JPH02187291A - レーザ光による穿孔方法、及び、同穿孔装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はレーザ光を利用してプリント基板上の複数個所
の加工点に対して同時に穿孔し得るように創作した穿孔
方法、及び、同穿孔装置に係り、特に、加工用のレーザ
光を集光して穿孔する位置を可視的に標定し得るように
改良した穿孔方法及び穿孔装置に関する。

〔従来の技術〕

プリント板への穿孔は従来一般に機械ドリル式が実用さ
れているが、孔の小径化のため、及び。

非貫通穴加工の必要性に対応するために、レーザ穿孔が
研究開発されている。

この種の技術に関しては特開昭６１−９５７９２号、及
び、特開昭６２−２１６２９７号が公知である。

さらに、加工時間短縮の要請に応えるべく特開昭６０−
１２４４８７号が提案されている。この技術は予め銅箔
に設けられた透孔に向けてレーザ光を投射し、ワークを
停止させずに穿孔する。

〔発明が解決しようとする課題〕

レーザ光による穿孔技術を商業的採算ベースに乗せて実
用化を図るには、能率を向上させるような改良が必要で
ある。

穿孔能率を向上さゼるため、レーザビームを複数の（Ｎ
条の）平行なレーザビームに分割して。

Ｎ個の加工点を同時に穿孔することも考えられるが、こ
うしたアイデアを実用化するには、該Ｎ個の加工点に対
して正しくレーザビームが集光するか否か（即ち、所定
の位置に正しく穿孔されるか否かを可視的に標定するこ
とが望ましい。

本発明の目的は、プリント基板上のＮ個所の加工点を可
視的に標定して、同時に正確に穿孔し得る、レーザ光に
よる穿孔方法、及び同穿孔装置を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

１個のレーザ発振器を用いた簡単な構・成でＮ個（Ｎは
２以上の整数）の加工点を穿孔するため、本発明は１条
の加工用レーザ光束＆Ｎ個のビームスプリッタ（ハーフ
ミラ−）によってＮ条のレーザ光束に分割し、それぞれ
の光束をＮ個の集光レンズによってＮ個の加工点に集光
させると共に、上記の加工点を観測するため、前記１条
の加工用レーザ光束に可視光を同軸に重畳させる。

上記の可視光としてＨａ−Ｎａレーザ光を用いると好都
合である。

さらに、加工点付近から反射される可視光像を有孔のミ
ラーでＴＶ左カメラ導いて観測し、加工点を標定する。

以上に述べた原理に基づき、これを実用面に適応させる
ための具体的な構成として本発明方法は。

レーザ光を照射してプリント基板に穿孔する場合を適用
の対象とし、 １個のレーザ発振器から投射された１条の加工用レーザ
ビームを、該１条のレーザビーム上に配列したＮ個のビ
ームスプリッタによって平行なＮ条の加工用レーザビー
ムに分割し 上記Ｎ条の加工用レーザビームの光軸上にそわぞれ集光
レンズを設けてＮ個のスポットに集光して、プリント基
板上のＮ個所の加工点を同時に穿孔すると共に。

前記１条の加工用レーザビームの光軸上に観測用の可視
光光束の光軸を重畳し、該可視光を前記Ｎ個のビームス
プリッタによってＮ条の可視光束に分割し、前記Ｎ個の
集光レンズにより集光してＮ個の加工点付近を照射し、 前記Ｎ条に分割された加工用レーザビーム及び可視光の
光軸それぞれの上に、中心孔を有する反射鏡を該光軸に
斜交せしめて設置し、 上記Ｎ個の反射鏡によってそれぞれ反射されるＮ個所の
加工点付近の可視光像を、ズームレンズを備えた１個の
ＴＶ左カメラよって撮像して、加工用レーザビームによ
る加工点を標定する。

また、上記の発明方法を実施するために創作した本発明
の装置は。

水平な直交２軸Ｘ、Ｙと垂直軸Ｚとを設定し。

ベース部材に固定されてＹ軸方向に加工用レーザビーム
を投射するレーザ発振器と、 上記ベース部材に対してＹ軸方向に往復駆動されるＹ軸
方向の移動機構と。

上記Ｙ軸方向の移動機構に搭載され、前記Ｙ軸方向の加
工用レーザビームの光軸上に配列されて、該Ｙ軸方向の
加工用レーザビームをＹ軸方向のＮ条の加工用レーザビ
ームに分割するＮ個のビームスプリッタと。

