JP6246602B2 - 基板処理装置 - Google Patents

基板処理装置

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Description

本発明は、基板処理装置に関する。
従来より、半導体基板(以下、単に「基板」という。)の製造工程では、基板処理装置を用いて基板に対して様々な処理が施される。例えば、表面上にレジストのパターンが形成された基板に薬液を供給することにより、基板の表面に対してエッチング等の処理が行われる。また、エッチング処理の終了後、基板上のレジストを除去したり基板を洗浄する処理も行われる。
特許文献1では、ミキシングバルブを有し、複数種類の処理液を基板に供給する基板処理装置が開示されている。ミキシングバルブの混合部の中間位置には純水導入口が配置され、混合部の両端にはSC1導出口およびSC2導出口がそれぞれ配置される。純水導入口とSC1導出口との間には、SC1の生成に用いられる薬液原液が導入されるSC1導入口が配置され、純水導入口とSC2導出口との間には、SC2の生成に用いられる薬液原液が導入されるSC2導入口が配置される。混合部で生成されたSC1はSC1導出口から導出され、混合部で生成されたSC2はSC2導出口から導出される。これにより、混合部内でSC1およびSC2が反応することが防止される。
また、特許文献2の基板処理装置では、複数の薬液導入弁と純水供給弁を有する薬液混合部が、配管を介して処理液供給ノズルに接続される。また、当該配管内の液面の位置を薬液混合部を介して調整する液面調整部が設けられる。処理液供給ノズルから基板に純水を供給する洗浄処理の終了時に、薬液混合部および当該配管を介して処理液供給ノズル内の純水が液面調整部により吸引される。これにより、純水の液面は当該配管の上方における凸形状の曲部を超える部位まで引き戻され、純水の液滴の落下が防止される。
特開2012−74642号公報 特開2002−170803号公報
ところで、基板処理装置では、基板上に供給された薬液を回収して再利用することが行われるが、ノズルからの薬液の吐出後、同じノズルから純水を吐出する場合には、ノズルの内部および供給ラインのノズル近傍に存在する薬液は純水と共に排出されてしまう。純水と混ざった薬液は容易には再利用することができないため、薬液の回収効率が低下する。
本発明は上記課題に鑑みなされたものであり、薬液を効率よく回収して再利用することを目的としている。
請求項1に記載の発明は、基板処理装置であって、基板を保持する保持部と、前記基板に向けて処理液を吐出するノズルと、前記ノズルと純水供給部とを接続するとともに、純水用バルブが設けられた供給ラインと、前記供給ラインにおける前記ノズルと前記純水用バルブとの間の薬液導入位置と、薬液供給部とを接続するとともに、薬液用バルブが設けられた薬液導入ラインと、前記供給ラインにおける前記薬液導入位置と前記純水用バルブとの間の薬液回収位置に一端が接続された薬液回収ラインと、前記薬液回収ラインに設けられたポンプを有し、前記供給ラインにおいて前記ノズルと前記薬液回収位置との間に存在する薬液を回収する薬液回収部と、前記供給ラインにおける前記薬液導入位置と前記純水用バルブとの間の純水排出位置に一端が接続された純水排出ラインと、前記純水排出ラインに設けられたポンプを有し、前記供給ラインにおいて前記ノズルと前記純水排出位置との間に存在する純水を排出する純水排出部とを備え、前記供給ラインにおいて、上下方向に長く、かつ、前記純水供給部から前記ノズルへと向かう純水の流れ方向が下側から上側に向かう内部空間が接続空間として設けられており、前記薬液導入位置および前記薬液回収位置が前記接続空間との接続位置であり、前記薬液回収位置が前記薬液導入位置よりも下方に位置することを特徴とする。
請求項に記載の発明は、基板処理装置であって、基板を保持する保持部と、前記基板に向けて処理液を吐出するノズルと、前記ノズルと純水供給部とを接続するとともに、純水用バルブが設けられた供給ラインと、前記供給ラインにおける前記ノズルと前記純水用バルブとの間の薬液導入位置と、薬液供給部とを接続するとともに、薬液用バルブが設けられた薬液導入ラインと、前記供給ラインにおける前記薬液導入位置と前記純水用バルブとの間の薬液回収位置に一端が接続された薬液回収ラインと、前記薬液回収ラインに設けられたポンプを有し、前記供給ラインにおいて前記ノズルと前記薬液回収位置との間に存在する薬液を回収する薬液回収部と、前記供給ラインにおける前記ノズルと前記純水用バルブとの間の補助回収位置と、前記薬液回収部とを接続するとともに、補助バルブが設けられた補助回収ラインとを備え、前記供給ラインにおいて、上下方向に長く、かつ、前記純水供給部から前記ノズルへと向かう純水の流れ方向が下側から上側に向かう内部空間が接続空間として設けられており、前記薬液導入位置、前記薬液回収位置および前記補助回収位置が前記接続空間との接続位置であり、前記薬液回収位置が前記薬液導入位置よりも下方に位置し、前記補助回収位置が前記薬液導入位置よりも上方に位置し、前記薬液供給部が薬液を一定の温度に加熱するヒータを含み、前記ノズルからの薬液の吐出直前に前記薬液用バルブおよび前記補助バルブを開くことにより、前記薬液供給部からの薬液が前記補助回収ラインを介して前記薬液回収部にて回収される。
請求項3に記載の発明は、請求項1に記載の基板処理装置であって、前記供給ラインにおける前記ノズルと前記純水用バルブとの間の補助回収位置と、前記薬液回収部とを接続するとともに、補助バルブが設けられた補助回収ラインをさらに備え、前記ノズルからの薬液の吐出直前に前記薬液用バルブおよび前記補助バルブを開くことにより、前記薬液供給部からの薬液が前記補助回収ラインを介して前記薬液回収部にて回収される。
請求項4に記載の発明は、請求項3に記載の基板処理装置であって、前記薬液供給部が薬液を一定の温度に加熱するヒータを含む。
請求項5に記載の発明は、請求項1ないし4のいずれかに記載の基板処理装置であって、前記接続空間における記流れ方向に垂直な断面の面積が、前記供給ラインの他の部位における面積よりも大きい。
請求項6に記載の発明は、請求項1ないし5のいずれかに記載の基板処理装置であって、前記基板の上方において、前記基板を覆うように前記基板の上面に沿って広がり、前記ノズルから前記基板に薬液が供給される際に、前記上面に近接するトッププレートをさらに備え、前記ノズルが前記トッププレートと前記上面との間に薬液を供給する。
本発明によれば、薬液を効率よく回収して再利用することができる。
