JP6178521B2 - 希土類薄膜磁石及びその製造方法 - Google Patents
希土類薄膜磁石及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6178521B2 JP6178521B2 JP2016556505A JP2016556505A JP6178521B2 JP 6178521 B2 JP6178521 B2 JP 6178521B2 JP 2016556505 A JP2016556505 A JP 2016556505A JP 2016556505 A JP2016556505 A JP 2016556505A JP 6178521 B2 JP6178521 B2 JP 6178521B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- rare earth
- earth thin
- film
- magnet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/28—Vacuum evaporation by wave energy or particle radiation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/14—Metallic material, boron or silicon
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/58—After-treatment
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/58—After-treatment
- C23C14/5806—Thermal treatment
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F1/00—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties
- H01F1/01—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials
- H01F1/03—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity
- H01F1/032—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of hard-magnetic materials
- H01F1/04—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of hard-magnetic materials metals or alloys
- H01F1/047—Alloys characterised by their composition
- H01F1/053—Alloys characterised by their composition containing rare earth metals
- H01F1/055—Alloys characterised by their composition containing rare earth metals and magnetic transition metals, e.g. SmCo5
- H01F1/057—Alloys characterised by their composition containing rare earth metals and magnetic transition metals, e.g. SmCo5 and IIIa elements, e.g. Nd2Fe14B
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F10/00—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure
- H01F10/08—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers
- H01F10/10—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers characterised by the composition
- H01F10/12—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers characterised by the composition being metals or alloys
- H01F10/126—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers characterised by the composition being metals or alloys containing rare earth metals
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F10/00—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure
- H01F10/08—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers
- H01F10/10—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers characterised by the composition
- H01F10/12—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers characterised by the composition being metals or alloys
- H01F10/14—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers characterised by the composition being metals or alloys containing iron or nickel
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F41/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
- H01F41/02—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F41/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
