JP6238854B2 - 炭化珪素半導体装置 - Google Patents

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Description

本発明は炭化珪素半導体装置に関するものであり、特に、ショットキー電極を有する炭化珪素半導体装置に関するものである。
インバータなどのパワーエレクトロニクス機器の省エネルギー化のため、それに用いるIGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)やMOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor)、PiNダイオード、SBD(Schottky Barrier Diode)などの電力用半導体装置の低損失化が求められている。そのため半導体装置の材料として、従来から広く用いられているシリコンに代わり、炭化珪素(SiC)が用いられ始めている。SiCは高い絶縁破壊電界を有するので装置の厚さを薄くすることができ、それにより損失低減を図ることができる。特に、SiCを用いたSBD(SiC−SBD)は、インバータを構成するモジュール内で還流ダイオードとして使用されるのに好適である。SiC−SBDは、数十KHzを超える高周波用途に用いられることも多い。この場合、サージ電圧の発生頻度も多くなるため、サージ電圧による装置の破壊が懸念される。
特開2010−206106号公報(特許文献1)によれば、還流ダイオードが形成されている半導体チップ内にモノリシックに半導体スナバ回路を集積化することが提案されている。スナバ回路が有するキャパシタ構造は、たとえば、SiO2層とこれを挟む表面電極と高抵抗層とによって構成される。高抵抗層はボロンまたはアルミニウムを含有している。上記公報によれば、ボロンまたはアルミニウムは、ドーパントとして機能するのではなく、高抵抗層中においてキャリアの捕獲中心を形成し、添加された領域中のキャリアをトラップする作用を有している。
特開2010−206106号公報
上記公報によれば、ドリフト領域上に高抵抗層を形成するために添加された不純物は、ドーパントとしては機能しない。よって高抵抗層の導電型はドリフト領域の導電型に対して反転されていないと考えられる。そのような構造は高速スイッチング時の逆回復サージ耐性(dV/dt)について改善の余地があるものであることを本発明者らは見出した。
本発明は以上のような課題を解決するためになされたものであり、その目的は、高速スイッチング時においても優れた逆回復サージ耐性を有する炭化珪素半導体装置を提供することである。
本発明の一の局面に従う炭化珪素半導体装置は炭化珪素基板と誘電体層とアノード電極とを有する。炭化珪素基板は、一の主面を有し、ドリフト層および内側不純物領域を含む。ドリフト層は、一の主面を部分的になしており、第1導電型を有する。内側不純物領域は、ドリフト層上に設けられており、一の主面上においてリング形状で延在しており、第1導電型と異なる第2導電型を有する。誘電体層は、一の主面上で内側不純物領域を部分的に覆っており、内側不純物領域上の内縁を有する。アノード電極はショットキー電極を含む。ショットキー電極は一の主面上で誘電体層の内側においてドリフト層および内側不純物領域に接しており内側不純物領域と非オーミック接触している。アノード電極は誘電体層を介して内側不純物領域と対向する部分を有する。アノード電極と誘電体層と内側不純物領域とによって第1MIS(Metal Insulator Semiconductor)キャパシタ構造が形成されている。第1MISキャパシタ構造はリング形状の延在方向における単位長さ当たりキャパシタ容量として6nF/m以上の値を有する。
本発明によれば炭化珪素半導体装置は高速スイッチング時においても優れた逆回復サージ耐性を有する。
本発明の実施の形態1における炭化珪素半導体装置の構成を概略的に示す部分断面図である。 図1の炭化珪素半導体装置に逆電圧が印加されている際の概略的な等価回路図である。 図1の炭化珪素半導体装置の製造方法の一工程を概略的に示す部分断面図である。 図1の炭化珪素半導体装置の製造方法の一工程を概略的に示す部分断面図である。 図1の炭化珪素半導体装置の製造方法の一工程を概略的に示す部分断面図である。 図1の炭化珪素半導体装置の製造方法の一工程を概略的に示す部分断面図である。 図1の炭化珪素半導体装置の製造方法の一工程を概略的に示す部分断面図である。 図1の炭化珪素半導体装置の製造方法の一工程を概略的に示す部分断面図である。 図1の炭化珪素半導体装置の製造方法の一工程を概略的に示す部分断面図である。 図1の炭化珪素半導体装置の製造方法の一工程を概略的に示す部分断面図である。 図1の炭化珪素半導体装置の製造方法の一工程を概略的に示す部分断面図である。 本発明の実施の形態2における炭化珪素半導体装置の構成を概略的に示す部分断面図である。 本発明の実施の形態3における炭化珪素半導体装置の構成を概略的に示す部分断面図(A)、およびその変形例における炭化珪素半導体装置の構成を概略的に示す部分断面図(B)である。 本発明の実施の形態4における炭化珪素半導体装置の構成を概略的に示す部分断面図である。 図14の炭化珪素半導体装置の製造方法の一工程を概略的に示す部分断面図である。 図14の炭化珪素半導体装置の製造方法の一工程を概略的に示す部分断面図である。 図14の炭化珪素半導体装置の製造方法の一工程を概略的に示す部分断面図である。 図14の炭化珪素半導体装置の製造方法の一工程を概略的に示す部分断面図である。 図14の炭化珪素半導体装置の製造方法の一工程を概略的に示す部分断面図である。 図14の炭化珪素半導体装置の製造方法の一工程を概略的に示す部分断面図である。 図14の炭化珪素半導体装置の製造方法の一工程を概略的に示す部分断面図である。 図14の炭化珪素半導体装置の製造方法の一工程を概略的に示す部分断面図である。 図14の炭化珪素半導体装置の製造方法の一工程を概略的に示す部分断面図である。 本発明の実施の形態5における炭化珪素半導体装置の構成を概略的に示す部分断面図である。 本発明の実施の形態6における炭化珪素半導体装置の構成を概略的に示す部分断面図である。 図25の炭化珪素半導体装置の製造方法の一工程を概略的に示す部分断面図である。 図25の炭化珪素半導体装置の製造方法の一工程を概略的に示す部分断面図である。 図25の炭化珪素半導体装置の製造方法の一工程を概略的に示す部分断面図である。 図25の炭化珪素半導体装置の製造方法の一工程を概略的に示す部分断面図である。 図25の炭化珪素半導体装置の製造方法の一工程を概略的に示す部分断面図である。 本発明の実施の形態7における炭化珪素半導体装置の構成を概略的に示す部分断面図である。 本発明の実施の形態8における炭化珪素半導体装置の構成を概略的に示す部分断面図(A)、およびその変形例における炭化珪素半導体装置の構成を概略的に示す部分断面図(B)である。
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態について説明する。なお、以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付しその説明は繰返さない。
<実施の形態1>
図1を参照して、本実施の形態のSBD101(炭化珪素半導体装置)はエピタキシャル基板20(炭化珪素基板)と誘電体層7とアノード電極9とフィールド絶縁膜8とオーミック電極3とカソード電極4と保護絶縁膜11とを有する。エピタキシャル基板20はSiCから作られている。エピタキシャル基板20は主面MS(一の主面)を有する。エピタキシャル基板20は、単結晶基板1と、その上に形成されたエピタキシャル層とを有する。エピタキシャル層はドリフト層2と内側不純物領域6Dとリング領域5とを有する。
ドリフト層2は、単結晶基板1上に設けられている。ドリフト層2は、エピタキシャル基板20の主面MSを部分的になしている。単結晶基板1およびドリフト層2はn型(第1導電型)を有する。
内側不純物領域6Dは、ドリフト層2上に設けられており、主面MS上においてリング形状で延在している。内側不純物領域6Dはp型(第1導電型と異なる第2導電型)を有する。内側不純物領域6Dは低濃度部6aおよび高濃度部6bを有する。高濃度部6bは低濃度部6aよりも高い不純物濃度を有する。高濃度部6bはショットキー電極9aおよび誘電体層7に接している。低濃度部6aは、高濃度部6bおよびドリフト層2を互いに隔てている。
リング領域5の各々は、ドリフト層2上に設けられており、主面MS上においてリング形状で延在している。図1においては、6重のリング領域5が例示されている。リング領域5の各々は主面MS上において内側不純物領域6Dを囲んでいる。リング領域5はp型を有する。内側不純物領域6Dの低濃度部6aと、リング領域5とは、同程度の不純物濃度を有する。
誘電体層7は、主面MS上で内側不純物領域6Dを部分的に覆っており、内側不純物領域6Dの高濃度部6b上の内縁を有する。
