JP5386962B2 - エッチング方法およびエッチング方法を用いた半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
本実施形態は先細状ビア孔を形成するエッチング方法に関する。このエッチング方法は半導体装置の製造方法として用いられる。本実施形態は図1〜図7を参照して説明する。なお、同一材料または同一、対応する構成要素には同一の符号を付して複数回の説明を省略する場合がある。
本実施形態は先細状ビア孔を形成するエッチング方法に関し、特にビア孔形状の高精度の制御が可能であるエッチング方法、および、ビア孔の幅が孔上部から孔底面に向かって緩やかに減少する先細状ビア孔を形成するエッチング方法に関する。本実施形態のエッチング方法も実施形態1と同様に半導体装置の製造方法として用いられる。本実施形態は図8〜図23を参照して説明する。なお、同一材料または同一、対応する構成要素には同一の符号を付して複数回の説明を省略する場合がある点については実施形態1と同様である。
本実施形態はさらに簡易な工程により先細状ビア孔を形成するエッチング方法に関する。本実施形態は図24〜図32を参照して説明する。本実施形態のエッチング方法も実施形態1と同様に半導体装置の製造方法として用いられる。なお、同一材料または同一、対応する構成要素には同一の符号を付して複数回の説明を省略する場合がある点については実施形態1、2と同様である。
Claims (9)
- 半導体基板上に開口を有する金属導電層を形成する工程と、
前記金属導電層を給電層とする電解メッキ法または無電解メッキ法により前記金属導電層上に第1の開口を有する第1メッキ層を形成する工程と、
前記第1メッキ層を給電層とする電解メッキ法または無電解メッキ法により前記第1メッキ層の側壁に前記第1の開口より幅の狭い第2の開口を有する第2メッキ層を形成する工程と、
前記第2メッキ層をマスクとして第1のドライエッチングを行い前記半導体基板をエッチングする工程と、
前記第1のドライエッチングの後に前記第1メッキ層を残す選択的ウェットエッチングを行い前記第2メッキ層をエッチングする工程と、
前記第2メッキ層をエッチングした後に前記第1メッキ層をマスクとして第2のドライエッチングを行い前記半導体基板をさらにエッチングする工程とを備えることを特徴とするエッチング方法。 - 半導体基板上に金属導電層を形成する工程と、
前記金属導電層を給電層とする電解メッキ法または無電解メッキ法により前記金属導電層上に開口を有する第1メッキ層を形成する工程と、
前記開口に、前記第1メッキ層の側壁と所定の間隙を有するようにレジスト層を形成する工程と、
前記第1メッキ層を給電層とする電解メッキ法または無電解メッキ法により前記第1メッキ層の側壁に前記所定の間隙を埋めるように第2メッキ層を形成する工程と、
前記レジスト層を剥離する工程と、
前記レジスト層を剥離した後に前記第2メッキ層をマスクとして第1のドライエッチングを行い前記半導体基板をエッチングする工程と、
前記第1のドライエッチングの後に、前記第1メッキ層を残す選択的ウェットエッチングを行い前記第2メッキ層をエッチングする工程と、
前記第2メッキ層をエッチングした後に前記第1メッキ層をマスクとして第2のドライエッチングを行い前記半導体基板をさらにエッチングする工程とを備えることを特徴とするエッチング方法。 - 前記レジスト層を逆テーパ形状で形成することを特徴とする請求項2に記載のエッチング方法。
- 前記第1メッキ層はNiであり、
前記第2メッキ層はAuであり、
前記ウェットエッチングではヨウ素系エッチング液が用いられることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載のエッチング方法。 - 前記第1メッキ層と前記第2メッキ層は、Ni、Cr、Pt、Au、Cu、Wの中から選ばれる相互に異なる材料で形成されることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載のエッチング方法。
- 半導体基板上に金属導電層を形成する工程と、
前記金属導電層を給電層とする電解メッキ法または無電解メッキ法により前記金属導電層上に開口を有する第1メッキ層を形成する工程と、
前記開口の中、および、前記開口近傍の前記第1メッキ層上にレジスト層を形成する工程と、
前記レジスト層を形成した後に前記第1メッキ層を給電層とする電解メッキ法または無電解メッキ法により、前記レジスト層が形成されていない前記第1メッキ層上に前記レジスト層と接して第2メッキ層を形成する工程と、
前記レジスト層を剥離し前記開口近傍の前記第1メッキ層を露出させる工程と、
前記レジスト層を剥離した後に前記第1メッキ層をマスクとして第1のドライエッチングを行い前記半導体基板をエッチングするとともに前記開口近傍の前記第1メッキ層およびその下層の前記金属導電層をエッチングする工程と、
前記第1のドライエッチングの後に前記第2メッキ層をマスクとして第2のドライエッチングを行い、前記半導体基板をさらにエッチングする工程とを備えることを特徴とするエッチング方法。 - 前記金属導電層は前記半導体基板と接してTi層を備え前記第1メッキ層と接してAu層を備える多層構造であることを特徴とする請求項1、2、6のいずれか一項に記載のエッチング方法。
- 前記半導体基板はGaN基板またはSiC基板であることを特徴とする請求項1、2、6のいずれか一項に記載のエッチング方法。
- 請求項1〜8のいずれか一項に記載のエッチング方法を用いた半導体装置の製造方法。
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