して、テープ成形体を得る。
2.減圧治具を用い、テープ成形体を減圧下で加熱乾燥させる。これにより、乾燥時間を短縮することができる。
3.予備減圧室を大気に開放して予備減圧部材を取り外す。
4.乾燥したテープ成形体を熱加圧して高密度化を行う。なお、このとき、収容空間は減圧状態でテープ成形体を固定していなくてもよく、その場合収容空間は大気に開放するかガス封入を行う。
10…第1減圧部材(第1の減圧部材)
11…第1枠状部材(第1の枠状部材)
12…第1シート部材(第1のシート部材)
14…排気ポート
15…排気路
20…第2減圧部材(第2の減圧部材)
21…第2枠状部材(第2の枠状部材)
22…第2シート部材(第2のシート部材)
24…排気ポート
25…排気路
30…シール部材
40…第1予備減圧部材(第1の予備減圧部材)
41…本体部
42…スペーサー
50…第2予備減圧部材(第2の予備減圧部材)
60…収容空間形成部材
61…位置決め部材
70…剛性付与部材
S…収容空間
S2…第2収容空間(第2の収容空間)
W…被加圧物
H…流路空間
Claims (9)
- 加圧処理を行う被加圧物を加圧手段により加圧するために、被加圧物が収容される収容空間を減圧する減圧治具であって、
枠状に形成された第1の枠状部材と該第1の枠状部材に張り渡される第1のシート部材とを備えた第1の減圧部材と、
前記第1の減圧部材に対向して配置され、前記第1の減圧部材との間に前記被加圧物を収容する保持部材と、
前記第1の枠状部材と前記保持部材との間に配置され、前記第1の減圧部材と前記保持部材との間の空間を気密状態に区画し、前記被加圧物を収容可能な収容空間を形成するシール部材と、
第1の減圧部材に対向して前記保持部材の反対側に配置され、前記第1のシート部材との間に予備減圧室を形成し、前記予備減圧室を減圧可能に構成されている第1の予備減圧部材であって、前記第1の減圧部材から取り外し可能であり、被加圧物が加圧手段により加圧されるときには取り外される第1の予備減圧部材と、を備えたことを特徴とする
減圧治具。 - 前記保持部材は、前記第1の枠状部材と対向して配置される枠状に形成された第2の枠状部材と該第2の枠状部材に張り渡される第2のシート部材とを備えた第2の減圧部材であり、
前記第2の減圧部材に対向して前記第1の減圧部材の反対側に配置され、前記第2のシート部材との間に予備減圧室を形成し、前記予備減圧室内部を減圧可能に構成されている第2の予備減圧部材であって、前記第2の減圧部材から取り外し可能であり、被加圧物が加圧手段により加圧されるときには取り外される第2の予備減圧部材を備えたことを特徴とする
請求項1に記載の減圧治具。 - 前記第1の予備減圧部材又は第2の予備減圧部材は、前記予備減圧室内部に向かって形成されたスペーサーを備えたことを特徴とする
請求項1または請求項2に記載の減圧治具。 - 前記保持部材に配置された板状部材であって、
前記収容空間を、被加圧物を収容する第2の収容空間と、第2の収容空間と排気手段とを連通する流路空間と、に区画する収容空間形成部材を備えたことを特徴とする
請求項1または請求項2に記載の減圧治具。 - 前記保持部材に配置された枠状の板状部材であって、
前記被加圧物の位置決めを行う位置決め部材を備えたことを特徴とする
請求項4に記載の減圧治具。 - 前記被加圧物は、半導体チップを備える基板及び半導体チップ封止用材料であることを特徴とする
請求項1または請求項2に記載の減圧治具。 - 請求項1または請求項2に記載の減圧治具と、被加圧物と、を用意し、
前記予備減圧室を排気して減圧する予備減圧工程と、
前記収容空間に前記被加圧物を配置する配置工程と、
前記収容空間を排気し、被加圧物が前記第1のシート部材から加圧力を受けない範囲で減圧する減圧工程と、
前記予備減圧室を大気圧に開放することにより、前記第1のシート部材を前記収容空間に配置された被加圧物に密着させて被加圧物を固定する固定工程と、
前記予備減圧部材を前記減圧部材から取り外し、固定された被加圧物を加圧する加圧工程と、を備えたことを特徴とする
被加圧物の加圧方法。 - 前記予備減圧室を減圧する内圧は、前記収容空間を減圧する内圧以下であることを特徴とする
請求項7に記載の被加圧物の加圧方法。 - 前記加圧工程において、前記固定工程における被加圧物を固定する加圧力により、被加圧物を加圧することを特徴とする
請求項7記載の被加圧物の加圧方法。
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