JP6198578B2 - 液体吐出ヘッド及びその製造方法 - Google Patents

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Description

本発明は、インク等の液体を吐出して画像形成や記録を行う液体吐出装置に用いる液体吐出ヘッドとその製造方法に関する。
液体吐出ヘッドは、液滴を吐出させることによって画像を作成する。液滴の吐出は、発熱抵抗体を備えたエネルギー発生素子で液体を加熱し、液体に膜沸騰を生じさせることにより行われる。あるいは、液滴を吐出させるためにピエゾ素子が用いられることがあり、レーザーなどで発生した電磁波を液体に照射する方法が用いられることもある。このような液体吐出ヘッドは、一般に記録装置本体に搭載されている。液体吐出ヘッドは、記録装置本体から供給される電気信号で制御され、駆動され、画像を形成する。従って、液体吐出ヘッドで画像を形成するためには、記録装置本体と液体吐出ヘッドとの間で電気的な通信が必要となる。
電気的な通信を実現するため、液体吐出ヘッドはエネルギー発生素子と記録装置本体とを電気的に接続する電気配線基板を有している。電気配線基板は導電性のコンタクトパッドを含む電気信号入力部を備えており、記録装置本体はコンタクトパッドと電気的に接続するコンタクトピンを備えている。コンタクトパッドとコンタクトピンが接触することで、電気的な通信が可能となる。特許文献1に示されているように、電気配線基板は複数の電気配線が単層で配置されたフレキシブル配線基板からなり、コンタクトパッドはフレキシブル配線基板上に直接設けられている。電気信号入力部を縮小するため、複数の電気配線が多層配置された多層配線基板をフレキシブル配線基板に接続し、この多層配線基板上にコンタクトパッドを形成することもある。電気配線基板は、液体吐出ヘッドの製造段階において、液体吐出ヘッドの筐体の2つの面に沿って折り曲げられ、電気信号入力部の周囲(例えば4箇所)で加締められる。
特開2007−320229号公報
電気配線基板の主要部、特に折り曲げ部はフレキシブル配線基板などの折り曲げやすい素材で形成されているが、筐体の形状に完全に沿わせて折り曲げることが困難である。このため、折り曲げる際に折り曲げ部の付近で浮きが生じることがある。図12(a)は液体吐出ヘッド1と画像が記録される紙Pとの関係を示す斜視図であり、図12(b)は同図(a)のA−A断面図を示している。電気配線基板5はまず吐出口と同じ側に位置する筐体6の第1の面33に貼り付けられ、筐体6の角部に沿って約90度折り曲げられ、筐体6の第2の面34に沿って固定される。この際、電気配線基板の曲げ剛性のため、折り曲げ部21の付近で浮きCが生じる。電気信号入力部以外の領域が大きい電気配線基板や、幅の広い電気配線基板ではこの傾向が顕著である。電気配線基板の浮きは、製造時だけでなく、使用後の熱や経年変化によっても生じる。このような折り曲げ部21の付近の浮きは、図12(b)に示すように、紙Pの進行方向(以下、Y方向という)における液体吐出ヘッドの寸法(以下、Y方向寸法Dyという)の増加を招く。
Y方向寸法Dyの増加は以下の弊害をもたらす。図12に示すように、液体吐出ヘッド1のY方向における両側には、それぞれ紙押さえローラー61a,61bが設けられている。紙押さえローラー61a,61bは、吐出口の近傍で紙Pを良好に押さえつけるために、液体吐出ヘッド1の筐体6に近接して位置している。このため、液体吐出ヘッド1の筐体6の第2の面34側の紙押さえローラー61aは、浮きによって張り出した電気配線基板5と干渉する可能性があり、それを避けるため、破線で示すように紙押さえローラー61aを第2の面34から離す必要がある。これにより、2つの紙押さえローラー61a,61b間の間隔Lが大きくなる。間隔Lが増加すると、紙押さえローラー61a,61bが紙を押さえつける効果が低下し、印字不良や紙ジャム等の弊害をもたらす。特に、給紙時に紙が液体吐出ヘッド1の下方空間に進入する際に、紙が良好に押されず紙ジャムが生じることが多い。さらに、一般的な小型の記録装置では、近年印字の高速化に伴い、吐出口列の長手方向(Y方向)寸法が増加する傾向にある。このような記録装置では、液体吐出ヘッドのY方向寸法、従って紙押さえローラーの間隔も大きくなる傾向にあり、上述の浮きの発生により紙押さえローラーの間隔がさらに増加する。
浮きの高さを低減するために、電気配線基板を強く引っ張りながら加締めて固定をすることも考えられる。しかし、電気配線基板が張力のかかった状態で固定されることから、張力が解除された後に電気配線基板の加締め部分に亀裂が入ったり、別の部分に皺が生じたりする可能性があり、上記の問題を解決することができない。
本発明は、筐体に固定された電気配線基板の浮きによる出張りを抑制することのできる液体吐出ヘッドとその製造方法を提供することを目的とする。
本発明の液体吐出ヘッドは、外部から供給される電気信号に応じて液体を吐出する記録素子基板と、折り曲げ部を介して互いに連結された第1及び第2の部分を有する電気配線基板であって、記録素子基板に電気信号を供給する電気接合部が第1の部分に、電気信号が入力され、電気接合部と電気的に接続された電気信号入力部が第2の部分にそれぞれ設けられた電気配線基板と、互いに隣接する第1及び第2の面を有し、第1の面で第1の部分を、第2の面で第2の部分をそれぞれ支持する筐体と、を有している。電気配線基板の第2の部分は、第2の面の、電気信号入力部の周囲の複数の第1の固定位置で筐体に固定されている。第2の面は、第1の固定位置のいずれよりも折り曲げ部に近接する凹部を有し、第2の部分はさらに、凹部の内部に位置する少なくとも1つの第2の固定位置で、筐体に固定されている。
本発明の液体吐出ヘッドの製造方法は、外部から供給される電気信号が入力される電気信号入力部と、電気信号に応じて液体を吐出する記録素子基板に電気信号を供給する、電気信号入力部と電気的に接続された電気接合部と、を有する電気配線基板の、電気接合部が設けられた第1の部分を、筐体の第1の面に固定する工程と、電気信号入力部が設けられた電気配線基板の第2の部分を、折り曲げ部が形成されるように、第1の部分に対して屈曲させる工程と、電気配線基板の屈曲させられた第2の部分を、筐体の第1の面と隣接する第2の面に、電気信号入力部の周囲の複数の第1の固定位置で固定する第1の固定工程と、電気配線基板の屈曲させられた第2の部分を、第1の固定位置のいずれよりも折り曲げ部に近接して第2の面に形成された凹部の内部に位置する少なくとも1つの第2の位置で、筐体に固定する第2の固定工程と、を有している。
本発明によれば、第2の部分は凹部の内部に位置する第2の固定位置で筐体に固定される。第2の部分は凹部の方へ変形した状態にあり、製造時や使用時に一時的に発生し得る撓みや皺の少なくとも一部が凹部の内部に収容され、撓みや皺に起因する出張りが減少する。
このように本発明によれば、筐体に固定された電気配線基板の浮きによる出張りを抑制することのできる液体吐出ヘッドとその製造方法を提供することが可能となる。
本発明の液体吐出ヘッドの要部分解斜視図である。 図1に示す液体吐出ヘッドの側方図である。 記録素子基板の斜視図である。 図3に示す記録素子基板のA−A線に沿った断面図である 本発明の変形実施形態の液体吐出ヘッドの要部分解斜視図である。 筐体の部分側方図である。 本発明の液体吐出ヘッドの作製工程を示す模式図である。 第2の固定位置の周辺の詳細図である。 本発明の第2の実施形態における筐体の部分側方図である。 本発明の第3の実施形態を示す模式図である。 本発明の第4の実施形態を示す模式図である。 本発明の課題を説明する模式図である。
図面を参照して本発明の液体吐出ヘッド及びその製造方法について説明する。本発明の液体吐出ヘッドは典型的には、インクを吐出するインクジェット液体吐出ヘッドに適用されるが、その用途に応じてインク以外の所望の液体を吐出するように構成することができる。
図1は、液体吐出ヘッド1の要部分解斜視図である。図2(a)は液体吐出ヘッド1の要部側方図であり(図1に対し上下逆になっている)、図2(b),(c)はそれぞれ図2(a)のA部とB部の拡大図を示している。液体吐出ヘッド1は、電気信号に応じて液体を吐出する記録素子基板2と、記録素子基板2を支持する支持部材4と、電気配線基板5と、支持部材4及び電気配線基板5を支持する筐体6と、を有している。
図3は記録素子基板2の斜視図を、図4は図3のA−A線に沿った断面図を示している。記録素子基板2は、発熱抵抗体を有するエネルギー発生素子11が形成されたシリコン製の支持基板12と、複数の吐出口13を備え支持基板12の一部を覆う吐出口形成部材14と、を有している。吐出口形成部材14は、吐出口形成面15に位置し液体が吐出する吐出口13と、液体を吐出口13に導く圧力室17と、を備え、接着剤51で支持基板12に固定されている。支持基板12の中央に細長い開孔の形状の液体供給口16が設けられている。支持基板12上の液体供給口16の両側には、圧力室17に面して、エネルギー発生素子11がY方向にほぼ等間隔で形成されている。支持基板12にはエネルギー発生素子11に電力を供給するためのアルミ等の配線(図示せず)が引き回されており、この配線は支持基板12上の両端に設置されている支持基板端子18と電気的に接続されている。支持基板端子18は、電極パッド19と、その上に形成された電極であるバンプ20と、を有している。液体は液体供給口16から供給され、エネルギー発生素子11によって加熱され、膜沸騰の作用により液体滴となって吐出口13から吐出する。エネルギー発生素子11としては、発熱抵抗体の代わりにピエゾ素子を用いてもよく、レーザーなどの電磁波を発生する素子を利用することもできる。
支持部材4はセラミックなどの硬質な材料または樹脂などの軟質な材料で形成されている。支持部材4には、支持基板12の液体供給口16に対応する位置に、液体供給口16と連通する液体流路(図示せず)が設けられている。支持基板12の吐出口形成部材14に面していない裏面の全域が支持部材4に接着剤で接着されている。図5に示すように、支持部材4は筐体6の一部として形成されてもよい。
図1,2を参照すると、電気配線基板5は、折り曲げ部21を介して互いに連結された第1及び第2の部分22,23を有している。エネルギー発生素子11の駆動電力や制御信号などの電気信号を記録素子基板2に供給する電気接合部24が第1の部分22に、外部(記録装置本体)から供給される上記電気信号が入力される電気信号入力部25が第2の部分23にそれぞれ設けられている。電気配線基板5はフレキシブル配線基板26からなり、フレキシブル配線基板26上に電気信号入力部25が形成されている。電気信号入力部25には、記録装置本体からの電気信号が入力される金属製のコンタクトパッド28が設けられている(図6参照)。コンタクトパッド28が記録装置本体に搭載されているコンタクトピン(図示せず)と接触することで電気的通信が行われる。
電気配線基板5の電気接合部24は、記録素子基板2のバンプ20と電気接続される電気配線基板端子29を備えている。フレキシブル配線基板26は、ベースフィルム30と、ベースフィルム30上に接着剤により接着された銅箔31と、を有している。銅箔31はパターニングされ、電気信号入力部25と電気接合部24を接続する配線として機能する。電気配線基板5は、コンタクトパッド28と電気配線基板端子29を除き、カバーフィルム32で被覆されている。支持基板端子18と電気配線基板端子29は、超音波と熱により金属接合され、電気的に接続されている。電気配線基板5は記録素子基板2の吐出口形成面15とほぼ平行に延びている。
筐体6は、記録素子基板2と電気配線基板5と支持部材4とを支持する樹脂製の支持構造物である。筐体6は、互いに隣接する第1及び第2の面33,34を有し、第1の面33で電気配線基板5の第1の部分22を、第2の面34で電気配線基板5の第2の部分23をそれぞれ支持している。第1の面33は、吐出口形成面15とほぼ平行に広がっている。電気配線基板5の第1の部分22は、その全面が筐体6の第1の面33に接着剤により固定されている。電気配線基板5の第2の部分23は、以下に詳述するように、筐体6の第2の面34の複数の第1の固定位置35と少なくとも1つの第2の固定位置36で固定されている。これらの固定位置35,36は互いに離れて位置している。
図6は、図1の方向Aから見た筐体6の側方図である(図1に対し上下逆になっている)。電気配線基板5の第1の固定位置35は電気信号入力部25の周囲に設けられている。本実施形態では、第1の固定位置35は電気信号入力部25の4隅にそれぞれ1つ、合計4つ設けられている。図2(b)に示すように、電気配線基板5の第1の固定位置35にはそれぞれ円形の開孔37が形成されている(図7(b)も参照)。一方、筐体6の第2の面34の、第1の固定位置35の各開孔37に対応した位置には、第2の面34から垂直に延びる円筒形のピン38が形成されている。ピン38は対応する開孔37を貫通し、ピン38の根元と先端が電気配線基板5を挟んで電気配線基板5の両側に位置している。ピン38の先端39は潰されて電気配線基板5をその位置で固定している。このようにして、電気配線基板5は複数の第1の固定位置35で、加締めによって筐体6に固定されている。
電気配線基板5の第2の固定位置36は、第2の面34の、第1の固定位置35のいずれよりも折り曲げ部21に近接した位置にある。第2の固定位置36は少なくとも1つ設けられる。これらの条件を満たす限り、2以上の任意の数の第2の固定位置36を任意の場所に設けることができる。本実施形態では、第2の固定位置36は、折り曲げ部21と直交する方向(Z方向)に延びる電気配線基板5の中心線39に関し対称の位置に各1つ、合計2つ設けられている。図2(c)に示すように、電気配線基板5の第2の固定位置36にはそれぞれ円形の開孔40が形成されている(図7(b)も参照)。第2の固定位置36の数を増やすことで固定位置が増え、電気配線基板5の撓みや皺をより効果的に抑制することができる。但し、電気配線基板5には、電気配線が密集して通っているため、電気配線に影響を与えないように第2の固定位置36(開孔40)を配置することが望ましい。
筐体6の第2の面34の、第2の固定位置36の各開孔40に対応した位置には、折り曲げ部21とほぼ平行に(ほぼX方向に)延びる溝状の凹部41が形成されている。図2(c)に示すように、凹部41は楕円断面を有する筒体を楕円断面の長軸または長軸と平行な線に沿って切断して得られる形状の溝である。溝のZ方向の幅Wは、好ましくは溝の最大深さdよりも大きい。溝の最も深い位置、すなわち溝の中心線42上の2つの位置から第2の面34に垂直に延びる円筒形状のピン43が形成されている。ピン43は対応する開孔40を貫通し、ピン43の根元と先端が電気配線基板5を挟んで電気配線基板5の両側に位置している。ピン43の先端44は潰されて電気配線基板5をその位置で固定している。このようにして、電気配線基板5の第2の部分23は、凹部41の内部に位置する2つの第2の固定位置36で、加締めによって筐体6に固定されている。
本実施形態では、第1及び第2の固定位置35,36とも、樹脂製のピン38,43の先端部を超音波または熱で溶融することで加締めが行われるが、ピン38,43の先端部を溶融する手段は特に限定されない。電気配線基板5を第1及び第2の固定位置35,36で固定する手段は加締めに限定されず、例えば接着剤を用いることもできる。
第2の固定位置36において、電気配線基板5は凹部41に向けて押し入れられている。好ましい実施形態では電気配線基板5は凹部41の内部で凹部41の側壁に沿って、凹部41とほぼ同じ形状をなすように湾曲している。しかし、電気配線基板5は凹部41の内部で凹部41の側壁に沿っていなくともよく、電気配線基板5の一部または全部が凹部41に入り込んでいなくともよい。
本実施形態の電気配線基板5は、フレキシブル配線基板上にコンタクトパッド28が形成されているためコストダウン効果が高いが、フレキシブル配線基板26の長さや素材によって撓みや皺が生じることがある。撓みや皺は第2の部分23の折り曲げ部21の近傍に発生しやすく、この部分の液体吐出ヘッド1のY方向寸法Dyに直接影響する。折り曲げ部21の近傍には図12に示すのと同様の紙押さえローラー61aが位置しているため、撓みや皺と紙押さえローラー61aとの干渉を回避するため、紙押さえローラー61aを液体吐出ヘッド1から離す必要がある。このため紙押さえローラー61a,61b間の間隔L(図12(b)参照)が大きくなり、紙押さえ性能の低下を招く。液体吐出ヘッド1の筐体6自体に凹部41を設けて、フレキシブル配線基板26を凹ませて凹部41側に押込み、固定することで、折り曲げ部21近傍の液体吐出ヘッド1のY方向寸法Dyの増加を抑えることができる。
凹部41は少なくとも電気配線基板5のX方向の全幅を収めるように、その長さと位置が調整されている。凹部41は好ましくは、凹部41がないとしたときに撓みや皺が発生しやすい位置に設けられる。本実施形態では、凹部41の長さは筐体6の第2の面34の幅より短いが、第2の面34の幅と同じ、すなわち第2の面34をX方向に貫通していても構わない。また、凹部41のY−Z面で切った断面は、上述のような楕円を切断して得られる形状の他、円を所望の直線で切断して得られる形状や、矩形形状、三角形状でもよい。凹部41の側壁と第2の面34とが滑らかに接続されるように、凹部41のZ方向の両側縁部に丸みをつけてもよい。
第2の固定位置36の少なくとも1つ、好ましくは両方は、第1の固定位置35のいずれよりも、折り曲げ部21と直交する方向(Z方向)に延びる電気配線基板5の中心線39に近接している。換言すれば、第2の固定位置36の少なくとも1つは、第1の固定位置35のいずれよりも、フレキシブル配線基板26の配線と直交するフレキシブル配線基板26の幅方向(X方向)に関し、電気配線基板5の中心線39上に近接している。第2の固定位置36が第1の固定位置35よりも電気配線基板5の中心線39から遠くにあるか、または同じ距離にあると、フレキシブル配線基板26のY方向に張り出す撓みは取れても、X方向に張り出す撓みが残りやすくなる。
電気配線基板5は、フレキシブル配線基板26と電気的及び物理的に接続されコンタクトパッド28を備えた、フレキシブル配線基板26よりも硬質の多層基板を有していてもよい。フレキシブル配線基板26は、複雑で多数ある配線を一層で配置するため、コンタクトパッド28が大きくなる。多層基板を用いることで液体吐出ヘッド1自体をコンパクトにすることができる。多層基板は、コンタクトパッド28の周辺の4隅にそれぞれ1つ、合計4つの開孔37が設けられ、加締めによって筐体6の第2の面34に固定される。第2の固定位置36はフレキシブル配線基板26に設けられ、上述と同様の態様でフレキシブル配線基板26が筐体6に固定される。多層基板を用いた電気配線基板5でも、フレキシブル配線基板26の長さや構成によってフレキシブル配線基板26に撓みや皺が生じることがあり、フレキシブル配線基板26を凹部41に押し込むことで同様の効果を得ることができる。
次に、液体吐出ヘッド1の作成手順を説明する。
まず、図7(a)に示すように、記録素子基板2が接着された支持部材4と、電気配線基板5と、を用意する。支持部材4がない実施形態の場合、記録素子基板2と電気配線基板5を用意する。図7(b)に示すように、フレキシブル配線基板26は、加締めのための複数の開孔37,40があらかじめ形成されており、その開孔37,40を避けるように配線が形成されている。記録素子基板2は開口部2aに固定される。
次に、記録素子基板2が接着された支持部材4を筐体6に接着し(図示せず)、その後図7(c)に示すように、電気配線基板5を支持部材4に接着する。具体的には、高温硬化型の熱硬化接着剤を予め支持部材4の支持基板12に塗布しておき、次に電気配線基板5の位置を調整し、電気配線基板5を支持部材4に接着する。その後、支持基板12の支持基板端子18と電気配線基板5の電気配線基板端子29をインナーリードボンディング(ILB)で電気接続し、電気的絶縁と接続部の固定のために接続部を封止する。本実施形態に代えて、支持部材4を筐体6に予め接着しておき、次に電気配線基板5を記録素子基板2にILBで接続し、接続部を封止した後、これらを一緒に支持部材4に装着してもよい。
次に、図7(d),(e)に示すように、電気配線基板5を筐体6の角部45の周りで筐体6の第2の面34に向けて約90度曲げ、筐体6の第2の面34に沿わせる。この際、図7(e)に示すように、電気配線基板押さえ45で電気配線基板5の先端部を挟み、電気配線基板5が伸びないように電気配線基板5を曲げることが好ましい。本実施形態では、電気配線基板5に張力を掛けていないが、電気配線基板5に影響を及ぼさない範囲で電気配線基板5を弱く引っ張ることもできる。その場合、電気配線基板5は、電気配線基板5の第1の固定位置35の開孔37に装置の一部をひっかけて引っ張ることができる。あるいは、電気配線基板5の先端を工具で挟んで引っ張ることもできる。
筐体6の第2の面34には、第1の固定位置35に対応するピン38と、第2の固定位置36に対応する凹部41と、凹部41の内部に位置するピン43と、があらかじめ設けられている。凹部41及びピン38,43は、筐体成型用の型で最初から作っておいてもよいし、成型後に切削または熱溶解によって作ってもよい。電気配線基板5を筐体6に接着する前に凹部41とピン38,43が形成されていればよい。
次に、図7(e)に示すように、電気配線基板押さえ45で電気配線基板5の先端部を挟んだ状態で、第1の固定位置35で電気配線基板5を筐体6に固定する。電気配線基板5の開孔37を対応する筐体6のピン38に合わせ、開孔37をピン38に通す。この際、電気配線基板押さえ45で電気配線基板5をわずかに引っ張り、開孔37をピン38に位置合わせしてもよい。ピン38の先端部をその前方から熱溶着ヒーター46で加熱し、溶融することで、電気配線基板5は第1の固定位置35で筐体6に加締められる。熱溶着ヒーター46は好ましくは第1の固定位置35と同じ数だけ設けられ、全てのピン38が同時に加締められる。
次に、図7(f)に示すように、電気配線基板5を第2の固定位置36で筐体6に固定する。前述のように、筐体6の第2の面34には凹部41が設けられ、その内部に2つのピン43が形成されている。図8(a)は図7(f)のA部拡大図を示している。熱溶着ヒーター46の周囲に設けられた電気配線基板押さえ48で電気配線基板5を押し付け、電気配線基板5を凹部41の形状に倣うように屈曲させる。その状態で、電気配線基板5の開孔40を筐体6の対応するピン43に位置合わせし、開孔40をピン43に通す。ピン43の先端部をその前方から熱溶着ヒーター46で加熱し、溶融することで、電気配線基板5は第2の固定位置36で筐体6に加締められる。熱溶着ヒーター46は好ましくは第2の固定位置36と同じ数だけ設けられ、全てのピン43が同時に加締められる。電気配線基板押さえ48は好ましくは、振動吸収性能が高く伝熱性能の低い部材で形成される。図8(b)のように熱溶着ヒーター46の代わりに超音波を発生させるホーン47を用いてもよい。
本実施形態によれば、電気配線基板5は第1の固定位置35でまず筐体6に固定され、次に第2の固定位置36で筐体6に固定される。このため、第1の固定位置35と第2の固定位置36でピン38,43の高さがばらついていても加締め不良が生じにくい。また、電気配線基板5は第1の固定位置35で先に固定されるため、第1の固定位置35と折り曲げ部21の間の電気配線基板5の弛み状態が把握できる。電気配線基板5の弛み状態に応じて熱溶着ヒーター46またはホーン47を押し付けるY方向位置を調整することで、電気配線基板5を筐体6の凹部41に沿って良好に押しつけ、加締め不良を防止することができる。
(第2の実施形態)
図9を参照して、本発明の第2の実施形態を説明する。本実施形態では第2の固定位置36が1つだけ設けられている。第2の固定位置36は、折り曲げ部21と直交する方向に延びる電気配線基板5の中心線39上に1つだけある。まず、第1の実施形態と同様の方法で、電気配線基板5が第1の固定位置35で加締められ、次に第1の実施形態と同様の方法で、電気配線基板5が第2の固定位置36で加締められる。インクジェット液体吐出ヘッド1の構成、使用部材、製造方法に関するその他の点は第1の実施形態と同じである。
(第3の実施形態)
図10を参照して、本発明の第3の実施形態を説明する。本実施形態では、電気配線基板5はまず第2の固定位置36で固定され、次に第1の固定位置35で固定される。まず、第1の実施形態と同様の方法で、筐体6の凹部41に沿うように電気配線基板5が凹部41に押し付けられ、第2の固定位置36でピン43と開孔40が位置合わせされる。これと同時に第1の実施形態と同様の方法で、第1の固定位置35でピン38と開孔37が位置合わせされる。図10(a)に示すように、筐体6の凹部41にならうように電気配線基板5が押しつけられた状態で、第1の実施形態と同様の方法で、電気配線基板5が第2の固定位置36で先に加締められる。その後、図10(b)に示すように、ピン38と開孔37が位置合わせされた状態で、第1の実施形態と同様の方法で、電気配線基板5が第1の固定位置35で加締められる。本実施形態では、第2の固定位置36が先に固定されるため、凹部41の内部にある電気配線基板5の湾曲部に張力が掛かりにくくなり、製造時における電気配線基板5へのダメージを軽減することができる。インクジェット液体吐出ヘッド1の構成、使用部材、製造方法に関するその他の点は第1の実施形態と同じである。
(第4の実施形態)
図11を参照して、本発明の第4の実施形態を説明する。本実施形態では、電気配線基板5が第1及び第2の固定位置36で同時に加締められる。まず、第1の実施形態と同様の方法で、筐体6の凹部41に沿うように電気配線基板5が凹部41に押し付けられる。次に、その状態で電気配線基板5が、第1及び第2の固定位置35,36の全個所で同時に加締められる。本実施形態では、タクトを伸ばすことなく液体吐出ヘッド1を製造することができる。インクジェット液体吐出ヘッド1の構成、使用部材、製造方法に関するその他の点は第1の実施形態と同じである。
1 液体吐出ヘッド
5 電気配線基板
35 第1の固定位置
36 第2の固定位置
41 凹部

Claims (12)

  1. 外部から供給される電気信号に応じて液体を吐出する記録素子基板と、折り曲げ部を介して互いに連結された第1及び第2の部分を有する電気配線基板であって、前記記録素子基板に前記電気信号を供給する電気接合部が前記第1の部分に、前記電気信号が入力され、前記電気接合部と電気的に接続された電気信号入力部が前記第2の部分にそれぞれ設けられた電気配線基板と、互いに隣接する第1及び第2の面を有し、前記第1の面で前記第1の部分を、前記第2の面で前記第2の部分をそれぞれ支持する筐体と、を有し、
    前記電気配線基板の前記第2の部分は、前記第2の面の、前記電気信号入力部の周囲の複数の第1の固定位置で前記筐体に固定され、前記第2の面は、前記第1の固定位置のいずれよりも前記折り曲げ部に近接する凹部を有し、前記第2の部分はさらに、前記凹部の内部に位置する少なくとも1つの第2の固定位置で、前記筐体に固定されている、液体吐出ヘッド。
  2. 前記第2の固定位置の少なくとも1つは、前記第1の固定位置のいずれよりも、前記折り曲げ部と直交する方向に延びる前記電気配線基板の中心線に近接している、請求項1に記載の液体吐出ヘッド。
  3. 前記第2の固定位置は2つ以上ある、請求項1または2に記載の液体吐出ヘッド。
  4. 前記第2の固定位置は、前記折り曲げ部と直交する方向に延びる前記電気配線基板の中心線上に1つだけある、請求項1に記載の液体吐出ヘッド。
  5. 前記電気配線基板はフレキシブル配線基板を有し、前記フレキシブル配線基板上に前記電気信号入力部が形成されている、請求項1から4のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
  6. 外部から供給される電気信号が入力される電気信号入力部と、前記電気信号に応じて液体を吐出する記録素子基板に前記電気信号を供給する、前記電気信号入力部と電気的に接続された電気接合部と、を有する電気配線基板の、前記電気接合部が設けられた第1の部分を、筐体の第1の面に固定する工程と、
    前記電気信号入力部が設けられた前記電気配線基板の第2の部分を、折り曲げ部が形成されるように、前記第1の部分に対して屈曲させる工程と、
    前記電気配線基板の屈曲させられた前記第2の部分を、前記筐体の前記第1の面と隣接する第2の面に、前記電気信号入力部の周囲の複数の第1の固定位置で固定する第1の固定工程と、
    前記電気配線基板の屈曲させられた前記第2の部分を、前記第1の固定位置のいずれよりも前記折り曲げ部に近接して前記第2の面に形成された凹部の内部に位置する少なくとも1つの第2の位置で、前記筐体に固定する第2の固定工程と、を有する、液体吐出ヘッドの製造方法。
  7. 前記第2の固定位置の少なくとも1つは、前記第1の固定位置のいずれよりも、前記折り曲げ部と直交する方向に延びる前記電気配線基板の中心線に近接している、請求項6に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
  8. 前記第2の固定位置は2つ以上ある、請求項6または7に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
  9. 前記第1の固定工程が前記2の固定工程より先に行われる、請求項6から8のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
  10. 前記第1の固定工程が前記2の固定工程より後に行われる、請求項6から8のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
  11. 前記第1の固定工程が前記2の固定工程と同時に行われる、請求項6から8のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
  12. 前記電気配線基板はフレキシブル配線基板からなり、前記フレキシブル配線基板上に前記電気信号入力部が形成されている、請求項6から11のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
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Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6632221B2 (ja) 2015-05-22 2020-01-22 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッド
JP6602048B2 (ja) 2015-05-22 2019-11-06 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置
JP6618275B2 (ja) 2015-05-22 2019-12-11 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置
JP6447828B2 (ja) * 2015-12-22 2019-01-09 セイコーエプソン株式会社 液体吐出装置及びフレキシブルフラットケーブル
US10272684B2 (en) 2015-12-30 2019-04-30 Stmicroelectronics, Inc. Support substrates for microfluidic die
US11691162B2 (en) 2017-04-10 2023-07-04 The Procter & Gamble Company Microfluidic delivery cartridge for use with a microfluidic delivery device
US11305301B2 (en) 2017-04-10 2022-04-19 The Procter & Gamble Company Microfluidic delivery device for dispensing and redirecting a fluid composition in the air
US10654269B2 (en) 2017-06-28 2020-05-19 Canon Kabushiki Kaisha Liquid ejection head
JP2019047073A (ja) * 2017-09-07 2019-03-22 株式会社リコー フレキシブル部材、配線部材、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置、電子機器
US10307783B1 (en) * 2018-05-15 2019-06-04 The Procter & Gamble Company Microfluidic cartridge and microfluidic delivery device comprising the same
US10322202B1 (en) * 2018-05-15 2019-06-18 The Procter & Gamble Company Microfluidic cartridge and microfluidic delivery device comprising the same
US10806816B2 (en) * 2018-05-15 2020-10-20 The Procter & Gamble Company Microfluidic cartridge and microfluidic delivery device comprising the same
US10350324B1 (en) * 2018-05-15 2019-07-16 The Procter & Gamble Company Microfluidic cartridge and microfluidic delivery device comprising the same

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005132102A (ja) * 2003-10-09 2005-05-26 Canon Inc インクジェットヘッドおよび該ヘッドを備えるインクジェットプリント装置
JP2006159512A (ja) * 2004-12-03 2006-06-22 Canon Inc 液体吐出ヘッドの梱包形態、パッケージ部材
JP4290154B2 (ja) * 2004-12-08 2009-07-01 キヤノン株式会社 液体吐出記録ヘッドおよびインクジェット記録装置
JP2006159751A (ja) * 2004-12-09 2006-06-22 Canon Inc インクジェット記録ヘッドの製造方法及び該製造方法を用いたインクジェット記録ヘッド
JP4726195B2 (ja) * 2005-04-14 2011-07-20 キヤノン株式会社 液体吐出記録ヘッドおよびそれを備える液体吐出記録装置
JP2006341385A (ja) * 2005-06-07 2006-12-21 Canon Inc インクジェット記録ヘッド
JP2007015268A (ja) * 2005-07-08 2007-01-25 Canon Inc インクジェット記録ヘッド
US7591527B2 (en) * 2005-07-08 2009-09-22 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet printing head
JP2007083401A (ja) * 2005-09-20 2007-04-05 Canon Inc 配線基板の製造方法および液体吐出ヘッド
JP2007320229A (ja) * 2006-06-02 2007-12-13 Canon Inc インクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録ヘッドの製造方法
JP5273984B2 (ja) * 2006-12-19 2013-08-28 キヤノン株式会社 インクジェット記録ヘッド
JP2009172832A (ja) * 2008-01-23 2009-08-06 Canon Inc インクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録ヘッドの製造方法
JP5006828B2 (ja) * 2008-04-04 2012-08-22 キヤノン株式会社 インクタンク
JP5634090B2 (ja) 2010-03-24 2014-12-03 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッド
JP2011240512A (ja) * 2010-05-14 2011-12-01 Canon Inc 樹脂成形品へのシート状部材の固定構造およびこれを用いた液体吐出ヘッド
JP5627312B2 (ja) * 2010-06-21 2014-11-19 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッドおよび液体吐出ヘッドの組み立て方法
US8662640B2 (en) * 2012-01-24 2014-03-04 Eastman Kodak Company Corrosion protected flexible printed wiring member
JP5979959B2 (ja) 2012-04-27 2016-08-31 キヤノン株式会社 インクジェット記録ヘッド、記録ヘッドの製造方法、および記録装置
JP6021415B2 (ja) 2012-04-27 2016-11-09 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッド、および記録装置

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