- H01F41/14—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying magnetic films to substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F41/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
- H01F41/14—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying magnetic films to substrates
- H01F41/20—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying magnetic films to substrates by evaporation
- H01F41/205—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying magnetic films to substrates by evaporation by laser ablation, e.g. pulsed laser deposition [PLD]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F41/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
- H01F41/32—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying conductive, insulating or magnetic material on a magnetic film, specially adapted for a thin magnetic film
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Hard Magnetic Materials (AREA)
- Manufacturing Cores, Coils, And Magnets (AREA)
Description
一方でシリコン(Si)半導体を基礎としたリソグラフィー技術を有効に活用するために、MEMS用のマイクロ磁気デバイス等のマイクロアクチュエータなどを作製する際には、汎用性のあるSi基板上にNd−Fe−B膜を安定して形成することが強く要望される。
1)Si基板上に成膜したNd−Fe−Bからなる希土類薄膜磁石であって、前記希土類薄膜の膜厚が70μm以下の場合、Nd含有量が原子数比で0.15≦Nd/(Nd+Fe)≦0.25の条件式を満たし、前記希土類薄膜の膜厚が70μm〜115μm(但し、70μmは除く)の場合、Nd含有量が原子数比で0.18≦Nd/(Nd+Fe)≦0.25の条件式を満たし、前記希土類薄膜の膜厚が115μm〜160μm(但し、115μmは除く)の場合、Nd含有量が原子数比で0.20≦Nd/(Nd+Fe)≦0.25の条件式を満たすことを特徴とする希土類薄膜磁石。
2)保磁力が1000kA/m以上であることを特徴とする上記1)記載の希土類薄膜磁石。
3)残留磁化が0.4T以上であることを特徴とする上記1)又は2)記載の希土類薄膜磁石。
4)最大エネルギー積が40kJ/m3以上であることを特徴とする上記1)〜3)のいずれか一に記載の希土類薄膜磁石。
5)上記1)〜4)のいずれか一に記載の希土類薄膜磁石を製造する方法であって、パルスレーザーデポジション法により希土類薄膜を成膜する工程、成膜した希土類薄膜を熱処理して結晶化させる工程、結晶化した希土類薄膜を着磁して希土類薄膜磁石を作製する工程、とからなることを特徴とする希土類薄膜磁石の製造方法。
6)希土類薄膜を成膜する工程において、パルスレーザー強度密度を0.1〜100J/cm2することを特徴とする上記5)に記載の希土類薄膜磁石の製造方法。
7)希土類薄膜を結晶化させる工程において、定格出力2〜10kW、最大出力の保持時間1〜3秒の条件で、パルス熱処理することを特徴とする上記4)〜6)のいずれか一に記載の希土類薄膜磁石の製造方法。
このようなことから、本発明者らは、図2に示すように、Ndの熱膨張係数が、Nd2Fe14BとTaの中間にあることに着目して、化学量論組成よりもNd含有量の多いNd−Fe−B膜をシリコン基板上に直接成膜することで、Si基板とNd−Fe―B膜の熱膨張率の差を軽減し、Nd−Fe−B膜の剥離やSi基板の破壊を回避できるとの知見を得た。
図4に示すように、希土類薄膜磁石中のNd含有量の増加に伴い、保磁力は増加する傾向にあり、良好な磁気特性が得られることが分かる。これはNd含有量が増加するにしたがって非磁性であるNdリッチ相の体積が増加するため、Nd2Fe14B結晶粒の磁気的分断が起こり、保磁力が増加したためと考えられる。
まず、Nd2.6Fe14B組成のターゲットをパルスレーザーデポジション装置に装着する。次に、チャンバー内を真空度が2〜8×10−5Paとなるまで排気した後、前記ターゲットに集光レンズを通してレーザーを照射する。レーザーには、Nd:YAGレーザー(発振波長:355nm、繰り返し周波数30Hz)を使用することができる。
レーザーの強度密度は 0.1〜100J/cm2とするのが好ましい。レーザー強度密度が0.1J/cm2未満であると、レーザーがターゲットに照射した際、ドロップレットが大量発生して密度の低下、ひいては磁気特性の劣化が生じることがある。一方、100J/cm2を超えると、レーザー照射によるターゲットのエッチングが著しく生じ,アブレーション現象が停止するなどの好ましくない現象が生じることがある。
ここで、熱処理が十分施されないと、膜中のNd−Fe−B系アモルファス相の結晶化が十分でなく、アモルファス相が多く残存することがあり、一方、過度の熱処理は、Nd2Fe14B結晶粒が粗大化して、磁気特性は劣化することがある。したがって、パルス熱処理の条件は上記の範囲で行うのが好ましい。なお、パルス熱処理は、赤外線を極短時間で照射することで、試料の瞬時の結晶化を促し、結晶粒の微細化を実現することができる。
純度99.9%(3N)、相対密度99%のNd3.0Fe14Bターゲットをパルスレーザーデポジション装置に装着した。次に、チャンバー内を真空に排気して、10−5Paの真空度に到達したことを確認後、約11rpmで回転させたターゲットに繰り返し周波数30HzのNd:YAGレーザー(発振波長:355nm)を照射しターゲット物質をアブレーションした。このときターゲットと基板との距離を10mmとして、ターゲット表面でのレーザー強度密度を4J/cm2程度とした。基板には厚さ622μmの5mm角の(100)単結晶Siを用いた。このようにしてSi基板上にNd含有量が原子数比でNd/(Nd+Fe)=0.18のNd−Fe−Bアモルファス膜を厚さ113μm成膜した。なお、膜厚評価にはマイクロメーターを使用し、組成分析にはEDX(Energy Dispersive X-ray spectroscopy)を用いた。
