JP6238135B2 - 銅線及びその製造方法 - Google Patents

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Description

本発明は、銅線及びその製造方法に関する。
非特許文献1には、酸素を0.04%含むタフピッチ銅(3N銅)線を、伸線加工前の初期の結晶方位を[111]にして、90.0〜99.7%の加工度で伸線加工し、400℃、2時間の焼鈍では結晶方位が[100]となり、950℃、1時間の高温焼鈍をして2次再結晶すると、結晶方位[111]の繊維組織になることが記載されている。また、非特許文献1には、伸線加工前の初期の結晶方位を[100]にして、90.0〜99.7%の加工度で伸線加工し、400℃、2時間の焼鈍では結晶方位が[100]及び[112]の混合となり、950℃、1時間の高温焼鈍では、結晶方位が[100]、[112]及び[111]の混合となることが記載されている。
特許文献1には、音響・画像機器の音質や画質を向上させるため、面心立方格子型結晶の99.999重量%のCu、単結晶体又は結晶集合体であって、長手方向の方位が結晶方位[111]から10度以内、又は結晶方位[100]から10度以内とした音響・画像機器導体が記載されている。
特許文献2には、銅線横断面にX線を照射したとき、(111)面におけるX線回折強度I(111)と(200)面におけるX線回折強度I(200)とI(111)≧I(200)の関係を満たすように形成された金属線状材からなるオーディオ・ビデオ信号用導体が記載されている。
特許文献2に関係する非特許文献2には、純度の異なる銅線について、一次再結晶化後にさらに焼鈍を行うと、高純度銅(6N銅)において結晶粒の粗大化が起こり[111]軸密度が増加し、[100]軸密度は減少するが、無酸素銅(4N銅)ではこの現象は見られないことが記載されている。
特許文献3には、絶縁被膜が形成された巻線用導体の表面をX線回折により求めた(111)面のX線回折強度に対する(200)面のX線回折強度の比をI(200)として、微粉末銅の(111)面のX線回折強度に対する(200)面のX線回折強度の比をIO(200)として、I(200)/IO(200)の値が3以下になることが記載されている。
特許文献4には、加熱鋳型式連続鋳造法によって得られた鋳造材を加工して、又は単結晶からなる鋳造材を加工して音響機器用電線を製造することが記載されている。また、同文献には、単結晶で加工すると転位であるひずみが残るので、ひずみのない銅が必要とされることが記載されている。
特公平7−118216号公報 特許第4914153号公報 特開2010−205623号公報 特開昭60−203339号公報
G.Bassi:Trans.AIME,Jornal of Metals,July(1952)753-754. 田窪毅、本田照一著、銅と銅合金、第46巻1号(2007)17−20
しかし、非特許文献1に記載されているタフピッチ銅線は、引張強度が高いが、半軟化温度が比較的高いという問題がある。また、タフピッチ銅線は、溶接時に内部の酸素が水素と結合して水蒸気を発生させて溶接部に割れが生じることから、溶接性が無酸素銅等と比較して劣っているという問題もある。
非特許文献2に記載されている高純度銅やそれ以上の純度の銅で形成された銅線は、半軟化温度が低いが、これらの銅線は、熱処理をすると二次再結晶化により結晶が粗大化するため、銅線の引張強度が弱い傾向がある。また、これらの銅線は、高価であるという問題もある。
特許文献2に記載の銅線の製造方法では、銅線を形成する銅の純度が99.9999%以上の高純度銅であり、銅線の横断面の(111)面と、(200)面とのX線回折強度の比が21.4:1である銅線が製造できるが、この製造方法では、銅線の製造に高純度銅を用いる必要があるという問題がある。
さらに、特許文献1には、銅線の長手方向の方位が結晶方位[111]から10°以内又は結晶方位[100]から10°以内である銅線の製造方法が記載されているが、この銅線の製造方法は、コストが高く銅線を大量生産できないという問題がある。