アノード電極9はショットキー電極9aおよび被覆電極9bを含む。ショットキー電極9aは主面MS上において誘電体層7の内縁に乗り上げるように配置されている。ショットキー電極9aは主面MS上で誘電体層7の内側において、ドリフト層2と、内側不純物領域6Dの低濃度部6aおよび高濃度部6bの各々とに接している。被覆電極9bはショットキー電極9aを覆っている。
アノード電極9は誘電体層7を介して内側不純物領域6Dの高濃度部6bと対向する部分(図中、幅WAの部分)を有する。これにより、アノード電極9と誘電体層7と内側不純物領域6Dとによって、p型のMOS(Metal Oxide semiconductor)キャパシタ構造13A(第1MISキャパシタ構造)が形成されている。アノード電極9が誘電体層7上に直接位置する部分の外縁(図中、幅WAの右端)は、電界集中を回避するために、内側不純物領域6Dにおける高濃度部6b上に位置する。
フィールド絶縁膜8は誘電体層7を部分的に覆っている。アノード電極9はフィールド絶縁膜8上に縁を有する。フィールド絶縁膜8は誘電体層7よりも厚いことが好ましい。
保護絶縁膜11は、フィールド絶縁膜8を介して誘電体層7を覆っている。また保護絶縁膜11は、アノード電極9の縁部を覆っている。また保護絶縁膜11は、アノード電極9のうち縁部に囲まれた部分(図中、左側部分)を露出している。
オーミック電極3は、単結晶基板1の、ドリフト層2が設けられた面と反対の面上に設けられている。カソード電極4はオーミック電極3上に設けられている。
さらに図2を参照して、SBD101は、ショットキー電極9aによって構成されたダイオード12にRCスナバ回路が並列接続された等価回路を有する。RCスナバ回路は、MOSキャパシタ構造13Aと、ドリフト層2による抵抗構造14とによって構成されている。
次に、MOSキャパシタ構造13Aの設計について説明する。本発明者らは、誘電体層7として二酸化珪素膜を用いキャパシタの幅WAを37μmとしつつ、誘電体層7の厚さdを0.2μm、0.4μm、0.7μm、1.0μmと変えて、10〜100kV/μsの範囲においてSBDの逆回復サージ耐性(dV/dt)を調べた。その結果、誘電体層7の厚さd=0.2μmの場合に最もdV/dt耐性が高くなることを見出した。
逆電圧印加時、MOSキャパシタ構造13Aは蓄積モードにあり、誘電体層7によるキャパシタとして機能する。キャパシタ容量Cは、
C=εr・ε0・S/d
で計算される。ここで、εr:誘電体層7の比誘電率、ε0:真空の誘電率、S:キャパシタ面積、である。上式より、二酸化珪素の比誘電率をεr=3.9とした場合、図1の断面視における奥行方向の単位長さ(メートル)当たり、言い換えれば内側不純物領域6Dのリング形状の延在方向における単位長さ当たり、MOSキャパシタ構造13Aは6nF/m程度(計算値:6.39nF/m)の単位長さ当たり容量を有していたことになる。この場合に逆回復サージ耐性(dV/dt)が最も高くなった理由として、以下2点が考えられる。
まず1つ目は、MOSキャパシタ構造13AがRCスナバ回路として働くのに必要な程度のキャパシタ容量が確保されたためと考えられる。本実験結果から、MOSキャパシタ構造13Aは、内側不純物領域6Dのリング形状の延在方向における単位長さ当たりキャパシタ容量として6nF/m以上の値を有することが好ましいことが分かった。
次に2つ目は、空間電荷密度の増大による空乏層の広がりが拡大されたためと考えられる。MOSキャパシタ構造13Aは、n型のドリフト層2上に設けられた、p型のMOSキャパシタ構造である。このため、逆高電圧印加によって蓄積モードにあるMOSキャパシタ構造13Aは、誘電体層7と内側不純物領域6Dの高濃度部6bとの界面にホールを誘起し引き寄せることで、ドリフト層2と内側不純物領域6Dの低濃度部6aとによるpn接合界面における空間電荷密度を増大させる。それにより、アノード電極9の端部を含む終端領域における空乏層の広がりが拡大される。よって、高速スイッチング時でも、アノード電極9の端部を十分に覆うように空乏層を広げる効果が期待される。
以上により、逆回復サージ耐性(dV/dt)が向上したと考えられる。
なお、上述したようにキャパシタ容量を大きくすることで逆回復サージ耐性(dV/dt)が向上するが、キャパシタ容量が大き過ぎるとスイッチング損失が増加する。またキャパシタ容量を大きくするために誘電体層7の厚さを薄くし過ぎると、逆高電圧印加時に誘電体層7が絶縁破壊する恐れがある。キャパシタ面積を大きくすることによってもキャパシタ容量を大きくすることができるが、チップサイズの増大を招くことで製造コストが増加してしまう。よってMOSキャパシタ構造13Aの設計においては、スイッチング損失、誘電体層7の厚さ、およびキャパシタ面積を適切に選択する必要がある。