その後、磁界7Tでパルス着磁を施して希土類薄膜磁石を作製した。Nd−Fe−B膜の剥離性を調べるために、ダイシングによる切削加工を検討した。ダイシング加工は
図7に示すように、5×5mm角の試料を、2.5×2.5mmへと四分割するように行った。但し、加工にあたっては、エアブロウとアルコール浸漬を利用し、加工後に水分が残らないように留意した。ダイシング加工後の試料の写真を図8に示す。Ta歪緩衝層を利用したNd−Fe−B系薄膜磁石の場合には、ダイシング加工の際に、機械的破損が生じたのに対して、歪緩衝層を施すことなくSi基板上に直接成膜することで、ダイシング後も機械的破損することなく加工することが可能となった。
次に、図9にダイシング前後の試料についてVSM(Vibrating Sample Magnetometer)による磁気特性測定結果に示す。点線がダイシング前、実線がダイシング後の特性を示す。ダイシング前は、保磁力:(iHc)は1163kA/m、残留磁化(Br)は0.50T、最大エネルギー積:(BH)maxは41.9kJ/m3に対して、ダイシング後は、保磁力:(iHc)は1144kA/m、残留磁化(Br)は0.55T、最大エネルギー積:(BH)maxは53.1kJ/m3となり、加工による磁気特性の著しい劣化は観察されなかった。
純度99.9%(3N)、相対密度99%のNd2.6Fe14Bターゲットをパルスレーザーデポジション装置に装着した。次に、実施例1と同様の条件で、ターゲット物質をアブレーションした。このようにしてSi基板上にNd含有量が原子数比でNd/(Nd+Fe)=0.15のNd−Fe−Bアモルファス膜を厚さ67μm成膜した。なお、膜厚評価にはマイクロメーターを使用し、組成分析にはEDX(Energy Dispersive X-ray spectroscopy)を用いた。
次に、定格出力8kW、最大出力の保持時間約3秒にて、パルス熱処理(熱処理温度:約500〜800 ℃)を行って、Nd−Fe−B系アモルファス相を結晶化させた。その後、磁界7Tでパルス着磁を施して、希土類薄膜磁石を作製した。その後、実施例1と同様なダイシング加工を行ったが、機械的破損は認められなかった。この希土類薄膜磁石について、VSM(Vibrating Sample Magnetometer)を用いて、磁気特性を評価した結果、保磁力:(iHc)は1144kA/m、残留磁化(Br)は0.55T、最大エネルギー積:(BH)maxは53.0kJ/m3と、良好な結果が得られた。
純度99.9%(3N)、相対密度99%のNd3.5Fe14Bターゲットをパルスレーザーデポジション装置に装着した。次に、実施例1と同様の条件で、ターゲット物質をアブレーションした。このようにしてSi基板上にNd含有量が原子数比でNd/(Nd+Fe)=0.23のNd−Fe−Bアモルファス膜を厚さ160μm成膜した。なお、膜厚評価にはマイクロメーターを使用し、組成分析にはEDX(Energy Dispersive X-ray spectroscopy)を用いた。
次に、定格出力8kW、最大出力の保持時間約3秒にて、パルス熱処理(熱処理温度:約500〜800 ℃)を行って、Nd−Fe−B系アモルファス相を結晶化させた。その後、磁界7Tでパルス着磁を施して、希土類薄膜磁石を作製した。その後、実施例1と同様なダイシング加工を行ったが、機械的破損は認められなかった。この希土類薄膜磁石について、VSM(Vibrating Sample Magnetometer)を用いて、磁気特性を評価した結果、保磁力:(iHc)は1200kA/m、残留磁化(Br)は0.51T、最大エネルギー積:(BH)maxは44.0kJ/m3と、良好な結果が得られた。
純度99.9%(3N)、相対密度99%のNd2.0Fe14Bターゲットをパルスレーザーデポジション装置に装着した。次に、実施例1と同様の条件で、ターゲット物質をアブレーションした。このようにしてSi基板上にNd含有量が原子数比でNd/(Nd+Fe)=0.119のNd−Fe−Bアモルファス膜を厚さ67μm成膜した。なお、膜厚評価にはマイクロメーターを使用し、組成分析にはEDX(Energy Dispersive X-ray spectroscopy)を用いた。
次に、定格出力8kW、最大出力の保持時間約3秒にて、パルス熱処理(熱処理温度:約500〜800 ℃)を行って、Nd−Fe−B系アモルファス相を結晶化させた。熱処理後のNd−Fe−B膜(試料)の写真を図10に示す。膜厚67μmの場合は、Nd−Fe−B膜が化学量論組成であると、図10の通り、膜の剥離や基板の破壊が生じた。
純度99.9%(3N)、相対密度99%のNd2.8Fe14Bターゲットをパルスレーザーデポジション装置に装着した。次に、実施例1と同様の条件で、ターゲット物質をアブレーションした。このようにしてSi基板上にNd含有量が原子数比でNd/(Nd+Fe)=0.17のNd−Fe−Bアモルファス膜を厚さ110μm成膜した。なお、膜厚評価にはマイクロメーターを使用し、組成分析にはEDX(Energy Dispersive X-ray spectroscopy)を用いた。
次に、定格出力8kW、最大出力の保持時間約3秒にて、パルス熱処理(熱処理温度:約500〜800 ℃)を行って、Nd−Fe−B系アモルファス相を結晶化させた。膜厚110μmと比較的厚い膜の場合には、Nd含有量が若干多くても、膜に剥離や基板の破壊が生じた。
純度99.9%(3N)、相対密度99%のNd2.8Fe14Bターゲットをパルスレーザーデポジション装置に装着した。次に、実施例1と同様の条件で、ターゲット物質をアブレーションした。このようにしてSi基板上にNd含有量が原子数比でNd/(Nd+Fe)=0.19のNd−Fe−Bアモルファス膜を厚さ150μm成膜した。なお、膜厚評価にはマイクロメーターを使用し、組成分析にはEDX(Energy Dispersive X-ray spectroscopy)を用いた。
次に、定格出力8kW、最大出力の保持時間約3秒にて、パルス熱処理(熱処理温度:約500〜800 ℃)を行って、Nd−Fe−B系アモルファス相を結晶化させた。膜厚150μmと厚い膜の場合には、Nd含有量が若干多くても、膜に剥離や基板の破壊が生じた。
Claims (7)
- Si基板上に直接成膜したNd−Fe−Bからなる希土類薄膜磁石であって、前記希土類薄膜の膜厚が70μm以下の場合、Nd含有量が原子数比で0.15≦Nd/(Nd+Fe)≦0.25の条件式を満たし、前記希土類薄膜の膜厚が70μm〜115μm(但し、70μmは除く)の場合、Nd含有量が原子数比で0.18≦Nd/(Nd+Fe)≦0.25の条件式を満たし、前記希土類薄膜の膜厚が115μm〜160μm(但し、115μmは除く)の場合、Nd含有量が原子数比で0.20≦Nd/(Nd+Fe)≦0.25の条件式を満たすことを特徴とする希土類薄膜磁石。
