JP6238854B2 - 炭化珪素半導体装置 - Google Patents
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Description
図1を参照して、本実施の形態のSBD101(炭化珪素半導体装置)はエピタキシャル基板20(炭化珪素基板)と誘電体層7とアノード電極9とフィールド絶縁膜8とオーミック電極3とカソード電極4と保護絶縁膜11とを有する。エピタキシャル基板20はSiCから作られている。エピタキシャル基板20は主面MS(一の主面)を有する。エピタキシャル基板20は、単結晶基板1と、その上に形成されたエピタキシャル層とを有する。エピタキシャル層はドリフト層2と内側不純物領域6Dとリング領域5とを有する。
C=εr・ε0・S/d
で計算される。ここで、εr:誘電体層7の比誘電率、ε0:真空の誘電率、S:キャパシタ面積、である。上式より、二酸化珪素の比誘電率をεr=3.9とした場合、図1の断面視における奥行方向の単位長さ(メートル)当たり、言い換えれば内側不純物領域6Dのリング形状の延在方向における単位長さ当たり、MOSキャパシタ構造13Aは6nF/m程度(計算値:6.39nF/m)の単位長さ当たり容量を有していたことになる。この場合に逆回復サージ耐性(dV/dt)が最も高くなった理由として、以下2点が考えられる。
図12を参照して、本実施の形態のSBD102はフィールド絶縁膜8(図1)を有していない。よって本実施の形態においてはMOSキャパシタ構造13Aの外縁はアノード電極9の縁によって規定されている。なお、上記以外の構成についてはSBD101(図1)とほぼ同じであるため、同一または対応する要素について同一の符号を付し、その説明を繰り返さない。本実施の形態によれば、フィールド絶縁膜8を省略することによって、SBD102の構成を簡素化することができる。
図13(A)を参照して、本実施の形態のSBD103Aは内側不純物領域6D(図1)の代わりに内側不純物領域6Sを有する。内側不純物領域6Sは、内側不純物領域6Dと異なり低濃度部6aおよび高濃度部6bのような濃度区分を有しておらず、リング領域5と同様の不純物濃度を有する。なお、上記以外の構成については、SBD101(図1)とほぼ同じであるため、同一または対応する要素について同一の符号を付し、その説明を繰り返さない。
図14を参照して、本実施の形態のSBD104はエピタキシャル基板20と誘電体層7とアノード電極9とフィールド絶縁膜8とオーミック電極3とカソード電極4と保護絶縁膜11とを有する。エピタキシャル基板20は、主面MSを有し、ドリフト層2と内側不純物領域6Dとチャネルストッパ領域15と外側不純物領域16とリング領域5とを含む。
図24を参照して、本実施の形態のSBD105は、内側不純物領域6D(図14)の代わりに、実施の形態3で説明されたような内側不純物領域6Sを有する。なお、上記以外の構成については、SBD104(図14:実施の形態4)の構成とほぼ同じであるため、同一または対応する要素について同一の符号を付し、その説明を繰り返さない。本実施の形態によれば、低濃度部6aおよび高濃度部6b(図14)のような濃度区分が設けられないので、SBD105の構成を簡素化することができる。
図25を参照して、本実施の形態のSBD106は、SBD101(図1)のうちリング領域5よりも外側の部分の構造に、SBD104(図14)における当該部分の構造が適用されたものに対応している。この結果、SBD106はMOSキャパシタ構造13A(第1MISキャパシタ構造)に加えてMOSキャパシタ構造13B(第2MISキャパシタ構造)を有する。
図31を参照して、本実施の形態のSBD107はフィールド絶縁膜8(図25)を有していない。よって本実施の形態においてはMOSキャパシタ構造13Aの外縁はアノード電極9の縁によって規定されている。なお、上記以外の構成についてはSBD106(図25)とほぼ同じであるため、同一または対応する要素について同一の符号を付し、その説明を繰り返さない。本実施の形態によれば、フィールド絶縁膜8を省略することによって、SBD107の構成を簡素化することができる。
図32(A)を参照して、本実施の形態のSBD108Aは内側不純物領域6D(図25)の代わりに、実施の形態3で説明されたような内側不純物領域6Sを有する。なお、上記以外の構成については、SBD106(図25)の構成とほぼ同じであるため、同一または対応する要素について同一の符号を付し、その説明を繰り返さない。
Claims (5)
- 一の主面を有する炭化珪素基板を備え、前記炭化珪素基板は、前記一の主面を部分的になし第1導電型を有するドリフト層と、前記ドリフト層上に設けられ前記一の主面上においてリング形状で延在し前記第1導電型と異なる第2導電型を有する内側不純物領域とを含み、さらに
前記一の主面上で前記内側不純物領域を部分的に覆い、前記内側不純物領域上の内縁を有する誘電体層と、
前記一の主面上で前記誘電体層の内側において前記ドリフト層および前記内側不純物領域に接し前記内側不純物領域と非オーミック接触するショットキー電極を含むアノード電極とを備え、前記アノード電極が前記誘電体層を介して前記内側不純物領域と対向する部分を有し、前記アノード電極と前記誘電体層と前記内側不純物領域とによって第1MISキャパシタ構造が形成されており、
前記第1MISキャパシタ構造は前記リング形状の延在方向における単位長さ当たりキャパシタ容量として6nF/m以上の値を有する、
炭化珪素半導体装置。 - 前記第1の導電型はn型である、請求項1に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記内側不純物領域は、前記誘電体層に接する高濃度部と、前記高濃度部および前記ドリフト層を互いに隔て、前記高濃度部の不純物濃度よりも低い不純物濃度を有する低濃度部とを有する、請求項1または2に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記誘電体層を部分的に覆うフィールド絶縁膜をさらに備え、前記アノード電極は前記フィールド絶縁膜上に縁を有する、請求項1から3のいずれか1項に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記アノード電極は前記一の主面上で前記誘電体層の内側においてのみ前記炭化珪素基板に接している、請求項1から4のいずれか1項に記載の炭化珪素半導体装置。
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