JP6258712B2 - 受光素子および受光素子を備えた太陽電池 - Google Patents
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Description
「超格子半導体層」は、障壁層と量子ドット層とが複数回繰り返し積層されて構成された超格子構造を有する。障壁層および量子ドット層はともに化合物半導体材料からなる。障壁層は量子ドット層よりもバンドギャップエネルギーが大きい。
「伝導帯第一超格子ミニバンド」とは、超格子構造の伝導帯側の基底準位により形成された超格子ミニバンドを意味する。
[受光素子の構成]
図1は、本発明の実施形態1に係る受光素子を備えた太陽電池の構成を示す概略断面図である。本実施形態に係る受光素子は、n型半導体層1と、p型半導体層4と、n型半導体層1とp型半導体層4との間に配置される第1の超格子半導体層10Aおよび第2の超格子半導体層10B(以下、両者を含む概念として「超格子半導体層」とも記す)とを備える。
n型半導体層1は、n型不純物を含む半導体からなる。
p型半導体層4は、p型不純物を含む半導体からなる。
p型半導体層は、障壁層8Aまたは8Bと同じ半導体材料にp型不純物を添加したものであってもよいし、障壁層8Aまたは8Bとは異なる半導体材料にp型不純物を添加したものであってもよい。
第1の超格子半導体層10Aおよび第2の超格子半導体層10Bは、n型半導体層1とp型半導体層4との間に配置される。
[太陽電池の構成]
本実施形態に係る受光素子を備えた太陽電池の構成を図1を用いて説明する。
[太陽電池の製造方法]
まず、p−GaAsのp型基板12を有機系洗浄液で洗浄した後、硫酸系エッチング液によってエッチングし、さらに10分間流水洗浄を施した後、MOCVD装置内に支持する。次に、p型基板12上にバッファ層3を形成する。バッファ層3としては、300nmの厚さのp+−GaAs層を形成することが好ましい。バッファ層3の形成により、バッファ層3上に形成される超格子半導体層(光吸収層)の結晶性を向上させることができる。よって、超格子半導体層での受光効率が確保された太陽電池20を提供することができる。その後、バッファ層3上にp型半導体層4を形成する。p型半導体層4としては、300nmの厚さのp−GaAs層を形成することが好ましい。
[量子型赤外線センサー]
実施形態1の受光素子は、量子型赤外線センサーに用いることができる。
本発明の一実施の形態における受光素子について、シミュレーション実験を行った。
歪とピエゾ電界の効果との影響を考慮に入れた8バンドk・pハミルトニアンの平面波展開法を用いて、超格子構造のミニバンド構造、光吸収スペクトル、輻射寿命をシミュレーションした。光吸収係数αは下記(式1)を解くことで、輻射寿命は下記(式2)を解くことで見積ることができる。
比較実験例1では、超格子半導体層は上記実験例1のタイプI構造の超格子構造だけで構成されると仮定して、ミニバンド構造を計算し光吸収スペクトル及び輻射寿命をシミュレーションした。超格子半導体層の全体の厚さは6μmとした。
本比較実験例により計算された超格子構造の伝導帯及び価電子帯(重い正孔及び軽い正孔)における歪考慮前のポテンシャル分布、および伝導帯におけるミニバンド構造(50番目までの超格子ミニバンドを図示)は図4および図6に示す通りである。上記実験例1とは異なり、超格子半導体層はタイプI構造の超格子構造だけで構成されるため、超格子ミニバンドで生成されたキャリアの移動は超格子半導体層全体に渡って緩やかである。
実験例1の超格子半導体層と比較実験例1の超格子半導体層とでは、価電子帯から伝導帯第一超格子ミニバンドおよび伝導帯第二以上の超格子ミニバンドへの遷移における光吸収は同一であり、伝導帯第一超格子ミニバンドから伝導帯第二以上の超格子ミニバンドへの遷移における光吸収も吸収帯域や吸収率において著しい違いは見られなかった。一方で、輻射寿命においては、伝導帯第一超格子ミニバンドおよび価電子帯第一超格子ミニバンド間において、実験例1の方が比較実験例1に比べて2倍長かった。よって、実験例1は超格子ミニバンドを介した二段階目の光吸収をほとんど変えることなく、超格子ミニバンド内でのキャリア寿命を延ばすことができるため、二段階遷移の効率を向上させることができる。また、n型半導体層は、第2の超格子半導体層側に配置されているため、第2の超格子半導体層で二段階目光励起されたキャリアは、n型半導体層から速やかにキャリアが取り出される。これらのことから、伝導帯第一超格子ミニバンド内に生成されたキャリアは、再結合または緩和する前に効率良くn型半導体層へ取り出されることが確認された。したがって、実験例1の超格子半導体層を用いた受光素子は短絡電流を向上させることができる。
