JP6260858B2 - 電気機械変換素子の製造方法、電気機械変換素子、液滴吐出ヘッド及び画像形成装置 - Google Patents

電気機械変換素子の製造方法、電気機械変換素子、液滴吐出ヘッド及び画像形成装置 Download PDF

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6708412B2 (ja) * 2016-01-06 2020-06-10 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッドおよびその製造方法
JP2017157773A (ja) 2016-03-04 2017-09-07 株式会社リコー 電気機械変換素子、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット及び液体を吐出する装置
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JP6983679B2 (ja) * 2018-01-26 2021-12-17 東芝テック株式会社 インクジェットヘッド及びインクジェットプリンタ
US10744768B2 (en) 2018-03-12 2020-08-18 Ricoh Company, Ltd. Bonded substrate, liquid discharge head, and liquid discharge apparatus
US10828894B2 (en) 2018-03-19 2020-11-10 Ricoh Company, Ltd. Actuator, liquid discharge head, liquid discharge device, and liquid discharge apparatus
JP2020131627A (ja) 2019-02-22 2020-08-31 株式会社リコー 液体吐出ヘッド、ヘッドモジュールおよび液体吐出装置
JP7363067B2 (ja) 2019-03-19 2023-10-18 株式会社リコー 圧電体薄膜素子、液体吐出ヘッド、ヘッドモジュール、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置及び圧電体薄膜素子の製造方法
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JP7725911B2 (ja) * 2021-07-26 2025-08-20 株式会社リコー アクチュエータ、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置
JP7755231B2 (ja) 2021-10-06 2025-10-16 株式会社リコー ヘッドモジュール、液体吐出ヘッド、液体を吐出する装置
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EP4173828B1 (en) 2021-10-28 2025-01-15 Ricoh Company, Ltd. Liquid discharge head and liquid discharge apparatus
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1852974B1 (en) * 2005-02-21 2011-11-23 Murata Manufacturing Co., Ltd. Piezoelectric thin film resonator
JP2007250997A (ja) * 2006-03-17 2007-09-27 Seiko Epson Corp キャパシタおよびその製造方法
WO2012002965A1 (en) * 2010-06-30 2012-01-05 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Piezoelectric mechanism having electrodes within thin film sheet that are substantially perpendicular to substrate
JP5708098B2 (ja) * 2011-03-18 2015-04-30 株式会社リコー 液体吐出ヘッド、液体吐出装置および画像形成装置
JP2013077827A (ja) 2012-12-03 2013-04-25 Seiko Epson Corp 圧電素子の製造方法

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