JP7237480B2 - 液体吐出ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
(液体吐出ヘッドの説明)
本実施形態に係る液体吐出ヘッドについて、図1を用いて説明する。図1は、本実施形態に係る液体吐出ヘッド6の全体像を示す斜視図である。図1に示すように、液体吐出ヘッド6は、1つの素子基板10でC/M/Y/Kの4色のインクを吐出できる素子基板10が液体吐出ヘッド6の長手方向に直線状に15個配列(インラインに配置)されるページワイド型の液体吐出ヘッドである。なお、このとき素子基板10は略平行四辺形状である。液体吐出ヘッド6は、各素子基板10と、電気配線部材51およびプレート状の電気配線基板90を介して電気的に接続された信号入力端子91と電力供給端子92を備える。電気配線部材51は、例えばフレキシブル配線基板である。信号入力端子91及び電力供給端子92は、被記録媒体(不図示)を搬送する搬送部(不図示)及び液体吐出ヘッド6を有する記録装置(不図示)の制御部と電気的に接続され、それぞれ、吐出駆動信号及び吐出に必要な電力を素子基板10に供給する。電気配線基板90内の電気回路によって配線を集約することで、信号入力端子91及び電力供給端子92の数を素子基板10の数に比べて少なくできる。これにより、記録装置に対して液体吐出ヘッド6を組み付けるとき又は液体吐出ヘッド6の交換時に取り外しが必要な電気接続部数が少なくて済む。
本実施形態に係る素子基板10と電気配線部材51との接続部について、図2を用いて説明する。図2は、液体吐出ヘッド6に設けられる複数の素子基板10と電気配線部材51のうち、1つの素子基板10と電気配線部材51の斜視図であり、素子基板10の吐出口が設けられる面の裏面側を示している。図2(a)は、素子基板10と電気配線部材51を接続する前の斜視図である。図2(b)は、夫々を接続した際の斜視図である。図2(a)に示すように、素子基板10は端子16を有し、電気配線部材51は端子17を有する。端子16と端子17は後述するワイヤーリードボンディングによる電気接続部材32(図3)を介して電気的に接続されており、その接合部は封止部材63により覆われている(図2(b))。
本実施形態に係る液体吐出ヘッド6の詳細について、図3を用いて説明する。図3は、図1におけるx―x断面の一部を示す素子基板10の斜視図である。図3に示すように、素子基板10は、液体を吐出する吐出口4と流路25を有する吐出口形成部材3と、流路25に液体を供給する液体供給口5を有するシリコンの基体部2から主に構成されている。吐出口形成部材3と基体部2の表面側との間には、吐出口4近傍の液体にエネルギーを供給するエネルギー発生素子1、エネルギー発生素子1と電気的接続されている配線層11及び絶縁層12が形成されている。基体部2には素子基板10の裏面側から配線層11に向かって穴部31が形成されている。基体部2の裏面と電気配線部材51は接着剤61により接着されている。配線層11における端子16と電気配線部材51における端子17とは電気接続部材32によって電気的に接続されている。穴部31の内部には穴部31をシールするための封止部材63が形成されている。また、素子基板10は、シール部材62を介してヘッド部材52と接着されている。なお、エネルギー発生素子1と端子16とをつなぐ電気経路中にトランジスタ(不図示)や各種回路を設けてもよい。
本実施形態の特徴部である素子基板10について、図4および図5を用いて説明する。図4は、図2(b)におけるY―Y断面の一部(端子16周囲の構成)を示す素子基板10の概略図である。封止部材63は省略して図示している。なお、前述の構成と同様の箇所には同一の符号を付し、説明は省略する。
本実施形態の特徴部である素子基板10の製造方法について、図6および図7を参照しながら説明する。図6は製造方法の工程フローを、図7はその製造方法の概略を示す図である。本実施形態では、厚さ650μmのシリコンの基体部2に対して反応性イオンエッチングを2回行うことによって穴部を形成した。
本発明の第2の実施形態について、図8を参照しながら説明する。第1の実施形態と同様の構成については同一の符号を付し、説明を省略する。図8は、図2(b)に示すY―Y断面で本実施形態に係る素子基板10を見たときの一部を示す概略図である。本実施形態の特徴部は、ボンディングツールとの干渉を起さないようにしながら、穴部31の深さ方向と直交する方向において、大きさの異なる面積の箇所が3箇所穴部31にあることである。
本発明の第3の実施形態について、図9を参照しながら説明する。第1の実施形態と同様の構成については同一の符号を付し、説明を省略する。図9は、図2(b)に示すY―Y断面で本実施形態に係る素子基板10を見たときの一部を示す概略図である。本実施形態の特徴部は、ボンディングツールとの干渉を起さないようにしながら、穴部31の深さ方向と直交する方向において、穴部31の面積が徐々に大きくなっていることである。
本発明の第4の実施形態について、図10を参照しながら説明する。第1の実施形態と同様の構成については同一の符号を付し、説明を省略する。図10は、図2(b)に示すY―Y断面で本実施形態に係る素子基板10を見たときの一部を示す概略図である。本実施形態の特徴部は、スルーホール9を用いてエネルギー発生素子1と端子16を電気接続していることである。このように、スルーホール9によりエネルギー発生素子1とは異なる層に配線層11を形成した場合においても、素子基板10の変形を抑制できるほどの厚みが端子16の周辺部に得られる。さらに、図に示すように、穴部31の形状を第1の実施形態のようにすることにより端子16の周囲には厚みがより得られ、素子基板10に変形をより抑制することができる。なお、説明の都合上、図10には配線層11を一層のみ設けているが、複数の配線層がエネルギー発生素子1と端子16との間に形成されていてもよい。
本発明の第5の実施形態について、図11から図14を参照しながら説明する。第1の実施形態と同様の構成については同一の符号を付し、説明を省略する。図11は、図4に示す方向Aから本実施形態に係る素子基板10を見たときの概略図である。図12は、図11に示すz-z断面における素子基板10を示す概略図である。図13と図14は図12の変形例を示す図で夫々梁の形状が異なる。図12から図14に示すように、本実施形態の特徴部は、穴部31における電気接続部材32の配列方向の中央部に梁41を設けていることである。図12に示す梁は直方体形状であり、高さが250μm、幅が600μmである。図13に示す梁は直方体を2つ重ねたような形状であり、1段目の直方体の高さは250μm、幅は900μmである。2段目の直方体の高さは400μm、幅は300μmである。図14に示す梁はテーパ形状である。
第6の実施形態に係る液体吐出ヘッドについて、図15を参照しながら説明する。第1の実施形態と同様の構成については同一の符号を付し、説明を省略する。本実施形態の特徴部は、吐出口形成部材3の吐出口4が設けられる吐出口面15と当接するように、固定部材110に素子基板10を取り付けたことである。図15(a)は、図2(b)に示すY―Y断面で本実施形態に係る素子基板10を見たときの一部を示す概略図である。図15(b)は、固定部材110に取り付けられた複数の素子基板10および固定部材110を、素子基板10の裏面側から見た概略図である。図15(b)に示すように固定部材110は素子基板10を露出するための開口部を備える枠体形状をしており、接着剤を用いて枠体の内面側と素子基板10とを固定している。
本発明に対する比較例について、図16を参照しながら説明する。第1の実施形態と同様の構成については同一の符号を付し、説明を省略する。図16は、比較例に係る素子基板を図2(b)に示すY―Y断面で見たときの概略図である。第1の実施形態と異なる点は、最上面8の開口面積のまま底部7まで穴部31が形成されていることである。本比較例においては、穴部31の開口幅は最上面8から底部7まで800μmである。このような穴部31が基体部2に形成されると、端子16周辺は吐出口形成部材3しか形成されていない状態となり、素子基板10は正常な素子基板としての形状を維持できるほどの十分な厚みが得られない。このことにより、穴部31の端部を起点に素子基板が変形してしまう場合がある。
4 吐出口
6 液体吐出ヘッド
16 端子
31 穴部
32 電気接続部材
Claims (22)
- 液体を吐出する吐出口と、該吐出口から液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子及び該エネルギー発生素子と電気的に接続されている端子とを備える基体部と、を含む素子基板と、
前記端子と接続され、前記エネルギー発生素子を駆動するための電力を前記素子基板の外部から前記エネルギー発生素子に供給する電気接続部材と、
を備える液体吐出ヘッドであって、
前記基体部には、前記エネルギー発生素子が設けられる第1の面の裏面である第2の面から該第1の面に向かって穴部が形成され、該穴部の底部には前記端子が設けられており、
前記穴部の深さ方向と直交する方向において、前記第2の面における前記穴部の面積は、前記底部における前記穴部の面積よりも大きく、
前記素子基板は前記吐出口を備える吐出口形成部材を有し、該吐出口形成部材の前記吐出口が設けられる吐出口面には固定部材が設けられており、
前記吐出口面に垂直な方向から見た際に、前記固定部材は、前記穴部と重なる位置に配置されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。 - 前記穴部は、前記直交する方向における面積において、異なる大きさの部位を3つ以上有することを特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記直交する方向における前記穴部の面積は、前記第2の面に向かって徐々に大きくなることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記エネルギー発生素子に電力を供給するための配線を備える電気配線部材をさらに備え、
前記電気接続部材は、前記配線と前記端子とを電気的に接続するワイヤ部材であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。 - 前記エネルギー発生素子に電力を供給するための配線を備える電気配線部材をさらに備え、