前記Ｙ軸方向の移動機構に搭載されてＹ軸方向に往復駆
動されるＹ軸方向の移動機構と。

上記Ｙ軸方向の移動機構に搭載されて、前記Ｎ条の加工
用レーザビームの光軸それぞれの上に配置したＮ個の集
光レンズと、 被加工物であるプリント基板を搭載し、ベース部材に対
してＸ軸方向に往復駆動されるＸ軸方向の移動機構と、 前記レーザ発振器と、前記Ｎ個のビームスプリッタとの
間の加工用レーザビーム光軸上に位置し。

該光軸から退避せしめ得る構造の移動ミラーと、上記移
動ミラーが加工用レーザの光軸上に位置する状態で、該
移動ミラーに観測用の可視光光束を投射する投光手段と
、 前記Ｙ軸方向の移動機構に搭載されて、前記Ｎ条に分割
された加工用レーザビームそれぞれの光軸上に、該光軸
に対し斜交せしめて配列された、中心孔を有するＮ個の
反射鏡と。

上記Ｎ個の反射鏡によって反射されたＮ個の可視光像を
撮像する、ズームレンズを備えた１個のＴＶ左カメラ、 上記ＴＶ左カメラ撮像された映像を映写する七二夕とを
設けたものである。

〔作用〕

１条の加工用レーザビームをＮ条に分割すると、１個の
レーザ発振器によって投射されたレーザ光によってＮ個
の加工点を同時に穿孔できるので。

能率が約８倍となる。上記のＮの値は２以上の整数であ
るがＮ≧４とすると顕著な能率が得られる。

これと共に上記１条のレーザ光と同軸に可視光を重畳さ
せるので、該可視光はＮ個のビームスプリッタによって
Ｎ条に分割され、同時にＮ個の加工点を照明することが
できる。

上記Ｎ個の加工点それぞれの付近からの可視反射光を鏡
によって、１個のＴＶカメラに導くので、該１個のＴＶ
カメラでＮ個の加工点付近を観察し、櫟定することがで
きる。

上記の鏡に孔を設けておくと、加工用のレーザビームの
投射や観測用可視光を遮ることなく、加工点付近で反射
した可視光をＴＶカメラに導くことが出来る。

〔実施例〕

第１図は本発明のレーザ穿孔方法を実施するために構成
した、本発明のレーザ穿孔装置の一実施例を示す模式的
な斜視図である。

水平な直交２軸Ｘ、Ｙと垂直軸Ｚとを想定する。

水平板と垂直板とを連設した形状のベース７０を構成す
る。

ベース７０の水平部分の上に設置したＸ軸方向の１対の
レール６１によって、Ｘテーブル６０がＸ軸方向の摺動
自在に水平に支承されており、モータ６２によって往復
駆動される。

ベース７０の垂直面に設置したＹ軸方向の１対のレール
５１によって、Ｘテーブル５０がＹ軸方向の摺動自在に
、Ｙ−Ｚ面と平行に支承されており、モータ５２によっ
て往復駆動される。

上記のＸテーブル５０に設置されたＺ軸方向の１対のレ
ール４１によって、水平なＺテーブル４０が２軸方向の
摺動自在に支承され、モータ４２によってＺ軸方向に往
復駆動される。

レーザ発振器１０は、その光軸１４をＹ軸方向に向けて
（詳しくはＹ軸と平行に）設置され、該光軸に沿って１
条の加工用レーザ光を投射する。本例のレーザ発振器１
０はＣＯ２レーザ発振器によって構成した。

上記の光軸１４上に位置せしめて、Ｎ個のビームスプリ
ッタをＸテーブル５０に搭載して固定する。

本例においては４個のビームスプリッタ２０Ａ。

２０Ｂ〜２０ＤをＸテーブル５０に搭載して固定した。

これらのビームスプリッタはＸ軸と平行に、かつ、Ｚ軸
とＹ軸とに対してそれぞれ４５°をなすように配列し、
分光された４条の光軸１５Ａ〜１５ＤがそれぞれＺ軸方
向となるように配設しである。