基板処理装置を示す断面図である。 気液供給部および気液排出部を示すブロック図である。 処理液供給ユニットの構成を示す図である。 基板処理装置における基板の処理の流れを示す図である。 基板処理装置を示す断面図である。 処理液供給ユニットを示す図である。 処理液供給ユニットを示す図である。 処理液供給ユニットを示す図である。 基板処理装置を示す断面図である。 処理液供給ユニットを示す図である。 処理液供給ユニットを示す図である。 処理液供給ユニットの他の例を示す図である。
図1は、本発明の一の実施の形態に係る基板処理装置1を示す断面図である。基板処理装置1は、略円板状の半導体基板9(以下、単に「基板9」という。)に処理液を供給して基板9を1枚ずつ処理する枚葉式の装置である。図1では、基板処理装置1の一部の構成の断面に対する平行斜線の付与を省略している(他の断面図においても同様)。
基板処理装置1は、チャンバ12と、トッププレート123と、チャンバ開閉機構131と、基板保持部14と、基板回転機構15と、液受け部16と、カバー17とを備える。カバー17は、チャンバ12の上方および側方を覆う。
チャンバ12は、チャンバ本体121と、チャンバ蓋部122とを備える。チャンバ12は、上下方向を向く中心軸J1を中心とする有蓋および有底の略円筒状である。チャンバ本体121は、チャンバ底部210と、チャンバ側壁部214とを備える。チャンバ底部210は、略円板状の中央部211と、中央部211の外縁部から下方へと広がる略円筒状の内側壁部212と、内側壁部212の下端から径方向外方へと広がる略円環板状の環状底部213と、環状底部213の外縁部から上方へと広がる略円筒状の外側壁部215と、外側壁部215の上端部から径方向外方へと広がる略円環板状のベース部216とを備える。
チャンバ側壁部214は、中心軸J1を中心とする環状である。チャンバ側壁部214は、ベース部216の内縁部から上方へと突出する。チャンバ側壁部214を形成する部材は、後述するように、液受け部16の一部を兼ねる。以下の説明では、チャンバ側壁部214と外側壁部215と環状底部213と内側壁部212と中央部211の外縁部とに囲まれた空間を下部環状空間217という。
基板保持部14の基板支持部141(後述)に基板9が支持された場合、基板9の下面92は、チャンバ底部210の中央部211の上面と対向する。以下の説明では、チャンバ底部210の中央部211を「下面対向部211」と呼ぶ。
チャンバ蓋部122は中心軸J1に垂直な略円板状であり、チャンバ12の上部を含む。チャンバ蓋部122は、チャンバ本体121の上部開口を閉塞する。図1では、チャンバ蓋部122がチャンバ本体121から離間した状態を示す。チャンバ蓋部122がチャンバ本体121の上部開口を閉塞する際には、チャンバ蓋部122の外縁部がチャンバ側壁部214の上部と接する。
チャンバ開閉機構131は、チャンバ12の可動部であるチャンバ蓋部122を、チャンバ12の他の部位であるチャンバ本体121に対して上下方向に相対的に移動する。チャンバ開閉機構131は、チャンバ蓋部122を昇降する蓋部昇降機構である。チャンバ開閉機構131によりチャンバ蓋部122が上下方向に移動する際には、トッププレート123もチャンバ蓋部122と共に上下方向に移動する。チャンバ蓋部122がチャンバ本体121と接して上部開口を閉塞し、さらに、チャンバ蓋部122がチャンバ本体121に向かって押圧されることにより、チャンバ12内に密閉された内部空間であるチャンバ空間120(図9参照)が形成される。換言すれば、チャンバ蓋部122によりチャンバ本体121の上部開口が閉塞されることより、チャンバ空間120が密閉される。チャンバ蓋部122およびチャンバ本体121は、チャンバ空間120を形成する密閉空間形成部である。
基板保持部14は、チャンバ空間120に配置され、基板9を水平状態で保持する。すなわち、基板9は、微細パターンが形成された一方の主面91(以下、「上面91」という。)を中心軸J1に垂直に上側を向く状態で基板保持部14により保持される。基板保持部14は、基板9の外縁部(すなわち、外周縁を含む外周縁近傍の部位)を下側から支持する上述の基板支持部141と、基板支持部141に支持された基板9の外縁部を上側から押さえる基板押さえ部142とを備える。基板支持部141は、中心軸J1を中心とする略円環状である。基板支持部141は、中心軸J1を中心とする略円環板状の支持部ベース413と、支持部ベース413の上面に固定される複数の第1接触部411とを備える。基板押さえ部142は、トッププレート123の下面に固定される複数の第2接触部421を備える。複数の第2接触部421の周方向の位置は、実際には、複数の第1接触部411の周方向の位置と異なる。
トッププレート123は、中心軸J1に垂直な略円板状である。トッププレート123は、チャンバ蓋部122の下方、かつ、基板支持部141の上方に配置される。トッププレート123は中央に開口を有する。基板9が基板支持部141に支持されると、基板9の上面91は、中心軸J1に垂直なトッププレート123の下面と対向する。トッププレート123の直径は、基板9の直径よりも大きく、トッププレート123の外周縁は、基板9の外周縁よりも全周に亘って径方向外側に位置する。
図1に示す状態において、トッププレート123は、チャンバ蓋部122により吊り下げられるように支持される。チャンバ蓋部122は、中央部に略環状のプレート保持部222を有する。プレート保持部222は、中心軸J1を中心とする略円筒状の筒部223と、中心軸J1を中心とする略円環状のフランジ部224とを備える。フランジ部224は、筒部223の下端から径方向内方へと広がる。
トッププレート123は、環状の被保持部237を備える。被保持部237は、中心軸J1を中心とする略円筒状の筒部238と、中心軸J1を中心とする略円環状のフランジ部239とを備える。筒部238は、トッププレート123の上面から上方に広がる。フランジ部239は、筒部238の上端から径方向外方へと広がる。筒部238は、プレート保持部222の筒部223の径方向内側に位置する。フランジ部239は、プレート保持部222のフランジ部224の上方に位置し、フランジ部224と上下方向に対向する。被保持部237のフランジ部239の下面が、プレート保持部222のフランジ部224の上面に接することにより、トッププレート123が、チャンバ蓋部122から吊り下がるようにチャンバ蓋部122に取り付けられる。
トッププレート123の外縁部の下面には、複数の第1係合部241が周方向に配列され、支持部ベース413の上面には、複数の第2係合部242が周方向に配列される。実際には、第1係合部241および第2係合部242は、基板支持部141の複数の第1接触部411、および、基板押さえ部142の複数の第2接触部421とは、周方向において異なる位置に配置される。これらの係合部は3組以上設けられることが好ましく、本実施の形態では4組設けられる。第1係合部241の下部には上方に向かって窪む凹部が設けられる。第2係合部242は支持部ベース413から上方に向かって突出する。
基板回転機構15は、いわゆる中空モータである。基板回転機構15は、中心軸J1を中心とする環状のステータ部151と、環状のロータ部152とを備える。ロータ部152は、略円環状の永久磁石を含む。永久磁石の表面は、PTFE樹脂にてモールドされる。ロータ部152は、チャンバ12内において下部環状空間217内に配置される。ロータ部152の上部には、接続部材を介して基板支持部141の支持部ベース413が取り付けられる。支持部ベース413は、ロータ部152の上方に配置される。
ステータ部151は、チャンバ12外においてロータ部152の周囲、すなわち、径方向外側に配置される。本実施の形態では、ステータ部151は、チャンバ底部210の外側壁部215およびベース部216に固定され、液受け部16の下方に位置する。ステータ部151は、中心軸J1を中心とする周方向に配列された複数のコイルを含む。
ステータ部151に電流が供給されることにより、ステータ部151とロータ部152との間に、中心軸J1を中心とする回転力が発生する。これにより、ロータ部152が、中心軸J1を中心として水平状態で回転する。ステータ部151とロータ部152との間に働く磁力により、ロータ部152は、チャンバ12内において直接的にも間接的にもチャンバ12に接触することなく浮遊し、中心軸J1を中心として基板9を基板支持部141と共に浮遊状態にて回転する。
液受け部16は、カップ部161と、カップ部移動機構162と、カップ対向部163とを備える。カップ部161は中心軸J1を中心とする環状であり、チャンバ12の径方向外側に全周に亘って位置する。カップ部移動機構162はカップ部161を上下方向に移動する。カップ部移動機構162は、カップ部161の径方向外側に配置される。カップ部移動機構162は、上述のチャンバ開閉機構131と周方向に異なる位置に配置される。カップ対向部163は、カップ部161の下方に位置し、カップ部161と上下方向に対向する。カップ対向部163は、チャンバ側壁部214を形成する部材の一部である。カップ対向部163は、チャンバ側壁部214の径方向外側に位置する環状の液受け凹部165を有する。
カップ部161は、側壁部611と、上面部612と、ベローズ617とを備える。側壁部611は、中心軸J1を中心とする略円筒状である。上面部612は、中心軸J1を中心とする略円環板状であり、側壁部611の上端部から径方向内方および径方向外方へと広がる。側壁部611の下部は、カップ対向部163の液受け凹部165内に位置する。
ベローズ617は、中心軸J1を中心とする略円筒状であり、上下方向に伸縮可能である。ベローズ617は、側壁部611の径方向外側において、側壁部611の周囲に全周に亘って設けられる。ベローズ617は、気体や液体を通過させない材料にて形成される。ベローズ617の上端部は、上面部612の外縁部の下面に全周に亘って接続される。換言すれば、ベローズ617の上端部は、上面部612を介して側壁部611に間接的に接続される。ベローズ617と上面部612との接続部はシールされており、気体や液体の通過が防止される。ベローズ617の下端部は、カップ対向部163を介してチャンバ本体121に間接的に接続される。ベローズ617の下端部とカップ対向部163との接続部でも、気体や液体の通過が防止される。
チャンバ蓋部122の中央には、中心軸J1を中心とする略円柱状の上部ノズル181が取り付けられる。上部ノズル181は、基板9の上面91の中央部に対向してチャンバ蓋部122に固定される。上部ノズル181は、トッププレート123の中央の開口に挿入可能である。チャンバ底部210の下面対向部211の中央には、下部ノズル182が取り付けられる。下部ノズル182は、中央に液吐出口を有し、基板9の下面92の中央部と対向する。下面対向部211には、複数の加熱ガス供給ノズル180がさらに取り付けられる。複数の加熱ガス供給ノズル180は、例えば、中心軸J1を中心とする周方向に等角度間隔にて配置される。
図2は、基板処理装置1が備える気液供給部18および気液排出部19を示すブロック図である。気液供給部18は、上述の上部ノズル181、下部ノズル182および加熱ガス供給ノズル180に加えて、薬液供給部183と、純水供給部184と、処理液供給ユニット7と、不活性ガス供給部186と、加熱ガス供給部187とを備える。
薬液供給部183および純水供給部184は、処理液供給ユニット7を介して上部ノズル181に接続される。後述するように、処理液供給ユニット7には、他の種類の処理液の供給部も接続される。処理液供給ユニット7の構成については後述する。下部ノズル182は、弁を介して純水供給部184に接続される。上部ノズル181は、弁を介して不活性ガス供給部186にも接続される。上部ノズル181は中央に液吐出口を有し、その周囲にガス噴出口を有する。したがって、正確には、上部ノズル181の一部はチャンバ12の内部にガスを供給する広義のガス供給部の一部である。複数の加熱ガス供給ノズル180は、弁を介して加熱ガス供給部187に接続される。
液受け部16の液受け凹部165に接続される第1排出路191は、気液分離部193に接続される。気液分離部193は、外側排気部194、薬液回収部195および排液部196にそれぞれ弁を介して接続される。チャンバ12のチャンバ底部210に接続される第2排出路192は、気液分離部197に接続される。気液分離部197は、内側排気部198および排液部199にそれぞれ弁を介して接続される。気液供給部18および気液排出部19の各構成は、制御部10により制御される。チャンバ開閉機構131、基板回転機構15およびカップ部移動機構162(図1参照)も制御部10により制御される。
不活性ガス供給部186は、上部ノズル181を介してチャンバ12内に不活性ガスを供給する。加熱ガス供給部187は、複数の加熱ガス供給ノズル180を介して基板9の下面92に加熱したガス(例えば、高温の不活性ガス)を供給する。本実施の形態では、加熱ガス供給部187にて利用されるガスは窒素(N)ガスであるが、窒素ガス以外であってもよい。
図3は、処理液供給ユニット7の構成を示す図である。処理液供給ユニット7は、接続部71と、純水導入ライン72と、薬液導入ライン73と、処理液共通ライン74と、薬液回収ライン75と、補助回収ライン76とを備える。純水導入ライン72は、純水供給部184と接続部71とを接続する。純水導入ライン72には、第1純水導入バルブ721および第2純水導入バルブ722が設けられ、第1純水導入バルブ721は接続部71に近接する。第2純水導入バルブ722では、純水供給部184側が、常時、純水(DIW:Deionized Water)と接しており、第2純水導入バルブ722は純水の流路の開閉を行う純水用バルブである。
