JP6169889B2 - 光路分岐ミラーユニット - Google Patents
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/005—Optical devices external to the laser cavity, specially adapted for lasers, e.g. for homogenisation of the beam or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
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Description
2、22、32 分岐ミラー
23、33 安全シャッタミラー
24、34 ダンパ
25、35 フォトセンサ
Claims (3)
- レーザ光を分岐させる分岐位置と前記レーザ光の光路上から退避した退避位置とを移動 可能に配置された分岐ミラー
を有する少なくとも1段の第1ユニットと、
前記レーザ光を分岐させる分岐位置に固定状態に配置された分岐ミラーと、
前記分岐ミラーにより分岐された分岐レーザ光の光路上の遮断位置と前記分岐レーザ光 の光路上から退避した退避位置とを移動可能に配置された安全シャッタミラーと、
前記安全シャッタミラーによって反射された前記分岐レーザ光を減衰吸収するとともに 、一部の分岐レーザ光を散乱光として反射させるダンパと、
前記ダンパにより反射された散乱光を検出し、散乱光を検出することにより異常を検出するフォトセンサ
とを有し、前記第1ユニットの後段に配置された第2ユニット
とから構成されていることを特徴とする光路分岐ミラーユニット。 - レーザ光を分岐させる分岐位置と前記レーザ光の光路上から退避した退避位置とを移動 可能に配置された分岐ミラーと、
前記分岐ミラーにより分岐された分岐レーザ光の光路上の遮断位置と前記分岐レーザ光 の光路上から退避した退避位置とを移動可能に配置された安全シャッタミラーと、
前記安全シャッタミラーによって反射された前記分岐レーザ光を減衰吸収するとともに 、一部の分岐レーザ光を散乱光として反射させるダンパと、
前記ダンパにより反射された散乱光を検出し、散乱光を検出することにより異常を検出 するフォトセンサ
とを有する少なくとも1段の第3ユニットと、
レーザ光を分岐させる分岐位置に固定状態に配置された分岐ミラーと、
前記分岐ミラーにより分岐された分岐レーザ光の光路上の遮断位置と前記分岐レーザ光 の光路上から退避した退避位置とを移動可能に配置された安全シャッタミラーと、
前記安全シャッタミラーによって反射された前記分岐レーザ光を減衰吸収するとともに 、一部の分岐レーザ光を散乱光として反射させるダンパと、
前記ダンパにより反射された散乱光を検出し、散乱光を検出することにより異常を検出 するフォトセンサ
とを有し、前記第3ユニットの後段に配置された第2ユニット
とから構成されている光路分岐ミラーユニット。 - 前記第3ユニットにおいて、前記フォトセンサを設置しないで形成した
ことを特徴とする請求項2に記載の光路分岐ミラーユニット。
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