さらに、レーザ発振器１０から最も離れているビームス
プリッタ２０Ｄ以外のビームスプリッタ２０Ａ〜２０Ｇ
は、それぞれ案内２０　Ａ　＋　１〜２０Ａ−２によっ
て光軸１４上の位置と、光軸１４から退避した位置との
間を往復移動せしめ得る構造である。

上記の分割されたそれぞれの光軸１５Ａ〜１５Ｄに対し
て光軸を一致せしめるよう、集光レンズ２２Ａ〜２２Ｄ
が配列され、それぞれＺテーブル４０に取り付けられて
上下方向の位置が調節できるように構成されている。

前述したＸテーブル６０の上には、分割された光軸１５
Ａ〜１５Ｄと交わる位置にプリント板８０Ａ〜８０Ｄが
セットされる。２３Ａ〜２３Ｄは加工ヘッドで、Ｚテー
ブル４０に取り付けである。

前記のレーザ発振器１０と、これに最も近いビームスプ
リッタ２０Ａとの間に移動ミラー１２が配設される。

この移動ミラー１２は、光軸１４に交わる位置と、光軸
１４から退避した位置との間を、図示しない駆動手段に
よって往復移動せしめられる構造である。

上記移動ミラー１２に対応せしめて可視光源としてのＨ
ｅ−Ｎｅレーザ発振器１１をベース７０に設置する。上
記Ｈｅ−Ｎｅレーザ発振器１１は、移動ミラー１２が光
軸１４と交わる位置にあるとき、その交点に向けて可視
光を投射する。

前記の移動ミラー１２が光軸１２上に位置しているとき
、上記Ｈｅ−Ｎｏレーザ発振器１】から可視光を投射す
ると、可視光束は移動ミラー１２で反射されて光軸１４
と同軸に導かれる。

光軸１４上を進行した可視光は、ビームスプリッタ２０
Ａ〜２０Ｄで分割され、集光レンズ２２Ａ〜２２Ｄで集
光されて、プリント板８０Ａ〜８０Ｄそれぞれの　−加
工点付近を照明する。

光軸１５Ａ〜１５Ｄ上には、それぞれ、中心孔を有する
反射鏡３０Ａ〜３０Ｄが、支持具３１Ａ〜３１Ｄを介し
てＺテーブル４０に搭載して固定されている。

光軸１５Ａ〜１５Ｄに沿って下方に投射される光束（加
工用ＣＯｚレーザ光、及び、観測用Ｈｅ−Ｎａ可視レー
ザ光）は反射鏡３０Ａ〜３０Ｄの中心孔を通過する。

反射鏡３０Ａ〜３０Ｄの中心孔を通過した加工用Ｃｏ２
レーザ光は、集光レンズ２２Ａ〜２２Ｄによって集光さ
れ、加工ヘッド２３Ａ〜２３Ｄを介して被加工物である
プリント基板８０Ａ〜８０Ｄ上の加工点に集光される。

上記の集光位置はモータ６２で駆動されるＸテーブル６
０の位置調節、およびモータ５２で駆動されるＹテーブ
ル５０の位置調節により、ｘ−ｙ平面内での位置が調節
される。

また、モータ４２によりＺテーブル４０の位置を上下に
調節して、これに搭載された集光レンズ２２Ａ〜２２Ｄ
による集光点のピント調節が行われる。

レーザ発振器１０が停止した状態で移動ミラー１２を光
軸１４上に進出させ、Ｈｅ−Ｎｅ可視光レーザ発振器１
１を作動させてｗ４測用の可視光を投射すると。

該可視光の光束は光軸１４に重畳され、ビームスプリッ
タ２０Ａ〜２０ＤによりＮ条の可視光束に分割され、そ
れぞれ光軸１５Ａ〜１５Ｄに沿って有孔の反射鏡３０Ａ
〜３０Ｄの中心孔を通り、集光レンズ２２Ａ〜２２Ｄで
集光されて加工点付近を照明する。

加工点付近を照明した可視光は乱反射されて、その一部
は集光レンズ２３Ａ〜２３Ｄを経て上方に向かい、有孔
の反射鏡３０Ａ〜３００によりＴＶカメラ３３のズーム
レンズ３２に向けて反射される。

