JP6170951B2 - ウェハレベルレンズ用硬化性組成物、ウェハレベルレンズの製造方法及びウェハレベルレンズ、並びに光学装置 - Google Patents
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Description
工程1:硬化性組成物を金型に流し込む
工程2:加熱及び/又は光照射して硬化させる
工程3:金型から外してアニール処理を行う
また、本発明の他の目的は、上記ウェハレベルレンズ用硬化性組成物を使用してウェハレベルレンズを製造する方法、該方法により得られる物理特性、光学物性、機械特性、及び生産性に優れたウェハレベルレンズ、並びに、該ウェハレベルレンズを備えた光学装置を提供することにある。
工程1a:1つ以上のレンズ型を有するウェハレベルレンズ成型用型を準備する工程
工程2a:ウェハレベルレンズ用硬化性組成物を前記ウェハレベルレンズ成型用型に接触させる工程
工程3a:前記ウェハレベルレンズ用硬化性組成物を加熱及び/又は光照射により硬化させる工程
工程4a:硬化したウェハレベルレンズ用硬化性組成物をアニール処理する工程
工程5a:硬化したウェハレベルレンズ用硬化性組成物を切断する工程
工程1b:1つ以上のレンズ型を有するウェハレベルレンズ成型用型を準備する工程
工程2b:ウェハレベルレンズ用硬化性組成物を前記ウェハレベルレンズ成型用型に射出する工程
工程3b:前記ウェハレベルレンズ用硬化性組成物を加熱及び/又は光照射により硬化させる工程
工程4b:硬化したウェハレベルレンズ用硬化性組成物をアニール処理する工程
工程1c:1つ以上のレンズ型を有するウェハレベルレンズ成型用型を準備する工程
工程2c:前記のウェハレベルレンズ用硬化性組成物を前記ウェハレベルレンズ成型用型に接触させる工程
工程3c:前記ウェハレベルレンズ用硬化性組成物を加熱及び/又は光照射により硬化させてウェハレベルレンズシートを得る工程
工程4c:前記ウェハレベルレンズシートを含む複数枚のウェハレベルレンズシートを積層してウェハレベルレンズシート積層体を得る工程
工程5c:前記ウェハレベルレンズシート積層体を切断する工程
工程6c:前記ウェハレベルレンズシートをアニール処理する工程
[1]下記式(1)で表される硬化性化合物(A)を含有することを特徴とするウェハレベルレンズ用硬化性組成物。
[2]さらに、下記式(2)で表される硬化性化合物(B)を含有する[1]に記載のウェハレベルレンズ用硬化性組成物。
[3]さらに、下記式(3)で表される硬化性化合物(C)を含有する[1]又は[2]に記載のウェハレベルレンズ用硬化性組成物。
[4]硬化性化合物(A)として、下記式(a1)〜(a10)[式(a1)〜(a10)中、m、nは前記に同じ]から選択される少なくとも1つの化合物を含む[1]〜[3]のいずれか1つに記載のウェハレベルレンズ用硬化性組成物。
[8]硬化性化合物(B)の含有量が、硬化性組成物に含まれるラジカル硬化性化合物の全量(100重量%)に対して、10重量%以上である[2]〜[7]のいずれか1つに記載のウェハレベルレンズ用硬化性組成物。
[9]硬化性化合物(C)の含有量が、硬化性組成物に含まれるラジカル硬化性化合物の全量(100重量%)に対して、10〜75重量%である[3]〜[8]のいずれか1つに記載のウェハレベルレンズ用硬化性組成物。
[10]硬化性化合物(B)と硬化性化合物(C)の配合比(前者/後者(重量比))が、1/0.2〜1/4である[3]〜[9]のいずれか1つに記載のウェハレベルレンズ用硬化性組成物。
[11]さらに、3官能以上の(メタ)アクリル酸エステルを含む[1]〜[10]のいずれか1つに記載のウェハレベルレンズ用硬化性組成物。
[12]ラジカル硬化性化合物の全量(100重量%)に対する3官能以上の(メタ)アクリル酸エステルの含有割合が、45重量%以下である[11]に記載のウェハレベルレンズ用硬化性組成物。
[13]分子内に脂環を有する(メタ)アクリル酸エステルを含む[1]〜[12]のいずれか1つに記載のウェハレベルレンズ用硬化性組成物。
