JP6265307B1 - 半導体装置の製造方法および半導体装置 - Google Patents
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Abstract
Description
開口を備えたテーパードメタルマスクを基板の裏面の上に形成し、前記開口が前記裏面の特定部分を露出させ、かつ前記開口の縁部が前記裏面に向かって順テーパーを有するものであるメタルマスク形成工程と、
前記テーパードメタルマスクの上から前記開口の前記縁部および前記開口から露出した前記基板をドライエッチングすることによって、前記基板にテーパード溝を形成するドライエッチング工程と、
前記テーパードメタルマスクを除去するメタルマスク除去工程と、
を備え、
前記メタルマスク形成工程は、触媒毒を含む無電解めっき液を用いて前記特定部分の外縁の上方の触媒毒濃度を前記特定部分の外側の領域の触媒毒濃度よりも高めるように無電解めっきを施すことで、前記特定部分の前記外縁の上方の部分が前記順テーパーにめっき成長された無電解めっき膜を、前記テーパードメタルマスクとして形成する。
表面および裏面を有する化合物基板と、
前記表面の側に設けられた半導体デバイスと、
前記裏面に設けられたテーパードビアホールと
前記テーパードビアホールの内壁面を覆うように前記裏面の側に設けられた裏面メタルと、
を備え、
前記テーパードビアホールは、前記裏面から深くなるほど細くなり且つ前記裏面から前記表面に達するまでに段差を有さず、
前記内壁面が針状凸凹を有し、
前記針状凸凹の先端が、微小金属体で被覆され、
前記裏面メタルが、前記微小金属体および前記針状凸凹を被覆する。
[実施の形態1にかかる装置]
図1は、本発明の実施の形態1にかかる半導体装置1を示す断面図である。半導体装置1は、化合物基板11と、半導体層12と、トランジスタ10と、テーパードビアホール(Tapered Via Hole)17と、裏面メタル16と、を備える。化合物基板11は、表面11aおよび裏面11bを有する。化合物基板11の表面11a側には、半導体層12およびトランジスタ10が設けられている。トランジスタ10は、ソース電極13、ドレイン電極14、ゲート電極15を備えている。化合物基板11の裏面11b側には、裏面メタル16が設けられている。テーパードビアホール17は、化合物基板11の表面11aと裏面11bとを貫通している。テーパードビアホール17を介して、ソース電極13と裏面メタル16が電気的に接続されている。ここでいう「テーパード」とは、テーパードビアホール17における裏面11bから深い位置ほどテーパードビアホール17の幅が細くなるような順テーパー状をいう。テーパードビアホール17は、化合物基板11の裏面11bから表面11aに達するまでに段差を有さない一段のビアホールである。裏面メタル16は、テーパードビアホール17の内壁面17aを覆うように裏面11bの側に設けられている。テーパードビアホール17の内壁面17aが段差無く平らにされているので、裏面メタル16の膜剥がれを抑制することができる。
実施の形態1にかかる製造方法は、実施の形態1にかかる半導体装置1を製造するのに適している。図6は、本発明の実施の形態1にかかる半導体装置の製造方法を示すフローチャートである。図7〜図13は、本発明の実施の形態1にかかる半導体装置の製造方法を示す図である。特に、図11は、本発明の実施の形態1にかかる半導体装置の製造方法におけるドライエッチングを説明するための図である。
実施の形態1にかかる製造方法において、化合物基板11に代えて、単元素半導体基板311を用いてもよい。図36は、本発明の実施の形態4にかかる半導体装置の製造方法を示すフローチャートである。実施の形態1のステップS100においては化合物基板11を準備してこれに表面電極形成工程が施されたのに対し、実施の形態2では単元素半導体基板311を準備してこれに表面電極形成工程が施される(ステップS400)。その他の工程は実施の形態1と同様である。実施の形態1で説明した各種変形例は、実施の形態2にも同様に適用することができる。
10 トランジスタ
11 化合物基板
11a 表面
11b 裏面
11c 化合物基板の壁面
12 半導体層
12a 半導体層の壁面
13 ソース電極
14 ドレイン電極
15 ゲート電極
16 裏面メタル
17 テーパードビアホール
17a 内壁面
17b 底面
18 給電層
18a 隙間
19 テーパードメタルマスク
19a メタルマスク開口
19b 縁部
