JP6955396B2 - 薄膜形成装置 - Google Patents
薄膜形成装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6955396B2 JP6955396B2 JP2017161363A JP2017161363A JP6955396B2 JP 6955396 B2 JP6955396 B2 JP 6955396B2 JP 2017161363 A JP2017161363 A JP 2017161363A JP 2017161363 A JP2017161363 A JP 2017161363A JP 6955396 B2 JP6955396 B2 JP 6955396B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base material
- electrode
- plasma
- raw material
- thin film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
こうすることにより、マスクの開口以外の方向へ向かい、成膜に寄与しない原料ガスがさらに容易に電極カバーと原料流出防止部との間に導かれる。
こうすることにより、第1のプラズマ通過壁と第2のプラズマ通過壁との間のコンダクタンスが第2のプラズマ通過壁とマスクとの間のコンダクタンスよりも大きい状態を容易に形成することができる。
こうすることにより、第1のプラズマ通過壁と第2のプラズマ通過壁との間のコンダクタンスが第2のプラズマ通過壁とマスクとの間のコンダクタンスよりも大きい状態を容易に形成することができる。
こうすることにより、プラズマの発生に伴い高温になる電極からの輻射熱によってマスクが加熱されることを原料流出防止部の第2のプラズマ通過壁が抑えることができ、マスクからの輻射熱によって基材が加熱されることを防ぐことができる。
こうすることにより、原料流出防止部などに薄膜が付着しても薄膜形成装置全体を分解する必要無く容易にメンテナンスを行うことができる。
図1は、本発明の一実施形態における薄膜形成装置1の概略図であり、正面断面図である。
薄膜形成装置1は、基材上に表面処理を行って薄膜を形成するためのものであり、例えば、プラスチックフィルム上に酸化防止、水分浸入防止を目的としたバリア膜を形成し、食品用の保護フィルム、フレキシブル太陽電池等に使用される。具体的には、フレキシブル太陽電池の場合には、プラスチックフィルム等の帯状基材上に各電極層及び光電変換層等で構成される太陽電池セルが形成された後、薄膜形成装置1により太陽電池セル上に薄膜を複数層形成してバリア膜を形成する。これにより、太陽電池セルに水分の浸入が効果的に防止され、酸化特性に優れたフレキシブル太陽電池を形成することができる。
成膜部7は、プラズマ形成ガスをもとにプラズマを発生させるための高電圧を印加する電極71と、プラズマを形成するプラズマ形成ガスを電極71の近傍へ供給するプラズマ形成ガス供給部72と、基材2に形成する薄膜の原料となる原料ガスを基材2と電極71の間に供給する原料供給部73と、プラズマ形成ガス供給部72および電極71を囲うように設けられた壁部の集合である電極カバー部74と、電極カバー部74を囲うように設けられた壁部の集合である原料流出防止部75と、マスク76と、を有している。
また、本実施形態では、電極カバー部74はその端部が可動壁63に固定されている。
また、本実施形態では、原料流出防止部75はその端部が可動壁63に固定されている。
このマスク76は、メインロール5と電極71との間の位置に開口を有し、電極71の近傍において発生したプラズマによって分解された原料ガスがこの開口を通ってメインロール5に保持された基材2に堆積して薄膜を形成する一方、この開口以外の部分においては基材2を遮蔽し、基材2と原料ガスとの接触を遮断している。これにより、基材2上の所定の位置に所定の膜厚の薄膜を形成することができる。
また、本実施形態では原料供給部73はこのマスク76の開口に取り付けられており、できるだけ多くの原料ガスが基材2への薄膜形成に寄与することができるようにしている。
また、本実施形態では、マスク76はその端部が可動壁63に固定されている。
原料供給部73からメインロール5の近傍に供給された原料ガスは、電極71の近傍で発生してメインロール5の近傍まで進出しているプラズマによって分解される。この分解された原料ガス粒子は、メインロール5に保持された基材2に到達して薄膜を形成する。
ただし、原料ガス粒子は、たとえ原料供給部73がメインロール5の近傍に設けられていたとしても全てが基材2への薄膜の形成に寄与することはできず、一部はマスク76の開口の方向以外の方向へ飛散する。
この実施形態では、たとえばアルミニウムによって形成された防着板78が電極カバー部74の内壁面および外壁面、原料流出防止部75の内壁面に沿って設けられ、たとえばねじ止めによって電極カバー部74および原料流出防止部75に固定されている。
以上の薄膜形成装置により、基材への異物の付着を低減させることが可能である。
このようなスパッタリングによる薄膜形成装置の場合であっても、本発明では原料流出防止部を有するため、原料粒子が薄膜形成装置の内部全体にも付着して薄膜を形成することを防ぐことができる。
また、上記の説明では電極71、電極カバー部74、および原料流出防止部75がともに可動壁63に固定され、可動壁63のスライド動作により電極71、電極カバー部74、および原料流出防止部75が一緒に薄膜形成装置1の外部へ引き出されているが、個別に引き出される形態であっても構わない。また、上記の説明では引き出し方向を電極71の長手方向としているが、それに限らず、たとえばメインロール5の半径方向であっても良い。
また、上記の説明では成膜部7が2つの場合について説明したが、成膜部の数は2つ以外であっても構わなく、3つ以上設けられていても構わない。
また、基材の形状は上記の説明では帯状であるが、それに限らずたとえば枚葉状であっても構わない。この場合、図6に示す通り、薄膜形成中に基材2を保持する基材保持部は平板状であり、直動ステージ8によって基材2が搬送されても構わない。
2 基材
3 巻出しロール
4 巻取りロール
5 メインロール
6 筐体部
7 成膜部
8 直動ステージ
31 芯部
41 芯部
51 外周面
61 外壁部
62 真空ポンプ
63 可動壁
71 電極
72 プラズマ形成ガス供給部
73 原料供給部
74 電極カバー部
74a 第1のプラズマ通過壁
75 原料流出防止部
75a 第2のプラズマ通過壁
76 マスク
77 真空ポンプ
78 防着板
100 薄膜形成装置
101 筐体部
102 メインロール
102a 外周面
103 基材
104 巻出しロール
105 巻取りロール
106 筐体部
107 電極
108 プラズマ形成ガス供給部
109 原料供給部
110 マスク
111 電極カバー部
112 防着板
Claims (5)
- 薄膜を形成させる基材を保持する基材保持部と、
プラズマ形成ガスをもとにプラズマを発生させる電極と、
前記プラズマ形成ガスを前記電極の近傍に供給するプラズマ形成ガス供給部と、