実験例2では、障壁層を構成する母体半導体材料を変更することを除いては上記実験例1と同様の方法にしたがってシミュレーションを行った。
比較実験例2では、超格子半導体層は上記実験例2のタイプI構造の超格子構造だけで構成されると仮定して、ミニバンド構造を計算し光吸収スペクトル及び輻射寿命をシミュレーションした。結果は比較実験例1と同じである。
実験例2の超格子半導体層と比較実験例2の超格子半導体層とでは、価電子帯から伝導帯第一超格子ミニバンドおよび伝導帯第二以上の超格子ミニバンドへの遷移における光吸収は同一であり、伝導帯第一超格子ミニバンドから伝導帯第二以上の超格子ミニバンドへの遷移における光吸収も吸収帯域や吸収率において著しい違いは見られなかった。一方で、輻射寿命においては、伝導帯第一超格子ミニバンドおよび価電子帯第一超格子ミニバンド間において、実験例2の方が比較実験例2に比べて約101倍長かった。よって、超格子ミニバンドを介した二段階目の光吸収をほとんど変えることなく、超格子ミニバンド内でのキャリア寿命を延ばすことができるため、二段階遷移の効率を向上させることができる。また、n型半導体層は、第2の超格子半導体層側に配置されているため、第2の超格子半導体層で二段階目光励起されたキャリアは、n型半導体層から速やかに取り出される。これらのことから、障壁層を構成する母体半導体材料を変更した場合でも、伝導帯第一超格子ミニバンド内に生成されたキャリアは、再結合または緩和する前に効率良くn型半導体層へ取り出されることが確認された。したがって、実験例2の超格子半導体層を用いた受光素子は、短絡電流を向上させることができる。
実験例3では、量子ドット間の積層方向の距離を変更することを除いては上記実験例1と同様の方法にしたがってシミュレーションを行った。
比較実験例3では、超格子半導体層は上記実験例3のタイプI構造の超格子構造だけで構成されると仮定して、ミニバンド構造を計算し光吸収スペクトル及び輻射寿命をシミュレーションした。超格子半導体層の全体の厚さは6μmとした。
本比較実験例により計算された超格子構造の伝導帯及び価電子帯(重い正孔及び軽い正孔)における歪考慮前のポテンシャル分布、および伝導帯におけるミニバンド構造(50番目までの超格子ミニバンドを図示)は図14および図16に示す通りである。上記実験例3とは異なり、超格子半導体層はタイプI構造の超格子構造だけで構成されるため、超格子ミニバンドで生成されたキャリアの移動は超格子半導体層全体に渡って緩やかである。
実験例3の超格子半導体層と比較実験例3の超格子半導体層とでは、価電子帯から伝導帯第一超格子ミニバンドおよび伝導帯第二以上の超格子ミニバンドへの遷移における光吸収は同一であり、伝導帯第一超格子ミニバンドから伝導帯第二以上の超格子ミニバンドへの遷移における光吸収も吸収帯域や吸収率において著しい違いは見られなかった。一方で、輻射寿命においては、伝導帯第一超格子ミニバンドおよび価電子帯第一超格子ミニバンド間において、実験例3の方が比較実験例3に比べて7倍長かった。よって、超格子ミニバンドを介した二段階目の光吸収をほとんど変えることなく、超格子ミニバンド内でのキャリア寿命を延ばすことができるため、二段階遷移の効率を向上させることができる。また、n型半導体層は、第2の超格子半導体層側に配置されているため、第2の超格子半導体層で二段階目光励起されたキャリアは、n型半導体層から速やかに取り出される。これらのことから、伝導帯第一超格子ミニバンド内に生成されたキャリアは、再結合または緩和する前に効率良くn型半導体層へ取り出されることが確認された。したがって、実施例3の超格子半導体層を用いた受光素子は、短絡電流を向上させることができる。
第1の超格子半導体層では、量子ドット材料を変更することを除いては上記実験例1と同様の方法にしたがってシミュレーションを行った。