19d 第一部分
19e 第二部分
20 針状凸凹
21 微小金属体
25 接着剤
26 支持基板
30 めっき成長防止マスク
102 n型半導体層(ドリフト層)
103 ベース領域
104 ディープ層
105、305 テーパードトレンチ
105a 両角部
106 n+型ソース領域
107 p型層
108 ゲート絶縁膜
109 ゲート電極
112 第一電極
113 第二電極
201 化合物基板
202、207 光吸収層
203 多重反射層
204 障壁層
205 増倍層
206 電界緩和層
208 グレーディッド層
209 窓層
210 コンタクト層
211 p型不純物拡散領域
212 アノード電極
213 カソード電極
214、314 テーパードメサ
215 無反射膜
216 p型不純物拡散領域
217 金属膜
220 化合物半導体基板
311 単元素半導体基板
Claims (17)
- 開口を備えたテーパードメタルマスクを基板の裏面の上に形成し、前記開口が前記裏面の特定部分を露出させ、かつ前記開口の縁部が前記裏面に向かって順テーパーを有するものであるメタルマスク形成工程と、
前記テーパードメタルマスクの上から前記開口の前記縁部および前記開口から露出した前記基板をドライエッチングすることによって、前記基板にテーパード溝を形成するドライエッチング工程と、
前記テーパードメタルマスクを除去するメタルマスク除去工程と、
を備え、
前記メタルマスク形成工程は、触媒毒を含む無電解めっき液を用いて前記特定部分の外縁の上方の触媒毒濃度を前記特定部分の外側の領域の触媒毒濃度よりも高めるように無電解めっきを施すことで、前記特定部分の前記外縁の上方の部分が前記順テーパーにめっき成長された無電解めっき膜を、前記テーパードメタルマスクとして形成する半導体装置の製造方法。 - 開口を備えたテーパードメタルマスクを基板の裏面の上に形成し、前記開口が前記裏面の特定部分を露出させ、かつ前記開口の縁部が前記裏面に向かって順テーパーを有するものであるメタルマスク形成工程と、
前記テーパードメタルマスクの上から前記開口の前記縁部および前記開口から露出した前記基板をドライエッチングすることによって、前記基板にテーパード溝を形成するドライエッチング工程と、
前記テーパードメタルマスクを除去するメタルマスク除去工程と、
を備え、
前記メタルマスク形成工程は、触媒毒を含む無電解めっき液を用いて無電解めっきを施すことで、前記テーパードメタルマスクを形成するものであり、
前記メタルマスク形成工程は、
前記基板の前記裏面に、給電層を設ける給電層形成工程と、
前記触媒毒を含む前記無電解めっき液を用いて前記給電層に無電解めっきを施すことで、前記テーパードメタルマスクを形成する無電解めっき工程と、
を含み、
前記給電層で前記裏面の前記特定部分を覆わないことで前記テーパードメタルマスクに前記開口を設ける半導体装置の製造方法。 - 開口を備えたテーパードメタルマスクを基板の裏面の上に形成し、前記開口が前記裏面の特定部分を露出させ、かつ前記開口の縁部が前記裏面に向かって順テーパーを有するものであるメタルマスク形成工程と、
前記テーパードメタルマスクの上から前記開口の前記縁部および前記開口から露出した前記基板をドライエッチングすることによって、前記基板にテーパード溝を形成するドライエッチング工程と、
前記テーパードメタルマスクを除去するメタルマスク除去工程と、
を備え、
前記メタルマスク形成工程は、触媒毒を含む無電解めっき液を用いて無電解めっきを施すことで、前記テーパードメタルマスクを形成するものであり、
前記メタルマスク形成工程は、
前記基板の前記裏面に給電層を設ける給電層形成工程と、
前記給電層における前記特定部分の上方の部位を覆うめっき成長防止マスクを設ける工程と、
前記触媒毒を含む前記無電解めっき液を用いて、前記給電層における前記めっき成長防止マスクから露出した部分に無電解めっきを施すことで前記テーパードメタルマスクを形成する無電解めっき工程と、
を含み、
前記めっき成長防止マスクを除去してから又は前記めっき成長防止マスクの上から前記ドライエッチング工程を行う半導体装置の製造方法。 - 前記テーパードメタルマスクが前記めっき成長防止マスクよりも厚くなるように前記無電解めっきを施す請求項3に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記触媒毒は、
鉛、ビスマス、アンチモン、テルルおよび銅イオンからなる群から選択される少なくとも1種の金属イオンと、
硫黄化合物と、