上記４個の有孔の反射鏡３０Ａ〜３０Ｄは、ズームレン
ズ３２から見て互いに重なり合わないように配列しであ
る。

このようにして、４個のプリント基板８０Ａ〜８０Ｄ上
の４個の加工点付近の像が、可視光によって照明され、
該加工点付近の映像が１個のＴＶカメラ３３に導かれて
観測される。

第２図は、分割された４条の光軸１５Ａ〜１５Ｄの内、
光軸１５０上に配列された部材、及び、これらに関連す
る部材を抽出した模式的に描いた説明図であって、加工
用の高エネルギＣｏ２レーザ光束を実線で、観測用の可
視Ｈｅ−Ｎｅレーザ光束を破線で描いである。

移動ミラー１２を実線で示したように光軸１４から退避
させてＣ０２レーザ発振器１０を作動させると、加工用
の高エネルギＣｏ２レーザ光は光軸１４に沿って進み、
ビームスプリッタ２０Ａで反射された部分は光軸１５Ａ
に沿って進み、有孔の反射鏡３ＯＡの中心孔を通り、集
光レンズ２２で集光されてプリント基板８０Ａ上の加工
点に集中し、穿孔作用を果たす。

移動ミラーを鎖線で示した１２′の如く光軸１４上に位
置せしめてＨｅ−Ｎｅレーザ発振器１１を作動させると
、＃Ｒ察用の可視光（破線で示す）はビームスプリッタ
２０Ａ、集光レンズ２２Ａを経てプリント基板８０Ａの
加工点付近を照明して乱反射し、その反射光は集光レン
ズ２２Ａで平行光束となり、有孔の反射鏡３０Ａの周囲
部分で光束１６の如く反射され、ズームレンズ３２を経
てＴＶカメラ３３に入射して電気信号に変換され、ＴＶ
受像器３４に映し出される。

上記の可視光が集光レンズ２２Ａによってプリント基板
８０Ａ上に集光される点は、加工用ＣＯ２レーザ光が集
光レンズ２２Ａによって集光される加工点と一致するの
で、前記可視光の映像によって加工点を標定し、調節す
ることが出来る。

また、加工結果を可視光によって観察、検査することも
できる。

上記の加工点標定、及び加工結果検査を、公知の画像処
理技術の適用によって自動化することも可能である。

第３図は１条の光軸１４、及び４条の光軸１５Ａ〜１５
Ｄに沿って設けられた部材、及びその調節機構を模式的
に示した説明図である。

第１図について説明したように、ズームレンズ３２から
見て４個の有孔の反射鏡３０Ａ〜３０Ｄが重なり合わな
いように配列されているので、１個のＴＶカメラ３３に
よってＮ個（本例では４個）の加工点の観測が可能とな
る。

ＴＶ受像器３４の情報に基づき、加工用テーブルの制御
部９１で加工点の初期設定を行い、全体制御装置９２の
指令により、発振器用制御部９０で所定のプログラムに
従ってプリント基板８０Ａ〜８０Ｄの加工を制御する。

一方、ビームスプリッタ２０Ａ〜２０Ｄの内、ビームス
プリッタ２０Ａ〜２０Ｃは既述の如く退避操作可能なよ
うに支持されている。

第４図はこれら４個のビームスプリッタの作用説明図で
ある。

４個のビームスプリッタ２０Ａ〜２０Ｄの反射率は、レ
ーザ発振器１０に近い方から順に ビームスプリッタ２０Ａの反射率２５％。

同２０Ｂの反射率３３％、 同２０Ｇの反射率５０％、 同２０Ｄの反射率１００％、に設定しである。

第４図（ａ）は４個のビームスプリッタ全部を光軸１４
上に位置せしめた状態を示す。

第４図（ｂ）はビームスプリッタ２０Ａを退避させた状
態を。

第４図（ｃ）はビームスプリッタ２０Ａ、２０Ｂを退避
させた状態を、 第４図（ｄ）はビームスプリッタ２０Ａ〜２０Ｇを退避
させた状態を表わしている。

（図（ａ）参照）４個のビームスプリッタの反射率を前
記のように設定しであるので、レーザ発振器１０の出力
を１ＯＯＷとすれば、 分割された光軸１５Ａ−１５０のそれぞれに２５Ｗずつ
（１／４ずつ）均等に配分される。

