JP6237691B2 - 光モジュール及び光ファイバアセンブリ - Google Patents

Description

本発明は、光モジュール及び光ファイバアセンブリに関する。

光伝送システムの変調器として、ＬｉＮｂＯ３(ニオブ酸リチウム)等を使用したマッハツェンダ型変調器（以下「ＬＮ変調器」という）が知られている。ＬＮ変調器は、高速特性やチャープ特性が優れているため、特に１０ＧＨｚ以上の高速光伝送システムに広く用いられている。ＬＮ変調器を搭載する光送受信機では、ＬＮ変調器以外の他の部品が搭載されるため、高密度実装を実現する観点から、ＬＮ変調器の小型化を図ることが望ましい。

ＬＮ変調器では、例えば、基板上に形成された光導波路と、光導波路に接続される入出力用の光ファイバとが、互いに同一の方向に延びるように、配置される。このため、光導波路の延伸方向に沿って光ファイバを配置するためのスペースが発生し、これに伴って、ＬＮ変調器は、光導波路の延伸方向に沿って大型化してしまう。

このようなＬＮ変調器の大型化を抑えるため、光導波路と、光ファイバとを、互いに異なる方向に延びるように、配置したＬＮ変調器が提案されている。このＬＮ変調器では、基板の光導波路の端部側の端面に傾斜面を形成し、光導波路と交差する方向に沿って配置された光ファイバから出射される光を基板の傾斜面によって反射して光導波路へ入射させる。

特開２００４−１２５８５４号公報

しかしながら、光ファイバから出射される光を基板の傾斜面によって反射して光導波路へ入射させる従来構造では、装置の小型化を図ることができるものの、互いに異なる方向に延びる光導波路と光ファイバとを接続することが困難であるという問題があった。

具体的には、従来構造では、光ファイバから出射される光を基板の傾斜面によって反射するため、基板の傾斜面と光ファイバとの位置関係を調整する作業が煩雑となる。このため、従来構造では、互いに異なる方向に延びる光導波路と光ファイバとを接続することが困難である。

これに対して、上述した基板の傾斜面に対する光ファイバの位置調整を省略するため、基板に傾斜面を形成することなく、光ファイバから出射される光を反射部材によって反射して光導波路へ入射させるＬＮ変調器が開発されている。このようなＬＮ変調器では、基板から離間した位置に反射部材が配置されるため、光ファイバの先端から光導波路へ至る光路が、基板の光導波路の端部側の端面に傾斜面を形成する構造と比較して、長くなる。光ファイバの先端から光導波路へ至る光路が長くなると、光の損失が発生してしまう。このような光損失を抑えるために、反射部材と光導波路との間に、コリメートレンズ等の集光レンズを配置する構造が考えられる。この構造では、反射部材によって反射された光を集光レンズへ入射させ、集光レンズによって光導波路の端部へ集光する。

ところが、反射部材と光導波路との間に集光レンズを配置する構造では、反射部材に加えて集光レンズを配置するためのスペースが発生し、その結果、装置の小型化が阻害されてしまう。

開示の技術は、上記に鑑みてなされたものであって、互いに異なる方向に延びる光導波路と光ファイバとを容易に接続し、かつ、装置の小型化を図ることができる光モジュール及び光ファイバアセンブリを提供することを目的とする。

本願の開示する光モジュールは、一つの態様において、光導波路が形成された基板と、光ファイバアセンブリとを有する。前記光ファイバアセンブリは、光ファイバと、透光性部材と、ミラー部とを有する。前記透光性部材は、前記基板の前記光導波路の端部側の端面に接合される接合面を有し、前記光ファイバの先端に取り付けられる。前記ミラー部は、前記透光性部材に形成され、前記光ファイバの先端から出射される光を当該光の進行方向とは異なる方向に反射するとともに、反射された光を前記接合面を介して前記光導波路の端部に集光する。