比較実験例4では、超格子半導体層は上記実験例4のタイプI構造の超格子構造だけで構成されると仮定して、ミニバンド構造を計算し光吸収スペクトル及び輻射寿命をシミュレーションした。超格子半導体層の全体の厚さは6μmとした。
本比較実験例により計算された超格子構造の伝導帯及び価電子帯(重い正孔及び軽い正孔)における歪考慮前のポテンシャル分布、および伝導帯におけるミニバンド構造(50番目までの超格子ミニバンドを図示)は図21および図23に示す通りである。上記実験例4とは異なり、超格子半導体層はタイプI構造の超格子構造だけで構成されるため、超格子ミニバンドで生成されたキャリアの移動は超格子半導体層全体に渡って緩やかである。
実験例4の超格子半導体層と比較実験例4の超格子半導体層とでは、価電子帯から伝導帯第一超格子ミニバンドおよび伝導帯第二以上の超格子ミニバンドへの遷移における光吸収は同一であり、伝導帯第一超格子ミニバンドから伝導帯第二以上の超格子ミニバンドへの遷移における光吸収も吸収帯域や吸収率において著しい違いは見られなかった。一方で、輻射寿命においては、伝導帯第一超格子ミニバンドおよび価電子帯第一超格子ミニバンド間において、実験例4の方が比較実験例4に比べて約15倍長かった。よって、超格子ミニバンドを介した二段階目の光吸収をほとんど変えることなく、超格子ミニバンド内でのキャリア寿命を延ばすことができるため、二段階遷移の効率を向上させることができる。また、n型半導体層は、第2の超格子半導体層側に配置されているため、第2の超格子半導体層で二段階目光励起されたキャリアは、n型半導体層から速やかに取り出される。これらのことから、伝導帯第一超格子ミニバンド内に生成されたキャリアは、再結合または緩和する前に効率良くn型半導体層へ取り出されることが確認された。したがって、実験例4の超格子半導体層を用いた受光素子は、短絡電流を向上させることができる。
Claims (6)
- p型半導体層と、n型半導体層と、前記p型半導体層および前記n型半導体層の間に配置される第1の超格子半導体層および第2の超格子半導体層とを備え、
前記第1の超格子半導体層および前記第2の超格子半導体層は、それぞれ障壁層と量子ドットを含む量子ドット層とが交互に繰り返し積層された超格子構造を有し、
前記第1の超格子半導体層の超格子構造のバンド構造はタイプI構造であり、
前記第2の超格子半導体層の超格子構造のバンド構造はタイプII構造であり、
前記第1の超格子半導体層の超格子構造および前記第2の超格子半導体層の超格子構造は、それぞれの前記超格子構造を構成する前記量子ドット層の伝導帯量子準位によって超格子ミニバンドを形成し、
前記第2の超格子半導体層の超格子構造の伝導帯第一超格子ミニバンドの下端エネルギーが、前記第1の超格子半導体層の超格子構造の伝導帯第一超格子ミニバンドの下端エネルギーよりも小さく、
前記第1の超格子半導体層および前記第2の超格子半導体層が有する前記障壁層の厚さは、0.5〜20nmである、受光素子。 - 前記第2の超格子半導体層が前記n型半導体層側に配置される、請求項1に記載の受光素子。
- 前記第1の超格子半導体層の超格子構造に形成される超格子ミニバンドと前記第2の超格子半導体層の超格子構造に形成される超格子ミニバンドとは少なくとも一部が重なる、または、
前記第1の超格子半導体層の超格子構造に形成される超格子ミニバンドと前記第2の超格子半導体層の超格子構造に形成される超格子ミニバンドとの間のエネルギーギャップの大きさが、前記第1の超格子半導体層の障壁層材料のLOフォノンエネルギーと室温における熱エネルギーkT(kはボルツマン定数、Tは絶対温度を示す)の総和以下である、請求項1または2に記載の受光素子。 - 前記第1の超格子半導体層は、Ga、InおよびAsからなり、
前記第2の超格子半導体層は、Ga、In、AsおよびSbからなる、請求項1〜3のいずれか1項に記載の受光素子。 - さらにGaAsからなる基板を備え、前記基板上に、前記p型半導体層、前記第1の超格子半導体層、前記第2の超格子半導体層および前記n型半導体層が前記の順に積層される、請求項4に記載の受光素子。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載の受光素子を備えた太陽電池。
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