（図（ｂ）参照）１個のビームスプリッタ２０Ａを退避
させると、３条の光軸１５Ｂ〜１５Ｄのそれぞれに３３
．３３Ｗずつ（１／３ずつ）均等に配分される。

（図（ｃ）参照）２個のビームスプリッタ２０Ａ。

２０Ｂを退避させると、２条の光軸１５Ｃ，１５Ｄに５
０Ｗずつ（１／２ずつ）均等に配分される。

（図（ｄ）参照）３個のビームスプリッタ２０Ａ〜２０
Ｇを退避させると、放射されたレーザ光束の全部が光軸
１５Ｄに導かれる。

このようにして、Ｎ個〜２個の加工点に対して均等にレ
ーザ光束のエネルギ量を配分したり、１個の加工点に全
エネルギを集中したりすることができ、Ｎ〜１個の任意
の数の加工点に対して同時に同様のレーザ光による穿孔
を行うことができる。

第４図に示したようなレーザ光束のエネルギの均分は、
Ｎ個のビームスプリッタの反射率を、し一ザ発振器に近
いものから順に　Ｎ　’　Ｎ−１’　Ｎ−２■ ・・・−Ｔ　、１とすることによって達せられる。また
レーザ発振器に近い方から１個、２個・・・Ｎ−１個の
ビームスプリッタを退避させ得るように構成しておくと
、Ｎ〜１個の内の任意個数の加工点を選ぶことが出来る
。

本発明を実施する場合、Ｎの数は２以上の整数の中で任
意に設定することが出来、Ｎ個の加工点を１個のＴＶカ
メラで標定して同時にＮ個の加工点を穿孔することが出
来る。従って、Ｎの数が大きいほど高能率であり、本発
明の効果が充分に発揮される。こうした観点から、Ｎ≧
４とすることが望ましい。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明に係るレーザ光による穿孔
装置を構成して本発明に係るレーザ光による穿孔方法を
実施すると。

１個の加工用レーザ発振器を用いた簡単な構成で、複数
の加工点に対して同時に高精度で穿孔することができる
。

さらに、上記加工用レーザ発振器から放射されるレーザ
光の光軸に対して１個の可視光源の光軸を重畳させるこ
とにより、該可視光の光束が加工用レーザのビームと同
じ経路を通って加工点に達するので、複数個の加工点の
それぞれを観測できる。

さらに、Ｎ個の有孔反射鏡によってＮ個の加工点それぞ
れからの反射可視光をＴＶカメラに導くことにより、１
個のＴＶカメラでＮ個の加工点の標定、及び、加工結果
の観察、検査を行うことができ、レーザ光によるワーク
（特にプリント板）の穿孔作業技術の向上に貢献すると
ころ多大である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るレーザ光による穿孔装置の一実施
例を示す斜視図、第２図及び第３図は上記実施例におけ
る観察用光学系の説明図、第４図は加工用レーザ光束の
エネルギ配分の説明図である。 １０・・・ＣＯｚレーザ発振器、１１・・・Ｈｅ−Ｎｅ
レーザ発振器、１２・・・移動ミラー、１４・・・１条
の光軸、１５Ａ〜１５Ｄ・・・分割された光軸、２０Ａ
〜２０Ｄ・・・ビームスプリッタ、２２Ａ〜２２Ｄ・・
・集光レンズ、２３Ａ〜２３Ｄ・・・加工ヘッド、３０
Ａ〜３０Ｄ・・・有孔の反射鏡、３１Ａ〜３１Ｄ・・・
反射鏡の支持具、３２・・・ズームレンズ、３３・・・
ＴＶカメラ、４０・・・Ｚテーブル、４１・・・Ｚ軸方
向のレール、４２・・・モータ、５０・・・Ｙテーブル
、５１・・・Ｙ軸方向のレール、５２・・・モータ、６
０・・・Ｘテーブル、６１・・・Ｘ軸方向のレール、６
２・・・モータ、７０・・・ベース。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、レーザ光を照射して被加工物に穿孔する方法におい
   て、 １個のレーザ発振器から投射された１条の加工用レーザ
   ビームを、該１条のレーザビーム上に配列したＮ個のビ
   ームスプリッタによって平行なＮ条の加工用レーザビー
   ムに分割し 上記Ｎ条の加工用レーザビームの光軸上にそれぞれ集光
   レンズを設けてＮ個のスポットに集光して、被加工物の
   Ｎ個所の加工点を同時に穿孔すると共に、 前記１条の加工用レーザビームの光軸上に観測用の可視
   光光束の光軸を重畳し、該可視光を前記Ｎ個のビームス
   プリッタによってＮ条の可視光束に分割し、前記Ｎ個の
   集光レンズにより集光してＮ個の加工点付近を照射し、 前記Ｎ条に分割された加工用レーザビーム及び可視光の
   光軸それぞれの上に、中心孔を有する反射鏡を該光軸に
   斜交せしめて設置し、 上記Ｎ個の反射鏡によってそれぞれ反射されるＮ個所の
   加工点付近の可視光像を、ズームレンズを備えた１個の
   ＴＶカメラによって撮像して、加工用レーザビームによ
   る加工点を標定することを特徴とする、レーザ光による
   穿孔方法。 ただし、Ｎは２以上の整数である。 ２、前記のＮは、Ｎ≧４であることを特徴とする、請求
   項１に記載のレーザ光による穿孔方法。 ３、レーザ光によって被加工物に穿孔する装置において
   、水平な直交２軸Ｘ，Ｙと垂直軸Ｚとを設定し、ベース
   部材に固定されてＹ軸方向に加工用レーザビームを投射
   するレーザ発振器と、上記ベース部材に対してＹ軸方向
   に往復駆動されるＹ軸方向の移動機構と、 上記Ｙ軸方向の移動機構に搭載され、前記Ｙ軸方向の加
   工用レーザビームの光軸上に配列されて、該Ｙ軸方向の
   加工用レーザビームをＺ軸方向のＮ条の加工用レーザビ
   ームに分割するＮ個のビームスプリッタと、 前記Ｙ軸方向の移動機構に搭載されてＺ軸方向に往復駆
   動されるＺ軸方向の移動機構と、上記Ｚ軸方向の移動機
   構に搭載されて、前記Ｎ条の加工用レーザビームの光軸
   それぞれの上に配置したＮ個の集光レンズと、 被加工物であるプリント基板を搭載し、ベース部材に対
   してＸ軸方向に往復駆動されるＸ軸方向の移動機構と、 前記レーザ発振器と、前記Ｎ個のビームスプリッタとの
   間の加工用レーザビーム光軸上に位置し、該光軸から退
   避せしめ得る構造の移動ミラーと、 上記移動ミラーが加工用レーザの光軸上に位置する状態
   で、該移動ミラーに観測用の可視光光束を投射する投光
   手段と、 前記Ｚ軸方向の移動機構に搭載されて、前記Ｎ条に分割
   された加工用レーザビームそれぞれの光軸上に、該光軸
   に対し斜交せしめて配列された、中心孔を有するＮ個の
   反射鏡と、 上記Ｎ個の反射鏡によって反射されたＮ個の可視光像を
   撮像する、ズームレンズを備えた１個のＴＶカメラと、 上記ＴＶカメラで撮像された映像を映写するモニタと、
   よりなることを特徴とする、レーザ光による穿孔装置。 ただし、Ｎは２以上の整数である。 ４、前記Ｎ個のビームスプリッタの反射率は、レーザ光
   源に近いものから順に１／Ｎ，１／（Ｎ−１），１／（
   Ｎ−２）…１／２，１／１であることを特徴とする、請
   求項３に記載のレーザ光による穿孔装置。 ５、前記Ｎ個のビームスプリッタは、レーザ光源に近い
   ものから順に、１個，２個，…Ｎ−１個をレーザビーム
   光軸上から退避させ、復元させ得る駆動手段を設けたも
   のであることを特徴とする、請求項４に記載のレーザ光
   による穿孔装置。 ６、前記の加工用レーザビームを投射するレーザ発振器
   はＣＯ＿２レーザ発振器であり、 前記の観測用可視光を投射する投光手段は Ｈｅ−Ｎｅレーザ発振器であることを特徴とする、請求
   項３乃至同５の内の何れか１つに記載のレーザ光による
   穿孔装置。 ７、前記のＮはＮ≧４であることを特徴とする、請求項
   ３乃至同６の内の何れか一つに記載のレーザ光による穿
   孔装置。