- 保磁力が1000kA/m以上であることを特徴とする請求項1記載の希土類薄膜磁石。
- 残留磁化が0.4T以上であることを特徴とする請求項1又は2記載の希土類薄膜磁石。
- 最大エネルギー積が40kJ/m3以上であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の希土類薄膜磁石。
- 請求項1〜4のいずれか一項に記載の希土類薄膜磁石を製造する方法であって、パルスレーザーデポジション法により希土類薄膜を成膜する工程、成膜した希土類薄膜を熱処理して結晶化させる工程、結晶化した希土類薄膜を着磁して希土類薄膜磁石を作製する工程、とからなることを特徴とする希土類薄膜磁石の製造方法。
- 希土類薄膜を成膜する工程において、パルスレーザー強度密度を0.1〜100J/cm2とすることを特徴とする請求項5記載の希土類薄膜磁石の製造方法。
- 希土類薄膜を結晶化させる工程において、定格出力2〜10kW、最大出力の保持時間1〜3秒の条件で、パルス熱処理することを特徴とする請求項4〜6のいずれか一項に記載の希土類薄膜磁石の製造方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014218378 | 2014-10-27 | ||
JP2014218378 | 2014-10-27 | ||
PCT/JP2015/079420 WO2016067949A1 (ja) | 2014-10-27 | 2015-10-19 | 希土類薄膜磁石及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2016067949A1 JPWO2016067949A1 (ja) | 2017-04-27 |
JP6178521B2 true JP6178521B2 (ja) | 2017-08-09 |
Family
ID=55857290
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016556505A Active JP6178521B2 (ja) | 2014-10-27 | 2015-10-19 | 希土類薄膜磁石及びその製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10597771B2 (ja) |
JP (1) | JP6178521B2 (ja) |
KR (1) | KR101868763B1 (ja) |
WO (1) | WO2016067949A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5861246B2 (ja) | 2014-06-04 | 2016-02-16 | Jx日鉱日石金属株式会社 | 希土類薄膜磁石及びその製造方法並びに希土類薄膜磁石形成用ターゲット |
WO2017154653A1 (ja) * | 2016-03-07 | 2017-09-14 | Jx金属株式会社 | 希土類薄膜磁石及びその製造方法 |
US11072842B2 (en) | 2016-04-15 | 2021-07-27 | Jx Nippon Mining & Metals Corporation | Rare earth thin film magnet and method for producing same |
JP6776984B2 (ja) * | 2017-03-31 | 2020-10-28 | Tdk株式会社 | 永久磁石薄膜 |
DE102019114688A1 (de) | 2019-05-31 | 2020-12-03 | Bundesrepublik Deutschland, Vertreten Durch Das Bundesministerium Für Wirtschaft Und Energie, Dieses Vertreten Durch Den Präsidenten Der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt | Verfahren zum Herstellen eines Magnetmaßstabs und Magnetmaßstab |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3609872B2 (ja) | 1995-06-22 | 2005-01-12 | 日精エー・エス・ビー機械株式会社 | 射出装置のシリンダ温度調整装置 |
JP2003303708A (ja) * | 2002-04-09 | 2003-10-24 | Hitachi Metals Ltd | 希土類薄膜磁石 |
CN1954395B (zh) | 2004-03-23 | 2010-05-26 | 独立行政法人科学技术振兴机构 | R-Fe-B系薄膜磁铁及其制造方法 |
KR100826661B1 (ko) * | 2004-03-23 | 2008-05-02 | 도꾸리쯔교세이호징 가가꾸 기쥬쯔 신꼬 기꼬 | R-Fe-B계 박막자석 및 그 제조방법 |
JP2007088101A (ja) * | 2005-09-20 | 2007-04-05 | Nagoya Institute Of Technology | 希土類薄膜磁石の製造方法 |
JP4984070B2 (ja) * | 2007-10-05 | 2012-07-25 | 国立大学法人 長崎大学 | 成膜方法及び成膜装置 |
US8586410B2 (en) * | 2010-01-25 | 2013-11-19 | University Of Florida Research Foundation, Inc. | Enhanced magnetic self-assembly using integrated micromagnets |
EP2444985B1 (en) * | 2010-10-25 | 2018-07-11 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Production method of rare earth magnet |
JP5769059B2 (ja) | 2011-03-30 | 2015-08-26 | 日立金属株式会社 | 永久磁石薄膜用スパッタリングターゲット及びその製造方法 |
CN104321838B (zh) | 2012-02-23 | 2018-04-06 | 吉坤日矿日石金属株式会社 | 钕基稀土类永久磁铁及其制造方法 |
US20150047469A1 (en) | 2012-07-19 | 2015-02-19 | Jx Nippon Mining & Metals Corporation | Method for Recovering Rare Earth from Rare Earth Element-Containing Alloy |