窒素化合物と、
ポリエチレングリコールと、
アセチレン系アルコールと、
のうちのいずれかの物質を含む請求項1〜4のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記無電解めっき液が前記物質を0.1〜40mg/L含む請求項5に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記給電層の主成分が、前記テーパードメタルマスクの主成分と同一である請求項2〜4のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記メタルマスク形成工程の前に、前記基板の表面の側に接着剤で支持基板を張り付ける工程と、
前記メタルマスク除去工程の後に、前記支持基板を前記基板から剥離する工程と、
を更に備える請求項1〜7のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記テーパードメタルマスクの主成分が、クロム、銅、ニッケル、またはアルミニウムである請求項1〜8のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記テーパードメタルマスクに隣り合う複数の前記開口を設け、前記テーパードメタルマスクのうち前記複数の開口で挟まれた第一部分を、前記テーパードメタルマスクのうち前記第一部分以外の第二部分よりも薄く形成し、
前記ドライエッチング工程で、前記複数の開口を通じて前記第一部分が消失した後もドライエッチングを継続することで、前記裏面における前記第一部分の直下の第一領域を、前記裏面における前記第二部分の直下の第二領域よりも薄くした請求項1〜9のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記基板の材料が、化合物半導体またはAl2O3である請求項1〜10のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記基板の材料が、レジストを用いたドライエッチングにおけるエッチングレートが0.1〜1μm/minである難エッチング材料である請求項1〜10のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 開口を備えたテーパードメタルマスクを基板の裏面に形成し、前記開口が前記裏面の一部を露出させ、かつ前記開口の縁部が前記裏面に向かって順テーパーを有するものであるメタルマスク形成工程と、
前記テーパードメタルマスクの上から前記開口の前記縁部および前記開口から露出した前記基板をドライエッチングすることによって、前記基板にテーパード溝を形成するドライエッチング工程と、
前記テーパードメタルマスクを除去するメタルマスク除去工程と、
を備え、
前記基板の材料が、化合物半導体と、Al2O3と、レジストを用いたドライエッチングにおけるエッチングレートが0.1〜1μm/minである難エッチング材料と、のうちのいずれか一つであり、
前記ドライエッチング工程は、前記テーパードメタルマスクのドライエッチングで生じた微小金属体が前記基板に再付着することで前記微小金属体をマスクとして前記テーパード溝の内壁面に針状凸凹を形成する半導体装置の製造方法。 - 前記基板の材料が、単元素半導体である請求項1〜10のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 表面および裏面を有する化合物基板と、
前記表面の側に設けられた半導体デバイスと、
前記裏面に設けられたテーパードビアホールと
前記テーパードビアホールの内壁面を覆うように前記裏面の側に設けられた裏面メタルと、
を備え、
前記テーパードビアホールは、前記裏面から深くなるほど細くなり且つ前記裏面から前記表面に達するまでに段差を有さず、
前記内壁面が針状凸凹を有し、
前記針状凸凹の先端が、微小金属体で被覆され、
前記裏面メタルが、前記微小金属体および前記針状凸凹を被覆する半導体装置。 - 前記微小金属体と前記裏面メタルは異なる材料である請求項15に記載の半導体装置。
- 前記化合物基板に、隣り合う複数の前記テーパードビアホールが設けられ、
前記裏面における前記複数の前記テーパードビアホールに挟まれた第一領域が、前記裏面における前記第一領域以外の第二領域よりも薄くされた請求項15または16に記載の半導体装置。
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