以上のように、MOSキャパシタ構造13Aの設計としては、チップの奥行方向の単位長さ当たり6nF以上のキャパシタ容量を含む必要があり、キャパシタ容量が大きいほどdV/dt耐性を向上させるのに好ましい。キャパシタ容量が同等であるならば、誘電体層7の絶縁破壊強度およびチップコストを考慮して、誘電体層7の材料、誘電体層の厚さ、およびキャパシタの幅WAは適宜選択され得る。
本実施の形態によれば、MOSキャパシタ構造13Aによって構成されるスナバ回路によりサージ電圧が抑制される。またp型のMOSキャパシタ構造13Aとn型のドリフト層2とがpn接合をなしており、逆高電圧印加時にMOSキャパシタ構造13Aが蓄積モードとなることで、誘電体層7と内側不純物領域6Dの高濃度部6bとの界面にホールを誘起し引き寄せる。それに伴ってドリフト層2と内側不純物領域6Dの低濃度部6aとによるpn接合界面における空間電荷密度が増加する結果、空乏層の広がりが拡大する。よって、高速スイッチング時でも、アノード電極9の端部を十分に覆うように空乏層が広がりやすくなる。これによりSBD101は高速スイッチング時においても優れた逆回復サージ耐性を有する。たとえば、SBD101の逆回復サージ耐性(dV/dt)は、10〜100kV/μsの範囲において向上し得る。
本実施の形態のようにドリフト層2がn型の場合、その外周上における高速スイッチング時の電界集中を抑えるために設けられるリング形状の領域はp型の領域である。p型の領域を形成するためには、AlまたはBなどのアクセプタ型不純物が用いられる。これらはイオン化エネルギーが大きいため、そのイオン化率が低くなりやすい。このため一般的にいえば、高速スイッチングによってサージ電圧が発生した際に、アノード電極9の端部を覆うほど十分に空乏層が広がりにくい。この結果、アノード電極9の端部、特に被覆電極9b端部、でSBDが破壊してしまうことがある。本実施の形態によれば、上述したように、アノード電極9の端部を十分に覆うように空乏層を広がりやすくすることができる。よってこのような破壊を防止することができる。
MOSキャパシタ構造13Aがリング形状の延在方向における単位長さ当たりキャパシタ容量として6nF/m以上の値を有する場合、スナバ回路が十分に機能するのに必要なキャパシタ容量が確保される。これにより、サージ電圧をより十分に抑制することができる。
内側不純物領域6Dは高濃度部6bを有する。これにより空乏層をより広げることができる。
アノード電極9がフィールド絶縁膜8上に縁を有することにより、MOSキャパシタ構造13Aの外縁を、アノード電極9の縁(図中、右端)によってではなくフィールド絶縁膜8の縁(図中、左端)によって規定することができる。
次にSBD101の製造方法について、以下に説明する。
図3を参照して、まず、面方位(0001)、ポリタイプ4H、導電型n型、不純物濃度1×1019cm-3程度、および厚さ50〜500μm程度を有する、SiCの単結晶基板1が準備される。単結晶基板1上にCVD(Chemical Vapor Deposition)法により、不純物濃度5×1014〜1×1018cm-3、厚さ4〜100μmを耐圧仕様に応じて有するドリフト層2がエピタキシャルに成長させられる。これにより、ドリフト層2からなる主面MSを有するエピタキシャル基板20が得られる。
図4を参照して、主面MS上に写真製版処理によってレジストマスクが形成される。次に主面MS側からアルミニウム(Al)またはホウ素(B)などのp型の不純物イオン(アクセプタイオン)が注入される。これにより、内側不純物領域6D(図1)の低濃度部6aとリング領域5とが形成される。注入される不純物の濃度は1×1015〜1×1019cm-3程度でありドリフト層2のn型の不純物濃度を超える。また、イオン注入の深さは0.2〜3μm程度でありドリフト層2の厚さを超えない。なお図5では、低濃度部6aおよびリング領域5がFLR(Field Limiting Ring)として形成されるが、例えばGR(Guard Ring)またはJTE(Junction Termination Extension)など、異なる電界緩和効果のある終端構造が形成されてもよい。