[14]150℃で30分間加熱して得られる硬化物の160℃における貯蔵弾性率が0.1×109Pa以上である[1]〜[13]のいずれか1つに記載のウェハレベルレンズ用硬化性組成物。
[15]さらに、黄変抑制剤として有機硫黄化合物を、ラジカル硬化性化合物の全量100重量部に対して0.05〜10重量部含有する[1]〜[14]のいずれか1つに記載のウェハレベルレンズ用硬化性組成物。
[16]有機硫黄化合物が、常圧での沸点が100℃以上の有機硫黄化合物である[15]に記載のウェハレベルレンズ用硬化性組成物。
[17]さらに、硬化遅延剤を、ラジカル硬化性化合物の全量100重量部に対して0.05〜5重量部含有する[1]〜[16]のいずれか1つに記載のウェハレベルレンズ用硬化性組成物。
[18]硬化遅延剤が、α−メチルスチレン二量体である[17]に記載のウェハレベルレンズ用硬化性組成物。
[19]さらに、黄変抑制剤として酸化防止剤を、硬化性組成物に含まれるラジカル硬化性化合物の全量100重量部に対して0.05〜5重量部含有する[15]〜[18]のいずれか1つに記載のウェハレベルレンズ用硬化性組成物。
[20]硬化性組成物の全量(100重量%)に対する酸化防止剤の含有量が0.05〜5重量%である[19]に記載のウェハレベルレンズ用硬化性組成物。
[21]さらに、ラジカル重合開始剤を含み、該ラジカル重合開始剤の含有量が、硬化性組成物に含まれるラジカル硬化性化合物の全量100重量部に対して、0.05〜10重量部である[1]〜[20]のいずれか1つに記載のウェハレベルレンズ用硬化性組成物。
[22]硬化させることにより得られる硬化物の400nmにおける内部透過率が40%以上である[1]〜[21]のいずれか1つに記載のウェハレベルレンズ用硬化性組成物。
[23]硬化させることにより得られる硬化物の屈折率(25℃、589nm)が1.58以上である[1]〜[22]のいずれか1つに記載のウェハレベルレンズ用硬化性組成物。
[24]硬化させることにより得られる硬化物のアッベ数が35以下である[1]〜[23]のいずれか1つに記載のウェハレベルレンズ用硬化性組成物。
[25][1]〜[24]のいずれか1つに記載のウェハレベルレンズ用硬化性組成物をキャスティング成型法又は射出成型法に付すことを特徴とするウェハレベルレンズの製造方法。
[26]前記キャスティング成型法が、下記工程を含む[25]に記載のウェハレベルレンズの製造方法。
工程1a:1つ以上のレンズ型を有するウェハレベルレンズ成型用型を準備する工程
工程2a:ウェハレベルレンズ用硬化性組成物を前記ウェハレベルレンズ成型用型に接触させる工程
工程3a:前記ウェハレベルレンズ用硬化性組成物を加熱及び/又は光照射により硬化させる工程
[27]前記キャスティング成型法が、さらに下記工程を含む[26]に記載のウェハレベルレンズの製造方法。
工程4a:硬化したウェハレベルレンズ用硬化性組成物をアニール処理する工程
[28]前記キャスティング成型法が、さらに下記工程を含む[26]又は[27]に記載のウェハレベルレンズの製造方法。
工程5a:硬化したウェハレベルレンズ用硬化性組成物を切断する工程
[29]前記射出成型法が、下記工程を含む[25]に記載のウェハレベルレンズの製造方法。
工程1b:1つ以上のレンズ型を有するウェハレベルレンズ成型用型を準備する工程
工程2b:ウェハレベルレンズ用硬化性組成物を前記ウェハレベルレンズ成型用型に射出する工程
工程3b:前記ウェハレベルレンズ用硬化性組成物を加熱及び/又は光照射により硬化させる工程
[30]前記射出成型法が、さらに下記工程を含む[29]に記載のウェハレベルレンズの製造方法。
工程4b:硬化したウェハレベルレンズ用硬化性組成物をアニール処理する工程
[31][26]又は[27]に記載のウェハレベルレンズの製造方法により得られるウェハレベルレンズシート。
[32][25]〜[30]のいずれか1つに記載のウェハレベルレンズの製造方法により得られるウェハレベルレンズ。
[33]レンズ中心位置のズレが±2μm以下である[32]に記載のウェハレベルレンズ。
[34][32]又は[33]に記載のウェハレベルレンズを搭載した光学装置。
[35]複数枚のウェハレベルレンズの積層体であって、該積層体を構成するウェハレベルレンズとして[1]〜[24]のいずれか1つに記載のウェハレベルレンズ用硬化性組成物を硬化かつ成型して得られるウェハレベルレンズを少なくとも有する積層ウェハレベルレンズ。
[36]構成するウェハレベルレンズの枚数が2〜5枚である[35]に記載の積層ウェハレベルレンズ。
[37][35]又は[36]に記載の積層ウェハレベルレンズの製造方法であって、下記工程を含む積層ウェハレベルレンズの製造方法。
工程1c:1つ以上のレンズ型を有するウェハレベルレンズ成型用型を準備する工程
工程2c:[1]〜[24]のいずれか1つに記載のウェハレベルレンズ用硬化性組成物を前記ウェハレベルレンズ成型用型に接触させる工程
工程3c:前記ウェハレベルレンズ用硬化性組成物を加熱及び/又は光照射により硬化させてウェハレベルレンズシートを得る工程
工程4c:前記ウェハレベルレンズシートを含む複数枚のウェハレベルレンズシートを積層してウェハレベルレンズシート積層体を得る工程
工程5c:前記ウェハレベルレンズシート積層体を切断する工程
[38]さらに、工程3cと工程4cの間に、下記工程を含む[37]に記載の積層ウェハレベルレンズの製造方法。
工程6c:前記ウェハレベルレンズシートをアニール処理する工程
[39][31]に記載のウェハレベルレンズシートを含む複数枚のウェハレベルレンズシートを積層して得られるウェハレベルレンズシート積層体。
[40][35]又は[36]に記載の積層ウェハレベルレンズを搭載した光学装置。
本発明のウェハレベルレンズ用硬化性組成物(単に「本発明の硬化性組成物」と称する場合がある)は、下記式(1)で表される化合物(「硬化性化合物(A)」と称する場合がある)を必須成分として含有する硬化性組成物である。本発明の硬化性組成物は、さらに、硬化性化合物(A)以外の成分(例えば、後述の硬化性化合物(B)や硬化性化合物(C)など)を含有していてもよい。本発明の硬化性組成物は、ウェハレベルレンズを得るために特に適した硬化性組成物である。なお、本発明の硬化性組成物には、加熱により硬化して硬化物(樹脂硬化物)を与える熱硬化性組成物と、光照射により硬化して硬化物を与える光硬化性組成物とが含まれる。
本発明の硬化性組成物における硬化性化合物(A)は、上記式(1)で表される化合物である。硬化性化合物(A)は、ラジカル重合性を有する(メタ)アクリロイル基(アクリロイル基及びメタクリロイル基のいずれか一方又は両方)を含むラジカル硬化性化合物(ラジカル重合性を有する硬化性化合物)である。
本発明の硬化性組成物は、さらに、下記式(2)で表される化合物(「硬化性化合物(B)」と称する場合がある)を含有していてもよい。硬化性化合物(B)は、ラジカル重合性を有する(メタ)アクリロイル基を含むラジカル硬化性化合物(ラジカル重合性を有する硬化性化合物)である。本発明の硬化性組成物は硬化性化合物(B)を含有することにより、貯蔵弾性率が高く、高温環境下における形状保持性に優れ、さらに、光学特性にも優れた硬化物が得られる。
本発明の硬化性組成物は、さらに、下記式(3)で表される化合物(「硬化性化合物(C)」と称する場合がある)を含有していてもよい。硬化性化合物(C)は、ラジカル重合性を有する(メタ)アクリロイル基を含むラジカル硬化性化合物(ラジカル重合性を有する硬化性化合物)である。本発明の硬化性組成物が硬化性化合物(C)を含有することにより、硬化性組成物を硬化して得られる硬化物に対して、より優れた光学特性(特に、低アッベ数、透明性、高屈折率)を付与することができる傾向がある。
本発明の硬化性組成物は、上述の硬化性化合物(硬化性化合物(A)〜(C))以外のラジカル硬化性化合物(「その他のラジカル硬化性化合物」と称する場合がある)を含有していてもよい。
本発明の硬化性組成物は、黄変抑制剤を含有することが好ましい。上記黄変抑制剤としては、例えば、チオール化合物、ジチオール化合物、スルフィド化合物、ジスルフィド化合物などの有機硫黄化合物などが挙げられる。このような黄変抑制剤を配合することにより、本発明の硬化性組成物を硬化して得られる硬化物の高温下における黄変を抑制することができる。なお、上記有機硫黄化合物には、上述の硬化性化合物(特に、硬化性化合物(A)、硬化性化合物(B))は含まれないものとする。
本発明の硬化性組成物は、ラジカル重合開始剤を含有することが好ましい。上記ラジカル重合開始剤としては、公知乃至慣用の熱ラジカル重合開始剤、光ラジカル重合開始剤などのラジカル重合を起こし得るものを使用することができ、特に限定されない。
本発明の硬化性組成物は、硬化遅延剤を含有することが好ましい。上記硬化遅延剤としては、例えば、α−メチルスチレン二量体、タービノーレン、ミルセン、リモネン、α−ピネン、β−ピネン等の有機化合物などが挙げられる。このような硬化遅延剤を配合することにより、本発明の硬化性組成物のラジカル硬化速度が適度に遅延され、金型内のどの部位の硬化性組成物もほぼ一定の速度で硬化するため、「ヒケ」や「脈離」といった波紋状の皺模様のない成形品を簡易に得ることができる。
本発明の硬化性組成物は、上述の硬化性化合物、黄変抑制剤、ラジカル重合開始剤、硬化遅延剤以外にも、必要に応じて他の成分を含んでいてもよい。他の成分としては、例えば、カチオン硬化性化合物、カチオン重合開始剤、硬化剤、硬化促進剤、各種添加剤などが挙げられる。
本発明の硬化性組成物を硬化かつ成型することにより、ウェハレベルレンズ(「本発明のウェハレベルレンズ」と称する場合がある)が得られる。具体的には、本発明のウェハレベルレンズは、本発明の硬化性組成物をキャスティング成型法又は射出成型法に付す方法(「本発明のウェハレベルレンズの製造方法」と称する場合がある)により得られる。
上記キャスティング成型法としては、例えば、下記の工程1a〜工程3aを含む方法が挙げられる。
工程1a:1つ以上のレンズ型を有するウェハレベルレンズ成型用型を準備する工程
工程2a:工程1aの後、本発明の硬化性組成物を上記ウェハレベルレンズ成型用型に接触させる工程
工程3a:工程2aの後、本発明の硬化性組成物を加熱及び/又は光照射(加熱及び光照射のいずれか一方又は両方)により硬化させる工程
工程4a:硬化した本発明の硬化性組成物をアニール処理する工程
工程5a:硬化した本発明の硬化性組成物(通常、ウェハレベルレンズシート)を切断する工程
(同時成型法)
工程1−1:本発明の硬化性組成物を複数個のレンズ型が一定方向に整列した形状を有するウェハレベルレンズ成型用型に流し込み、加熱及び/又は光照射して硬化させる工程
工程1−2:工程1−1の後、ウェハレベルレンズ成型用型を外してアニール処理を行い、ウェハレベルレンズが複数個結合した形状を有する硬化物(ウェハレベルレンズシート)を得る工程
工程1−3:工程1−2の後、得られた硬化物を切断してウェハレベルレンズを得る工程
(個片成型法)
工程2−1:本発明の硬化性組成物を1個のレンズ型を有するウェハレベルレンズ成型用型に流し込み、加熱及び/又は光照射して硬化させる工程
工程2−2:工程2−1の後、ウェハレベルレンズ形成用型を外してアニール処理を行い、ウェハレベルレンズを得る工程
上記射出成型法としては、例えば、下記の工程1b〜工程3bを含む方法が挙げられる。
工程1b:1つ以上のレンズ型を有するウェハレベルレンズ成型用型を準備する工程
工程2b:工程1bの後、本発明の硬化性組成物を上記ウェハレベルレンズ成型用型に射出する工程
工程3b:工程2bの後、本発明の硬化性組成物を加熱及び/又は光照射により硬化させる工程
工程4b:硬化した本発明の硬化性組成物をアニール処理する工程
工程1c:1つ以上のレンズ型を有するウェハレベルレンズ成型用型を準備する工程
工程2c:工程1cの後、本発明の硬化性組成物を上記ウェハレベルレンズ成型用型に接触させる工程
工程3c:工程2cの後、本発明の硬化性組成物を加熱及び/又は光照射により硬化させてウェハレベルレンズシートを得る工程
工程4c:工程3cの後、上記ウェハレベルレンズシートを含む複数枚のウェハレベルレンズシートを積層してウェハレベルレンズシート積層体を得る工程
工程5c:工程4cの後、上記ウェハレベルレンズシート積層体を切断する工程
工程6c:上記ウェハレベルレンズシートをアニール処理する工程
ビス(4−ヒドロキシフェニル)スルフィドを10重量%濃度に希釈して得られたトルエン溶液に、トリエチルアミン(1.3当量)を加え、0〜5℃に冷却した後に、メタクリル酸クロライド(1.1当量)を0〜5℃の範囲で滴下して反応させた。
メタクリル酸クロライドの滴下終了後、更に1時間程度常温にて撹拌した後に、副生した塩を除去する目的で塩酸水溶液を使用して抽出し、得られたトルエン層を分取して、更に副生したメタクリル酸を除去する目的で炭酸水素ナトリウム水溶液を使用して抽出した。
その後、トルエン層から減圧下でトルエンを留去し、得られた濃縮液をカラム精製に付して、上記式(b12)で表されるビス(4−メタクリロイルオキシフェニル)スルフィドを得た(一貫収率:58%)。
表1に記載の各成分を、表1に記載の配合組成(数値は重量部)に従って配合し、室温にて自転公転型ミキサーで撹拌・混合することにより、均一で透明な硬化性組成物(ラジカル硬化性組成物)を得た。得られたラジカル硬化性組成物の粘度は、レオメーター(商品名「PHYSICA UDS200」、Paar Physica社製)を使用し、25℃、回転速度D=20/s時点の粘度(mPa・s)として測定した。
[硬化性化合物]
B1662:下記式(b2)で表されるビス(4−メタクリロイルチオフェニル)スルフィド、製品コード「B1662」、東京化成工業(株)製
OSOM:調製例1で得られたビス(4−メタクリロイルオキシフェニル)スルフィド
Bis−Aジメタクリレート:下記式(b4)で表されるビスフェノールAジメタクリレート
EA−F5503:ベンジルアクリレートで希釈された下記式(c1)で表される化合物(下記式(c1)で表される化合物を73重量%、ベンジルアクリレートを27重量%含有)、商品名「オグソール EA−F5503」、大阪ガスケミカル(株)製
EA−0200:(下記式(c2)で表される化合物を95重量%含有)、商品名「オグソール EA−0200」、大阪ガスケミカル(株)製
DPHA:下記式(d1)で表されるジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、商品名「DPHA」、ダイセル・サイテック(株)製
IRR−214K:下記式(d2)で表されるトリシクロ[5.2.1.02,6]デカンジメタノールジアクリレート、商品名「IRR−214K」、ダイセル・サイテック(株)製
ABE−300:下記式(a3)で表される化合物(式(a3)中のmとnの合計[m+n]は3である)、商品名「ABE−300」、新中村化学(株)製
[添加剤]
ドデカンチオール:黄変抑制剤
α−メチルスチレンダイマー:硬化遅延剤
IN1010(IRGANOX 1010):ヒンダードフェノール系酸化防止剤、商品名「IRGANOX 1010」、BASF社製
[熱ラジカル重合開始剤]
パーヘキサC−80:1,1−ジ(t−ブチルパーオキシ)シクロヘキサンを80重量%含有、商品名「パーヘキサC−80」、日本油脂(株)製
[光ラジカル重合開始剤]
Irgacure 184:1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、商品名「Irgacure 184」、BASF社製
Darocur TPO:2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−ホスフィンオキサイド、商品名「Darocur TPO」、BASF社製
<加熱処理方法>
インプリント成型機(商品名「NANOIMPRINTER NM−0501」、明昌機工(株)製)を用い下記の成型プロファイルにて、厚み0.5mmで硬化・成型し、80℃まで冷却した後に離型し、更に予め160℃に熱したオーブンで30分間加熱してアニール処理を行って硬化物を得た(それぞれ5個ずつ)。
成型プロファイル:25℃で硬化性組成物を金型に塗布し、その後、所定の厚みまでプレス軸位置を調整して金型をプレスし、150℃まで20℃/分で昇温した後、更に150℃にて5分間保持する
<UV照射方法>
インプリント成型機(商品名「NANOIMPRINTER NM−0501」、明昌機工(株)製)を用い下記の成型プロファイルにて、厚み0.5mmで硬化・成型、次いで離型し、更に予め160℃に熱したオーブンで30分間加熱してアニール処理を行って硬化物を得た(それぞれ5個ずつ)。
成型プロファイル:25℃で硬化性組成物を金型に塗布し、その後、所定の厚みまでプレス軸位置を調整して金型をプレスし、UV照射(照射強度=10〜50mW/cm、積算照射量=2500〜5000mJ/cm2)を行う
得られた硬化物(成型品)上に形成されたレンズ7個の中心位置を、それぞれ、画像寸法測定器(商品名「IM−6020」、(株)キーエンス製)にて測定し、金型設計値からのレンズの中心位置ずれを測定し、その平均値を算出した。
硬化物のガラス転移温度は、示差走査熱量測定装置(商品名「Q2000」、TA Instruments社製)を用い、窒素気流下で、事前処理(−50℃から250℃まで20℃/分で昇温し、続いて250℃から−50℃まで−20℃/分で降温)を行った後に、窒素気流下で昇温速度20℃/分、測定温度範囲−50℃〜250℃の条件で測定した。
硬化物の線膨張係数は、TMA測定装置(商品名「TMA/SS100」、エスアイアイ・ナノテクノロジー社製)を用い、窒素気流下、昇温速度5℃/min、測定温度範囲30℃〜250℃で熱膨張率を測定し、低温側の直線の勾配を線膨張係数として表した。また、α1はガラス転移温度以下での線膨張係数(ppm/℃)、α2はガラス転移温度以上での線膨張係数(ppm/℃)である。
硬化物の25℃、及び160℃における貯蔵弾性率(Pa)を、JIS K7244−1〜JIS K7244−7に準拠した動的粘弾性測定法(下記測定条件による)により求めた。
<測定条件>
測定装置:固体粘弾性測定装置(RSA−III/TA Instruments社製)
雰囲気:窒素
温度範囲:−30℃〜270℃
昇温速度:5℃/min
硬化物の内部透過率は、下記式によって算出した。
400nmにおける内部透過率=400nmにおける光線透過率/(1−r)2
r={(n−1)/(n+1)}2
400nmにおける光線透過率は分光光度計((株)日立ハイテクノロジーズ製、商品名「U−3900」)を用いて測定した。nは400nmにおける屈折率であり、下記方法で測定した400nmにおける屈折率の値を用いた。450nmにおける内部透過率も、上記に準じて算出した。
硬化物の屈折率としては、JIS K7142に準拠した方法で、屈折率計(商品名「Model 2010」、メトリコン社製)を用いて、25℃における589nmの屈折率を測定した。
硬化物のアッベ数は下記式によって算出した。
アッベ数=(nd−1)/(nf−nc)
式中、ndは589.2nmにおける屈折率、nfは486.1nmにおける屈折率、ncは656.3nmにおける屈折率を示す。なお、屈折率は、上記方法で測定した各波長における屈折率の値を用いた。
硬化物について、シンアペック社製卓上リフロー炉を使用して、JEDEC規格記載のリフロー温度プロファイル(最高温度:270℃)に基づく耐熱性試験を連続して3回行った後、上記方法により400nm、及び450nmにおける光線透過率及び屈折率を測定し、耐熱性試験後における内部透過率を求め、耐熱性試験前後の内部透過率の変化から、黄変率(%)を下記式により求めた。
黄変率(%)={(耐熱性試験前の内部透過率)−(耐熱性試験後の内部透過率)}/(耐熱性試験前の内部透過率)×100
硬化物の位相差(nm)は、2次元複屈折評価システム((株)フォトラティス製、「PA−100」)を用いて、サンプル片(20mm×20mm×0.5mm)の一次硬化(上記で得た硬化物を一次硬化後のサンプルとする)及び二次硬化(二次硬化条件:180℃、30分)後の25℃における位相差を測定し、サンプル片の中央部(10mm×10mm)の四隅における測定値を平均することにより測定した。
Claims (22)
- 150℃で30分間加熱して得られる硬化物の160℃における貯蔵弾性率が0.1×109Pa以上である請求項1〜5のいずれか1項に記載のウェハレベルレンズ用硬化性組成物。
- さらに、黄変抑制剤として有機硫黄化合物を、ラジカル硬化性化合物の全量100重量部に対して0.05〜10重量部含有する請求項1〜6のいずれか1項に記載のウェハレベルレンズ用硬化性組成物。
- さらに、硬化遅延剤を、ラジカル硬化性化合物の全量100重量部に対して0.05〜5重量部含有する請求項1〜7のいずれか1項に記載のウェハレベルレンズ用硬化性組成物。
- 請求項1〜8のいずれか1項に記載のウェハレベルレンズ用硬化性組成物をキャスティング成型法又は射出成型法に付すことを特徴とするウェハレベルレンズの製造方法。
- 前記キャスティング成型法が、下記工程を含む請求項9に記載のウェハレベルレンズの製造方法。
工程1a:1つ以上のレンズ型を有するウェハレベルレンズ成型用型を準備する工程
工程2a:ウェハレベルレンズ用硬化性組成物を前記ウェハレベルレンズ成型用型に接触させる工程
工程3a:前記ウェハレベルレンズ用硬化性組成物を加熱及び/又は光照射により硬化させる工程 - 前記キャスティング成型法が、さらに下記工程を含む請求項10に記載のウェハレベルレンズの製造方法。
工程4a:硬化したウェハレベルレンズ用硬化性組成物をアニール処理する工程 - 前記キャスティング成型法が、さらに下記工程を含む請求項10又は11に記載のウェハレベルレンズの製造方法。
工程5a:硬化したウェハレベルレンズ用硬化性組成物を切断する工程 - 前記射出成型法が、下記工程を含む請求項9に記載のウェハレベルレンズの製造方法。
工程1b:1つ以上のレンズ型を有するウェハレベルレンズ成型用型を準備する工程
工程2b:ウェハレベルレンズ用硬化性組成物を前記ウェハレベルレンズ成型用型に射出する工程
工程3b:前記ウェハレベルレンズ用硬化性組成物を加熱及び/又は光照射により硬化させる工程 - 前記射出成型法が、さらに下記工程を含む請求項13に記載のウェハレベルレンズの製造方法。
工程4b:硬化したウェハレベルレンズ用硬化性組成物をアニール処理する工程 - 請求項1〜8のいずれか1項に記載のウェハレベルレンズ用硬化性組成物の硬化物であるウェハレベルレンズシート。
- 請求項1〜8のいずれか1項に記載のウェハレベルレンズ用硬化性組成物の硬化物であるウェハレベルレンズ。
- 請求項16に記載のウェハレベルレンズを搭載した光学装置。
- 複数枚のウェハレベルレンズの積層体であって、該積層体を構成するウェハレベルレンズとして請求項1〜8のいずれか1項に記載のウェハレベルレンズ用硬化性組成物を硬化かつ成型して得られるウェハレベルレンズを少なくとも有する積層ウェハレベルレンズ。
- 請求項18に記載の積層ウェハレベルレンズの製造方法であって、下記工程を含む積層ウェハレベルレンズの製造方法。
工程1c:1つ以上のレンズ型を有するウェハレベルレンズ成型用型を準備する工程
工程2c:請求項1〜8のいずれか1項に記載のウェハレベルレンズ用硬化性組成物を前記ウェハレベルレンズ成型用型に接触させる工程
工程3c:前記ウェハレベルレンズ用硬化性組成物を加熱及び/又は光照射により硬化させてウェハレベルレンズシートを得る工程
工程4c:前記ウェハレベルレンズシートを含む複数枚のウェハレベルレンズシートを積層してウェハレベルレンズシート積層体を得る工程
工程5c:前記ウェハレベルレンズシート積層体を切断する工程 - さらに、工程3cと工程4cの間に、下記工程を含む請求項19に記載の積層ウェハレベルレンズの製造方法。
工程6c:前記ウェハレベルレンズシートをアニール処理する工程 - 請求項15に記載のウェハレベルレンズシートを含む複数枚のウェハレベルレンズシートを積層して得られるウェハレベルレンズシート積層体。
- 請求項18に記載の積層ウェハレベルレンズを搭載した光学装置。
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