JP6185969B2 - シリアル制御された資源を使用して装置を検査するための方法及び装置 - Google Patents
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Description
[0001] 本発明の実施形態は、一般に、半導体装置の検査のためのウェーハプローブカードに関し、より具体的には、ウェーハプローブカードの性能を高めることに関する。
[0002] 検査は、使用のための半導体装置の製造における重要な過程である。通常、部分的又は完全に完成された半導体装置は、被検査装置(DUT)とも呼ばれる検査されるべき装置の上面に配置された端子を、例えば、プローブカードアセンブリに含まれる、検査システムの一部としての弾性接触要素に接触させることによって検査される。検査システムコントローラは、一連の検査チャンネル上でDUTへの及びDUTからの検査信号を送受信するようプローブカードアセンブリに接続されうる。検査システムコントローラは、チャネルの数を増やすこと、それゆえ、並行して検査されることができる装置の数(マルチサイト検査と呼ばれることもある。)を増やすよう発展してきた。残念なことに、ウェーハごとのDUTの数は、一般的に、検査システムコントローラの発展を追い越してきた。従来、利用可能なチャネルは、通常、1つのウェーハ上の全てのDUTを同時に検査するためには十分ではない。
Claims (6)
- それぞれ少なくとも1つの検査制御信号を提供する少なくとも1つのシリアル制御回線と、チェーンを形成するよう連続して接続された複数の集積回路(IC)と、を備えるプローブアセンブリであって、
前記チェーンが、前記少なくとも1つのシリアル制御回線に接続され、
前記複数のICが、前記少なくとも1つの検査制御信号に応答して検査資源と検査プローブとの間の検査信号を選択的に通信し、
前記少なくとも1つのシリアル制御回線が、第1の検査制御信号を提供する第1のシリアル制御回線と、第2の検査制御信号を提供する第2のシリアル制御回線と、を有し、
前記複数のICにおける前記検査資源が、前記第1の検査制御信号に応答する第1の検査資源チェーンと、前記第2の検査制御信号に応答する第2の検査資源チェーンと、を有し、
前記第1の検査資源チェーンが、デジタル資源を含み、前記第2の検査資源チェーンが、電力資源及びアナログ資源の少なくとも一方を含む、プローブカードアセンブリ。 - 前記複数のICのそれぞれが、少なくとも1つの制御グループを備え、それぞれが、
前記少なくとも1つの検査制御信号の検査制御信号のビットを格納するよう構成されたシフトレジスタと、
前記シフトレジスタに接続され、前記ビットに応答して複数の前記検査信号の少なくとも1つのソース又はシンクを提供するよう構成された複数の前記検査資源と、
を含む、請求項1に記載のプローブカードアセンブリ。 - 少なくとも1つの前記複数の検査資源が、少なくとも1つの前記ビットに応答して、それぞれ少なくとも1つの前記複数の検査信号を生成するよう構成された、請求項2に記載のプローブカードアセンブリ。
- 少なくとも1つの前記複数の検査資源が、少なくとも1つの前記ビットに応答して、それぞれ少なくとも1つの前記複数の検査信号を切り替えるよう構成された、請求項2に記載のプローブカードアセンブリ。
- 検査システムコントローラへ接続するためのコネクタと前記検査システムコントローラからのそれぞれ少なくとも1つの検査制御信号を提供する少なくとも1つのシリアル制御回線とを含むプリント配線基板と、検査プローブと前記少なくとも1つのシリアル制御回線に接続された少なくとも1つの集積回路(IC)を支持するプローブヘッドと、を備える検査アセンブリであって、
前記少なくとも1つのICが、前記少なくとも1つの検査制御信号に反応して、検査資源と検査プローブとの間の検査信号を選択的に通信し、
前記少なくとも1つのシリアル制御回線が、第1の検査制御信号を提供する第1のシリアル制御回線と、第2の検査制御信号を提供する第2のシリアル制御回線と、を有し、
前記少なくとも1つのICにおける前記検査資源が、前記第1の検査制御信号に応答する第1の検査資源チェーンと、前記第2の検査信号に応答する第2の検査資源チェーンと、を有し、
前記第1の検査資源チェーンが、デジタル資源を含み、前記第2の検査資源チェーンが、電力資源及びアナログ資源の少なくとも一方を含む、検査アセンブリ。 - 前記少なくとも1つのICが、チェーンを形成するよう連続して接続された複数のICを含み、前記チェーンが前記少なくとも1つのシリアル制御回線に接続される、請求項5に記載の検査アセンブリ。
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