図5を参照して、主面MS上に写真製版処理によってレジストマスクまたは二酸化珪素マスクが形成される。次に主面MS側からAlまたはBなどのp型の不純物イオン(アクセプタイオン)が注入される。これにより、低濃度部6a上に高濃度部6bが形成される。すなわち低濃度部6aおよび高濃度部6bを有する内側不純物領域6Dが形成される。この時のイオン注入温度は150℃以上で行うことが好ましい。これにより、高濃度部6bが設けられない場合に比して低いシート抵抗を有する内側不純物領域6Dを形成することができる。イオン注入の深さは低濃度部6aの深さを超えないものとされる。次に、注入された不純物を電気的に活性化させるための高温アニールが行われる。高温アニールは、例えばアルゴンなどの不活性化雰囲気中で1500〜2000℃程度で30秒〜1時間程度行われる。
図6を参照して、熱酸化またはCVD法などにより主面MS上に誘電体層7が形成される。誘電体層7の材料としては、例えば酸化シリコン、窒化アルミニウム(AlN)、酸化ハフニウム(HfO2)、または酸化アルミニウム(Al23)が用いられる。
図7を参照して、誘電体層7上におけるCVD法などによる堆積と、写真製版処理およびエッチングによるパターニングとにより、フィールド絶縁膜8が形成される。フィールド絶縁膜8の材料としては、例えば二酸化珪素が用いられる。
図8を参照して、単結晶基板1の裏面上にNiなどの金属膜が成膜される。次にこの膜が600〜1100℃で熱処理される。これにより、オーミック電極3が形成される。
図9を参照して、誘電体層7およびフィールド絶縁膜8が部分的に設けられた主面MS上におけるTi、NiまたはMoなどのスパッタ成膜と、写真製版処理およびエッチングによるパターニングとにより、ショットキー電極9aが形成される。
図10を参照して、ショットキー電極9a上におけるAlなどのスパッタ成膜と、写真製版処理およびエッチングによるパターニングとにより、被覆電極9bが形成される。これによりショットキー電極9aおよび被覆電極9bを有するアノード電極9が得られる。
図11を参照して、成膜と、写真製版処理およびエッチングによるパターニングにより、アノード電極9の一部と耐圧終端領域とを覆うように保護絶縁膜11が形成される。
再び図1を参照して、オーミック電極3上に、Ti、Ni、Ag、AuまたはAlなどの金属膜がスパッタ法または蒸着法により堆積されることで、カソード電極4が形成される。これによりSBD101が完成される。
<実施の形態2>
図12を参照して、本実施の形態のSBD102はフィールド絶縁膜8(図1)を有していない。よって本実施の形態においてはMOSキャパシタ構造13Aの外縁はアノード電極9の縁によって規定されている。なお、上記以外の構成についてはSBD101(図1)とほぼ同じであるため、同一または対応する要素について同一の符号を付し、その説明を繰り返さない。本実施の形態によれば、フィールド絶縁膜8を省略することによって、SBD102の構成を簡素化することができる。
<実施の形態3>
図13(A)を参照して、本実施の形態のSBD103Aは内側不純物領域6D(図1)の代わりに内側不純物領域6Sを有する。内側不純物領域6Sは、内側不純物領域6Dと異なり低濃度部6aおよび高濃度部6bのような濃度区分を有しておらず、リング領域5と同様の不純物濃度を有する。なお、上記以外の構成については、SBD101(図1)とほぼ同じであるため、同一または対応する要素について同一の符号を付し、その説明を繰り返さない。
図13(B)を参照して、本実施の形態の変形例のSBD103Bは内側不純物領域6D(図12)の代わりに内側不純物領域6Sを有する。なお、上記以外の構成については、SBD102(図12)とほぼ同じであるため、同一または対応する要素について同一の符号を付し、その説明を繰り返さない。
本実施の形態またはその変形例のそれぞれによれば、低濃度部6aおよび高濃度部6b(図1または図12)のような濃度区分が設けられないので、SBD101(図1)およびSBD102(図12)の構造を簡素化することができる。
<実施の形態4>
図14を参照して、本実施の形態のSBD104はエピタキシャル基板20と誘電体層7とアノード電極9とフィールド絶縁膜8とオーミック電極3とカソード電極4と保護絶縁膜11とを有する。エピタキシャル基板20は、主面MSを有し、ドリフト層2と内側不純物領域6Dとチャネルストッパ領域15と外側不純物領域16とリング領域5とを含む。
チャネルストッパ領域15は、ドリフト層2上に設けられており、内側不純物領域6Dとすべてのリング領域5とを囲むように主面MS上においてリング形状で延在している。チャネルストッパ領域15はn型を有する。
