JP6198816B2 - 放射源 - Google Patents
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Description
[0001] 本願は、2012年5月21日に出願した米国仮出願第61/649,895号の優先権を主張し、その全体を本願に参考として組み込む。
上の式では、λは使用される放射の波長であり、NAはパターンを印刷するために使用される投影システムの開口数であり、k1はレイリー定数とも呼ばれるプロセス依存調整係数であり、CDは印刷されたフィーチャのフィーチャサイズ(またはクリティカルディメンション)である。式(1)から、フィーチャの最小印刷可能サイズの縮小は、以下の3つの方法、露光波長λを短縮することによって、開口数NAを増加させることによって、あるいはk1の値を低下させることによって達成することができる、と言える。
1.ステップモードにおいては、サポート構造(例えば、マスクテーブル)MTおよび基板テーブルWTを基本的に静止状態に保ちつつ、放射ビームに付けられたパターン全体を一度にターゲット部分C上に投影する(すなわち、単一静的露光)。その後、基板テーブルWTは、Xおよび/またはY方向に移動され、それによって別のターゲット部分Cを露光することができる。
2.スキャンモードにおいては、サポート構造(例えば、マスクテーブル)MTおよび基板テーブルWTを同期的にスキャンする一方で、放射ビームに付けられたパターンをターゲット部分C上に投影する(すなわち、単一動的露光)。サポート構造(例えば、マスクテーブル)MTに対する基板テーブルWTの速度および方向は、投影システムPSの(縮小)拡大率および像反転特性によって決めることができる。
3.別のモードにおいては、プログラマブルパターニングデバイスを保持した状態で、サポート構造(例えば、マスクテーブル)MTを基本的に静止状態に保ち、また基板テーブルWTを動かす、またはスキャンする一方で、放射ビームに付けられているパターンをターゲット部分C上に投影する。このモードにおいては、通常、パルス放射源が採用されており、さらにプログラマブルパターニングデバイスは、基板テーブルWTの移動後ごとに、またはスキャン中の連続する放射パルスと放射パルスとの間に、必要に応じて更新される。この動作モードは、前述の型のプログラマブルミラーアレイといったプログラマブルパターニングデバイスを利用するマスクレスリソグラフィに容易に適用することができる。
上の式では、ωは固有振動数であり、nは固有振動数の次数であり、σは表面張力であり、ρ1およびρeは液体(例えば、Sn)および小滴が浸される媒体(この場合、真空であり、よってゼロである)の密度であり、Rは小滴の半径である。真空中の直径30μmのSn球状小滴に対しては、最も低い固有振動数(fn=1)69kHzまたは期間t14.5μsとなる。
Claims (13)
- リソグラフィ装置のための放射源においてEUV放射を生成する方法であって、前記方法は、
燃料小滴の流れをターゲット領域に供給することと、
前記ターゲット領域に誘導されかつ燃料小滴に衝突して気化させるように時間調整されたレーザ放射のパルスを放出してEUV放射を生成するようにレーザを構成することと、
前記流れにおける1つの燃料小滴の気化による後続の燃料小滴に対する影響に依存するように前記パルスのタイミングを制御することとを含み、
前記パルスの前記タイミングは、先行する燃料小滴の気化の結果による燃料小滴の到達の予測遅延に応答して調整される、方法。 - 前記予測遅延は、前記先行する燃料小滴の前記気化によって放出されるEUVエネルギーの大きさに基づいて計算される、請求項1に記載の方法。
- 前記遅延は、前記放出されるEUVエネルギーの前記大きさに比例するものとして計算される、請求項2に記載の方法。
- レーザプレパルスは、前記燃料小滴が前記ターゲット領域に到達する前に前記燃料小滴に誘導され、前記プレパルスのタイミングは、前記流れにおける1つの燃料小滴の気化による後続の燃料小滴に対する影響に依存するように制御される、請求項1〜3のいずれかに記載の方法。
- 前記プレパルスは、小滴が気化される前に燃料小滴を事前調整するように機能し、前記プレパルスの前記タイミングは、前記燃料小滴の事前調整を最適化するように制御される、請求項4に記載の方法。
- 前記事前調整は前記燃料小滴を成形することを含み、前記プレパルスの前記タイミングは、先行する燃料小滴の前記気化によって引き起こされる前記燃料小滴の形状の振動に基づいて選択される、請求項5に記載の方法。
- 前記プレパルスは、前記燃料小滴が元の形状を有する、前記燃料小滴の前記振動におけるポイントと一致するように時間調整される、請求項6に記載の方法。
- EUV放射を生成する放射源であって、前記放射源は、
燃料小滴の流れをターゲット領域に供給する手段と、
燃料小滴を気化させるためにレーザ放射のパルスを前記ターゲット領域に放出してEUV放射を生成するレーザと、
前記流れにおける1つの燃料小滴の気化による後続の燃料小滴に対する影響に依存するように前記レーザを制御する制御手段とを備え、
前記制御手段は、先行する燃料小滴の気化の結果による燃料小滴の到達の予測遅延に応答して前記パルスのタイミングを調整するように適合される、放射源。 - 燃料小滴の前記気化によって放出されるEUVエネルギーの大きさを決定する手段をさらに備え、前記制御手段は、前記先行する燃料小滴の前記気化の結果による燃料小滴の到達の予測遅延を計算するように適合される、請求項8に記載の放射源。
- レーザプレパルスを、前記燃料小滴が前記ターゲット領域に到達する前に前記燃料小滴に誘導する手段をさらに備え、前記制御手段は、前記流れにおける1つの燃料小滴の気化による後続の燃料小滴に対する影響に依存するように前記プレパルスのタイミングを制御するように適合される、請求項8または9に記載の放射源。
- 前記プレパルスは、小滴が気化される前に燃料小滴を事前調整するように機能し、前記制御手段は、前記プレパルスの前記タイミングを、前記燃料小滴の事前調整を最適化するように制御する、請求項10に記載の放射源。
- 前記プレパルスは前記燃料小滴を成形し、前記制御手段は、前記プレパルスの前記タイミングを、先行する燃料小滴の前記気化によって引き起こされる前記燃料小滴の形状の振動に基づいて制御する、請求項11に記載の放射源。
- 前記制御手段は、前記プレパルスの前記タイミングを、前記燃料小滴が元の形状を有する、前記燃料小滴の前記振動におけるポイントと一致するように制御する、請求項12に記載の放射源。
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