JP6245667B2 - 観察装置、及び測定方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1実施形態に係るデバイス1の一例を模式的に示す上面図であり、図2は、本発明の第1実施形態に係るデバイス1の一例を模式的に示す断面図であり、図3は、本発明の第1実施形態に係るデバイス1の一例を模式的に示す正面図である。図1〜図3を参照してデバイス1を説明する。デバイス1は、第1部材の一例である第1板状部材2と、第2部材の一例である第2板状部材3とを備えている。
暗線条件:h=m(λ/2n)・・・(1)
明線条件:2h=(λ/2n)(2m+1)・・・(2)
d=2h/((1/cosθ)+1)・・・(3)
tanθ=λ/(2nΔL)・・・(4)
d=2((1/ΔL)(λ/2n)L+h2)/((1/cosθ)+1)・・・(5)
以下、第2実施形態について、第1実施形態とは異なる事項のみを説明する。第2実施形態は、デバイス1の間隙6を構成する面が表面改質されていることのみが、第1実施形態と異なる。
以下、第3実施形態について、第1実施形態とは異なる事項のみを説明する。第3実施形態は、デバイス1が、間隙6の他端6bの外側に設けられた液体吸収性物質8を更に備えることのみが、第1実施形態と異なる。
以下、第4実施形態について、第1実施形態とは異なる事項のみを説明する。第4実施形態は、第1板状部材2が溝10を有していることのみが、第1実施形態と異なる。
以下、第5実施形態について、第1実施形態とは異なる事項のみを説明する。第5実施形態は、第1板状部材2が凹部11を有していることのみが、第1実施形態と異なる。
以下、第6実施形態について、第1実施形態とは異なる事項のみを説明する。第6実施形態は、第2板状部材3に複数個の溝5が形成されていることのみが、第1実施形態と異なる。
第6実施形態では、複数個の溝5が形成された1個の第2板状部材3が使用されたが、本発明はこれに限定されない。図29は、本発明の第7実施形態に係るデバイス21の一例を模式的に示す上面図である。第7実施形態では、1個の溝5が形成された複数個の第2板状部材3が、1個の第1板状部材2に固定されていることのみが、第6実施形態と異なる。
第1実施形態で説明したように、デバイス1に単一波長の光を入射すると、明線と暗線とが繰り返す干渉縞60が生じる(図7参照)。また、干渉縞60の明線と暗線との関係は、第1実施形態で説明したように、式(1)及び式(2)で表される。そして、式(2)によれば、初めて明線が生じる位置は、mが0(すなわちh=λ/4n)の位置である。間隙6の高さhが、この条件を満たす高さに達するまでは、暗線しか観測されないため、図7の領域aに示すように、干渉縞60の最初の部分が黒くなって、1本目の暗線の観測が難しいことがある。この場合、観測できた暗線が何本目の暗線であるかが分からず、式(1)により間隙6の高さhを得られないこととなる。したがって、正確な暗線の本数を求める必要がある。以下、1本目の暗線の観測が難しい条件下における粒径測定方法を説明する。
以下、図35〜図38を参照して、本発明に係るデバイスの他の実施形態について説明する。図35は、本発明の第9実施形態に係るデバイス70の一例を模式的に示す上面図であり、図36は、本発明の第9実施形態に係るデバイス70の一例を模式的に示す断面図である。なお、図36では、理解を容易にするために、側板76を省略している。図37は、本発明の第9実施形態に係るデバイス70の一例を模式的に示す背面図である。詳しくは、図37は、間隙73の最狭側からデバイス70を見ている。
以下、第10実施形態について、第9実施形態とは異なる事項のみを説明する。第10実施形態は、第4平板72及び側板76が取り外し可能であることのみが、第9実施形態と異なる。図39は、本発明の第10実施形態に係る固定方法の一例を模式的に示す断面図であり、図40は、本発明の第10実施形態に係る固定方法の一例を模式的に示す背面図である。なお、図39では、理解を容易にするために、側板76を省略している。
以下、第11実施形態について、第10実施形態とは異なる事項のみを説明する。第11実施形態は、第4平板72及び側板76の固定方法のみが、第10実施形態と異なる。図41は、本発明の第11実施形態に係る固定方法の一例を模式的に示す背面図である。
以下、本発明に係る自動観察装置の実施形態について説明する。図42は、本発明の第12実施形態に係る自動観察装置110の構成の概略を示す模式図である。図42に示すように、自動観察装置110は、デバイスラック111と、自動インジェクタ112と、観察用光学系113と、搬送機構114と、使用済みデバイスラック115とを備えている。なお、図42には、デバイスラック111の断面と使用済みデバイスラック115の断面とが図示されている。
2 第1板状部材
3 第2板状部材
3a 板状部材
5 溝
5a 傾斜面
6 間隙
8 液体吸収性物質
21 デバイス
30a デバイス
31a 第1平板
32a 第2平板
33a 間隙
30b デバイス
31b レンズ
32b 平板
33b 間隙
30c デバイス
31c 平板
32c レンズ
33c 間隙
42 駆動素子
43 工具
50 溶液
51 微粒子
52 溶媒
60 干渉縞
70 デバイス
71 第3平板
72 第4平板
73 間隙
74 入口高さ調整部材
75 出口高さ調整部材
76 側板
100 粒径測定装置
101 観察用光学系
102 分析部
103、103a、103b 光源
106 対物レンズ
107 カメラ
110 自動観察装置
111 デバイスラック
112 自動インジェクタ
113 観察用光学系
114 搬送機構
115 使用済みデバイスラック
116 カメラ
Claims (2)
- デバイスが有する間隙に存在する測定対象物の像を得ることが可能な観察用光学系と、
分析部と
を備え、
前記間隙は、一端側が他端側よりも広く、
前記デバイスに光が照射されると前記間隙において干渉縞が生じ、
前記観察用光学系は、前記間隙に対し、互いに異なる波長を有する複数の単色光を照射して、前記間隙に、前記複数の単色光ごとの干渉縞を発生させ、前記複数の単色光ごとの干渉縞の像を得る機能を有し、
前記分析部は、
前記複数の単色光ごとの干渉縞の像から、各干渉縞の暗線が重なっている位置を求める機能と、
前記複数の単色光のそれぞれの半波長と、前記複数の単色光のそれぞれの半波長の公倍数と、前記各干渉縞の暗線が重なっている位置とに基づき、前記各干渉縞の1本目の暗線の位置を決定する機能と
を有する、観察装置。 - 対象物に発生させた干渉縞に基づいて、前記対象物の高さ又は厚みを測定する測定方法であって、
前記対象物に対し、互いに異なる波長を有する複数の単色光を照射して、前記対象物に、前記複数の単色光ごとの干渉縞を発生させる工程と、
前記複数の単色光ごとの干渉縞の暗線が重なっている位置を求める工程と、
前記複数の単色光のそれぞれの半波長と、前記複数の単色光のそれぞれの半波長の公倍数と、前記複数の単色光ごとの干渉縞の暗線が重なっている位置とに基づき、前記複数の単色光ごとの干渉縞の1本目の暗線の位置を決定する工程と
を含む、測定方法。
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