薄膜の原料を前記電極と前記基材保持部の間に供給する原料供給部と、
前記プラズマ形成ガス供給部および前記電極を囲うように設けられた壁部の集合であり、前記基材保持部と前記電極との間に位置する壁部である第1のプラズマ通過壁に開口を有する電極カバー部と、
前記電極カバー部を囲うように設けられた壁部の集合であり、前記基材保持部と前記電極との間に位置する壁部である第2のプラズマ通過壁に開口を有し、当該第2のプラズマ通過壁の開口と異なる箇所にて減圧手段と接続される原料流出防止部と、
前記基材保持部と前記原料流出防止部の間に位置し、前記基材保持部と前記電極との間の位置に開口を有し、前記基材保持部に保持された基材の一部を遮蔽するマスクと、
を備え、
ガスの流れに対する前記第1のプラズマ通過壁と前記第2のプラズマ通過壁との間のコンダクタンスは、前記第2のプラズマ通過壁と前記マスクとの間のコンダクタンスよりも大きいことを特徴とする、薄膜形成装置。 - 前記第1のプラズマ通過壁と前記第2のプラズマ通過壁との距離は、前記第2のプラズマ通過壁と前記マスクとの距離よりも長いことを特徴とする、請求項1に記載の薄膜形成装置。
- 前記マスクは前記第2のプラズマ通過壁に取り付けられていることを特徴とする、請求項1に記載の薄膜形成装置。
- 前記第2のプラズマ通過壁の少なくとも前記電極と対向する側の面の熱エネルギーの反射率は、前記マスクの熱エネルギーの反射率よりも高いことを特徴とする、請求項1から3のいずれかに記載の薄膜形成装置。
- 前記基材保持部、前記原料流出防止部、および前記マスクを囲う筐体部をさらに有し、前記電極、前記電極カバー部、および前記原料流出防止部は当該筐体部から引き出し可能であることを特徴とする、請求項1から4のいずれかに記載の薄膜形成装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017161363A JP6955396B2 (ja) | 2017-08-24 | 2017-08-24 | 薄膜形成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017161363A JP6955396B2 (ja) | 2017-08-24 | 2017-08-24 | 薄膜形成装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019039036A JP2019039036A (ja) | 2019-03-14 |
JP6955396B2 true JP6955396B2 (ja) | 2021-10-27 |
Family
ID=65725374
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017161363A Active JP6955396B2 (ja) | 2017-08-24 | 2017-08-24 | 薄膜形成装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6955396B2 (ja) |
-
2017
- 2017-08-24 JP JP2017161363A patent/JP6955396B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2019039036A (ja) | 2019-03-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TW201524251A (zh) | 紅外線處理裝置以及紅外線處理方法 | |
CN108603291B (zh) | 真空处理系统和其方法 | |
EP2278047A1 (en) | Plasma discharge treatment apparatus, and method of manufacturing gas barrier film | |
TWI647110B (zh) | 層合體之製造方法 | |
US20130309416A1 (en) | Atmospheric pressure plasma treatment apparatus and atmospheric pressure plasma treatment method | |
JP4369532B2 (ja) | 薄膜形成方法および成膜装置 | |
JP2016514196A5 (ja) | ||
JP2011202248A (ja) | 成膜装置および成膜方法 | |
JP6347662B2 (ja) | 薄膜形成装置 | |
JP5562723B2 (ja) | 成膜方法、成膜装置、およびガスバリアフィルムの製造方法 | |
JP6955396B2 (ja) | 薄膜形成装置 | |
US20140033976A1 (en) | Heating system for a roll-to-roll deposition system | |
JP2016527398A (ja) | 薄膜処理アプリケーションのための洗浄方法及びそこで使用される装置 | |
JP6233167B2 (ja) | 成膜方法、成膜装置およびそれを用いた金属薄膜付樹脂フィルムの製造方法 | |
WO2015005019A1 (ja) | 表面処理装置および表面処理方法 | |
KR20170079363A (ko) | 롤투롤 방식의 증착장치 | |
JP2015218357A (ja) | 薄膜形成装置および薄膜形成方法 | |
US20130344257A1 (en) | Manufacturing method of functional film | |
JP2020152954A (ja) | 成膜装置 | |
JP2017155298A (ja) | 薄膜形成装置 | |
CN114630925B (zh) | 成膜装置 | |
JP6209039B2 (ja) | 薄膜形成装置 | |
JP2019167609A (ja) | 薄膜形成装置 | |
JP2020063467A (ja) | 薄膜形成装置 | |
JP5721050B2 (ja) | ロールコーター装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200529 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210218 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210309 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210428 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210914 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20211001 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6955396 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |