JP6776984B2 - 永久磁石薄膜 - Google Patents
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Description
基板の表面に形成された磁性層からなる永久磁石薄膜であって、
前記基板の表面における算術平均粗さRaが0.50μm以上1000μm以下であり、
前記基板の表面における二乗平均平方根傾斜RΔqが0.50以上20以下であることを特徴とする。
前記凸部が前記基板の表面に沿って連続した形状であってもよい。
前記主相粒子の磁化容易軸と前記基板の表面に垂直な面直方向とがなす角をθとする場合に、θの平均値が30°以上90°以下であってもよい。
Rが一種以上の希土類元素、TがFeまたはFeおよびCoを必須とする一種以上の遷移金属元素、Bがホウ素であって、前記ホウ素の一部が炭素に置換されていてもよく、
R/Tが原子比率で0.18以上0.40以下であってもよい。
まず、基板としてポリイミド基板を準備した。次に、基板に対して表面加工を行うため、基板に対してペーパー仕上げを行い、多数の凸部を形成した。ペーパー仕上げは、粒度♯30のサンドペーパーを用いて、ペーパーベルト装置により合計280秒間行った。なお、凸部の向きがランダムな形状となるようにするため、20秒ごとにペーパー仕上げの方向を変化させ、表面加工方法の方向をランダムとした。
仕込み組成を表1に示す組成に変化させた点以外は、実施例1と同様に永久磁石薄膜を作製した。結果を表2に示す。
ペーパー仕上げに用いるサンドペーパーの粒度を表1に示す粒度に変化させた点以外は、実施例1と同様に永久磁石薄膜を作製した。結果を表2に示す。
ペーパー仕上げの合計時間を表1に示す通りにする以外は、実施例1と同様に永久磁石薄膜を作製した。結果を表2に示す。なお、合計時間が20の倍数秒ではない場合には、最後のペーパー仕上げ時間を短縮して合計時間を表1に記載の時間とした。
ペーパー仕上げの代わりにサンドブラストを行った点以外は、実施例1と同様に永久磁石薄膜を作製した。サンドブラストは、(新東工業株式会社:MY−30AP)により行った。サンドブラストにおける研磨材料は、ガラスビーズの#400(実施例8)、#80(実施例9)、および、#16(実施例10)を使用した。圧力0.6MPa程度の低圧ブラストで加工した後、純水洗浄を行った。結果を表2に示す。なお、サンドブラストを行う場合には、必然的に表面加工の方向がランダムとなり、凸部の向きがランダムとなる。
基板をポリイミド基板からAl基板に変更した。スパッタリング時の基板温度も表1に示す通りに変更した。その他の条件は実施例1と同様として永久磁石薄膜を作製した。結果を表2に示す。
仕込み組成のRをNdからPrに変更した点以外は、実施例1と同様として永久磁石薄膜を作製した。結果を表2に示す。
ペーパー仕上げについて、実施例1のようにペーパー仕上げの方向を20秒ごとに方向を変え、表面加工の方向をランダムとするのではなく、280秒間、単一の方向にペーパー仕上げを行い、単一方向のみに表面加工を行った。その他の条件は実施例1と同様として永久磁石薄膜を作製した。結果を表2に示す。なお、基板の表面における表面粗さの測定の際には、前記単一の方向と直角になる方向で、任意の10点の表面粗さを測定し、平均した。実施例14を観察すると、上記の実施例1〜13および比較例と異なり、図8に示すように基板の表面に沿って連続した直線形状となっており、かつ、各凸部の向きが単一方向に揃っていた。
実施例21〜39,比較例23および24は、実施例14と同様に単一方向のみにペーパー仕上げを行い、その他の条件を適宜制御した実施例および比較例である。結果を表3および表4に記載する。
1a 基板の表面
1b 凸部
2 磁性層
2a (R−T−B系)主相粒子
4 磁化容易軸方向
5 面直方向
7 磁界をかける方向
Claims (6)
- 基板の表面に形成された磁性層からなる永久磁石薄膜であって、
前記基板の表面における算術平均粗さRaが0.50μm以上1000μm以下であり、
前記基板の表面における二乗平均平方根傾斜RΔqが0.50以上20以下であることを特徴とする永久磁石薄膜。 - 前記二乗平均平方根傾斜RΔqが0.50以上3.0以下である請求項1に記載の永久磁石薄膜。
- 前記基板の表面には複数の凸部が形成してあり、
前記凸部が前記基板の表面に沿って連続した形状である請求項1または2に記載の永久磁石薄膜。 - 前記凸部が前記基板の表面に沿って連続した直線形状となっており、かつ、各凸部の向きが一方向に揃っている請求項3に記載の永久磁石薄膜。
- 前記磁性層が主相粒子を有し、
前記主相粒子の磁化容易軸と前記基板の表面に垂直な面直方向とがなす角をθとする場合に、θの平均値が30°以上90°以下である請求項1〜4のいずれかに記載の永久磁石薄膜。 - 前記永久磁石薄膜がR−T−B系永久磁石薄膜であって、
Rが一種以上の希土類元素、TがFeまたはFeおよびCoを必須とする一種以上の遷移金属元素、Bがホウ素であって、前記ホウ素の一部が炭素に置換されていてもよく、
R/Tが原子比率で0.18以上0.40以下である請求項1〜5のいずれかに記載の永久磁石薄膜。
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