JP6258883B2 - スパッタされた材料の層を形成するシステムおよび方法 - Google Patents
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Description
Claims (17)
- 真空チャンバ内で基板(110)をコーティングする方法であって、前記方法は、
スパッタされた材料の層(806)を前記基板(110)上に形成することを含み、スパッタされた材料の前記層を形成することが、
少なくとも1つの回転ターゲット(120’)から材料を前記基板(110)の上方に、前記少なくとも一つの回転ターゲット(120’)が回転されている間、スパッタすること、および
前記少なくとも1つの回転ターゲット(120’)と前記基板(110)の間の相対位置を変化させること
を含み、前記基板が前記層を形成する間中、前記真空チャンバに対して静止したままであり、
前記少なくとも1つの回転ターゲットが基板表面に沿って平行移動される、
方法。 - 前記少なくとも1つの回転ターゲットが往復するように移動される、請求項1に記載の基板をコーティングする方法。
- 前記変化させることが、
前記少なくとも1つの回転ターゲット(120’)と前記基板(110)の間の相対位置を第1の位置(I)へ変化させ、前記第1の位置を、所定の第1の時間間隔の間、維持すること、および
前記少なくとも1つの回転ターゲットと前記基板の間の相対位置を第2の位置(II)へ変化させ、前記第2の位置を、所定の第2の時間間隔の間、維持すること
を含み、
前記所定の第1の時間間隔と前記所定の第2の時間間隔のうちの少なくとも一方が少なくとも0.1秒である、請求項1に記載の基板をコーティングする方法。 - 前記少なくとも1つの回転ターゲット(120’)が回転ターゲットのアレイかまたは複数の回転ターゲットである、請求項1から3のいずれか一項に記載の基板をコーティングする方法。
- 前記真空チャンバ内の前記回転ターゲットのアレイの回転ターゲットの数が2から20の間である、請求項4に記載の基板をコーティングする方法。
- 厚さの均一性が少なくとも±10%であるスパッタされた材料の前記層が形成されるように、前記相対位置が変化させられる、請求項1から5のいずれか一項に記載の基板をコーティングする方法。
- 前記少なくとも1つの回転ターゲットが、その円筒対称軸を軸に回転可能な実質的に円筒形のターゲット(120’)である、請求項1から6のいずれか一項に記載の基板をコーティングする方法。
- 真空チャンバ内で基板(110)をコーティングする方法であって、前記方法は、
スパッタされた材料の層(806)を前記基板(110)上に形成することを含み、スパッタされた材料の前記層を形成することが、
少なくとも1つの回転ターゲット(120’)から材料を前記基板(110)の上方に、前記少なくとも一つの回転ターゲット(120’)が回転されている間、スパッタすること、および
前記少なくとも1つの回転ターゲット(120’)と前記基板(110)の間の相対位置を変化させること
を含み、前記相対位置を変化させることが、前記少なくとも1つの回転ターゲットの基板方向に沿った平行移動を含む、方法。 - 前記少なくとも1つの回転ターゲットが往復するように移動される、請求項8に記載の基板をコーティングする方法。
- 前記基板が前記層を形成する間中、前記真空チャンバに対して静止したままである、請求項8または9に記載の基板をコーティングする方法。
- 前記変化させることが、
前記少なくとも1つの回転ターゲット(120’)と前記基板(110)の間の相対位置を第1の位置(I)へ変化させ、前記第1の位置を、所定の第1の時間間隔の間、維持すること、および
前記少なくとも1つの回転ターゲットと前記基板の間の相対位置を第2の位置(II)へ変化させ、前記第2の位置を、所定の第2の時間間隔の間、維持すること
を含み、
前記所定の第1の時間間隔と前記所定の第2の時間間隔のうちの少なくとも一方が少なくとも0.1秒である、請求項8から10のいずれか一項に記載の基板をコーティングする方法。 - 前記少なくとも1つの回転ターゲット(120’)が回転ターゲットのアレイかまたは複数の回転ターゲットである、請求項8から11のいずれか一項に記載の基板をコーティングする方法。
- 前記真空チャンバ内の前記回転ターゲットのアレイの回転ターゲットの数が2から20の間である、請求項12に記載の基板をコーティングする方法。
- 基板をコーティングするためのシステムであって、
材料を前記基板(110)上でスパッタするための少なくとも1つの回転ターゲット(120’)であって、磁石アセンブリ(325)が前記少なくとも1つの回転ターゲット(120’)内に位置付けられる、少なくとも1つの回転ターゲット(120’)と、
前記基板表面に沿った前記回転ターゲットの平行移動を生じさせるためのターゲット駆動システムと、スパッタリングの間、前記少なくとも1つの回転ターゲット(120’)の回転を実行する駆動システムとを備え、
前記少なくとも1つの回転ターゲット(120’)が、前記少なくとも1つの回転ターゲット(120’)と前記基板(110)の間の相対位置が変化するように、前記基板(110)のコーティング中に前記少なくとも1つのターゲットの平行移動を生じさせるように移動するように構成されたシステム。 - 前記少なくとも1つの回転ターゲット(120’)が、回転ターゲット(120a’、120b’、120c’、120d’、120e’、120f’)のアレイかまたは複数の回転ターゲットである、請求項14に記載の基板をコーティングするためのシステム。
- 前記少なくとも1つの回転ターゲットが、その円筒対称軸を軸に回転可能である実質的に円筒形のターゲット(120’)である、請求項14または15に記載の基板をコーティングするためのシステム。
- 前記少なくとも1つの回転ターゲットの長さが、コーティングされる基板の長さよりも長い、請求項14から16のいずれか一項に記載の基板をコーティングするためのシステム。
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