本願の開示する光モジュールの一つの態様によれば、互いに異なる方向に延びる光導波路と光ファイバとを容易に接続し、かつ、装置の小型化を図ることができるという効果を奏する。

図１は、本実施例に係る光モジュールの構成を示す上面図である。 図２は、本実施例に係る光ファイバアセンブリと光導波路との接続部の一例を示す拡大上面図である。 図３は、本実施例に係る光モジュールの光送受信機への収納態様を説明するための説明図である。 図４は、変形例１に係る光ファイバアセンブリと光導波路との接続部の一例を示す拡大上面図である。 図５は、変形例２に係る光ファイバアセンブリと光導波路との接続部の一例を示す拡大上面図である。 図６は、変形例３に係る光ファイバアセンブリと光導波路との接続部の一例を示す拡大上面図である。

以下に、本願の開示する光モジュール及び光ファイバアセンブリの実施例を、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、以下の実施例により本願の開示する光モジュール及び光ファイバアセンブリが限定されるものではない。

まず、本願の開示する一実施例に係る光モジュールの構成を説明する。図１は、本実施例に係る光モジュールの構成を示す上面図である。図１に示すように、光モジュール１０は、基板１１上に形成された光導波路１２近傍に、電極１３が設けられることで形成される。基板１１は、ＬｉＮｂＯ_３により形成されており、ＬＮ基板とも呼ばれる。また、光導波路１２は、Ｔｉ等の金属膜を形成して熱拡散させる、あるいは、パターニング後に安息香酸中でプロトン交換する、ことにより形成される。光導波路１２は、マッハツェンダ型干渉計を形成し、電極１３は、マッハツェンダの平行導波路上に設けられている。

また、電極１３は、ｚ軸方向の電界による屈折率変化を利用するため、光導波路１２の真上に配置される。電極１３は、例えば、光導波路１２上に、信号電極と接地電極とがパターニングされることにより形成されるコプレーナ電極である。光モジュール１０は、光導波路１２中を伝搬する光が上記信号電極と接地電極とにより吸収されるのを防ぐため、基板１１と電極１３との間にバッファ層を有する。バッファ層は、例えば、ＳｉＯ_２等により形成される。

光モジュール１０では、基板１１等の部品を収容するパッケージ１４に、中継基板１５を介して、コネクタ１６が設けられている。コネクタ１６は、光導波路１２を伝搬する光を変調するための電気信号を電極１３へ入力させる。

また、光モジュール１０は、図１に示すように、光源から光の入力を受ける光ファイバ１０１を基板１１上の光導波路１２に接続するための光ファイバアセンブリ１００を基板１１の前段側に有する。光ファイバアセンブリ１００の構成については、後述する。

また、光モジュール１０では、図１に示すように、基板１１の後段側に、コリメートレンズ１７、反射部材１８、偏波合成器１９、集光レンズ２０、レンズホルダ２１、フェルール２２及び光ファイバ２３が配置されている。コリメートレンズ１７は、基板１１上の光導波路１２から出力された複数の出力光をコリメートする。

反射部材１８は、コリメートレンズ１７によってコリメートされた複数の出力光を当該複数の出力光の進行方向とは異なる方向に反射する。反射部材１８は、例えば、複数の出力光を光導波路１２の延伸方向と交差する方向に反射する。

偏波合成器１９は、反射部材１８によって反射された複数の出力光を偏波合成する。

集光レンズ２０は、偏波合成器１９によって複数の出力光が偏波合成されて得られる偏波多重光を光ファイバ２３に集光する。レンズホルダ２１は、集光レンズ２０をパッケージ１４に固定する。フェルール２２は、光ファイバ２３をレンズホルダ２１に固定する。