前記電気接続部材は、前記電気配線部材の端部から前記配線が外方に延伸するフライングリードであることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。 - 前記穴部の前記底部には複数の前記端子が形成され、該複数の端子のそれぞれは複数の前記電気接続部材と接続されていることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記穴部の前記底部に梁が形成されていることを特徴とする請求項6に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記梁の形状が直方体であることを特徴とする請求項7に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記穴部の深さ方向と直交する方向における前記梁の面積において、前記第1の面側の面積は前記第2の面側の面積よりも大きいことを特徴とする請求項7に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記梁は前記第1の面に向かって該梁の前記直交する方向における面積が徐々に大きくなるテーパ形状であることを特徴とする請求項7に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記梁は前記穴部の中央部に形成されていることを特徴とする請求項9に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記穴部の底部における前記端子と前記電気接続部材との接続部は、封止部材により封止されていることを特徴とする請求項1乃至請求項11のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記穴部は前記第2の面から前記第1の面まで形成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項12のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
- 被記録媒体の幅に対応したページワイド型ヘッドであることを特徴とする請求項1乃至請求項13のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
- 複数の前記素子基板を備え、該複数の素子基板は液体吐出ヘッドの長手方向に千鳥状に配置されていることを特徴とする請求項14に記載の液体吐出ヘッド。
- 複数の前記素子基板を備え、該複数の素子基板は液体吐出ヘッドの長手方向に直線状に配置されていることを特徴とする請求項14に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記素子基板は、略平行四辺形状であることを特徴とする請求項16に記載の液体吐出ヘッド。
- 液体を吐出する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
液体を吐出する吐出口と、該吐出口から液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子及び該エネルギー発生素子と電気的に接続されている端子とを備える基体部と、を含む素子基板を用意する工程と、
前記エネルギー発生素子が設けられる第1の面の裏面である第2の面から該第1の面に向かってエッチングを行うことにより前記基体部に穴部を形成する工程と、
前記穴部の内部にツールを挿入し、電気接続部材を前記穴部の底部に設けられる前記端子に電気的に接続する工程と、
前記素子基板は前記吐出口を備える吐出口形成部材を有し、該吐出口形成部材の前記吐出口が設けられる吐出口面に固定部材を設ける工程と、
を有し、
前記穴部を形成する工程によって形成される穴部は、該穴部の深さ方向と直交する方向において、前記第2の面における前記穴部の面積が前記底部における前記穴部の面積よりも大きく、
前記吐出口面に垂直な方向から見た際に、前記固定部材は、前記穴部と重なる位置に配置することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記穴部の内部に封止部材を注入し、前記端子と前記電気接続部材との接続部を封止部材で覆う工程を有することを特徴とする請求項18に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記穴部を形成する工程は反応性イオンエッチングによることを特徴とする請求項18又は請求項19に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記反応性イオンエッチングは2回行い、1回目に行われる該反応性イオンエッチングにより形成される前記穴部の前記面積よりも2回目により形成される前記穴部の前記面積の方が大きいことを特徴とする請求項20に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記穴部を形成する工程は異方性ウエットエッチングによることを特徴とする請求項18又は請求項19に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
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