JP6180891B2 - Si含有リン酸系廃液からSiを除去又は低減する方法 - Google Patents
Si含有リン酸系廃液からSiを除去又は低減する方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6180891B2 JP6180891B2 JP2013233650A JP2013233650A JP6180891B2 JP 6180891 B2 JP6180891 B2 JP 6180891B2 JP 2013233650 A JP2013233650 A JP 2013233650A JP 2013233650 A JP2013233650 A JP 2013233650A JP 6180891 B2 JP6180891 B2 JP 6180891B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- phosphoric acid
- liquid
- phosphate
- waste liquid
- content
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Description
・リン酸及びSiを含む廃液
・リン酸、硫酸及びSiを含む混酸廃液
・リン酸、硝酸及びSiを含む混酸廃液
などが挙げられる。即ち、前記廃液は、リン酸を除く他の酸をさらに含有したものであってもよい。
半導体製造工場から排出されたリン酸系廃液(リン酸及びSiを含む廃水;液の密度とSi含有率は表1に示す)100gおよびリン酸カルシウム(Ca3(PO4)2)5.0gを混合槽2に投入した後、撹拌翼で撹拌混合を24時間行うことによって、混合液を得た(図1参照)。混合槽中の液全体に対してリン酸カルシウム含有率(濃度)は4.8質量%であった。
リン酸カルシウムに代えて、リン酸カリウム(K3PO4)を用いた以外は、実施例1と同様にして、リン酸系廃液からSi含有率が低減されたリン酸含有液を回収した。
リン酸カルシウムに代えて、リン酸水素マグネシウム(MgHPO4)を用いた以外は、実施例1と同様にして、リン酸系廃液からSi含有率が低減されたリン酸含有液を回収した。
リン酸カルシウムに代えて、リン酸水素ナトリウム(Na2HPO4)を用いた以外は、実施例1と同様にして、リン酸系廃液からSi含有率が低減されたリン酸含有液を回収した。
リン酸カルシウムに代えて、リン酸アルミニウム(AlPO4)を用いた以外は、実施例1と同様にして、リン酸系廃液からSi含有率が低減されたリン酸含有液を回収した。
半導体製造工場から排出されたリン酸系廃液(リン酸及びSiを含む廃水;Si含有率は表2に示す)100gおよびリン酸カルシウム(Ca3(PO4)2)0.30gを混合槽2に投入した後、撹拌翼で撹拌混合を24時間行うことによって、混合液を得た(図1参照)。なお、混合槽中の液全体に対してリン酸カルシウム含有率(濃度)は0.30質量%であった。
リン酸カルシウム(Ca3(PO4)2)の混合槽2への投入量を0.50gに設定した(混合槽中の液全体に対してリン酸カルシウム含有率を0.50質量%とした)以外は、実施例6と同様にして、リン酸系廃液からSi含有率が低減されたリン酸含有液を回収した。
リン酸カルシウム(Ca3(PO4)2)の混合槽2への投入量を0.70gに設定した(混合槽中の液全体に対してリン酸カルシウム含有率を0.70質量%とした)以外は、実施例6と同様にして、リン酸系廃液からSi含有率が低減されたリン酸含有液を回収した。
リン酸カルシウム(Ca3(PO4)2)の混合槽2への投入量を1.0gに設定した(混合槽中の液全体に対してリン酸カルシウム含有率を1.0質量%とした)以外は、実施例6と同様にして、リン酸系廃液からSi含有率が低減されたリン酸含有液を回収した。
リン酸カルシウム(Ca3(PO4)2)の混合槽2への投入量を3.0gに設定した(混合槽中の液全体に対してリン酸カルシウム含有率を2.9質量%とした)以外は、実施例6と同様にして、リン酸系廃液からSi含有率が低減されたリン酸含有液を回収した。
3…固液分離機
Claims (4)
- リン酸及びSiを含む廃液に、リン酸塩を添加した後、該リン酸塩の添加により生じる沈殿物を除去することにより、Siが除去された又はSi含有率が低減されたリン酸含有液を得る沈殿物除去工程を含むことを特徴とするSi含有リン酸系廃液からSiを除去又は低減する方法。
- 前記リン酸塩として、リン酸カルシウム、リン酸カリウム、リン酸水素マグネシウム、リン酸水素ナトリウム及びリン酸アルミニウムからなる群より選ばれる1種又は2種以上のリン酸塩を用いる請求項1に記載のSi含有リン酸系廃液からSiを除去又は低減する方法。
- 前記リン酸塩としてリン酸カルシウムを用いる請求項1に記載のSi含有リン酸系廃液からSiを除去又は低減する方法。
- 前記廃液にリン酸塩を添加してなる液におけるリン酸塩の含有割合が0.1質量%〜10質量%である請求項1〜3のいずれか1項に記載のSi含有リン酸系廃液からSiを除去又は低減する方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013233650A JP6180891B2 (ja) | 2013-11-12 | 2013-11-12 | Si含有リン酸系廃液からSiを除去又は低減する方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013233650A JP6180891B2 (ja) | 2013-11-12 | 2013-11-12 | Si含有リン酸系廃液からSiを除去又は低減する方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015093235A JP2015093235A (ja) | 2015-05-18 |
JP6180891B2 true JP6180891B2 (ja) | 2017-08-16 |
Family
ID=53196021
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013233650A Active JP6180891B2 (ja) | 2013-11-12 | 2013-11-12 | Si含有リン酸系廃液からSiを除去又は低減する方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6180891B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7224117B2 (ja) * | 2018-06-15 | 2023-02-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置および処理液再利用方法 |
JP7126927B2 (ja) * | 2018-11-16 | 2022-08-29 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置および基板処理方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4605754B2 (ja) * | 2004-06-11 | 2011-01-05 | 株式会社 エー・イー・エル | 珪素含有廃水の処理方法、並びにその生成物を用いた難燃性断熱材および難燃性積層物 |
TW200900540A (en) * | 2006-12-19 | 2009-01-01 | Nagase Chemtex Corp | Method for reuse of phosphoric acid-containing metal etchant or phosphoric acid |
US7704470B2 (en) * | 2007-04-24 | 2010-04-27 | Haydock Consulting Services, Lc | Removal of contaminants from by-product acids |
JP4855330B2 (ja) * | 2007-05-08 | 2012-01-18 | 日本バルカー工業株式会社 | リン酸含有処理液の再生方法 |
TWI452620B (zh) * | 2007-08-20 | 2014-09-11 | Chemical Art Technology Inc | Etching apparatus and etching apparatus |
MY166203A (en) * | 2009-03-31 | 2018-06-14 | Kurita Water Ind Ltd | Apparatus and method for treating etching solution |
JP5829444B2 (ja) * | 2011-07-08 | 2015-12-09 | 株式会社Screenホールディングス | リン酸再生方法、リン酸再生装置および基板処理システム |
CN103813987B (zh) * | 2011-09-21 | 2018-01-19 | 奥斯特拉营养康复技术有限公司 | 含磷酸盐的废水的处理以及氟硅酸盐和磷酸盐的回收 |
-
2013
- 2013-11-12 JP JP2013233650A patent/JP6180891B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015093235A (ja) | 2015-05-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2012505814A5 (ja) | ||
CN109891006B (zh) | 用于处理包含硫酸锂和硫酸的水性组合物的方法 | |
JP2012505814A (ja) | 高純度リン酸の製造プロセス | |
CN102452700A (zh) | 水性含油溶液的处理方法及处理系统 | |
CA2826462C (en) | Methods and compositions for chemical drying and producing struvite | |
JP6180891B2 (ja) | Si含有リン酸系廃液からSiを除去又は低減する方法 | |
KR20190039212A (ko) | 판매 가능한 리튬 제품의 생산용 및 인산 리튬의 생산에 재-사용을 위한 인의 회수용 공급 원료로서 적합한 저-인산 리튬 용액으로의 인산 리튬의 전환 방법 | |
JP2018065125A (ja) | ホウ素含有水の処理方法 | |
RU2471011C1 (ru) | Способ извлечения редкоземельных металлов из фосфогипса | |
US9834825B2 (en) | Method for collecting silver ions and phosphoric acid in waste fluid | |
US10011891B2 (en) | Methods for concentrating rare-earth metals in phosphogypsum and removing thereof from wet process phosphoric acid | |
US10041147B2 (en) | Method for recovering rare earth metals from solid minerals and/or by-products of solid mineral processing | |
CN107827113A (zh) | 一种工业磷酸一铵中和渣浆中氟的回收方法 | |
JP2008195558A (ja) | 資源回収方法 | |
JP6337708B2 (ja) | ニッケルスラッジからのニッケルの分離方法 | |
CN106564970A (zh) | 处理包含磷酸的酸性废水的方法 | |
Kherfan | Extraction of cadmium from phosphoric acid by trioctylphosphine oxide/kerosene solvent using factorial design | |
JP6129533B2 (ja) | 廃水の処理方法及び廃水処理装置 | |
JP2011092929A (ja) | 混酸廃液の処理方法 | |
JP5452525B2 (ja) | リン成分含有廃液のリサイクル方法および液状肥料の製造方法 | |
JP2004284908A (ja) | 亜リン酸含有めっき廃液からリン酸カルシウム、或いはリン酸マグネシウムを分離回収する方法。 | |
JP6023623B2 (ja) | ガリウムの回収方法 | |
JP7477995B2 (ja) | 廃液の処理方法 | |
JP2015136641A (ja) | リン酸廃液の処理方法及び処理装置 | |
JP2010064003A (ja) | 廃水中のフッ素及びリン濃度の減少させる方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160908 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170614 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170627 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170719 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6180891 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R3D02 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |