JP6171489B2 - 搭載物の製造方法、連続搭載装置および搭載方法 - Google Patents

Description

本発明は、複数の部材が重ねて搭載されてなる搭載物を製造する方法、並びに、複数の部材を連続で搭載する装置および方法に関する。

薄板といった複数の部材を重ねて搭載する方法として、台に載せられた部材（以下、「搭載済部材」と称す）上に新たな部材（以下、「未搭載部材」と称す）を重ねる方法が提案されている（例えば特許文献１）。

この搭載方法では、未搭載部材が搭載済部材上に重ねられる際に、搭載済部材が台上を移動したり未搭載部材が搭載済部材上を移動したりし、未搭載部材の位置が搭載済部材の位置に対してずれることがある。この現象は「搭載ずれ」と呼ばれており、特許文献１では搭載ずれを抑制する方法が開示されている。特許文献１に開示の搭載方法について図７を用いて説明する。なお、本書の図において、搭載物を構成する部材はドットで塗られている。

まず、図７（ａ）に示されるように、第１および第２の部材１，２が用意される。第１の部材１は台３に載せられている。そして、第１および第２の押し付け手段（「クランプ」とも呼ばれる）４，５が第１の部材１を台３に押し付けている。具体的には、第１の部材１の縁のうち第１の部分に第１の押し付け手段４による力が作用しており、第１の部材１の縁のうち第１の部分とは反対側に位置する第２の部分に第２の押し付け手段５による力が作用している。

第２の部材２は、吸着手段６を用いて第１の部材１の上方に保持されている。吸着手段６は減圧装置（不図示）と接続されており、吸着手段６と第２の部材２とで形成された空間内を減圧装置が減圧することで第２の部材２が吸着手段６に所定の吸着力で吸着される。

図７（ｂ）に示されているように、吸着手段６が移動して第２の部材２が第１の部材１上へ重ねられる。このとき、吸着手段６が第１および第２の部材１，２を台３に押し付ける。

続いて、図７（ｃ）に示されるように第１および第２の押し付け手段４，５が第１の部材１から離れる。そして、図７（ｄ）に示されるように第１および第２の押し付け手段４，５が第２の部材２を介して第１の部材１を台３に押し付ける。

その後、吸着手段６による第２の部材２の吸着が解除され、吸着手段６は台３から離れる方向へ移動する（図７（ｅ）参照）。その結果、第２の部材２が第１の部材１上に残り、第１および第２の部材１，２が重ねて搭載されてなる搭載物が得られる。

特許文献１に開示の方法によれば、第２の部材２が第１の部材１上に重ねられる際、第１の部材１は第１および第２の押し付け手段４，５または吸着手段６を用いて台３に押し付けられる。したがって、第１の部材１が台３上を移動しにくい。また、吸着手段６が台３から離れる際、第２の部材２は吸着手段６を用いて台３に押し付けられている。したがって、第２の部材２は第１の部材１上を移動しにくい。

このように、第１の部材１が台３上を移動しにくく、かつ第２の部材２が第１の部材１上を移動しにくいので、第２の部材２が第１の部材１上の所定の位置に重ねられる。その結果、搭載ずれが抑制される。

しかしながら、特許文献１に開示の方法では、吸着手段６が第１および第２の部材１，２を台３に押し付けて第１および第２の押し付け手段４，５が第１の部材１，２から離れた後に、第１および第２の押し付け手段４，５が第２の部材２を台３に押し付ける。そのため、第２の部材２を第１の部材１上に重ねてから、吸着手段６による第２の部材２の吸着を解除するまでに、比較的長い時間が掛かるという問題があった。

このような問題を解決する技術が特許文献２に開示されている。図８は特許文献２に開示の方法を説明するための図である。なお、図７に示される構成要素と同一の構成要素には同一の符号を付し、その説明を省略する。

特許文献２に開示の方法では、まず、図８（ａ）に示されるように、第１の部材１が台３に載せられる。このとき、第１の押し付け手段４だけが第１の部材１を台３に押し付けており、第２の押し付け手段５は第１の部材１から離れている。

次に、図８（ｂ）に示されるように、吸着手段６が移動して第２の部材２が第１の部材１上へ移動する。続いて、図８（ｃ）に示されるように、第２の押し付け手段５が第２の部材２を介して第１の部材１を台３に押し付ける。

その後、吸着手段６による第２の部材２の吸着が解除され、吸着手段６は台３から離れる方向へ移動する（図８（ｄ）参照）。その結果、第２の部材２は第１の部材１上に残り、第１および第２の部材１，２が重ねて搭載されてなる搭載物が得られる。

特許文献２に開示の方法によれば、第２の部材２が第１の部材１上に重ねられる際には第２の押し付け手段５が第１の部材１から離れている。したがって、第２の部材２が第１の部材１上に重ねられた後、すぐさま第２の押し付け手段５が第２の部材２を台３に押し付けることができる。その結果、第２の部材２を第１の部材１上に重ねてから、吸着手段６による第２の部材２の吸着を解除するまで、の時間をより短くすることができる。

特開２０１２−２２１７１５号公報 特開２０１０−２１２０１８号公報

ところで、特許文献１，２に開示の方法では、第１および第２の押し付け手段４，５の押し付け力を受けて台３が歪むことがある。特許文献２に開示の方法では台３の歪みが搭載ずれを招く可能性があった。図９および１０を用いて搭載ずれの原因を詳述する。なお、図９および１０において、太矢印は、第１または第２の押し付け手段４，５により第１の部材１に作用する力を示している。

図９および１０に示されるように、第１または第２の押し付け手段４，５が第１の部材１を台３に押し付けると、台３の法線方向の力Ｆｎが第１の部材１に作用する。台３が歪んでいる場合、力Ｆｎは、第１の押し付け手段４から第２の押し付け手段５へ向かうＹ方向にも作用する（図９および１０に示される力Ｆｙ）。

特許文献１に開示の方法では、第１および第２の押し付け手段４，５が一緒に第１の部材１を台３に押し付けている（図７（ａ）および（ｂ）参照）。したがって、図９に示されるように、第１の押し付け手段４により生じるＦｙは第２の押し付け手段５により生じるＦｙによって相殺され、第１の部材１は台３上を移動しない。

しかしながら、特許文献２に開示の方法では、第１の押し付け手段４だけが第１の部材１を台３に押し付けるステップがある（図８（ａ）参照）。このステップでは、図１０に示されるように、第１の押し付け手段４により生じるＦｙだけが第１の部材１に作用する。したがって、第１の部材１が台３上を移動し、搭載ずれが起きてしまう。

特に、図８（ｃ）に示されるステップでは、吸着手段６と第２の部材２とは密着している。そのため、吸着手段６の吸着を解除しても、吸着手段６の移動時に負圧が発生し第２の部材２が動いてしまうことがある。

第２の部材２の動きに起因する搭載ずれの程度を抑制するため、第２の押し付け手段５は、比較的強い力で第２の部材２を台３に押し付けている必要がある。そして、第２の押し付け手段５により生じるＦｙを第１の押し付け手段４により生じるＦｙで相殺させるために、第１の押し付け手段４も比較的強い力で第１の部材１を台１３に押し付けなければならない。

第１の押し付け手段４の押し付け力がより強くなると、図８（ａ）に示されるステップにおいて第１の部材１に作用するＹ方向の力Ｆｙがより強くなる。その結果、第１の部材１が台３上をより移動しやすくなり、搭載ずれの程度がより大きくなる。

そこで、本発明の目的の一例は、搭載ずれの程度がより小さい搭載物をより短い時間で製造することができる製造方法を提供することにある。

また、本発明の他の目的は、より短い時間でかつより小さい程度の搭載ずれで複数の部材を搭載することができる連続搭載装置および搭載方法を提供することにある。

上記目的を達成するために、本発明の一つの態様は、それぞれ平面視で四角形の第１および第２の部材が重ねて搭載されてなる搭載物の製造方法に係る。この態様において、本発明は、台および吸着手段を用意する第１の工程と、第１の部材を台に押し付ける第２の工程と、吸着手段を用いて第２の部材を吸着して該第２の部材を第１の部材上に重ねる第３の工程と、第２の部材を台に押し付ける第４の工程と、第２の部材から吸着手段を引き離す第５の工程と、を含む。第１の工程で用意される吸着手段は、台上へ移動可能であり、かつ所定の吸着力で第２の部材を吸着可能である。第２の工程では、第１の部材が台に載せられ、第１の部材の縁のうち第１の部分が第１の強さの力で台に押し付けられる。第３の工程では、吸着手段が台上へ移動することで第２の部材が第１の部材上へ重ねられる。第４の工程では、第１の部材を押し付ける力の強さを、第１の強さから、該第１の強さよりも強い第２の強さに切り替えるとともに、第１の部材の縁のうち第１の部分とは反対側に位置する第２の部分が、第２の部材を介して第２の強さの力で台に押し付けられる。第５の工程では、吸着手段による第２の部材の吸着が解除されて吸着手段が移動することで第２の部材から吸着手段が引き離される。

本発明の他の態様は、それぞれ平面視で四角形の第１および第２の部材を台上に連続で搭載する装置に係る。この態様において、本発明は、吸着手段と、第１の押し付け手段と、第２の押し付け手段と、制御手段と、を備える。吸着手段は、台上へ移動可能であり、かつ第２の部材を吸着可能である。第１の押し付け手段は、第１の部材の縁のうち第１の部分を台に押し付け可能であり、かつ第１の部分を台に押し付ける力の強さを、第１の強さと、該第１の強さよりも強い第２の強さと、の間で切り替え可能である。第２の押し付け手段は、第１の部材の縁のうち第１の部分とは反対側に位置する第２の部分を第２の部材を介して第２の強さの力で台に押し付け可能である。制御手段は、吸着手段、第１および第２の押し付け手段の動作を制御する。そして、制御手段は、第１の押し付け手段に、第１の部材の第１の部分を第１の強さの力で台に対して押し付けさせ、吸着手段に第２の部材を吸着させるとともに吸着手段を台上へ移動させて第２の部材を第１の部材上へ重ね、第１の押し付け手段に第２の強さの力で第１の部分を台に対して押し付けさせるとともに、第２の押し付け手段に第２の部材を介して第２の部分を第２の強さの力で台に対して押し付けさせ、吸着手段による第２の部材の吸着を解除して吸着手段を移動させることで第２の部材から吸着手段を引き離すものである。

本発明の他の態様は、それぞれ平面視で四角形の第１および第２の部材を台上に重ねて搭載する方法に係る。この態様において、本発明は、吸着手段を用意する第１のステップと、第１の部材を台に押し付ける第２のステップと、吸着手段を用いて第２の部材を吸着して該第２の部材を第１の部材上に重ねる第３のステップと、第２の部材を台に押し付ける第４のステップと、第２の部材から吸着手段を引き離す第５のステップと、を含む。第１のステップで用意される吸着手段は、台上へ移動可能であり、かつ第２の部材を吸着可能である。第２のステップでは、第１の部材が台に載せられ、第１の部材の縁のうち第１の部分が第１の強さの力で台に押し付けられる。第３のステップでは、吸着手段が台上へ移動することで第２の部材が第１の部材上へ重ねられる。第４のステップでは、第１の部材を押し付ける力の強さを、第１の強さから、該第１の強さよりも強い第２の強さに切り替えるとともに、第１の部材の縁のうち第１の部分とは反対側に位置する第２の部分が、第２の部材を介して第２の強さの力で台に押し付けられる。第５のステップでは、吸着手段による第２の部材の吸着が解除されて吸着手段が移動することで第２の部材から吸着手段が引き離される。

本発明によれば、搭載ずれの程度がより小さい搭載物をより短い時間で製造することができる。また、より短い時間でかつより小さい程度の搭載ずれで複数の部材を搭載することができる。

本発明の実施形態に係る連続搭載装置の概略側面図である。 本発明の実施形態に係る連続搭載装置の動作を説明するための図である。 台が歪んでおり、かつ第１および第２の押し付け手段が第１の部材を第２の強さの力で台に押し付けているときの連続搭載装置の側面図である。 台が歪んでおり、かつ第１の押し付け手段のみが第１の部材を台に押し付けているときの連続搭載装置の側面図である。 台が歪んでおり、かつ第１の部材としての搭載物が比較的強い力で台に押し付けられているときの連続搭載装置の側面図である。 台が歪んでおり、かつ第１の部材としての搭載物が比較的弱い力で台に押し付けられているときの連続搭載装置の側面図である。 特許文献１に開示の搭載方法を説明するための図である。 特許文献２に開示の搭載方法を説明するための図である。 特許文献１に開示の搭載方法において、台が歪んでいる状態を説明するための図である。 特許文献２に開示の搭載方法において、台が歪んでいる状態を説明するための図である。

以下、本発明の実施形態に搭載物製造方法および連続搭載装置について、図面に基づいて詳細に説明する。

図１は、本実施形態に係る連続搭載装置の概略側面図である。図１に示すように、連続搭載装置７は、吸着手段８と、第１の押し付け手段９と、第２の押し付け手段１０と、を備える。

吸着手段８は第１の部材１１や第２の部材１２を所定の吸着力で吸着可能である。具体的には、吸着手段８は、凹部（不図示）を有する吸着部８ａと、吸着部８ａの凹部に接続された減圧装置（不図示）と、を備える。吸着手段８が第２の部材１２を吸着する際には、吸着部８ａの凹部が塞がれるように吸着部８ａが第２の部材１２へ押し付けられる。その後、減圧装置が吸着部８ａの凹部内を減圧することで第２の部材１２が吸着部８ａに吸着される。

なお、吸着手段８はこのような形態に限られない。第１および第２の部材１１，１２が磁性体から形成されている場合には、吸着手段８は磁力を用いて第１および第２の部材１１，１２を吸着する形態であってもよい。

また、吸着手段８は、台１３の、第１の部材１１が載せられる面と交わるＸ方向および当該面に沿ったＹ方向へ移動可能である。吸着手段８をＸ方向やＹ方向へ移動させる機構は、モータといった駆動源（不図示）を用いて実現される。

ここで、吸着手段８を用いて第１および第２の部材１１，１２を台１３上に重ねて搭載する方法について簡単に説明する。

まず、吸着手段８は第１の部材供給部１４上へ移動する。第１の部材供給部１４上には第１の部材１１が供給されており、吸着手段８は第１の部材供給部１４上で第１の部材１１を吸着する。その後、吸着手段８が第１の部材１１を吸着したまま台１３上へ移動することで、第１の部材１１が台１３に載せられる。

続いて、吸着手段８による第１の部材１１の吸着が解除され、吸着手段８は第２の部材供給部１５上へ移動する。このとき、吸着手段８による第１の部材１１の吸着が解除されているので、第１の部材１１は台１３に残る。

第２の部材供給部１５上には第２の部材１２が供給されており、吸着手段８は第２の部材供給部１５上で第２の部材１２を吸着する。台１３に載せられた第１の部材１１上へ吸着手段８が第２の部材１２を吸着したまま移動することで、第２の部材１２が第１の部材１１上に重ねられる。

その後、吸着手段８による第２の部材１２の吸着が解除され、吸着手段８は台１３から離れる方向へ移動する。吸着手段８による第２の部材１２の吸着が解除されているので、第２の部材１２は第１の部材１１上に残る。その結果、第１および第２の部材１１が重ねて搭載されてなる搭載物が完成する。

再び連続搭載装置７の構造について説明する。

第１の押し付け手段９は、第１の部材１１の縁のうち第１の部分を台１３に押し付け可能である。具体的には、第１の押し付け手段９は押し付け部９ａと支持部９ｂとを含み、押し付け部９ａがＸ方向へ移動することで第１の部材１１の第１の部分を台１３に押し付ける。

第２の押し付け手段１０は、第１の部材１１の縁のうち、第１の部分とは反対側に位置する第２の部分を台１３に押し付け可能である。第２の押し付け手段１０は押し付け部１０ａと支持部１０ｂとを含み、押し付け部１０ａがＸ方向へ移動することで第１の部材１１の第２の部分を台１３に押し付ける。

また、第１および第２の押し付け手段９，１０は、第１の部材１１や第２の部材１２を台１３に押し付ける力の強さを、第１の強さと、該第１の強さよりも強い第２の強さと、の間で切り替え可能である。加えて、押し付け部９ａ，１０ａはＹ方向へ移動可能である。

押し付け部９ａ，１０ａをＸ方向およびＹ方向へ移動させる機構や力の強さを切り替える機構は、モータといった駆動源（不図示）を用いて実現される。支持部９ｂ，１０ｂをＹ方向へ移動させて押し付け部９ａ，１０ａをＹ方向へ移動させてもよいし、Ｘ方向に延びる軸を中心に支持部９ｂ，１０ｂを回転させて押し付け部９ａ，１０ａをＹ方向へ移動させてもよい。

台１３は、第１の部材１１が載せられるパレット１６と、パレット１６を支持するベース体１７と、を含む。パレット１６はベース体１７に対して取り外し可能に設けられている。パレット１６上で搭載物が製造された後、パレット１６がベース体１７から取り外され、搭載物がパレット１６ごと運ばれる。

なお、第１および第２の部材１１，１２がベース体１７上に重ねて搭載されてもよい。

さらに、連続搭載装置７は、吸着手段８並びに第１および第２の押し付け手段９，１０の動作を制御する制御手段１８を備える。

ここで、連続搭載装置７の動作、すなわち本発明の実施形態に係る搭載物の製造方法および搭載方法について、図１，２を用いて説明する。図２は、連続搭載装置７の動作を説明するための図である。なお、図２では、第１および第２の部材供給部１４，１５並びに制御手段１８は省略されている。

まず、図２（ａ）に示されるように、吸着手段８は、第１の部材供給部１４から供給された第１の部材１１を所定の吸着力で吸着し、第１の部材１１を吸着したまま台１３上へ移動する。このとき、第１の部材１１が台１３と接していることが好ましい。

続いて、図２（ｂ）に示されるように、第１および第２の押し付け手段９，１０が第１の部材１１を台１３に第２の強さの力Ｆ２で押し付ける。その後、吸着手段８による第１の部材１１の吸着が解除され、吸着手段８は第２の部材供給部１５上へ移動する（図２（ｃ）参照）。その結果、第１の部材１１は吸着手段８から引き離され、第１の部材１１が台１３上に残る。

このとき、吸着手段８と第１の部材１１とは密着しているので、吸着手段８の吸着を解除しても吸着手段８の移動時に負圧が発生し第１の部材１１に力が作用する。第１および第２の押し付け手段９，１０が第２の強さの力Ｆ２で第１の部材１１を台１３に押し付けているので、当該負圧による第１の部材１１の移動が抑制される。

第１の部材１１が吸着手段８から引き離されたところで、第２の押し付け手段１０は第１の部材１１から離れる（図２（ｄ）参照）。このとき、制御手段１８は、第１の押し付け手段９に第１の部材１１を台１３に第１の強さの力Ｆ１で押し付けさせる。すなわち、第１の押し付け手段９の押し付け力の強さが第２の強さから第１の強さに切り替えられる。

続いて、吸着手段８は、第２の部材供給部１５から供給された第２の部材１２を吸着し、第２の部材１２を吸着したまま台１３上へ移動する（図２（ｅ）参照）。その結果、台１３に載せられた第１の部材１１に第２の部材１２が重ねられる。このとき、第２の部材１２が第１の部材１１と接していることが好ましい。

第１の部材１１のＸ方向における位置は、例えば、第１の部材１１の厚みに基づいて算出される。押し付け部９ａのＸ方向における位置から第１の部材１１のＸ方向における位置が算出されてもよい。

第２の部材１２が第１の部材１１上に重ねられたところで、第２の押し付け手段１０が第２の部材１２を介して第１の部材１１を台１３に第２の強さの力Ｆ２で押し付ける（図２（ｆ）参照）。このとき、制御手段１８は、第１の押し付け手段９に第１の部材１１を台１３に対して第２の強さの力Ｆ２で押し付けさせる。すなわち、第１の押し付け手段９の押し付け力の強さが第１の強さから第２の強さに切り替えられる。

その後、図２（ｇ）に示されるように、吸着手段８による第２の部材１２の吸着が解除され、吸着手段８は台１３から離れる方向へ移動する（図２（ｃ）参照）。その結果、第２の部材１２は吸着手段８から引き離され、第２の部材１２が第１の部材１１上に残る。

このようにして、第１および第２の部材１，２が重ねて搭載されてなる搭載物が得られる。

第２の部材１２上に新たな部材を重ねるために、第１の押し付け手段９を第１の部材１１から離してもよい（図２（ｈ））。このとき、第２の押し付け手段１０による押し付け力の強さを第２の強さから第１の強さに切り替えることが望ましい。図２（ｅ）〜（ｇ）に示される工程を繰り返えすことで、３つ以上の部材を台１３上に重ねて搭載することが可能である。

本実施形態によれば、第２の部材１２が第１の部材１１上に重ねられる際には第２の押し付け手段１０が第１の部材１１から離れている（図２（ｅ）参照）。したがって、第２の部材１２が第１の部材１１上に重ねられた後、すぐさま第２の押し付け手段１０が第２の部材１２を台１３に押し付けることができる。その結果、第２の部材１２を第１の部材１１上に重ねてから、吸着手段８による第２の部材１２の吸着を解除するまで、の時間をより短くすることができる。

また、吸着手段８による第２の部材１２の吸着を解除して吸着手段８を台１３から離れる方向へ移動させる工程（図２（ｃ），（ｇ）参照）では、第２の部材１２は、第１の強さよりも強い第２の強さの力Ｆ２で台１３に押し付けられる。したがって、吸着手段８の移動時に負圧が発生しても、当該負圧による第２の部材１２の移動が抑制される。すなわち、第２の部材１２は第１の部材１１上の所定の位置からずれにくく、搭載ずれが起きにくくなる。

押し付け力の第２の強さは、第２の部材１２から吸着手段８を引き離す際に生じる負圧よりも強く第２の部材１２が動かない程度の強さであることがより望ましい。

図２（ｃ），（ｇ）に示される工程では、第１および第２の押し付け手段９，１０が第１の部材１１を第２の強さの力Ｆ２で台１３に押し付けている。したがって、図３に示されるように台１３が歪んでいても、第２の押し付け手段１０により生じるＦｙは第１の押し付け手段９により生じるＦｙによって相殺され、第１の部材１１は台１３上を移動しない。

なお、図３に示されるステップでは、第２の押し付け手段１０により生じるＦｙが第２の部材１２に作用する。しかし、第２の部材１２の縁の一部が第１の押し付け手段上に載っているので、第２の部材１２はＹ方向へ移動しにくい。

本実施形態では、図２（ｃ），（ｇ）に示される工程において、第１および第２の押し付け手段９、１０が同じ強さの力Ｆ２で第１の部材１１を台１３に押し付けているが、この形態に限られない。第１の押し付け手段９の押し付け力の強さと第２の押し付け手段１０の押し付け力の強さとの間に差があっても、第１の部材１１が台１３上をＹ方向へ移動しなければよい。

さらに、第１の押し付け手段９だけが第１の部材１１を台１３に押し付ける工程（図２（ｄ）参照）では、第１の部材１１は、第１の強さの力Ｆ１で台１３に押し付けられる。したがって、図４に示されるように台１３が歪んでいても、第１の部材１１に作用するＹ方向の力Ｆｙは比較的小さく、第１の部材１１が台１３上を移動しにくい。その結果、搭載ずれの程度が抑制される。

特に、第１の部材１１が複数の部材を重ねて搭載してなる搭載物であり、かつ第１の押し付け手段９だけが第１の部材１１を比較的強い力Ｆ２で台１３に押し付ける場合、第１の部材１１が崩れやすい（図５参照）。

本実施形態では、第１の押し付け手段９だけが第１の部材１１を台１３に押し付けるときの押し付け力は比較的弱い（第１の強さ）ので、第１の部材１１としての搭載物は崩れにくい（図６参照）。その結果、搭載ずれが起きにくくなる。

押し付け力の第１の強さは、第１または第２の押し付け手段９，１０のいずれかが第１または第２の部材１１，１２を台１３に押し付ける際に第１または第２の部材１１，１２が移動しない程度の強さであることがより望ましい。

なお、第１の押し付け手段９だけが第１の部材１１を台１３に押し付ける工程（図２（ｄ）参照）では、第１の部材１１はすでに吸着手段８から引き離されているので、第１の強さは第１の部材１１から吸着手段８を引き離す際に生じる負圧よりも弱くてもよい。

１ 第１の部材
２ 第２の部材
３ 台
４ 第１の押し付け手段
５ 第２の押し付け手段
６ 吸着手段
７ 連続搭載装置
８ 吸着手段
９ 第１の押し付け手段
１０ 第２の押し付け手段
１１ 第１の部材
１２ 第２の部材
１３ 台
１４ 第１の部材供給部
１５ 第２の部材供給部
１６ パレット
１７ ベース体
１８ 制御手段

Claims (7)

1. それぞれ平面視で四角形の第１および第２の部材が重ねて搭載されてなる搭載物の製造方法であって、
   台と、前記台上へ移動可能であり前記第２の部材を吸着可能な吸着手段と、を用意する工程と、
   前記台に前記第１の部材を載せ、該第１の部材の縁のうち第１の部分を第１の強さの力で前記台に押し付ける工程と、
   前記吸着手段を用いて前記第２の部材を吸着し、該吸着手段を前記台上へ移動させて前記第２の部材を前記第１の部材上へ重ねる工程と、
   前記第１の部分を前記台に押し付ける力の強さを、前記第１の強さから、該第１の強さよりも強い第２の強さに切り替えるとともに、前記第１の部材の縁のうち前記第１の部分とは反対側に位置する第２の部分を、前記第２の部材を介して前記第２の強さの力で前記台に押し付ける工程と、
   前記吸着手段による前記第２の部材の吸着を解除して前記吸着手段を移動させることで前記第２の部材から前記吸着手段を引き離す工程と、を含む、製造方法。
2. 前記第２の強さが、前記第２の部材から前記吸着手段を引き離す際に生じる負圧よりも強い、請求項１に記載の製造方法。
3. それぞれ平面視で四角形の第１および第２の部材を台上に連続で搭載する装置であって、
   前記台上へ移動可能であり、かつ前記第２の部材を吸着可能な吸着手段と、
   前記第１の部材の縁のうち第１の部分を前記台に押し付け可能であり、かつ前記第１の部分を前記台に押し付ける力の強さを、第１の強さと、該第１の強さよりも強い第２の強さと、の間で切り替え可能な第１の押し付け手段と、
   前記第１の部材の縁のうち前記第１の部分とは反対側に位置する第２の部分を、前記第２の部材を介して、前記第２の強さの力で前記台に押し付け可能な第２の押し付け手段と、
   前記吸着手段、前記第１および第２の押し付け手段の動作を制御する制御手段と、を備え、
   前記制御手段は、
   前記第１の押し付け手段に、前記第１の部材の前記第１の部分を前記第１の強さの力で前記台に対して押し付けさせ、
   前記吸着手段に前記第２の部材を吸着させるとともに前記吸着手段を前記台上へ移動させて前記第２の部材を前記第１の部材上へ重ね、
   前記第１の押し付け手段に前記第２の強さの力で前記第１の部分を前記台に対して押し付けさせるとともに、前記第２の押し付け手段に前記第２の部材を介して前記第２の部分を前記第２の強さの力で前記台に対して押し付けさせ、
   前記吸着手段による前記第２の部材の吸着を解除して前記吸着手段を移動させることで前記第２の部材から前記吸着手段を引き離すものである、連続搭載装置。
4. 前記第２の押し付け手段が、前記第２の部分を前記台に押し付ける力の強さを前記第１の強さと前記第２の強さとの間で切り替え可能であり、
   前記制御手段は、
   前記第１の押し付け手段が前記第１の部材から離れている状態で、前記第２の押し付け手段に前記第１の強さの力で前記第１および第２の部材を前記台に対して押し付けさせるものである、請求項３に記載の連続搭載装置。
5. 前記第２の強さが、前記第２の部材から前記吸着手段を引き離す際に生じる負圧よりも強い、請求項３または４に記載の連続搭載装置。
6. それぞれ平面視で四角形の第１および第２の部材を台上に連続で搭載する方法であって、
   前記台上へ移動可能であり前記第２の部材を吸着可能な吸着手段を用意するステップと、
   前記台に前記第１の部材を載せ、該第１の部材の縁のうち第１の部分を第１の強さの力で前記台に押し付けるステップと、
   前記吸着手段を用いて前記第２の部材を吸着し、該吸着手段を前記台上へ移動させて前記第２の部材を前記第１の部材上へ重ねるステップと、
   前記第１の部分を前記台に押し付ける力の強さを、前記第１の強さから、該第１の強さよりも強い第２の強さに切り替えるとともに、前記第１の部材の縁のうち前記第１の部分とは反対側に位置する第２の部分を、前記第２の部材を介して前記第２の強さの力で前記台に押し付けるステップと、
   前記吸着手段による前記第２の部材の吸着を解除して前記吸着手段を移動させることで前記第２の部材から前記吸着手段を引き離すステップと、を含む、搭載方法。
7. 前記第２の強さが、前記第２の部材から前記吸着手段を引き離す際に生じる負圧よりも強い、請求項６に記載の搭載方法。

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