外側不純物領域16は、ドリフト層2上に設けられており、チャネルストッパ領域15を囲むように主面MS上においてリング形状で延在している。外側不純物領域16はp型を有する。外側不純物領域16と、リング領域5とは、同程度の不純物濃度を有する。
誘電体層7は、主面MS上で内側不純物領域6Dを部分的に覆っており、かつチャネルストッパ領域15および外側不純物領域16を覆っている。誘電体層7は、内側不純物領域6Dの高濃度部6b上の内縁(図中、左端)を有する。
アノード電極9はショットキー電極9aおよび被覆電極9bを含む。ショットキー電極9aは主面MS上で誘電体層7の内側において、ドリフト層2と、内側不純物領域6Dの低濃度部6aおよび高濃度部6bの各々とに接している。
外側電極10は誘電体層7を介して外側不純物領域16と対向する部分(図中、幅WBの部分)を有する。これにより、外側電極10と誘電体層7と外側不純物領域16とによって、p型のMOSキャパシタ構造13Bが形成されている。外側電極10はフィールド絶縁膜8上に縁を有する。
MOSキャパシタ構造13Bは、MOSキャパシタ構造13A(図1:実施の形態1)と同様に、チップの奥行方向の単位長さ(m)あたりに6nF以上のキャパシタ容量を有することが好ましい。キャパシタ容量が大きいほど、SBD104の逆回復サージ耐性(dV/dt)を向上させるのには好ましい。なお誘電体層7の材料、誘電体層の厚さ、およびキャパシタの幅WBは、実施の形態1の場合と同様、適宜選択され得る。
アノード電極9と、外側電極10とは、少なくともSBD104が使用されるまでに、電気的に短絡される。例えば、チップ組立時に両者が配線によってつながれる。これにより外側電極10にも、図示されているように、アノード電位が印加されることになる。
本実施の形態によれば、MOSキャパシタ構造13Bによって構成されるスナバ回路により、実施の形態1と同様、サージ電圧が抑制される。
また本実施の形態によれば、チャネルストッパ領域15により空乏層の延伸を抑制することで、本来空乏化する領域内にMOSキャパシタ構造13Bを設けることができる。これにより、MOSキャパシタ構造13A(図1)が設けられる場合に比して、チップサイズの増大を抑えることができる。またMOSキャパシタ構造13Aと異なり、主面MS上においてMOSキャパシタ構造13Bが形成される位置が若干ずれても特に影響がないことから、製造時のマスクの位置ずれに対する許容度が大きい。よって所望の特性を有するSBD104をより安定的に製造することができる。
外側電極10はフィールド絶縁膜8上に縁を有する。これにより、MOSキャパシタ構造13Bの縁をフィールド絶縁膜8によって規定することができる。
次にSBD104の製造方法について、以下に説明する。
まず実施の形態1(図3)と同様に、単結晶基板1上にドリフト層2を形成することで、エピタキシャル基板20が準備される。
図15を参照して、主面MS上に写真製版処理によってレジストマスクが形成される。次に主面MS側からAlまたはBなどのp型の不純物イオン(アクセプタイオン)が注入される。これにより、内側不純物領域6D(図1)の低濃度部6aとリング領域5と外側不純物領域16とが形成される。注入される不純物の濃度は1×1015〜1×1019cm-3程度でありドリフト層2のn型の不純物濃度を超える。また、イオン注入の深さは0.2〜3μm程度でありドリフト層2の厚さを超えない。なお図5では、低濃度部6aおよびリング領域5がFLR(Field Limiting Ring)として形成されるが、例えばGR(Guard Ring)またはJTE(Junction Termination Extension)など、異なる電界緩和効果のある終端構造が形成されてもよい。
図16を参照して、主面MS上に写真製版処理によってレジストマスクが形成される。次に主面MS側から窒素(N)またはリン(P)などのn型の不純物イオン(ドナーイオン)が注入される。これによりチャネルストッパ領域15が形成される。注入される不純物の濃度は1×1018〜1×1021cm-3程度でありドリフト層2のn型の不純物濃度を超える。また、イオン注入の深さは0.2〜3μm程度でありドリフト層2の厚さを超えない。
図17を参照して、主面MS上に写真製版処理によってレジストマスクまたは二酸化珪素マスクが形成される。次に主面MS側からアルミニウムまたはホウ素などのp型の不純物イオン(アクセプタイオン)が注入される。これにより、低濃度部6a上に高濃度部6bが形成される。すなわち低濃度部6aおよび高濃度部6bを有する内側不純物領域6Dが形成される。この時のイオン注入温度は150℃以上で行うことが好ましい。これにより、高濃度部6bが設けられない場合に比して低いシート抵抗を有する内側不純物領域6Dを形成することができる。イオン注入の深さは、低濃度部6aの深さを超えないものとされる。次に、注入された不純物を電気的に活性化させるための高温アニールが行われる。高温アニールは、例えばアルゴンなどの不活性化雰囲気中で1500〜2000℃程度で30秒〜1時間程度行われる。
図18を参照して、図6(実施の形態1)とほぼ同様の工程が行なわれる。なお誘電体層7は、チャネルストッパ領域15および外側不純物領域16も覆うように形成される。
図19を参照して、図7(実施の形態1)とほぼ同様の工程が行なわれる。ただしフィールド絶縁膜8のパターニングは、外側不純物領域16が誘電体層7を介して露出するように行われる。
図20および図21を参照して、図8および図9(実施の形態1)のそれぞれとほぼ同様の工程が行なわれる。
図22を参照して、誘電体層7、フィールド絶縁膜8およびショットキー電極9aが設けられた主面MS上におけるAlなどのスパッタ成膜と、写真製版処理およびエッチングによるパターニングとにより、被覆電極9bおよび外側電極10が形成される。なお、これによりショットキー電極9aおよび被覆電極9bを有するアノード電極9が得られる。
図23を参照して、図11(実施の形態1)とほぼ同様に、保護絶縁膜11が形成される。ただし保護絶縁膜11のパターニングは、アノード電極9に加えて外側電極10が露出するように行われる。
再び図14を参照して、実施の形態1と同様、カソード電極4が形成される。これによりSBD104が完成される。
<実施の形態5>
図24を参照して、本実施の形態のSBD105は、内側不純物領域6D(図14)の代わりに、実施の形態3で説明されたような内側不純物領域6Sを有する。なお、上記以外の構成については、SBD104(図14:実施の形態4)の構成とほぼ同じであるため、同一または対応する要素について同一の符号を付し、その説明を繰り返さない。本実施の形態によれば、低濃度部6aおよび高濃度部6b(図14)のような濃度区分が設けられないので、SBD105の構成を簡素化することができる。
<実施の形態6>
図25を参照して、本実施の形態のSBD106は、SBD101(図1)のうちリング領域5よりも外側の部分の構造に、SBD104(図14)における当該部分の構造が適用されたものに対応している。この結果、SBD106はMOSキャパシタ構造13A(第1MISキャパシタ構造)に加えてMOSキャパシタ構造13B(第2MISキャパシタ構造)を有する。
具体的には、エピタキシャル基板20は単結晶基板1とドリフト層2と内側不純物領域6Dとリング領域5とチャネルストッパ領域15と外側不純物領域16とを含む。誘電体層7は、主面MS上で内側不純物領域6Dを部分的に覆っており、かつ外側不純物領域16を覆っている。アノード電極9と、外側電極10とは、実施の形態4と同様、少なくともSBD106が使用されるまでに、電気的に短絡される。
なお、上記以外の構成については、SBD101(図1:実施の形態1)またはSBD104(図14:実施の形態4)の構成とほぼ同じであるため、同一または対応する要素について同一の符号を付し、その説明を繰り返さない。
本実施の形態によっても実施の形態1と同様の効果が得られる。さらに、サージ電圧を抑制するスナバ回路(図2)を構成するキャパシタがMOSキャパシタ構造13AだけでなくMOSキャパシタ構造13Bによっても構成されるので、スナバ回路を構成するキャパシタの容量をより大きくすることができる。よってサージ電圧をより十分に抑制することができる。
次にSBD106の製造方法について説明する。まず図18(実施の形態4)までと同様の工程が行なわれる。
図26を参照して、図7(実施の形態1)とほぼ同様の工程が行なわれる。ただしフィールド絶縁膜8のパターニングは、外側不純物領域16が誘電体層7を介して露出するように行われる。
図27および図28を参照して、図8および図9(実施の形態1)のそれぞれとほぼ同様の工程が行なわれる。
図29を参照して、誘電体層7、フィールド絶縁膜8およびショットキー電極9aが設けられた主面MS上におけるAlなどのスパッタ成膜と、写真製版処理およびエッチングによるパターニングとにより、被覆電極9bおよび外側電極10が形成される。なお、これによりショットキー電極9aおよび被覆電極9bを有するアノード電極9が得られる。
