JP2014534559A - 放射源 - Google Patents
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Abstract
Description
[0001] 本出願は、参照によりその全体が本明細書に組み込まれる2011年10月10日に出願の米国特許仮出願第61/544,317号の利益を主張する。
−放射ビームB(例えば、EUV放射)を調整するように構成された照明システム(イルミネータ)ILと、
−パターニングデバイス(例えば、マスクまたはレチクル)MAを支持するように構築され、かつパターニングデバイスを正確に位置決めするように構成された第1ポジショナPMに連結されたサポート構造(例えば、マスクテーブル)MTと、
−基板(例えば、レジストコートウェーハ)Wを保持するように構築され、かつ基板を正確に位置決めするように構成された第2ポジショナPWに連結された基板テーブル(例えば、ウェーハテーブル)WTと、
−パターニングデバイスMAによって放射ビームBに付けられたパターンを基板Wのターゲット部分C(例えば、1つ以上のダイを含む)上に投影するように構成された投影システム(例えば、反射投影システム)PSと、を備える。
Claims (39)
- リソグラフィ装置のイルミネータに放射ビームを提供するのに適した放射源であって、
燃料液滴の流れを軌道に沿ってプラズマ形成地点に向けて誘導するノズルを備え、
前記放射源は、使用に際して、第1の量の放射が前記プラズマ形成地点で燃料液滴に入射するように、かつ、使用に際して、前記第1の量の放射が前記燃料液滴にエネルギを伝達して第2の量の放射を放出する放射生成プラズマを生成するように、前記第1の量の放射を受け、
前記放射源は、
前記第1の量の放射の焦点位置を示す前記第1の量の放射の特性を測定する第1センサアレンジメントと、
前記燃料液滴の位置を示す燃料液滴の特性を測定する第2センサアレンジメントと、をさらに備える、
放射源。 - 前記第1センサアレンジメントは、第1の時間に、第2の時間における前記第1の量の放射の前記焦点位置を示す、前記第1の量の放射の特性を測定し、
前記第2センサアレンジメントは、第3の時間に、前記第2の時間における前記燃料液滴の前記位置を示す、前記燃料液滴の特性を測定する、
請求項1に記載の放射源。 - 前記第1および第3の時間は、前記第2の時間よりも前である、請求項2に記載の放射源。
- 前記第1センサアレンジメントは、リフレクタアレンジメントおよびセンサ要素を備え、前記リフレクタアレンジメントはセンサリフレクタを備え、前記センサリフレクタの少なくとも一部は、前記第1の量の放射の前記焦点位置の上流側である前記第1の量の放射のパス内に位置付けられ、かつ、前記センサリフレクタは、前記第1の量の放射の一部分を前記センサ要素に向けて反射する、請求項1から3のいずれかに記載の放射源。
- 前記第2センサアレンジメントは、前記燃料液滴の位置を示す位置信号を出力する位置センサを備える、請求項1から4のいずれかに記載の放射源。
- 前記位置信号は、前記第3の時間における前記燃料液滴の位置を示す、請求項2または少なくとも請求項2に従属する請求項3もしくは4に従属した場合の請求項5に記載の放射源。
- 前記位置センサは、使用に際して、前記燃料液滴の流れが前記ノズルによって前記プラズマ形成地点に向けて誘導される際の前記軌道の一部分を撮像するイメージセンサである、請求項5または6に記載の放射源。
- 前記第2センサアレンジメントは、使用に際して、前記燃料液滴の流れが前記ノズルによって前記プラズマ形成地点に向けて誘導される際の前記軌道に沿ったトリガポイントを前記燃料液滴が通過する時間を示すタイミング信号を出力するタイミングセンサを備える、請求項1から5のいずれかに記載の放射源。
- 前記燃料液滴が前記トリガポイントを通過する時間は、前記第3の時間である、請求項2または少なくとも請求項2に従属する請求項3から5のいずれかに従属した場合の請求項8に記載の放射源。
- 前記第2センサアレンジメントは、
前記燃料液滴の位置を示す位置信号を出力する位置センサと、
使用に際して、前記燃料液滴の流れが前記ノズルによって前記プラズマ形成地点に向けて誘導される際の前記軌道に沿ったトリガポイントを前記燃料液滴が通過する時間を示すタイミング信号を出力するタイミングセンサと、を備え、任意で、
前記位置センサは、使用に際して、前記ノズルによって、前記燃料液滴の流れが前記プラズマ形成地点に向けて誘導される際の前記軌道の一部分を撮像するイメージセンサである、
請求項1から4のいずれかに記載の放射源。 - 前記位置センサは、前記第3の時間における前記燃料液滴の位置を示す位置信号を出力し、
前記第3の時間における前記燃料液滴の位置を示す前記位置信号と、前記燃料液滴が前記トリガポイントを通過する前記時間とは、両方とも前記第2の時間における前記燃料液滴の前記位置を示す、
請求項2または少なくとも請求項2に従属する請求項3もしくは4に従属した場合の請求項10に記載の放射源。 - 前記放射源は、前記第1の量の放射を誘導し、それにより前記第1の量の放射の前記焦点位置を決定する放射誘導デバイスをさらに備える、請求項1から11のいずれかに記載の放射源。
- 前記放射誘導デバイスは、使用に際して、少なくとも一部が前記第1の量の放射のパス内に位置付けられる誘導リフレクタと、前記誘導リフレクタに機械的に接続された少なくとも1つのリフレクタアクチュエータとを備え、それにより、前記少なくとも1つのリフレクタアクチュエータの移動が、前記第1の量の放射の前記パスに対する前記誘導リフレクタの向きおよび/または位置を変更する、請求項12に記載の放射源。
- 前記ノズルは、少なくとも1つのノズルアクチュエータに機械的に接続され、それにより、前記少なくとも1つのノズルアクチュエータ移動が、前記放射源の残りの部分、従って前記燃料液滴の流れの前記軌道に対する前記ノズルの前記位置を変更する、請求項1から13のいずれかに記載の放射源。
- 前記放射源は、
前記第1の量の放射を生成する二次放射源と、
前記二次放射源に接続され、かつ、前記二次放射源が前記第1の量の放射を生成する時間を制御するタイミングコントローラと、を備える、
請求項1から14のいずれかに記載の放射源。 - 前記放射源は、コントローラをさらに備え、
前記第1センサアレンジメントは、前記コントローラに第1センサ信号を提供し、前記第2センサアレンジメントは、前記コントローラに第2センサ信号を提供し、
前記コントローラは、前記第1および第2のセンサ信号に基づいて、前記プラズマ形成地点、前記第1の量の放射の前記焦点位置、および前記燃料液滴の流れの前記軌道のうちの少なくとも1つを制御する、
請求項1から15のいずれかに記載の放射源。 - パターニングデバイスから基板上にパターンを投影するリソグラフィ装置であって、前記パターニングデバイスに放射ビームを提供する放射源を備え、
前記放射源は、燃料液滴の流れを軌道に沿ってプラズマ形成地点に向けて誘導するノズルを備え、
前記放射源は、使用に際して、第1の量の放射が前記プラズマ形成地点で燃料液滴に入射するように、かつ、使用に際して、前記第1の量の放射が前記燃料液滴にエネルギを伝達して修正した燃料分布または第3の量の放射を放出する放射生成プラズマを生成するように、前記第1の量の放射を受け、
前記放射源は、
前記第1の量の放射の焦点位置を示す前記第1の量の放射の特性を測定する第1センサアレンジメントと、
前記燃料液滴の位置を示す燃料液滴の特性を測定する第2センサアレンジメントと、を備える、
リソグラフィ装置。 - 前記ノズルに機械的に接続されたノズルアクチュエータと、
前記第1の量の放射を誘導し、それにより前記第1の量の放射の前記焦点位置を決定する放射誘導デバイスであって、放射誘導デバイスアクチュエータを有する放射誘導デバイスと、
コントローラと、をさらに備え、
前記コントローラは、前記燃料液滴の前記軌道に垂直な方向に前記放射源を制御するための第1制御スキームを実施し、
前記第1制御スキームは、第1の比較的速い制御ループおよび第1の比較的遅い制御ループを含み、前記第1の比較的速い制御ループは前記第1センサアレンジメントおよび前記コントローラに基づいて前記放射誘導デバイスアクチュエータを制御し、
前記第1の比較的遅い制御ループは、前記第2センサアレンジメントおよび前記コントローラに基づいて前記ノズルアクチュエータを制御し、前記第1の比較的速い制御ループは、前記第1の比較的遅い制御ループを追跡する、
請求項1に記載の放射源。 - 前記放射源は、
前記第1の量の放射を生成する二次放射源と、
前記二次放射源に接続され、前記二次放射源が前記第1の量の放射を生成する時間を制御するタイミングコントローラであって、使用に際し、前記コントローラによって制御される、タイミングコントローラと、をさらに備え、
前記コントローラは、前記燃料液滴の前記軌道に平行な方向に前記放射源を制御するための第2制御スキームを実施し、
前記第2制御スキームは、第2の比較的速い制御ループおよび第2の比較的遅い制御ループを含み、前記第2の比較的速い制御ループは、前記第2センサアレンジメントおよび前記コントローラに基づいて前記タイミングコントローラを制御し、
前記第2の比較的遅い制御ループは、前記第1センサアレンジメントおよび前記コントローラに基づいて前記放射デバイス誘導アクチュエータを制御し、前記第1の比較的速い制御ループは、前記第1の比較的遅い制御ループを追跡する、
請求項18に記載の放射源。 - リソグラフィ装置のイルミネータに放射ビームを提供するのに適した放射源であって、
燃料液滴の流れを軌道に沿ってプラズマ形成地点に向けて誘導するノズルを備え、
前記放射源は、使用に際して、第1の量の放射が前記プラズマ形成地点で燃料液滴に入射するように、かつ、使用に際して、前記第1の量の放射が前記燃料液滴にエネルギを伝達して第2の量の放射を放出する放射生成プラズマを生成するように、前記第1の量の放射を受け、
前記放射源は、
前記第1の量の放射の焦点位置を示す前記第1の量の放射の特性を測定する第1センサアレンジメントと、
前記燃料液滴の位置を示す燃料液滴の特性を測定する第2センサアレンジメントと、を備える、
放射源。 - 前記第1センサアレンジメントは、第1の時間に、第2の時間における前記第1の量の放射の前記焦点位置を示す、前記第1の量の放射の特性を測定し、前記第2センサアレンジメントは、第3時間に、前記第2の時間における前記燃料液滴の前記位置を示す、前記燃料液滴の特性を測定する、請求項20に記載の放射源。
- 前記第1および第3の時間は、前記第2の時間よりも前である、請求項21に記載の放射源。
- 前記第1センサアレンジメントは、リフレクタアレンジメントおよびセンサ要素を備え、前記リフレクタアレンジメントは、センサリフレクタを備え、前記センサリフレクタの少なくとも一部は、前記第1の量の放射の前記焦点位置の上流側である前記第1の量の放射のパス内に位置付けられ、かつ前記センサリフレクタは、前記第1の量の放射の一部分を前記センサ要素に向けて反射する、請求項20に記載の放射源。
- 前記第2センサアレンジメントは、前記燃料液滴の位置を示す位置信号を出力する位置センサを備える、請求項20に記載の放射源。
- 前記位置信号は、前記第3の時間における前記燃料液滴の位置を示す、請求項24に記載の放射源。
- 前記位置センサは、使用に際して、前記燃料液滴の流れが前記ノズルによって前記プラズマ形成地点に向けて誘導される際の前記軌道の一部分を撮像するイメージセンサである、請求項25に記載の放射源。
- 前記第2センサアレンジメントは、使用に際して、前記燃料液滴の流れが前記ノズルによって前記プラズマ形成地点に向けて誘導される際の前記軌道に沿ったトリガポイントを前記燃料液滴が通過する時間を示すタイミング信号を出力するタイミングセンサを備える、請求項20に記載の放射源。
- 前記燃料液滴が前記トリガポイントを通過する時間は、前記第3の時間である、請求項27に記載の放射源。
- 前記第2センサアレンジメントは、
前記燃料液滴の位置を示す位置信号を出力する位置センサと、
使用に際して、前記燃料液滴の流れが前記ノズルによって前記プラズマ形成地点に向けて誘導される際の前記軌道に沿ったトリガポイントを前記燃料液滴が通過する時間を示すタイミング信号を出力するタイミングセンサと、を備える、
請求項29に記載の放射源。 - 前記位置センサは、使用に際して、前記燃料液滴の流れが前記ノズルによって前記プラズマ形成地点に向けて誘導される際の前記軌道の一部分を撮像するイメージセンサである、請求項29に記載の放射源。
- 前記位置センサは、前記第3の時間における前記燃料液滴の位置を示す位置信号を出力し、
前記第3の時間における前記燃料液滴の位置を示す前記位置信号と、前記燃料液滴が前記トリガポイントを通過する前記時間とは、両方とも前記第2の時間における前記燃料液滴の前記位置を示す、請求項30に記載の放射源。 - 前記放射源は、前記第1の量の放射を誘導し、それにより前記第1の量の放射の前記焦点位置を決定する放射誘導デバイスをさらに備える、請求項20に記載の放射源。
- 前記放射誘導デバイスは、使用に際して、少なくとも一部が前記第1の量の放射のパス内に位置付けられる誘導リフレクタと、前記誘導リフレクタに機械的に接続された少なくとも1つのリフレクタアクチュエータと、を備え、それにより、前記少なくとも1つのリフレクタアクチュエータの移動が、前記第1の量の放射の前記パスに対する前記誘導リフレクタの向きまたは位置を変更する、請求項32に記載の放射源。
- 前記ノズルは、少なくとも1つのノズルアクチュエータに機械的に接続され、それにより、前記少なくとも1つのノズルアクチュエータの移動が、前記放射源の残りの部分、従って前記燃料液滴の流れの前記軌道に対する前記ノズルの前記位置を変更する、請求項33に記載の放射源。
- 前記放射源は、
前記第1の量の放射を生成する二次放射源と、
前記二次放射源に接続され、かつ、前記二次放射源が前記第1の量の放射を生成する時間を制御するタイミングコントローラと、を備える、
請求項20に記載の放射源。 - 前記放射源は、コントローラをさらに備え、
前記第1センサアレンジメントは、前記コントローラに第1センサ信号を提供し、前記第2センサアレンジメントは、前記コントローラに第2センサ信号を提供し、
前記コントローラは、前記第1および第2のセンサ信号に基づいて、前記プラズマ形成地点、前記第1の量の放射の前記焦点位置、および前記燃料液滴の流れの前記軌道のうちの少なくとも1つを制御する、
請求項35に記載の放射源。 - パターニングデバイスから基板上にパターンを投影するリソグラフィ装置であって、前記パターニングデバイスに放射ビームを提供する放射源を備え、
前記放射源は、燃料液滴の流れを軌道に沿ってプラズマ形成地点に向けて誘導するノズルを備え、
前記放射源は、使用に際して、第1の量の放射が前記プラズマ形成地点で燃料液滴に入射するように、かつ、使用に際して、前記第1の量の放射が前記燃料液滴にエネルギを伝達して修正した燃料分布または第3の量の放射を放出する放射生成プラズマを生成するように、前記第1の量の放射を受け、
前記放射源は、
前記第1の量の放射の焦点位置を示す前記第1の量の放射の特性を測定する第1センサアレンジメントと、
前記燃料液滴の位置を示す燃料液滴の特性を測定する第2センサアレンジメントと、を備える、
リソグラフィ装置。 - 前記ノズルに機械的に接続されたノズルアクチュエータと、
前記第1の量の放射を誘導し、それにより前記第1の量の放射の前記焦点位置を決定する放射誘導デバイスであって、放射誘導デバイスアクチュエータを有する放射誘導デバイスと、
前記燃料液滴の前記軌道に垂直な方向に前記放射源を制御するように第1制御スキームを実施するコントローラと、をさらに備え、
前記第1制御スキームは、第1の比較的速い制御ループおよび第1の比較的遅い制御ループを含み、前記第1の比較的速い制御ループは前記第1センサアレンジメントおよび前記コントローラに基づいて前記放射誘導デバイスアクチュエータを制御し、
前記第1の比較的遅い制御ループは、前記第2センサアレンジメントおよび前記コントローラに基づいて前記ノズルアクチュエータを制御し、
前記第1の比較的速い制御ループは、前記第1の比較的遅い制御ループを追跡する、
請求項1に記載の放射源。 - 前記放射源は、
前記第1の量の放射を生成する二次放射源と、
前記二次放射源に接続され、前記二次放射源が前記第1の量の放射を生成する時間を制御するタイミングコントローラであって、使用に際し、前記コントローラによって制御される、タイミングコントローラと、をさらに備え、
前記コントローラは、前記燃料液滴の前記軌道に平行な方向に前記放射源を制御するための第2制御スキームを実施し、
前記第2制御スキームは、第2の比較的速い制御ループおよび第2の比較的遅い制御ループを含み、前記第2の比較的速い制御ループは、前記第2センサアレンジメントおよび前記コントローラに基づいて前記タイミングコントローラを制御し、
前記第2の比較的遅い制御ループは、前記第1センサアレンジメントおよび前記コントローラに基づいて前記放射デバイス誘導アクチュエータを制御し、
前記第1の比較的速い制御ループは、前記第1の比較的遅い制御ループを追跡する、
請求項38に記載の放射源。
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