光ファイバ２３は、集光レンズ２０によって集光される偏波多重光を後段側のデバイスに伝送する。

光モジュール１０は、光源からの光を光ファイバアセンブリ１００へ入力する。光ファイバアセンブリ１００に入力された光は、マッハツェンダ干渉計を形成する光導波路１２に入力される。一方、光モジュール１０は、入力側からＲＦ信号等の電気信号をコネクタ１６へ入力する。コネクタ１６に入力された電気信号は、中継基板１５を伝播し、電極１３に入力される。このとき、電界によって、マッハツェンダ干渉計を形成する一対の光導波路１２の屈折率が変化し、これに伴い、光導波路１２間の位相差が変化する。その結果、マッハツェンダ干渉によって、位相変調された光が、出力光として光導波路１２から複数出力される。光導波路１２から出力された複数の出力光は、コリメートレンズ１７及び反射部材１８を経由して、偏波合成器１９に入力され、偏波合成器１９によって偏波合成される。偏波合成器１９によって複数の出力光が偏波合成されて得られる偏波多重光は、集光レンズ２０によって光ファイバ２３に集光される。

次に、図２を参照して、図１に示した光ファイバアセンブリ１００の構成を説明する。図２は、本実施例に係る光ファイバアセンブリと光導波路との接続部の一例を示す拡大上面図である。

図２に示すように、光ファイバアセンブリ１００は、光ファイバ１０１と、フェルール１０２と、ミラー部１０３とを有する。

光ファイバ１０１は、基板１１上の光導波路１２の延在方向と交差する方向に沿って配置される。例えば、光ファイバ１０１は、基板１１上の光導波路１２の延在方向に直交する方向に沿って配置される。光ファイバ１０１は、図示しない光源から光の入力を受け付けると、当該光を先端から出射する。

フェルール１０２は、光ファイバ１０１の先端に取り付けられる。フェルール１０２は、透光性を有する材料により形成され、光ファイバ１０１の先端から出射される光を透過させる。また、フェルール１０２は、基板１１の光導波路１２の端部１２ａ側の端面１１ａに接合される接合面１０２ａを有する。また、フェルール１０２は、光ファイバ１０１の先端から出射される光の進行方向に対して傾斜する傾斜面１０２ｂを有する。このフェルール１０２は、透光性部材の一例に相当する。

ミラー部１０３は、フェルール１０２に形成され、光ファイバ１０１の先端から出射される光を光導波路１２の端部１２ａの方向に反射するとともに、反射された光を接合面１０２ａを介して光導波路１２の端部１２ａに集光する。具体的には、ミラー部１０３は、フェルール１０２の傾斜面１０２ｂにフェルール１０２と同一の透光性材料により形成された突起部１０３ａと、突起部１０３ａに形成された曲面部１０３ｂとを有する。そして、ミラー部１０３は、曲面部１０３ｂにおける全反射を用いて、光ファイバ１０１の先端から出射される光を光導波路１２の端部１２ａの方向に反射するとともに、反射された光を接合面１０２ａを介して光導波路１２の端部１２ａに集光する。

また、ミラー部１０３は、反射された光が、接合面１０２ａにおいて、光導波路１２のモードフィールド径に近接又は一致するように、当該光を接合面１０２ａを介して光導波路１２の端部１２ａに集光する。具体的には、ミラー部１０３の曲面部１０３ｂは、反射された光が、接合面１０２ａにおいて、光導波路１２のモードフィールド径に近接又は一致するように、当該光を接合面１０２ａを介して光導波路１２の端部１２ａに集光する曲率を有している。

次に、図３を参照して、光モジュール１０の光送受信機Ｍへの収納態様を説明する。図３は、本実施例に係る光モジュールの光送受信機への収納態様を説明するための説明図である。

図３に示す光モジュール１０では、光ファイバアセンブリ１００が、光ファイバ１０１の先端から出射される光を光導波路１２の端部１２ａの方向に反射するとともに、反射された光をフェルール１０２の接合面１０２ａを介して光導波路１２の端部１２ａに集光する。すなわち、従来の光モジュールでは、光ファイバ１０１の先端１２ａから出射される光をミラー等の反射部材によって反射し、反射された光をコリメートレンズ等の集光レンズによって光導波路１２の端部１２ａに集光した。このため、従来の光モジュールでは、光ファイバ１０１と、光導波路１２との間に、光導波路１２の延伸方向に沿って反射部材及び集光レンズを配置するためのスペースが発生し、このスペースによって光モジュールが大型化することがあった。その結果、光モジュールが光送受信機Ｍの内部空間Ｓに収納されない恐れがあった。

そこで、本実施例の光モジュール１０では、光ファイバアセンブリ１００が、光ファイバ１０１の先端からの光を光導波路１２の端部１２ａの方向に反射するとともに、反射された光をフェルール１０２の接合面１０２ａを介して光導波路１２の端部に集光する。これにより、光導波路１２の延伸方向に沿って反射部材及び集光レンズを配置するためのスペースが削減されるので、光導波路１２の延伸方向に沿って光モジュール１０が大型化することが回避される。その結果、光モジュール１０は、図３に示すように、光送受信機Ｍの内部空間Ｓに収納される。

以上説明したように、光モジュール１０では、光ファイバアセンブリ１００が、光ファイバ１０１の先端からの光を光導波路１２の端部の方向に反射するとともに、反射された光をフェルール１０２の接合面１０２ａを介して光導波路１２の端部に集光する。このため、光導波路１２の延伸方向に沿って光モジュール１０が大型化することが回避される。さらに、光モジュール１０の使用者は、フェルール１０２の接合面１０２ａを基板１１の端面１１ａに接合した状態で、互いに異なる方向に延びる光導波路１２と光ファイバ１０１との位置関係を調整することができる。その結果、互いに異なる方向に延びる光導波路１２と光ファイバ１０１とを容易に接続し、かつ、装置の小型化を図ることができる。

また、光モジュール１０では、ミラー部１０３は、反射された光が、フェルール１０２の接合面１０２ａにおいて、光導波路１２のモードフィールド径に近接又は一致するように、当該光を接合面１０２ａを介して光導波路１２の端部１２ａに集光する。このため、光導波路１２へ入射される光の漏れが抑制される。その結果、光導波路１２での光の損失を抑制しつつ、互いに異なる方向に延びる光導波路１２と光ファイバ１０１とを容易に接続することができる。

（変形例１）
次に、変形例１について説明する。変形例１に係る光モジュールは、フェルール１０２が分離可能に形成される点を除き、上記実施例に係る光モジュール１０と同様の構成を有する。したがって、変形例１では、上記実施例と共通する構成要素には、同一の参照符号を用いるとともに、その詳細な説明は省略する。

図４は、変形例１に係る光ファイバアセンブリと光導波路との接続部の一例を示す拡大上面図である。図４に示す光ファイバアセンブリ１００では、フェルール１０２は、光ファイバ１０１の先端に取り付けられる第１のフェルール１１２と、接合面１０２ａを有し、ミラー部１０３が形成された第２のフェルール１２２とに分離可能に形成される。第１のフェルール１１２の分離面１１２ａと、第２のフェルール１２２の分離面１２２ａとは、互いに摺動自在に接触する。そして、第１のフェルール１１２の分離面１１２ａが、第２のフェルール１２２の分離面１２２ａに対して摺動することによって、第２のフェルール１２２の位置に対する第１のフェルール１１２の位置が調整される。第１のフェルール１１２及び第２のフェルール１２２は、それぞれ、第１の透光性部材及び第２の透光性部材の一例に相当する。

ミラー部１０３は、分離面１１２ａと分離面１２２ａとが接触した状態で、第２のフェルール１２２の位置に対する第１のフェルール１１２の位置が所定の位置に調整された場合に、反射された光を接合面１０２ａを介して光導波路１２の端部１２ａに集光する。ここで、所定の位置とは、例えば、ミラー部１０３が光ファイバ１０１の先端から出射される光を光導波路１２の端部１２ａの方向に反射する位置である。

以上説明したように、変形例１に係る光モジュール１０では、フェルール１０２は、光ファイバ１０１の先端に取り付けられる第１のフェルール１１２と、接合面１０２ａを有し、ミラー部１０３が形成された第２のフェルール１２２とに分離可能に形成される。ミラー部１０３は、分離面１１２ａと分離面１２２ａとが接触した状態で、第２のフェルール１２２の位置に対する第１のフェルール１１２の位置が所定の位置に調整された場合に、反射された光を接合面１０２ａを介して光導波路１２の端部１２ａに集光する。このため、フェルール１０２の製造誤差に起因して、接合面１０２ａの集光位置と、光導波路１２の端部１２ａとの位置関係がずれている場合であっても、接合面１０２ａの集光位置を光導波路１２の端部１２ａの位置に一致させることができる。その結果、光導波路１２での光の損失を抑制しつつ、互いに異なる方向に延びる光導波路１２と光ファイバ１０１とを容易に接続することができる。

（変形例２）
次に、変形例２について説明する。変形例２に係る光モジュールは、フェルール１０２の分離面等が傾斜する点を除き、上記変形例１に係る光モジュール１０と同様の構成を有する。したがって、変形例２では、上記変形例１と共通する構成要素には、同一の参照符号を用いるとともに、その詳細な説明は省略する。

図５は、変形例２に係る光ファイバアセンブリと光導波路との接続部の一例を示す拡大上面図である。図５に示す光ファイバアセンブリ１００では、第１のフェルール１１２の分離面１１２ａ及び第２のフェルール１２２の分離面１２２ａは、光ファイバ１０１の光軸に直交しないように、傾斜する。また、基板１１の光導波路１２の端部１２ａ側の端面１１ａ及び第２のフェルール１２２の接合面１０２ａは、光導波路１２の光軸に直交しないように、傾斜する。

なお、光ファイバ１０１の光軸と分離面１１２ａの法線との成す角度と、分離面１２２ａから第２のフェルール１２２へ入射される光の入射角度とは、スネルの法則が成立するように、選択される。具体的には、光ファイバ１０１の光軸と分離面１１２ａの法線との成す角度をθ_１、分離面１２２ａから第２のフェルール１２２へ入射される光の入射角度をθ_２とする。光ファイバ１０１の屈折率をｎ_１、第２フェルール１２２の屈折率をｎ_２とする。この場合、θ_１及びθ_２は、以下の式（１）が成立するように、選択される。

ｎ_１・ｓｉｎθ_１＝ｎ_２・ｓｉｎθ_２ ・・・ （１）

また、接合面１０２ａから光導波路１２へ入射される光の入射角度と、光導波路１２の光軸と基板１１の端面１１ａの法線との成す角度とは、スネルの法則が成立するように、選択される。具体的には、接合面１０２ａから光導波路１２へ入射される光の入射角度をθ_３、光導波路１２の光軸と基板１１の端面１１ａの法線との成す角度をθ_４とする。第２フェルール１２２の屈折率をｎ_２、光導波路１２の屈折率をｎ_３とする。この場合、θ_３及びθ_４は、以下の式（２）が成立するように、選択される。

ｎ_２・ｓｉｎθ_３＝ｎ_３・ｓｉｎθ_４ ・・・ （２）

以上説明したように、変形例２に係る光モジュール１０では、フェルール１０２の分離面１１２ａ，１２２ａ及び接合面１０２ａが傾斜する。このため、フェルール１０２の分離面１１２ａ，１２２ａ及び接合面１０２ａにおいて反射される光が光ファイバ１０１へ入射することが回避される。その結果、互いに異なる方向に延びる光導波路１２と光ファイバ１０１との接続部において、反射に起因した光の減衰を抑制することができる。

（変形例３）
次に、変形例３について説明する。変形例３に係る光モジュールは、基板１１の端面１１ａと、フェルール１０２の接合面１０２ａとが緩衝部材を介して接合される点を除き、上記変形例２に係る光モジュール１０と同様の構成を有する。したがって、変形例３では、上記変形例２と共通する構成要素には、同一の参照符号を用いるとともに、その詳細な説明は省略する。

フェルール１０２は、成形の容易性の観点から、例えばプラスチック等により形成される。このため、フェルール１０２の熱膨張係数は、基板１１の熱膨張係数と比較して、大きい。フェルール１０２の接合面１０２ａは、基板１１の光導波路１２の端部１２ａ側の端面１１ａと接合される。このため、周囲の温度が変化した場合に、フェルール１０２の接合面１０２ａにストレスが発生し、発生したストレスにより接合面１０２ａが基板１１の端面１１ａから剥離する恐れがある。

そこで、基板１１の端面１１ａからフェルール１０２の接合面１０２ａが剥離することを防ぐため、変形例３では、基板１１の端面１１ａと、フェルール１０２の接合面１０２ａとは、緩衝部材を介して、接合される。

図６は、変形例３に係る光ファイバアセンブリと光導波路との接続部の一例を示す拡大上面図である。図６に示す光ファイバアセンブリ１００では、基板１１の光導波路１２の端部１２ａ側の端面１１ａと、フェルール１０２の接合面１０２ａとは、緩衝部材１５０を介して、接合される。そして、緩衝部材１５０の熱膨張係数は、基板１１の熱膨張係数と、フェルール１０２の熱膨張係数とで挟まれる数値範囲に属する。例えば、フェルール１０２の熱膨張係数が、基板１１の熱膨張係数と比較して、大きい場合を想定する。この場合、緩衝部材１５０の熱膨張係数は、基板１１の熱膨張係数よりも大きく、かつ、フェルール１０２の熱膨張係数よりも小さい数値範囲から選択される。これにより、熱膨張係数の差に起因したストレスが緩和され、フェルール１０２の接合面１０２ａの剥離が抑制される。

なお、上記説明では、ミラー部１０３は、曲面部１０３ｂにおける全反射を用いて、光を光導波路１２の端部１２ａの方向に反射するとともに、反射された光を接合面１０２ａを介して光導波路１２の端部１２ａに集光するものとした。しかしながら、曲面部１０３ｂには鏡面加工が施されても良い。この場合、ミラー部１０３は、曲面部１０３ｂにおける鏡面反射を用いて、光を光導波路１２の端部１２ａの方向に反射するとともに、反射された光を接合面１０２ａを介して光導波路１２の端部１２ａに集光する。

また、上記説明では、個々の実施例及び変形例毎に個別の構成、及び動作を説明した。しかしながら、上記実施例の及び各変形例に係る光モジュール１０は、他の変形例に特有の構成要素を併せて有するものとしてもよい。また、実施例、変形例毎の組合せについても、２つに限らず、３つ以上の組合せ等、任意の形態を採ることが可能である。例えば、実施例に係る光モジュール１０において、基板１１の光導波路１２の端部１２ａ側の端面１１ａと、フェルール１０２の接合面１０２ａとが、緩衝部材１５０を介して接合されても良い。さらに、１つの光モジュールが、両立可能な範囲内で、上記実施例及び変形例１〜３において説明した全ての構成要素を併有するものとしてもよい。

１０ 光モジュール
１１ 基板
１１ａ 端面
１２ 光導波路
１２ａ 端部
１３ 電極
１４ パッケージ
１５ 中継基板
１６ コネクタ
１７ コリメートレンズ
１８ 反射部材
１９ 偏波合成器
２０ 集光レンズ
２１ レンズホルダ
２２ フェルール
２３ 光ファイバ
１００ 光ファイバアセンブリ
１０１ 光ファイバ
１０２ フェルール
１０２ａ 接合面
１０２ｂ 傾斜面
１０３ ミラー部
１０３ａ 突起部
１０３ｂ 曲面部
１１２ 第１のフェルール
１１２ａ 分離面
１２２ 第２のフェルール
１２２ａ 分離面
１５０ 緩衝部材

Claims (18)

1. 光導波路が形成された基板と、
   光ファイバと、前記基板の前記光導波路の端部側の端面に接合される接合面を有し、前記光ファイバの先端に取り付けられる透光性部材と、前記透光性部材に形成され、前記光ファイバの先端から出射される光を当該光の進行方向とは異なる方向に反射するとともに、反射された光を前記接合面を介して前記光導波路の端部に集光するミラー部とを有する光ファイバアセンブリと
   を有し、
   前記透光性部材は、前記光ファイバの先端に取り付けられる第１の透光性部材と、前記接合面を有し、前記ミラー部が形成された第２の透光性部材とに分離可能に形成され、
   前記第２の透光性部材の位置に対する第１の透光性部材の位置が調整される際に、前記第１の透光性部材の分離面と前記第２の透光性部材の分離面とが互いに摺動自在に接触し、且つ、前記第２の透光性部材の位置に対する第１の透光性部材の位置が調整された後に前記第１の透光性部材の分離面と前記第２の透光性部材の分離面とが接着されており、
   前記第２の透光性部材の分離面は、前記第１の透光性部材の分離面よりも広いことを特徴とする光モジュール。
2. 前記光の進行方向とは異なる方向は、前記光導波路の端部の方向であることを特徴とする請求項１に記載の光モジュール。
3. 前記透光性部材は、前記光ファイバの先端から出射される光の進行方向に対して傾斜する傾斜面をさらに有し、
   前記ミラー部は、前記傾斜面に前記透光性部材と同一の材料により形成された突起部と、前記突起部に形成された曲面部とを有し、前記曲面部における全反射を用いて、前記光ファイバの先端から出射される光を当該光の進行方向とは異なる方向に反射し、かつ、反射された光を前記接合面を介して前記光導波路の端部に集光することを特徴とする請求項１又は２に記載の光モジュール。
4. 前記透光性部材は、前記光ファイバの先端から出射される光の進行方向に対して傾斜する傾斜面をさらに有し、
   前記ミラー部は、前記傾斜面に前記透光性部材と同一の材料により形成された突起部と、前記突起部に形成され、鏡面加工が施された曲面部とを有し、前記曲面部における鏡面反射を用いて、前記光ファイバの先端からの光を当該光の進行方向とは異なる方向に反射し、かつ、反射された光を前記接合面を介して前記光導波路の端部に集光することを特徴とする請求項１又は２に記載の光モジュール。
5. 前記ミラー部は、反射された光が、前記接合面において、前記光導波路のモードフィールド径に近接又は一致するように、当該光を前記接合面を介して前記光導波路の端部に集光することを特徴とする請求項１〜４のいずれか一つに記載の光モジュール。
6. 前記ミラー部は、前記第１の透光性部材の分離面と前記第２の透光性部材の分離面とが接触した状態で、前記第２の透光性部材の位置に対する前記第１の透光性部材の位置が所定の位置に調整された場合に、反射された光を前記接合面を介して前記光導波路の端部に集光することを特徴とする請求項１〜５のいずれか一つに記載の光モジュール。
7. 前記第１の透光性部材の分離面及び前記第２の透光性部材の分離面は、前記光ファイバの光軸に直交しないように、傾斜することを特徴とする請求項６に記載の光モジュール。
8. 前記基板の前記光導波路の端部側の端面及び前記第２の透光性部材の前記接合面は、前記光導波路の光軸に直交しないように、傾斜することを特徴とする請求項６又は７に記載の光モジュール。
9. 前記基板の前記光導波路の端部側の端面と、前記透光性部材の前記接合面とは、緩衝部材を介して、接合され、
   前記緩衝部材の熱膨張係数は、前記基板の熱膨張係数と、前記透光性部材の熱膨張係数とで挟まれる数値範囲に属することを特徴とする請求項１〜８のいずれか一つに記載の光モジュール。
10. 光ファイバと、
    基板の光導波路の端部側の端面に接合される接合面を有し、前記光ファイバの先端に取り付けられる透光性部材と、
    前記透光性部材に形成され、前記光ファイバの先端から出射される光を当該光の進行方向とは異なる方向に反射し、かつ、反射された光を前記接合面を介して前記光導波路の端部に集光するミラー部と
    を有し、
    前記透光性部材は、前記光ファイバの先端に取り付けられる第１の透光性部材と、前記接合面を有し、前記ミラー部が形成された第２の透光性部材とに分離可能に形成され、
    前記第２の透光性部材の位置に対する第１の透光性部材の位置が調整される際に、前記第１の透光性部材の分離面と前記第２の透光性部材の分離面とが互いに摺動自在に接触し、且つ、前記第２の透光性部材の位置に対する第１の透光性部材の位置が調整された後に前記第１の透光性部材の分離面と前記第２の透光性部材の分離面とが接着されており、
    前記第２の透光性部材の分離面は、前記第１の透光性部材の分離面よりも広いことを特徴とする光ファイバアセンブリ。
11. 前記光の進行方向とは異なる方向は、前記光導波路の端部の方向であることを特徴とする請求項１０に記載の光ファイバアセンブリ。
12. 前記透光性部材は、前記光ファイバの先端から出射される光の進行方向に対して傾斜する傾斜面をさらに有し、
    前記ミラー部は、前記傾斜面に前記透光性部材と同一の材料により形成された突起部と、前記突起部に形成された曲面部とを有し、前記曲面部における全反射を用いて、前記光ファイバの先端から出射される光を当該光の進行方向とは異なる方向に反射し、かつ、反射された光を前記接合面を介して前記光導波路の端部に集光することを特徴とする請求項１０又は１１に記載の光ファイバアセンブリ。
13. 前記透光性部材は、前記光ファイバの先端から出射される光の進行方向に対して傾斜する傾斜面をさらに有し、
    前記ミラー部は、前記傾斜面に前記透光性部材と同一の材料により形成された突起部と、前記突起部に形成され、鏡面加工が施された曲面部とを有し、前記曲面部における鏡面反射を用いて、前記光ファイバの先端からの光を当該光の進行方向とは異なる方向に反射し、かつ、反射された光を前記接合面を介して前記光導波路の端部に集光することを特徴とする請求項１０又は１１に記載の光ファイバアセンブリ。
14. 前記ミラー部は、反射された光が、前記接合面において、前記光導波路のモードフィールド径に近接又は一致するように、当該光を前記接合面を介して前記光導波路の端部に集光することを特徴とする請求項１０〜１３のいずれか一つに記載の光ファイバアセンブリ。
15. 前記ミラー部は、前記第１の透光性部材の分離面と前記第２の透光性部材の分離面とが接触した状態で、前記第２の透光性部材の位置に対する前記第１の透光性部材の位置が所定の位置に調整された場合に、反射された光を前記接合面を介して前記光導波路の端部に集光することを特徴とする請求項１０〜１４のいずれか一つに記載の光ファイバアセンブリ。
16. 前記第１の透光性部材の分離面及び前記第２の透光性部材の分離面は、前記光ファイバの光軸に直交しないように、傾斜することを特徴とする請求項１５に記載の光ファイバアセンブリ。
17. 前記基板の前記光導波路の端部側の端面及び前記第２の透光性部材の前記接合面は、前記光導波路の光軸に直交しないように、傾斜することを特徴とする請求項１５又は１６に記載の光ファイバアセンブリ。
18. 前記基板の前記光導波路の端部側の端面と、前記透光性部材の前記接合面とは、緩衝部材を介して、接合され、
    前記緩衝部材の熱膨張係数は、前記基板の熱膨張係数と、前記透光性部材の熱膨張係数とで挟まれる数値範囲に属することを特徴とする請求項１０〜１７のいずれか一つに記載の光ファイバアセンブリ。

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