そこで、本発明は、半軟化温度がタフピッチ銅(3N銅)及び無酸素銅(4N銅)よりも低く、引張強度が高純度銅(6N銅)よりも高い銅線及びその製造方法を提供することを目的とする。
[1]5〜55massppmの濃度のTiと、3〜12massppmの濃度の硫黄と、2〜30massppmの濃度の酸素と、残部が銅と不可避的不純物からなる銅線材で形成され、
結晶方位[111]が長手方向に配向しており、結晶内に少なくとも1つの双晶を含む第1の結晶と、
前記第1の結晶と隣り合う1つ以上の結晶であって、前記第1の結晶と原子面上の回転角度が異なる結晶方位[111]が長手方向に配向しており、結晶内に少なくとも1つの双晶を含む第2の結晶と、
を備え
200nm以下のTiO、1000nm以下のTiO 2 、200nm以下のTiS、300nm以下のTiSOからなる化合物が分散しており、導電率が101%IACS以上である
銅線。
]半軟化温度が130℃以上200℃以下である、
前記[1]に記載の銅線。
]5〜55massppmの濃度のTiと、3〜12massppmの濃度の硫黄と、2〜30massppmの濃度の酸素と、残部が銅と不可避的不純物からなる銅線材に、熱処理温度が700℃以上950℃以下の条件で熱処理を施すことにより、結晶方位[111]が長手方向に配向しており、結晶内に少なくとも1つの双晶を含む第1の結晶と、前記第1の結晶と隣り合う1つ以上の結晶であって、前記第1の結晶と原子面上の回転角度が異なる結晶方位[111]が長手方向に配向しており、結晶内に少なくとも1つの双晶を含む第2の結晶とを備える銅線を得る熱処理工程を含
前記銅線は、200nm以下のTiO、1000nm以下のTiO 2 、200nm以下のTiS、300nm以下のTiSOからなる化合物が分散しており、導電率が101%IACS以上である
銅線の製造方法。
]前記熱処理工程は、アルゴン雰囲気又は窒素雰囲気中で、パイプ管状電気炉、通電アニーラ、ゴールドファーネス又はプラズマ連続熱処理により熱処理をする、
前記[]に記載の銅線の製造方法。
本発明によれば、半軟化温度がタフピッチ銅(3N銅)及び無酸素銅(4N銅)よりも低く、引張強度が高純度銅(6N銅)よりも高い銅線及びその製造方法を提供することができる。
図1は、本発明の実施例1の横断面組織の写真である。 図2は、比較例1の横断面組織の写真である。 図3は、比較例2の横断面組織の写真である。 図4は、比較例3の横断面組織の写真である。 図5は、本発明の実施例1の横断面組織から得られたX線回折強度を示す図である。 図6は、比較例1の横断面組織から得られたX線回折強度を示す図である。 図7は、比較例2の横断面組織から得られたX線回折強度を示す図である。 図8は、比較例3の横断面組織から得られたX線回折強度を示す図である。
[実施の形態の要約]
本実施の形態の銅線は、5〜55massppmの濃度のTiと、3〜12massppmの濃度の硫黄と、2〜30massppmの濃度の酸素と、残部が銅と不可避的不純物からなる銅線材で形成され、
結晶方位[111]を有し、結晶内に少なくとも1つの双晶を含む第1の結晶と、
前記第1の結晶と隣り合う1つ以上の結晶であって、前記第1の結晶と原子面上の回転角度が異なる結晶方位[111]を有し、結晶内に少なくとも1つの双晶を含む第2の結晶とを備える。
[実施の形態]
本実施の形態の銅線は、5〜55massppmの濃度のTiと、3〜12massppmの濃度の硫黄と、2〜30massppmの濃度の酸素と、残部が銅と不可避的不純物からなる銅線材で形成される。なお、不可避的不純物とは、製造工程において不可避的に混入するものをいう。
この銅線は、結晶方位[111]を有し、結晶内に少なくとも1つの双晶を含む第1の結晶と、第1の結晶と隣り合う1つ以上の結晶であって、第1の結晶と原子面上の回転角度が異なる結晶方位[111]を有し、結晶内に少なくとも1つの双晶を含む第2の結晶とを有する。第1又は第2の結晶は、100μm以下のサイズを有し、第1又は第2の結晶中の双晶は、0.1mm以上0.5mm以下の間隔を有して形成される。
この銅線は、101%IACS(International Annealed Copper Standard:万国標準軟銅1.7241×10−8Ωmを100%とした導電率)以上の導電率、130℃以上200℃以下の半軟化温度、200MPa以上の引張強度及び25%以上の伸び率を有する。
非特許文献2では、高純度銅(6N銅)は、一次再結晶化後にさらに熱処理を行うと、結晶方位[111]の密度が増加するが、無酸素銅(4N銅)では、この現象がみられないことが報告されている。また、高純度銅においても結晶方位[111]と、結晶方位[100]の混合が観察されていた。なお、非特許文献2では、Ti等を含む銅線材について結晶方位[111]の密度が増加することについて言及していない。
そこで、本発明者らは、5〜55massppmの濃度のTiと、3〜12massppmの濃度の硫黄と、2〜30massppmの濃度の酸素とを含む銅線材を二次再結晶温度領域(700〜950℃)で加熱することにより、結晶方位[111]の密度がほぼ100%の銅線を製造できることを見出した。
(銅線材の組成)
銅線材中の硫黄は、濃度が低い方が望ましいが、銅線材の原料となる一般的な電気銅は、硫酸銅溶液中にて電気精製して製造するために銅線材への硫黄の混入を避けられず、銅線材中の硫黄の濃度を3massppm以下とすることは、困難である。一般の電解銅硫黄濃度の上限は、12massppmとされていることから、銅線材に含まれる硫黄濃度を3〜12massppmの範囲としている。
銅線材中の酸素は、濃度が低いと銅線材の軟化温度が低下しないことから、2massppm以上の濃度としている。一方、酸素濃度を30massppm超とすると、溶銅が凝固するときに酸素と水素が結合して発生する水蒸気によりブローホールが発生して銅線の表面に傷が発生することがある。そのため、銅線材に含まれる酸素濃度を2〜30massppmの範囲としている。
銅材料中のTi濃度が低いと銅材料中に存在する不可避的不純物である硫黄を十分に捕集、析出させることができなくなるため、Ti濃度を5massppm以上としている。一方、Ti濃度を55massppmを超えると、過剰なTiが銅中に固溶してしまい、導電率の低下や軟化温度の上昇を引き起こすため、Ti濃度を55massppm以下としている。
(銅線に分散している分散粒子)
銅線の内部に分散している分散粒子は、銅線材に含まれる硫黄を析出するサイトとして機能する。そのため、分散粒子は、サイズが小さく、かつ、多く分布していることが好ましい。銅線材中の硫黄、酸素と、銅線材に添加されるTiは、TiO、TiO、TiS、TiSOの化合物となって凝縮し、分散粒子を形成する。
分散粒子を硫黄を析出するサイトとして機能させるためは、TiOのサイズを200nm以下、TiOのサイズを1000nm以下、TiSのサイズを200nm以下、TiSOのサイズを300nm以下にすることが好ましい。そのため、銅線を鋳造する際の溶銅の製造条件より、形成される分散粒子のサイズが変化するため、銅線の製造条件の最適化が必要である。
(銅線の製造方法)
以下、本実施の形態に係る銅線の製造方法の一例について、SCR連続鋳造圧延(South Continuous Rod System)により銅線材を用いた直径8mmの銅線を製造する場合を例に説明する。
銅線の材料となる銅をシャフト炉で溶解し、溶解した銅にTiを添加して還元ガス(CO)の雰囲気下で硫黄濃度及び酸素濃度を制御しながら1100℃以上1320℃以下の鋳造温度で銅線材を鋳造する。
鋳造温度は、溶解した銅線材の温度が高いとブローホールが発生して銅線の表面品質が劣化するとともに、分散粒子のサイズが大きくなる傾向にあるので1320℃以下としている。また、1100℃未満の温度では、溶解した銅線材が固まりやすく銅線の製造が安定しない。そのため、鋳造温度を1100℃以上1320℃以下としている。
次に、SCR連続鋳造圧延により得られた鋳造品に熱間圧延を施すことで、直径8mm(加工度が99.3%)の銅線材を製造する。
熱圧延温度は、硫黄の固溶限を小さくして熱圧延時に硫黄を析出させるため、通常の熱圧延温度(900℃以上950℃以下)よりも低い550℃以上880℃以下としている。熱圧延温度を550℃以上としたのは、550℃未満の熱圧延温度では、銅線の傷が多くなるためである。また、熱圧延温度は、できるだけ低い温度が望ましいため、880℃以下としている。
次に、銅線材に次のように熱処理を施す。すなわち、銅線材に二次再結晶領域の加熱温度である700℃以上950℃以下の熱処理温度、60分以上120分以下の熱処理時間及び不活性ガス(窒素)雰囲気中の条件で、パイプ管状電気炉を用いた熱処理を施す。これにより、結晶方位[111]に垂直な(111)面をほぼ100%有する銅線が得られる。なお、銅線材の熱処理は、アルゴン雰囲気又は窒素雰囲気中で、通電アニーラ、ゴールドファーネス又はプラズマ連続熱処理により行ってもよい。
(実施の形態の効果)
本実施の形態によれば、以下の効果を奏する。
(1)銅線に熱処理を行い、Ti、硫黄及び酸素を含む銅線材からなる銅線の結晶方位[111]の密度をほぼ100%としながら双晶構造を備えるため、銅線材からなる銅線の引張強度を高純度銅(6N銅)からなる銅線よりも高く、タフピッチ銅(3N銅)及び無酸素銅(4N銅)からなる銅線と同等にすることができる。
(2)銅線材の結晶方位[111]の密度をほぼ100%とするとともに、銅線を構成する結晶を大きくすることにより、銅線中の結晶による微小なコンデンサ効果を低減することができるので、その結果、銅線が伝送する信号のひずみを低減することができる。
(3)銅線材に5〜55massppmの濃度のTiを添加するとともに、銅線材に含まれる酸素濃度を2〜30massppmにすることにより、銅線の半軟化温度をタフピッチ銅(3N銅)、無酸素銅(4N銅)からなる銅線よりも低く、高純度銅(6N銅)からなる銅線と同等にすることができる。
(4)複雑な熱処理工程を必要とすることなく、引張強度が高い銅線を製造することができる。
[実施例]
次に、本発明の実施例を図1〜8を参照して説明する。図1は、本発明の実施例1の横断面組織の写真である。図2は、比較例1の横断面組織の写真である。図3は、比較例2の横断面組織の写真である。図4は、比較例3の横断面組織の写真である。図5は、本発明の実施例1の横断面組織から得られたX線回折強度を示す図である。図6は、比較例1の横断面組織から得られたX線回折強度を示す図である。図7は、比較例2の横断面組織から得られたX線回折強度を示す図である。図8は、比較例3の横断面組織から得られたX線回折強度を示す図である。
ここで、実施例1は、酸素濃度が7〜8massppm、硫黄濃度が5massppm,Ti濃度が13massppmの銅線材からなる銅線、比較例1は、タフピッチ銅(3N銅)からなる銅線、比較例2は、無酸素銅(4N銅)からなる銅線、比較例3は、高純度銅(6N銅)からなる銅線である。
実施例1及び比較例1〜3の銅線は、直径8mmとした銅線材を冷間伸線によって直径2.6mm(加工率約90%)に伸ばすことにより作製した。それぞれの銅線について、銅線の横断面を観察し、酸素濃度、硫黄濃度、Ti濃度、半軟化温度、導電率、引張強度、伸び率及びX線回折強度を測定した。
銅線の導電率の測定は、上記銅線を70cmに切断したものを用いて行った。すなわち、電流端子間距離を60cm、電圧端子間距離を50cmに設定した4端子法を適用して、それぞれの銅線に4Aの電流を流して室温にて導電率を測定した。
銅線の半軟化温度の測定は、次のように行った。すなわち、それぞれの銅線について室温での引張強度と、100〜400℃の温度で60分の熱処理した後の引張強度の値とを測定した。そして、室温での引張強度と熱処理をした後の引張強度との中間の引張強度に対応する熱処理温度を求め、その熱処理温度を半軟化温度とした。
銅線の酸素濃度、硫黄濃度及びTi濃度は、赤外線発光分析器(Leco:登録商標)により測定した。
引張強度の測定は、オートグラフ精密万能試験機AG−100KNG(島津製作所製)を用いて、それぞれの銅線を35cmに切断し、測定距離25cm、引張速度20mm/minの条件で行った。
伸び率は、上記オートグラフ精密万能試験機を用い、断線後の銅線を突き合わせた長さと元の銅線の長さとの差を元の銅線の長さで割った値から求めた。
銅線のX線回折強度の測定は、X線測定装置RINT2000(リガク製)を用いて行った。すなわち、直径2.6mmの銅線を樹脂に埋め込んで横断面にX線が照射されるようにX線測定装置に据え付け、X線測定装置のX線管球の出力を40kV、150mA、3°/minの条件で、θ―2θ法により、0〜90°の範囲でX線回折強度の測定を行った。
半軟化温度、引張強度、伸び率及びX線回折強度の測定は、それぞれの銅線を不活性ガス(窒素)雰囲気中で、熱処理温度が900℃、熱処理時間が1時間の条件で熱処理をした後に行った。
(実施例1)
図1に示すように、実施例1の結晶構造は、結晶粒1a、1bが図2〜図4に示す比較例1〜3の結晶粒1よりも大きいことが確認できる。また、結晶粒1a、1bは、結晶粒1a中の双晶2aと、結晶粒1b中の双晶2bとで双晶が形成される方向が異なることから、原子面上の回転角度が異なっていることが確認できる。結晶構造中に形成される双晶の間隔は、0.1mm以上0.5mm以下であることが確認できる。
実施例1は、図5に示すように、X線回折強度のピークが(111)面のみが認められ、(200)面、(220)面、(311)面のピークは見られない。そのため、実施例1の銅線は、結晶方位[111]の密度がほぼ100%になっていることが確認できる。
(比較例1)
図2に示すように、比較例1の結晶粒1は、図1に示す実施例1の結晶粒1a、1b及び図3、図4に示す比較例2、3の結晶粒1よりも小さいことが確認できる。また、比較例1の結晶構造には、双晶2が見られる。比較例1は、図6に示すように、X線回折強度のピークが(111)面、(200)面、(220)面、(311)面のピークが見られる。そのため、比較例1の銅線は、結晶方位[111]、結晶方位[200]、結晶方位[220]、結晶方位[311]が混在していることが確認できる。
(比較例2)
図3に示すように、比較例2の結晶粒1は、図2に示す比較例1の結晶粒1より大きいことが確認できる。また、比較例2の結晶構造には、双晶2が見られる。比較例2は、図7に示すように、X線回折強度のピークが(111)面のみが認められ、(200)面、(220)面、(311)面のピークは見られない。そのため、比較例2の銅線は、結晶方位[111]の密度がほぼ100%になっていることが確認できる。
(比較例3)
図4に示すように、比較例3の結晶構造は、図2、図3に示す比較例1、2の結晶粒1よりも大きく、結晶粒1が粗大化していることが確認できる。また、比較例3の結晶構造には、双晶2が見られる。比較例3は、図8に示すように、X線回折強度のピークが(111)面、(200)面、(220)面のピークが見られる。そのため、比較例3の銅線は、結晶方位[111]、結晶方位[200]、結晶方位[220]が混在していることが確認できる。
(実施例及び比較例の総合評価)
表1に実施例1、比較例1〜3の銅線の酸素濃度、硫黄濃度、Ti濃度、半軟化温度、導電率、引張強度、伸び率及びX線回折強度と、総合評価とを示す。
実施例1は、半軟化温度が200℃以下であり、引張強度が200MPa以上、伸び率が20%以上、導電率が101%IACS以上及び(111)面以外のX線強度のピークが見られないことから、総合評価を○とした。
比較例1は、半軟化温度が200℃以下であり、引張強度が200MPa以上、伸び率が20%以上及び導電率が101%IACS以上であるが、(111)面以外のX線強度のピークが見られることから、総合評価を×とした。
比較例2は、強度が200MPa以上、伸び率が20%以上で、導電率が101%IACS以上及び(111)面以外のX線強度のピークが見らないが、半軟化温度が200℃以上であるため、総合評価を×とした。さらに、比較例2では、伸び率が20%以上であるものの、実施例1である本発明の銅線材の伸び率に比べて低い結果であった。この結果から、本発明の銅線材は、高温の熱処理を施しても無酸素銅等に比べて高い伸びを有することがわかる。
比較例3は、半軟化温度が200℃以下、導電率が101%IACS以上であるが、引張強度が200MPa以下、伸び率が20%以下であり、(111)面以外のX線回折強度のピークが見られるため、総合評価を×とした。