図30を参照して、図23(実施の形態1)とほぼ同様に、保護絶縁膜11が形成される。ただし保護絶縁膜11のパターニングは、アノード電極9に加えて外側電極10が露出するように行われる。
再び図25を参照して、実施の形態1と同様、カソード電極4が形成される。これによりSBD106が完成される。
<実施の形態7>
図31を参照して、本実施の形態のSBD107はフィールド絶縁膜8(図25)を有していない。よって本実施の形態においてはMOSキャパシタ構造13Aの外縁はアノード電極9の縁によって規定されている。なお、上記以外の構成についてはSBD106(図25)とほぼ同じであるため、同一または対応する要素について同一の符号を付し、その説明を繰り返さない。本実施の形態によれば、フィールド絶縁膜8を省略することによって、SBD107の構成を簡素化することができる。
<実施の形態8>
図32(A)を参照して、本実施の形態のSBD108Aは内側不純物領域6D(図25)の代わりに、実施の形態3で説明されたような内側不純物領域6Sを有する。なお、上記以外の構成については、SBD106(図25)の構成とほぼ同じであるため、同一または対応する要素について同一の符号を付し、その説明を繰り返さない。
図32(B)を参照して、本実施の形態の変形例のSBD108Bは内側不純物領域6D(図31)の代わりに内側不純物領域6Sを有する。なお、上記以外の構成については、SBD107(図31)の構成とほぼ同じであるため、同一または対応する要素について同一の符号を付し、その説明を繰り返さない。
本実施の形態およびその変形例のそれぞれによれば、低濃度部6aおよび高濃度部6b(図25または図31)のような濃度区分が設けられないので、SBD106(図25)およびSBD107(図31)の構造を簡素化することができる。
なお、本発明は、その発明の範囲内において、各実施の形態を自由に組み合わせたり、各実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。
MS 主面、1 単結晶基板、2 ドリフト層、3 オーミック電極、4 カソード電極、5 リング領域、6D,6S 内側不純物領域、6a 低濃度部、6b 高濃度部、7 誘電体層、8 フィールド絶縁膜、9 アノード電極、9a ショットキー電極、9b 被覆電極、10 外側電極、11 保護絶縁膜、13A MOSキャパシタ構造(第1MISキャパシタ構造)、13B MOSキャパシタ構造((第2)MISキャパシタ構造)、15 チャネルストッパ領域、16 外側不純物領域、20 エピタキシャル基板、101,102,103A,103B,104〜107,108A,108B SBD(炭化珪素半導体装置)。

Claims (5)

  1. 一の主面を有する炭化珪素基板を備え、前記炭化珪素基板は、前記一の主面を部分的になし第1導電型を有するドリフト層と、前記ドリフト層上に設けられ前記一の主面上においてリング形状で延在し前記第1導電型と異なる第2導電型を有する内側不純物領域とを含み、さらに
    前記一の主面上で前記内側不純物領域を部分的に覆い、前記内側不純物領域上の内縁を有する誘電体層と、
    前記一の主面上で前記誘電体層の内側において前記ドリフト層および前記内側不純物領域に接し前記内側不純物領域と非オーミック接触するショットキー電極を含むアノード電極とを備え、前記アノード電極が前記誘電体層を介して前記内側不純物領域と対向する部分を有し、前記アノード電極と前記誘電体層と前記内側不純物領域とによって第1MISキャパシタ構造が形成されており、
    前記第1MISキャパシタ構造は前記リング形状の延在方向における単位長さ当たりキャパシタ容量として6nF/m以上の値を有する、
    炭化珪素半導体装置。
  2. 前記第1の導電型はn型である、請求項1に記載の炭化珪素半導体装置。
  3. 前記内側不純物領域は、前記誘電体層に接する高濃度部と、前記高濃度部および前記ドリフト層を互いに隔て、前記高濃度部の不純物濃度よりも低い不純物濃度を有する低濃度部とを有する、請求項1または2に記載の炭化珪素半導体装置。
  4. 前記誘電体層を部分的に覆うフィールド絶縁膜をさらに備え、前記アノード電極は前記フィールド絶縁膜上に縁を有する、請求項1からのいずれか1項に記載の炭化珪素半導体装置。
  5. 前記アノード電極は前記一の主面上で前記誘電体層の内側においてのみ前記炭化珪素基板に接している、請求項1から4のいずれか1項に記載の炭化珪素半導体装置。
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