薬液導入ライン73は、薬液供給部183と接続部71とを接続する。薬液導入ライン73には、薬液導入バルブ731が接続部71に近接して設けられる。薬液導入バルブ731では、薬液供給部183側が、常時、薬液と接しており、薬液導入バルブ731は薬液の流路の開閉を行う薬液用バルブである。処理液共通ライン74は、接続部71と上部ノズル181とを接続する。処理液共通ライン74には、処理液共通バルブ741が接続部71に近接して設けられる。薬液回収ライン75は、接続部71と薬液回収部82とを接続する。薬液回収ライン75には、薬液回収バルブ751が接続部71に近接して設けられる。補助回収ライン76は、接続部71と薬液回収部82の薬液回収タンク821とを接続する。補助回収ライン76には、補助バルブ761が接続部71に近接して設けられる。
接続部71は、上下方向(重力方向)に長い内部空間711(以下、「接続空間711」という。)を有する。純水導入ライン72と接続空間711との接続位置である純水導入位置712は、接続空間711の下端近傍に位置する。処理液共通ライン74と接続空間711との接続位置であるノズル連絡位置714は、接続空間711の上端近傍に位置する。薬液導入ライン73と接続空間711との接続位置である薬液導入位置713は、上下方向において純水導入位置712とノズル連絡位置714との間に位置する。薬液回収ライン75と接続空間711との接続位置である薬液回収位置715は、上下方向において純水導入位置712と薬液導入位置713との間に位置する。補助回収ライン76と接続空間711との接続位置である補助回収位置716は、上下方向において薬液導入位置713とノズル連絡位置714との間に位置する。接続空間711では、薬液回収位置715は、薬液導入位置713よりも下方に位置し、補助回収位置716は、薬液導入位置713よりも上方に位置する。
処理液供給ユニット7は、純水排出ライン77をさらに備える。純水排出ライン77は、純水導入ライン72における第1純水導入バルブ721と第2純水導入バルブ722との間の位置727(以下、「純水排出位置727」という。)と後述の純水排出部83とを接続する。純水排出ライン77には、純水排出バルブ771が設けられる。
純水導入ライン72、接続部71および処理液共通ライン74は、純水供給部184と上部ノズル181とを接続する純水の供給ラインである。供給ラインでは、純水供給部184から上部ノズル181へと向かう純水の流れ方向に垂直な断面の面積(すなわち、流路面積)が接続空間711において最大である。すなわち、供給ラインでは、流路面積が他の部位における流路面積よりも大きい内部空間が接続空間711として設けられる。接続空間711における純水の流れ方向は下側から上側に向かう。
処理液供給ユニット7では、他の種類の処理液を供給ラインに導入する処理液導入ライン78,79がさらに設けられる。薬液導入ライン73と同様に、各処理液導入ライン78,79の一端は接続部71に接続され、処理液導入ライン78,79と接続空間711との接続位置は、上下方向においてノズル連絡位置714と純水導入位置712との間に位置する。処理液導入ライン78,79の他端は、当該種類の処理液の供給部(図示省略)に接続される。本実施の形態では、接続部71、並びに、接続部71に近接して設けられる第1純水導入バルブ721、薬液導入バルブ731、処理液共通バルブ741、薬液回収バルブ751、補助バルブ761および処理液導入ライン78,79のバルブが、1つの多連弁装置70(ミキシングバルブ)として形成される。図3では、多連弁装置70を破線の矩形にて示している。
薬液供給部183は、薬液を循環させる循環ライン(図示省略)と、循環ラインに設けられるヒータ1831とを有する。薬液は、循環ラインを循環しつつヒータ1831により一定の温度に加熱される。薬液導入ライン73の一端は循環ラインに接続される。薬液回収部82は、薬液回収タンク821と、薬液回収ライン75において薬液回収バルブ751と薬液回収タンク821との間に設けられるエジェクタ822とを有する。薬液回収バルブ751を開いた状態で、ポンプであるエジェクタ822を駆動することにより、接続空間711における薬液回収位置715近傍の液体が薬液回収ライン75内に流入し、薬液回収タンク821へと排出される。薬液回収部82は、図2の薬液回収部195と同一であってもよい。純水排出部83は、排液部831と、純水排出ライン77において純水排出バルブ771と排液部831との間に設けられるエジェクタ832とを有する。純水排出バルブ771を開いた状態で、ポンプであるエジェクタ832を駆動することにより、純水導入ライン72における純水排出位置727近傍の液体が純水排出ライン77内に流入し、排液部831へと排出される。排液部831は、図2の排液部196,199であってよい。
図3の処理液供給ユニット7において、各処理液導入ライン78,79を介して供給ラインに他の種類の処理液が導入される場合に、当該処理液を回収して再利用するときには、薬液回収ライン75と同様の構成を有する回収ライン、および、薬液回収部82と同様の構成を有する回収部が処理液の種類毎に設けられる。各種類の処理液の回収ラインの一端は、上下方向において接続空間711における当該種類の処理液の導入位置と純水導入位置712との間の位置に接続される。
本実施の形態では、接続空間711に対する接続位置が上下方向に並ぶ複数の導入ライン72,79,78,73のうち、接続位置が最も下側の純水導入ライン72を用いて接続空間711に常温の純水が導入され、接続位置が下から2番目の処理液導入ライン79を用いて接続空間711に高温の純水(Hot DIW)が導入される。また、接続位置が下から3番目の処理液導入ライン78を用いて接続空間711に酸(例えば、フッ酸(HF))の溶液が導入され、接続位置が最も上側の薬液導入ライン73を用いて接続空間711に所定の有機溶剤(例えば、レジスト除去に用いられるフッ化アンモニウム(NHF)を含む有機溶剤)が導入される。基板処理装置1では、上記以外の処理液を供給する処理液供給部が設けられてもよい。
図4は、基板処理装置1における基板9の処理の流れを示す図である。基板処理装置1では、図1に示すように、チャンバ蓋部122がチャンバ本体121から離間して上方に位置し、カップ部161がチャンバ蓋部122から離間して下方に位置する状態にて、基板9が外部の搬送機構によりチャンバ12内に搬入され、基板支持部141により下側から支持される(ステップS11)。以下、図1に示すチャンバ12およびカップ部161の状態を「オープン状態」と呼ぶ。チャンバ蓋部122とチャンバ側壁部214との間の開口は、中心軸J1を中心とする環状であり、以下、「環状開口81」という。基板処理装置1では、チャンバ蓋部122がチャンバ本体121から離間することにより、基板9の周囲(すなわち、径方向外側)に環状開口81が形成される。ステップS11では、基板9は環状開口81を介して搬入される。
基板9が搬入されると、カップ部161が、図1に示す位置から図5に示す位置まで上昇し、環状開口81の径方向外側に全周に亘って位置する。以下の説明では、図5に示すチャンバ12およびカップ部161の状態を「第1密閉状態」という。また、図5に示すカップ部161の位置を「液受け位置」といい、図1に示すカップ部161の位置を「退避位置」という。カップ部移動機構162は、カップ部161を、環状開口81の径方向外側の液受け位置と、液受け位置よりも下方の退避位置との間で上下方向に移動する。
液受け位置に位置するカップ部161では、側壁部611が、環状開口81と径方向に対向する。また、上面部612の内縁部の上面が、チャンバ蓋部122の外縁部下端のリップシール232に全周に亘って接する。チャンバ蓋部122とカップ部161の上面部612との間には、気体や液体の通過を防止するシール部が形成される。これにより、チャンバ本体121、チャンバ蓋部122、カップ部161およびカップ対向部163により囲まれる密閉された空間(以下、「拡大密閉空間100」という。)が形成される。拡大密閉空間100は、チャンバ蓋部122とチャンバ本体121との間のチャンバ空間120と、カップ部161とカップ対向部163とに囲まれる側方空間160とが、環状開口81を介して連通することにより形成された1つの空間である。
第1密閉状態では、基板押さえ部142の複数の第2接触部421が基板9の外縁部に接触する。トッププレート123の下面、および、基板支持部141の支持部ベース413上には、上下方向にて対向する複数対の磁石(図示省略)が設けられる。以下、各対の磁石を「磁石対」ともいう。基板処理装置1では、複数の磁石対が、周方向において第1接触部411、第2接触部421、第1係合部241および第2係合部242とは異なる位置に、等角度間隔にて配置される。基板押さえ部142が基板9に接触している状態では、磁石対の間に働く磁力(引力)により、トッププレート123に下向きの力が働く。これにより、基板押さえ部142が基板9を基板支持部141へと押圧する。
基板処理装置1では、基板押さえ部142が、トッププレート123の自重、および、磁石対の磁力により基板9を基板支持部141へと押圧することにより、基板9を基板押さえ部142と基板支持部141とで上下から挟んで強固に保持することができる。
第1密閉状態では、被保持部237のフランジ部239が、プレート保持部222のフランジ部224の上方に離間しており、プレート保持部222と被保持部237とは接触しない。換言すれば、プレート保持部222によるトッププレート123の保持が解除されている。このため、トッププレート123は、チャンバ蓋部122から独立して、基板保持部14および基板保持部14に保持された基板9と共に、基板回転機構15により回転可能である。
また、第1密閉状態では、第1係合部241の下部の凹部に第2係合部242が嵌る。これにより、トッププレート123は、中心軸J1を中心とする周方向において基板支持部141の支持部ベース413と係合する。換言すれば、第1係合部241および第2係合部242は、トッププレート123の基板支持部141に対する回転方向における相対位置を規制する(すなわち、周方向における相対位置を固定する)位置規制部材である。チャンバ蓋部122が下降する際には、第1係合部241と第2係合部242とが嵌り合うように、基板回転機構15により支持部ベース413の回転位置が制御される。
第1密閉状態が形成されると、図6に示すように、処理液供給ユニット7において薬液導入バルブ731および補助バルブ761が開かれる。これにより、薬液供給部183から薬液導入ライン73を介して接続空間711に薬液が導入されるとともに、接続空間711の薬液が補助回収ライン76を介して薬液回収タンク821に排出される(ステップS12)。したがって、薬液導入ライン73において薬液供給部183と薬液導入バルブ731との間に滞留して温度が低下した薬液が薬液回収タンク821にて回収される。後述するように、ステップS12の処理後に、上部ノズル181から薬液が吐出されるため、ステップS12の処理は、吐出前の薬液回収処理(プリディスペンス)である。また、後述するように、ステップS12の処理の直前では、接続空間711がほぼ空であり、吐出前の薬液回収処理では、他の種類の処理液が混入することなく、薬液のみが薬液回収部82にて回収される。
なお、処理液供給ユニット7における他の全てのバルブは閉じられている。図6では、薬液が流れる薬液導入ライン73および補助回収ライン76を太線にて描くとともに、薬液が充填される接続空間711に平行斜線を付している。また、図6中のバルブを示す記号において三角形の部分が黒いものは、バルブが開いている状態を示し、三角形の部分が白いものは、バルブが閉じている状態を示す(後述の図7、図8、図10および図11において同様)。
図5に示す基板処理装置1では、基板回転機構15により一定の回転数(比較的低い回転数であり、以下、「定常回転数」という。)での基板9の回転が開始される。また、外側排気部194(図2参照)による拡大密閉空間100内のガスの排出が開始される。そして、図7に示すように、処理液供給ユニット7において補助バルブ761が閉じられ、処理液共通バルブ741が開かれる。これにより、接続空間711の薬液が処理液共通ライン74を介して上部ノズル181に導かれ、図5に示す上部ノズル181から、回転する基板9の上面91の中央部に向けて薬液が吐出される(ステップS13)。上部ノズル181からの薬液は、回転する基板9の上面91に連続的に供給される。上面91上の薬液は、基板9の回転により基板9の外周部へと拡がり、上面91全体が薬液により被覆される。これにより、基板9の上面91に対して薬液による処理が行われる。
上部ノズル181から薬液を供給する際には、トッププレート123の下面は、基板9の上方において基板9を覆うように基板9の上面91に沿って広がり、基板9の上面91に近接している。このように、基板9に対する薬液による処理は、トッププレート123の下面と基板9の上面91との間の極めて狭い空間において行われる。基板9に対する処理の種類によっては、上部ノズル181からの薬液の供給に並行して、複数の加熱ガス供給ノズル180から加熱したガスが噴出されることにより、基板9が加熱されてよい。
拡大密閉空間100では、回転する基板9の上面91から飛散する薬液が、環状開口81を介してカップ部161にて受けられ、液受け凹部165へと導かれる。液受け凹部165へと導かれた薬液は、図2に示す第1排出路191を介して気液分離部193に流入する。薬液回収部195では、気液分離部193から薬液が回収され、フィルタ等を介して薬液から不純物等が除去された後、再利用される。
上部ノズル181からの薬液の供給開始から所定時間(例えば、60〜120秒)経過すると、図7中の薬液導入バルブ731が閉じられ、上部ノズル181からの薬液の吐出が停止される。そして、基板回転機構15により、所定時間(例えば、1〜3秒)だけ基板9の回転数が定常回転数よりも高くされ、基板9から薬液が除去される。
処理液供給ユニット7では、図8に示すように薬液回収バルブ751が開かれるとともに、エジェクタ822の駆動が開始される。これにより、接続空間711において薬液回収位置715近傍の薬液が薬液回収ライン75内に流入し(サックバックされ)、薬液回収タンク821へと排出される(ステップS14)。薬液の吐出停止直後では、上部ノズル181の内部、処理液共通ライン74の内部、および、接続部71の接続空間711の全体において薬液が連続して充填されており、ステップS14の処理により、上部ノズル181および処理液共通ライン74の内部に存在する薬液、および、接続空間711の薬液回収位置715から上側に存在する薬液が、薬液回収ライン75を介して薬液回収部82にて回収される。ステップS14の処理は、吐出後の薬液回収処理である。
また、図5の基板処理装置1では、チャンバ蓋部122およびカップ部161が同期して下方へと移動する。そして、図9に示すように、チャンバ蓋部122の外縁部下端のリップシール231が、チャンバ側壁部214の上部と接することにより、環状開口81が閉じられ、チャンバ空間120が、側方空間160と隔絶された状態で密閉される。カップ部161は、図1と同様に、退避位置に位置する。以下、図9に示すチャンバ12およびカップ部161の状態を「第2密閉状態」という。第2密閉状態では、基板9は、チャンバ12の内壁と直接対向し、これらの間に他の液受け部は存在しない。
第2密閉状態でも、第1密閉状態と同様に、基板押さえ部142が基板9を基板支持部141へと押圧することにより、基板9が、基板押さえ部142と基板支持部141とで上下から挟まれて強固に保持される。また、プレート保持部222によるトッププレート123の保持が解除されており、トッププレート123は、チャンバ蓋部122から独立して、基板保持部14および基板9と共に回転する。
チャンバ空間120が密閉されると、外側排気部194(図2参照)によるガスの排出が停止されるとともに、内側排気部198によるチャンバ空間120内のガスの排出が開始される。また、図10に示すように、処理液供給ユニット7において薬液回収バルブ751が閉じられるとともに、第1純水導入バルブ721および第2純水導入バルブ722が開かれる。これにより、純水供給部184から純水導入ライン72を介して接続空間711に純水が導入されるとともに、接続空間711の純水が処理液共通ライン74を介して上部ノズル181に導かれる。そして、図9に示す上部ノズル181から、回転する基板9の上面91の中央部に向けて純水が吐出され、基板9に純水が供給される(ステップS15)。なお、薬液回収バルブ751を閉じる際には、エジェクタ822の駆動も停止される。
純水供給部184からの純水は、上部ノズル181から基板9の上面91の中央部に連続的に供給される。また、純水供給部184からの純水は、下部ノズル182から基板9の下面92の中央部にも連続的に供給される。上部ノズル181および下部ノズル182から吐出される純水は、洗浄液として基板9に供給される。
純水は、基板9の回転により上面91および下面92の外周部へと拡がり、基板9の外周縁から外側へと飛散する。基板9から飛散する純水は、チャンバ12の内壁(すなわち、チャンバ蓋部122およびチャンバ側壁部214の内壁)にて受けられ、図2に示す第2排出路192、気液分離部197および排液部199を介して廃棄される(後述する基板9の乾燥処理においても同様)。これにより、チャンバ空間120において、純水による基板9に対する洗浄処理と共に、チャンバ12内の洗浄も実質的に行われる。
純水の供給開始から所定時間経過すると、処理液供給ユニット7では、図10に示す第2純水導入バルブ722が閉じられ、上部ノズル181からの純水の吐出が停止される。また、図11に示すように、純水排出バルブ771が開かれるとともに、エジェクタ832の駆動が開始される。これにより、純水導入ライン72において純水排出位置727近傍の純水が純水排出ライン77内に流入し(サックバックされ)、排液部831へと排出される(ステップS16)。純水の吐出停止直後では、上部ノズル181の内部、処理液共通ライン74の内部、接続部71の接続空間711、および、純水導入ライン72の内部の全体において純水が連続して充填されており、ステップS16の純水排出処理により、上部ノズル181の内部、処理液共通ライン74の内部、接続空間711、および、純水導入ライン72において純水排出位置727と接続部71との間に存在する純水が、純水排出ライン77を介して純水排出部83により排出される。既述のように、純水導入ライン72が、接続空間711の下端近傍に接続されるため、接続空間711内のほぼ全ての純水が排出され、接続空間711がほぼ空になる。純水の排出が完了すると、全てのバルブが閉じられるとともに、エジェクタ832の駆動も停止される。
図9の基板処理装置1では、複数の加熱ガス供給ノズル180から、基板9の下面92に向けて、加熱したガスが噴出される。これにより、基板9が加熱される。また、加熱ガス供給ノズル180からの加熱ガスの噴出が継続された状態で、基板9の回転数が定常回転数よりも十分に高くされる。これにより、純水が基板9上から除去され、基板9の乾燥処理が行われる(ステップS17)。基板9の乾燥開始から所定時間経過すると、基板9の回転が停止する。なお、処理液供給ユニット7において、一の処理液導入ライン78,79がIPA供給部に接続され、基板9の乾燥処理の前に、上部ノズル181から基板9の上面91上にIPAが供給され、上面91上において純水がIPAに置換されてよい。また、基板9の乾燥処理は、内側排気部198によりチャンバ空間120が減圧され、大気圧よりも低い減圧雰囲気にて行われてもよい。
その後、チャンバ蓋部122とトッププレート123が上昇して、図1に示すように、チャンバ12がオープン状態となる。ステップS17では、トッププレート123が基板支持部141と共に回転するため、トッププレート123の下面に液体はほとんど残存せず、チャンバ蓋部122の上昇時にトッププレート123から液体が基板9上に落下することはない。基板9は外部の搬送機構によりチャンバ12から搬出される(ステップS18)。
実際には、上記ステップS11〜S18の処理は、他の基板9に対して繰り返される。このとき、直前のステップS16の処理(すなわち、現在の処理対象の基板9の直前に処理対象とされた基板9に対するステップS16の処理)により接続空間711のほぼ全ての純水が排出されているため、現在の基板9に対する吐出前の薬液回収処理(ステップS12の処理)において、薬液回収部82にて回収される薬液に純水が混ざることが抑制される。
処理液供給ユニット7では、図12に示すように、純水排出ライン77において、純水排出バルブ771とエジェクタ832との間の位置775に薬液回収ライン75の一端を接続することも可能である。この場合、純水排出ライン77における純水排出位置727と位置775との間の部分が、純水排出ライン77および薬液回収ライン75により共有されていると捉えることができ、純水排出位置727は、薬液回収位置であるといえる。図12の処理液供給ユニット7では、処理液共通バルブ741、第1純水導入バルブ721、純水排出バルブ771、および、薬液回収バルブ751が開いた状態、かつ、他のバルブは閉じた状態にて、吐出後の薬液回収処理が行われる。このように、薬液回収位置は、純水導入ライン72、接続部71および処理液共通ライン74により形成される供給ラインにおいて、薬液導入位置713と、純水用バルブである第2純水導入バルブ722との間の任意の位置に設けることが可能である。
同様に、図3に示す薬液回収ライン75において、薬液回収バルブ751とエジェクタ822との間の位置に純水排出ライン77の一端を接続することも可能であり、この場合、薬液回収位置715は、純水排出位置であるといえる。このように、純水排出位置は、供給ラインにおいて、薬液導入位置713と第2純水導入バルブ722との間の任意の位置に設けることが可能である。
図3の処理液供給ユニット7において、純水排出ライン77の第2純水導入バルブ722と接続部71との間の位置に補助回収ライン76の一端が接続されてよい。また、接続空間711において薬液導入位置713よりも下方に純水排出ライン77の一端が接続されてよい。このように、補助回収位置は、供給ラインにおいて上部ノズル181と、純水用バルブである第2純水導入バルブ722との間の任意の位置に設けることが可能である。
以上に説明したように、基板処理装置1では、上部ノズル181が、純水の供給ラインである純水導入ライン72、接続部71および処理液共通ライン74により純水供給部184と接続され、供給ラインには純水用バルブである第2純水導入バルブ722が設けられる。また、薬液導入ライン73により、供給ラインにおける上部ノズル181と第2純水導入バルブ722との間の薬液導入位置713と薬液供給部183とが接続される。さらに、供給ラインにおける薬液導入位置713と第2純水導入バルブ722との間の薬液回収位置715に、薬液回収ライン75の一端が接続される。そして、上部ノズル181からの薬液の吐出完了後に供給ラインにて上部ノズル181と薬液回収位置715との間に存在する薬液が、薬液回収ライン75に設けられた薬液回収部82により、上部ノズル181からの純水の吐出開始前に回収される。これにより、供給ラインに残存して純水と共に上部ノズル181から吐出される薬液の量を低減することができる、すなわち、薬液を効率よく回収して再利用することができる。好ましくは、接続空間711の下端近傍に薬液回収ライン75が接続される。これにより、供給ラインに残存して純水と共に上部ノズル181から吐出される薬液の量をさらに低減することができ、薬液をより効率よく回収して再利用することができる。
また、供給ラインにおける薬液導入位置713と第2純水導入バルブ722との間の純水排出位置727に純水排出ライン77の一端が接続される。そして、上部ノズル181からの純水の吐出完了後に供給ラインにて上部ノズル181と純水排出位置727との間に存在する純水が、純水排出ライン77に設けられた純水排出部83により、上部ノズル181からの薬液の吐出開始前(本実施の形態では、吐出前の薬液回収処理の前)に排出される。これにより、供給ラインに対して薬液導入位置713から薬液を導入する前に、供給ラインに残存する純水の量を低減することができ、薬液に純水が混入することを抑制することができる。好ましくは、接続空間711の下端近傍に接続された純水導入ライン72に純水排出位置727が設けられる。これにより、供給ラインに残存して薬液と混ざる純水の量を大幅に低減することが実現される。その結果、薬液回収部82において、ほぼ薬液のみ(純水が混入していない薬液)を回収することができる。
さらに、供給ラインにおける上部ノズル181と第2純水導入バルブ722との間の補助回収位置716と、薬液回収部82とが補助回収ライン76により接続される。そして、上部ノズル181からの薬液の吐出直前に、薬液導入ライン73の薬液導入バルブ731および補助回収ライン76の補助バルブ761を開くことにより、薬液供給部183からの薬液が補助回収ライン76を介して薬液回収部82にて回収される。これにより、薬液導入ライン73において薬液導入バルブ731と薬液供給部183との間に滞留する薬液(例えば、温度が低下した薬液や僅かに変質した薬液等)が基板9上に吐出されることを防止することができ、薬液を基板9に吐出する処理の一定の質を確保することができる。好ましくは、補助回収位置716は、接続空間711におけるノズル連絡位置714の近傍に設けられる。
処理液供給ユニット7では、上部ノズル181に接続された1つの処理液共通ライン74に対して、薬液導入ライン73および純水導入ライン72が接続部71を介して接続される。これにより、1つの上部ノズル181から薬液および純水を吐出することが実現される。また、既述のように、処理液供給ユニット7では、内部に滞留する薬液を上部ノズル181を用いることなく排出することが可能である。したがって、処理液供給ユニット7の内部に滞留する薬液を排出する際に、上部ノズル181を基板9の上方の位置から退避させる必要がない。すなわち、基板保持部14にて保持された基板9の上面91に沿う方向における上部ノズル181の位置を固定することが可能である。このような上部ノズル181は、互いに近接するトッププレート123と基板9の上面91との間に薬液および純水を順次供給する基板処理装置や、密閉された狭い内部空間にて処理が行われる基板処理装置に特に適している。
上記基板処理装置1では様々な変形が可能である。
処理液供給ユニットの設計によっては、接続部71が他のラインと同様の部材(パイプ)により形成されてよく、他のラインとほぼ同じ流路面積であってよい。このような処理液供給ユニットにおいても、薬液導入位置が、供給ラインにおいて上部ノズル181と純水用バルブとの間の任意の位置に設けられ、薬液回収位置が、薬液導入位置と純水用バルブとの間に設けられる。これにより、薬液を効率よく回収して再利用することが可能である。供給ラインにおいて上部ノズル181と薬液回収位置との間に存在する薬液を、薬液回収部82により回収することが可能であるならば、接続部71は必ずしも上下方向に伸びる必要はない。
基板9の上方にて基板9の主面に沿って移動するノズルに対して、処理液供給ユニット7を介して処理液が供給されてよい。
薬液回収部82および純水排出部83では、エジェクタ822,832以外に、機能的に液を送ることが可能な様々なポンプが利用されてよい。
また、基板9は、様々な態様にて保持されてよく、例えば、基板9の下面92の全体に接する基板保持部が設けられてよい。
基板処理装置1では、上部ノズル181から吐出される薬液により、基板上の酸化膜の除去や現像液による現像、あるいは、エッチング等、様々な処理が行われてよい。
基板処理装置1にて処理される基板は半導体基板には限定されず、ガラス基板や他の基板であってもよい。
上記実施の形態および各変形例における構成は、相互に矛盾しない限り適宜組み合わされてよい。
1 基板処理装置
9 基板
14 基板保持部
71 接続部
72 純水導入ライン
73 薬液導入ライン
74 処理液共通ライン
75 薬液回収ライン
76 補助回収ライン
77 純水排出ライン
82 薬液回収部
83 純水排出部
91 上面
123 トッププレート
181 上部ノズル
183 薬液供給部
184 純水供給部
711 接続空間
713 薬液導入位置
715 薬液回収位置
716 補助回収位置
722 純水導入バルブ
727 純水排出位置
731 薬液導入バルブ
761 補助バルブ
822,832 エジェクタ
1831 ヒータ

Claims (6)

  1. 基板処理装置であって、
    基板を保持する保持部と、
    前記基板に向けて処理液を吐出するノズルと、
    前記ノズルと純水供給部とを接続するとともに、純水用バルブが設けられた供給ラインと、
    前記供給ラインにおける前記ノズルと前記純水用バルブとの間の薬液導入位置と、薬液供給部とを接続するとともに、薬液用バルブが設けられた薬液導入ラインと、
    前記供給ラインにおける前記薬液導入位置と前記純水用バルブとの間の薬液回収位置に一端が接続された薬液回収ラインと、
    前記薬液回収ラインに設けられたポンプを有し、前記供給ラインにおいて前記ノズルと前記薬液回収位置との間に存在する薬液を回収する薬液回収部と、
    前記供給ラインにおける前記薬液導入位置と前記純水用バルブとの間の純水排出位置に一端が接続された純水排出ラインと、
    前記純水排出ラインに設けられたポンプを有し、前記供給ラインにおいて前記ノズルと前記純水排出位置との間に存在する純水を排出する純水排出部と、
    を備え
    前記供給ラインにおいて、上下方向に長く、かつ、前記純水供給部から前記ノズルへと向かう純水の流れ方向が下側から上側に向かう内部空間が接続空間として設けられており、
    前記薬液導入位置および前記薬液回収位置が前記接続空間との接続位置であり、
    前記薬液回収位置が前記薬液導入位置よりも下方に位置することを特徴とすることを特徴とする基板処理装置。
  2. 板処理装置であって、
    基板を保持する保持部と、
    前記基板に向けて処理液を吐出するノズルと、
    前記ノズルと純水供給部とを接続するとともに、純水用バルブが設けられた供給ラインと、
    前記供給ラインにおける前記ノズルと前記純水用バルブとの間の薬液導入位置と、薬液供給部とを接続するとともに、薬液用バルブが設けられた薬液導入ラインと、
    前記供給ラインにおける前記薬液導入位置と前記純水用バルブとの間の薬液回収位置に一端が接続された薬液回収ラインと、
    前記薬液回収ラインに設けられたポンプを有し、前記供給ラインにおいて前記ノズルと前記薬液回収位置との間に存在する薬液を回収する薬液回収部と、
    前記供給ラインにおける前記ノズルと前記純水用バルブとの間の補助回収位置と、前記薬液回収部とを接続するとともに、補助バルブが設けられた補助回収ラインと、
    を備え、
    前記供給ラインにおいて、上下方向に長く、かつ、前記純水供給部から前記ノズルへと向かう純水の流れ方向が下側から上側に向かう内部空間が接続空間として設けられており、
    前記薬液導入位置、前記薬液回収位置および前記補助回収位置が前記接続空間との接続位置であり、
    前記薬液回収位置が前記薬液導入位置よりも下方に位置し、前記補助回収位置が前記薬液導入位置よりも上方に位置し、
    前記薬液供給部が薬液を一定の温度に加熱するヒータを含み、
    前記ノズルからの薬液の吐出直前に前記薬液用バルブおよび前記補助バルブを開くことにより、前記薬液供給部からの薬液が前記補助回収ラインを介して前記薬液回収部にて回収されることを特徴とする基板処理装置。
  3. 請求項1に記載の基板処理装置であって、
    前記供給ラインにおける前記ノズルと前記純水用バルブとの間の補助回収位置と、前記薬液回収部とを接続するとともに、補助バルブが設けられた補助回収ラインをさらに備え、
    前記ノズルからの薬液の吐出直前に前記薬液用バルブおよび前記補助バルブを開くことにより、前記薬液供給部からの薬液が前記補助回収ラインを介して前記薬液回収部にて回収されることを特徴とする基板処理装置。
  4. 請求項3に記載の基板処理装置であって、
    前記薬液供給部が薬液を一定の温度に加熱するヒータを含むことを特徴とする基板処理装置。
  5. 請求項1ないし4のいずれかに記載の基板処理装置であって、
    前記接続空間における記流れ方向に垂直な断面の面積が、前記供給ラインの他の部位における面積よりも大きいことを特徴とする基板処理装置。
  6. 請求項1ないし5のいずれかに記載の基板処理装置であって、
    前記基板の上方において、前記基板を覆うように前記基板の上面に沿って広がり、前記ノズルから前記基板に薬液が供給される際に、前記上面に近接するトッププレートをさらに備え、
    前記ノズルが前記トッププレートと前記上面との間に薬液を供給することを特徴とする基板処理装置。
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