実施例1で用いた銅線材と同じ銅線材からなる銅線を3つ用意し、不活性ガス(窒素)雰囲気中で、熱処理温度がそれぞれ600℃,700℃,950℃であり、熱処理時間がそれぞれ1時間の条件で熱処理して、熱処理温度の異なる各銅線の結晶方位を確認した。その結果、熱処理温度が700℃、950℃の銅線では、結晶方位[111]の密度がほぼ100%であった。一方、熱処理温度が600℃の銅線では、結晶方位[111]の密度がほぼ100%ではなく、結晶方位[200]、[230]、[311]なども存在していた。すなわち、所定の組成からなる銅線に熱処理温度が700〜950℃の熱処理を施すことにより、結晶方位[111]の密度がほぼ100%の銅線を得ることができる。そして、このような銅線とすることにより、高品質な高純度銅(6N銅)よりも優れた引張強度や伸びを有することができ、銅線を曲げて使用するなどの場合に破断しにくいなどの利点がある。
[変形例]
なお、本発明の実施の形態及び実施例は、上記実施の形態及び実施例に限定されるものではなく、本発明の要旨を変更しない範囲内で種々に変形、実施が可能である。例えば、実施例の銅線を絶縁体で被覆した単一線、又は単一線を複数本集めた集合線としてもよい。
また、銅線を絶縁体で被覆し、被覆した銅線を複数本撚り合わせた撚線としてもよい。
また、集合線又は撚線を構成する銅線として、熱処理を施したタフピッチ銅、無酸素銅又は高純度銅から2種以上選択し、実施例の銅線と併せて使用してもよい。
また、実施例の銅線材を用いた銅線、又は銅線材を用いた撚線の外周に絶縁層を設けた電力用ケーブル又は信号用ケーブルとしてもよい。また、中心導体を実施例で用いた銅線材により形成し、その外周に絶縁層及び編組線を設けた同軸ケーブルとしてもよい。
また、上記実施の形態では、銅線材がSCR連続鋳造圧延装置により製造されるものとして説明したが、銅線材は、双ロール式連続鋳造圧延装置及びプロペルチ式連続鋳造圧延装置等の鋳造と圧延が一体化した装置で製造してもよい。
また、銅線材の表面にSn、Ag、はんだ材、アモルファス状の亜鉛及び酸素を含む薄膜を形成した銅線としてもよい。
本発明は、モータ等に使用される巻線やエナメル線、イヤホン、ヘッドホン等のオーディオケーブル用導体、カーナビゲーション用等の高音質及び高画質が求められる信号用導体等に利用可能である。
1、1a、1b 結晶粒
2、2a、2b 双晶

Claims (4)

  1. 5〜55massppmの濃度のTiと、3〜12massppmの濃度の硫黄と、2〜30massppmの濃度の酸素と、残部が銅と不可避的不純物からなる銅線材で形成され、
    結晶方位[111]が長手方向に配向しており、結晶内に少なくとも1つの双晶を含む第1の結晶と、
    前記第1の結晶と隣り合う1つ以上の結晶であって、前記第1の結晶と原子面上の回転角度が異なる結晶方位[111]が長手方向に配向しており、結晶内に少なくとも1つの双晶を含む第2の結晶と、
    を備え
    200nm以下のTiO、1000nm以下のTiO 2 、200nm以下のTiS、300nm以下のTiSOからなる化合物が分散しており、導電率が101%IACS以上である
    銅線。
  2. 半軟化温度が130℃以上200℃以下である、
    請求項に記載の銅線。
  3. 5〜55massppmの濃度のTiと、3〜12massppmの濃度の硫黄と、2〜30massppmの濃度の酸素と、残部が銅と不可避的不純物からなる銅線材に、熱処理温度が700℃以上950℃以下の条件で熱処理を施すことにより、結晶方位[111]が長手方向に配向しており、結晶内に少なくとも1つの双晶を含む第1の結晶と、前記第1の結晶と隣り合う1つ以上の結晶であって、前記第1の結晶と原子面上の回転角度が異なる結晶方位[111]が長手方向に配向しており、結晶内に少なくとも1つの双晶を含む第2の結晶とを備える銅線を得る熱処理工程を含
    前記銅線は、200nm以下のTiO、1000nm以下のTiO 2 、200nm以下のTiS、300nm以下のTiSOからなる化合物が分散しており、導電率が101%IACS以上である
    銅線の製造方法。
  4. 前記熱処理工程は、アルゴン雰囲気又は窒素雰囲気中で、パイプ管状電気炉、通電アニーラ、ゴールドファーネス又はプラズマ連続熱処理により熱処理をする、
    請求項に記載の銅線の製造方法。
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