WO2014115375A1 (ja) | 2013-01-28 | 2014-07-31 | Jx日鉱日石金属株式会社 | 希土類磁石用スパッタリングターゲット及びその製造方法 |
JP5861246B2 (ja) | 2014-06-04 | 2016-02-16 | Jx日鉱日石金属株式会社 | 希土類薄膜磁石及びその製造方法並びに希土類薄膜磁石形成用ターゲット |
US11072842B2 (en) * | 2016-04-15 | 2021-07-27 | Jx Nippon Mining & Metals Corporation | Rare earth thin film magnet and method for producing same |
DE102016215616B4 (de) * | 2016-08-19 | 2020-02-20 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren zum Herstellen einer magnetischen Struktur und Vorrichtung |
-
2015
- 2015-10-19 WO PCT/JP2015/079420 patent/WO2016067949A1/ja active Application Filing
- 2015-10-19 US US15/522,037 patent/US10597771B2/en active Active
- 2015-10-19 JP JP2016556505A patent/JP6178521B2/ja active Active
- 2015-10-19 KR KR1020177009863A patent/KR101868763B1/ko active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPWO2016067949A1 (ja) | 2017-04-27 |
KR20170060046A (ko) | 2017-05-31 |
KR101868763B1 (ko) | 2018-06-18 |
WO2016067949A1 (ja) | 2016-05-06 |
US20170356081A1 (en) | 2017-12-14 |
US10597771B2 (en) | 2020-03-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6178521B2 (ja) | 希土類薄膜磁石及びその製造方法 | |
Nakano et al. | Nd–Fe–B Film Magnets With Thickness Above 100${\mu}\text {m} $ Deposited on Si Substrates | |
TWI628294B (zh) | Rare earth thin film magnet, method for producing the same, and target for forming rare earth thin film magnet | |
KR101982998B1 (ko) | 희토류 박막 자석 및 그 제조 방법 | |
JP6353901B2 (ja) | 磁性材料 | |
JP4803398B2 (ja) | 積層型永久磁石 | |
WO2016104117A1 (ja) | 希土類薄膜磁石及びその製造方法 | |
JP6395969B2 (ja) | 希土類薄膜磁石及びその製造方法 | |
JP2018207054A (ja) | 希土類薄膜磁石及びその製造方法 | |
JP6208405B1 (ja) | 希土類薄膜磁石及びその製造方法 | |
JP2007088101A (ja) | 希土類薄膜磁石の製造方法 | |
JP5063855B2 (ja) | 異方性希土類−鉄系磁石膜の製造方法および超小型モータ | |
Kruusing | Nd–Fe–B films and microstructures | |
Nakano et al. | Application of PLD-Fabricated Thick-Film Permanent Magnets | |
Yamashita et al. | PLD-Fabricated Isotropic Pr–Fe–B Film Magnets Deposited on Glass Substrates | |
Sarantopoulou et al. | Fabrication of magnetic SmFe films by pulsed laser deposition at 157 nm | |
Nakano et al. | Nd–Fe–B Thick-Film Magnets Prepared by High Laser Energy Density | |
JP2004134416A (ja) | 永久磁石薄膜 | |
JP2017183319A (ja) | マンガンアルミニウム系磁石 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A529 | Written submission of copy of amendment under article 34 pct |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A5211 Effective date: 20161004 |
|
A80 | Written request to apply exceptions to lack of novelty of invention |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A801 Effective date: 20161004 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161017 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20161017 |
|
A80 | Written request to apply exceptions to lack of novelty of invention |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A80 Effective date: 20161004 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170711 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170713 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6178521 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |