JP6209039B2 - 薄膜形成装置 - Google Patents
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Description
2 帯状基材
5 メインロール
7 電極ユニット
9 イオントラップ部
71 間仕切りチャンバ
72 電極部
73 電極カバー
91 トラップベルト
92 ベルト供給部
93 ベルト巻取部
94a 上側ロール
94b 下型ロール
Claims (3)
- 搬送される帯状基材の表面に電極ユニットを対向させて配置し、電極ユニットにプラズマを生成するガスを供給しつつ通電を行うことにより帯状基材の表面と電極ユニットとの間に供給される原料ガスがプラズマ処理されることにより、帯状基材表面上に薄膜を形成する薄膜形成装置であって、
前記電極ユニットは、プラズマ雰囲気を形成する電極部と、特定の粒子を取り除くイオントラップ部とを有しており、
前記イオントラップ部は、前記電極部と帯状基材との間を走行するように繰り出されるトラップベルトと、このトラップベルトが前記電極部と帯状基材との双方に対向するように走行中のトラップベルトを支持する上側ロール及び下側ロールとを備えており、前記上側ロール及び下側ロールの配置位置が同一の鉛直方向面上に無く、且つ鉛直方向において差があり、前記トラップベルトの走行方向は、鉛直方向上側から鉛直方向下側に設定されていることを特徴とする薄膜形成装置。 - 前記電極ユニットは、帯状基材の搬送方向に沿って複数配列して設けられており、前記複数の電極ユニットの前記上側ロール及び下側ロールの配置位置が鉛直方向において差があるもののみ、前記トラップベルトの走行方向を鉛直方向上側から鉛直方向下側に設定されていることを特徴とする請求項1に記載の薄膜形成装置。
- 前記上側ロールは、前記トラップベルトを送り出すベルト供給部を兼ねており、前記下側ロールは、前記トラップベルトを巻き取るベルト巻取部を兼ねていることを特徴とする請求項1又は2に記載の薄膜形成装置。
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JP2013201922A JP6209039B2 (ja) | 2013-09-27 | 2013-09-27 | 薄膜形成装置 |
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JP2015067851A JP2015067851A (ja) | 2015-04-13 |
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- 2013-09-27 JP JP2013201922A patent/JP6209039B2/ja active Active
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