JP2015116696A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2015116696A5
JP2015116696A5 JP2013260344A JP2013260344A JP2015116696A5 JP 2015116696 A5 JP2015116696 A5 JP 2015116696A5 JP 2013260344 A JP2013260344 A JP 2013260344A JP 2013260344 A JP2013260344 A JP 2013260344A JP 2015116696 A5 JP2015116696 A5 JP 2015116696A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
film
manufacturing
electromechanical
protective film
electrode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2013260344A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP6260858B2 (ja
JP2015116696A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2013260344A priority Critical patent/JP6260858B2/ja
Priority claimed from JP2013260344A external-priority patent/JP6260858B2/ja
Priority to US14/572,930 priority patent/US9362478B2/en
Publication of JP2015116696A publication Critical patent/JP2015116696A/ja
Publication of JP2015116696A5 publication Critical patent/JP2015116696A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6260858B2 publication Critical patent/JP6260858B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2013260344A 2013-12-17 2013-12-17 電気機械変換素子の製造方法、電気機械変換素子、液滴吐出ヘッド及び画像形成装置 Expired - Fee Related JP6260858B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013260344A JP6260858B2 (ja) 2013-12-17 2013-12-17 電気機械変換素子の製造方法、電気機械変換素子、液滴吐出ヘッド及び画像形成装置
US14/572,930 US9362478B2 (en) 2013-12-17 2014-12-17 Method of producing electromechanical transducer element, electromechanical transducer element, liquid droplet discharge head, and image forming apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013260344A JP6260858B2 (ja) 2013-12-17 2013-12-17 電気機械変換素子の製造方法、電気機械変換素子、液滴吐出ヘッド及び画像形成装置

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2015116696A JP2015116696A (ja) 2015-06-25
JP2015116696A5 true JP2015116696A5 (enExample) 2016-03-31
JP6260858B2 JP6260858B2 (ja) 2018-01-17

Family

ID=53369560

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013260344A Expired - Fee Related JP6260858B2 (ja) 2013-12-17 2013-12-17 電気機械変換素子の製造方法、電気機械変換素子、液滴吐出ヘッド及び画像形成装置

Country Status (2)

Country Link
US (1) US9362478B2 (enExample)
JP (1) JP6260858B2 (enExample)

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6708412B2 (ja) * 2016-01-06 2020-06-10 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッドおよびその製造方法
JP2017157773A (ja) 2016-03-04 2017-09-07 株式会社リコー 電気機械変換素子、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット及び液体を吐出する装置
JP7059604B2 (ja) 2017-12-07 2022-04-26 株式会社リコー 液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置
JP6983679B2 (ja) * 2018-01-26 2021-12-17 東芝テック株式会社 インクジェットヘッド及びインクジェットプリンタ
US10744768B2 (en) 2018-03-12 2020-08-18 Ricoh Company, Ltd. Bonded substrate, liquid discharge head, and liquid discharge apparatus
US10828894B2 (en) 2018-03-19 2020-11-10 Ricoh Company, Ltd. Actuator, liquid discharge head, liquid discharge device, and liquid discharge apparatus
JP2020131627A (ja) 2019-02-22 2020-08-31 株式会社リコー 液体吐出ヘッド、ヘッドモジュールおよび液体吐出装置
JP2020155528A (ja) 2019-03-19 2020-09-24 株式会社リコー 電気機械変換部材、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット及び液体を吐出する装置
JP7363067B2 (ja) 2019-03-19 2023-10-18 株式会社リコー 圧電体薄膜素子、液体吐出ヘッド、ヘッドモジュール、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置及び圧電体薄膜素子の製造方法
JP2020151878A (ja) 2019-03-19 2020-09-24 株式会社リコー 液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置
JP7342482B2 (ja) 2019-07-20 2023-09-12 株式会社リコー 接合部材、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置
JP7342661B2 (ja) 2019-11-29 2023-09-12 株式会社リコー 液体吐出ヘッド、吐出ユニット、液体を吐出する装置、貼り合わせ基板
JP7537093B2 (ja) 2020-02-17 2024-08-21 株式会社リコー アクチュエータ、液体吐出ヘッド、液体吐出装置及びアクチュエータの製造方法
JP7559357B2 (ja) 2020-05-27 2024-10-02 株式会社リコー 液体吐出ヘッド、吐出ユニット、液体を吐出する装置、貼り合わせ基板
JP2022057129A (ja) 2020-09-30 2022-04-11 株式会社リコー アクチュエータ、液体吐出ヘッド及び液体吐出装置
JP7725911B2 (ja) * 2021-07-26 2025-08-20 株式会社リコー アクチュエータ、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置
JP7755231B2 (ja) 2021-10-06 2025-10-16 株式会社リコー ヘッドモジュール、液体吐出ヘッド、液体を吐出する装置
JP7720021B2 (ja) 2021-10-27 2025-08-07 株式会社リコー 液体吐出ヘッド及び液体吐出装置
EP4173828B1 (en) 2021-10-28 2025-01-15 Ricoh Company, Ltd. Liquid discharge head and liquid discharge apparatus
JP2023180465A (ja) 2022-06-09 2023-12-21 株式会社リコー 液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、及び、液体を吐出する装置
US12391042B2 (en) 2022-09-29 2025-08-19 Ricoh Company, Ltd. Liquid discharge head, liquid discharge unit, and liquid discharge apparatus

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
ATE535055T1 (de) * 2005-02-21 2011-12-15 Murata Manufacturing Co Piezoelektrischer dünnfilmresonator
JP2007250997A (ja) * 2006-03-17 2007-09-27 Seiko Epson Corp キャパシタおよびその製造方法
US9331260B2 (en) * 2010-06-30 2016-05-03 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Piezoelectric mechanism having electrodes within thin film sheet that are substantially perpendicular to substrate
JP5708098B2 (ja) * 2011-03-18 2015-04-30 株式会社リコー 液体吐出ヘッド、液体吐出装置および画像形成装置
JP2013077827A (ja) 2012-12-03 2013-04-25 Seiko Epson Corp 圧電素子の製造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2015116696A5 (enExample)
JP2013158909A5 (enExample)
JP2009279830A5 (enExample)
JP2016150471A5 (enExample)
JP2011056913A5 (enExample)
JP2017157773A5 (ja) 電気機械変換素子、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置及び電気機械変換素子の製造方法
JP2010240852A5 (ja) ノズルプレートの製造方法、ノズルプレート、液滴吐出ヘッドの製造方法、液滴吐出ヘッド、プリンター及び液滴吐出装置
JP2012506635A5 (enExample)
JP2014124922A5 (enExample)
JP2014146802A5 (enExample)
JP2014534336A5 (enExample)
JP2012196882A5 (enExample)
JP2012126124A5 (enExample)
JP2012148553A5 (enExample)
JP2013111807A5 (enExample)
JP2011205064A5 (ja) 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子、超音波センサー及び赤外センサー
JP2013091264A5 (enExample)
JP2013070112A5 (enExample)
JP2011044582A5 (enExample)
JP2013001119A5 (enExample)
JP2012121273A5 (ja) 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子、超音波デバイス及びirセンサー
JP2004216876A5 (enExample)
JP2017212423A5 (enExample)
TW200631799A (en) Method of manufacturing liquid discharge head, and liquid discharge head
JP2012129273A5 (ja) 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子及び圧電センサー