JP2014221486A - 光路分岐ミラーユニット - Google Patents
光路分岐ミラーユニット Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014221486A JP2014221486A JP2013101973A JP2013101973A JP2014221486A JP 2014221486 A JP2014221486 A JP 2014221486A JP 2013101973 A JP2013101973 A JP 2013101973A JP 2013101973 A JP2013101973 A JP 2013101973A JP 2014221486 A JP2014221486 A JP 2014221486A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical path
- mirror
- branching
- mirror unit
- branch
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 92
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 abstract description 13
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 9
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 3
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010330 laser marking Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/005—Optical devices external to the laser cavity, specially adapted for lasers, e.g. for homogenisation of the beam or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/0014—Monitoring arrangements not otherwise provided for
Abstract
【解決手段】レーザ光Lを分岐する分岐ミラー12と、分岐されたレーザ光LSの光路上の遮断位置と前記光路上から退避した退避位置とを移動可能に配置された安全シャッタミラー13と、前記安全シャッタミラー13によって反射されたレーザ光LSを受けて減衰させるダンパ14と、前記ダンパ14によるレーザ光LSの散乱光を検出するフォトセンサ15とを有することを特徴。
【選択図】 図1
Description
12、22、32 分岐ミラー
13、23、33 安全シャッタミラー
14、24、34 ダンパ
15、25、35 フォトセンサ
Claims (3)
- レーザ光を分岐する分岐ミラーと、
分岐されたレーザ光の光路上の遮断位置と前記光路上から退避した退避位置とを移動可能に配置された安全シャッタミラーと、
前記安全シャッタミラーによって反射されたレーザ光を受けて減衰させるダンパと、
前記ダンパによるレーザ光の散乱光を検出するフォトセンサとを有する
ことを特徴とする光路分岐ミラーユニット。 - レーザ光の光路上に請求項1に記載の光路分岐ミラーユニットを直列に複数段配置し、最終段より前の光路分岐ミラーユニットの各分岐ミラーをレーザ光の光路上の分岐位置と前記光路上から退避した退避位置とを移動可能に配置した
ことを特徴とする光路分岐ミラーユニット。 - 最終段より前段の各光路分岐ミラーユニットにおいて、前記フォトセンサを設置しないで形成した
ことを特徴とする請求項2に記載の光路分岐ミラーユニット。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013101973A JP6169889B2 (ja) | 2013-05-14 | 2013-05-14 | 光路分岐ミラーユニット |
PCT/JP2014/062704 WO2014185407A1 (ja) | 2013-05-14 | 2014-05-13 | 光路分岐ミラーユニット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013101973A JP6169889B2 (ja) | 2013-05-14 | 2013-05-14 | 光路分岐ミラーユニット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014221486A true JP2014221486A (ja) | 2014-11-27 |
JP6169889B2 JP6169889B2 (ja) | 2017-07-26 |
Family
ID=51898384
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013101973A Active JP6169889B2 (ja) | 2013-05-14 | 2013-05-14 | 光路分岐ミラーユニット |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6169889B2 (ja) |
WO (1) | WO2014185407A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016135965A1 (ja) * | 2015-02-27 | 2016-09-01 | ギガフォトン株式会社 | ビームダンプ装置、それを備えたレーザ装置および極端紫外光生成装置 |
JP2016175813A (ja) * | 2015-03-20 | 2016-10-06 | アウレアワークス株式会社 | レーザ光分割装置を有する単結晶育成装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02187291A (ja) * | 1989-01-11 | 1990-07-23 | Hitachi Ltd | レーザ光による穿孔方法、及び、同穿孔装置 |
JPH11285871A (ja) * | 1998-04-03 | 1999-10-19 | Miyachi Technos Corp | レーザ光路開閉状態検出機構 |
JP2012179627A (ja) * | 2011-03-01 | 2012-09-20 | Amada Co Ltd | ファイバーレーザ加工機におけるレーザ出力および戻り光検出方法及びファイバーレーザ加工機の加工ヘッド |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6117392A (ja) * | 1984-07-03 | 1986-01-25 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | レ−ザ加工方法 |
JPH01321090A (ja) * | 1988-06-20 | 1989-12-27 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ加工機システム |
DE19634190C2 (de) * | 1996-08-23 | 2002-01-31 | Baasel Carl Lasertech | Mehrkopf-Lasergravuranlage |
-
2013
- 2013-05-14 JP JP2013101973A patent/JP6169889B2/ja active Active
-
2014
- 2014-05-13 WO PCT/JP2014/062704 patent/WO2014185407A1/ja active Application Filing
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02187291A (ja) * | 1989-01-11 | 1990-07-23 | Hitachi Ltd | レーザ光による穿孔方法、及び、同穿孔装置 |
JPH11285871A (ja) * | 1998-04-03 | 1999-10-19 | Miyachi Technos Corp | レーザ光路開閉状態検出機構 |
JP2012179627A (ja) * | 2011-03-01 | 2012-09-20 | Amada Co Ltd | ファイバーレーザ加工機におけるレーザ出力および戻り光検出方法及びファイバーレーザ加工機の加工ヘッド |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016135965A1 (ja) * | 2015-02-27 | 2016-09-01 | ギガフォトン株式会社 | ビームダンプ装置、それを備えたレーザ装置および極端紫外光生成装置 |
JPWO2016135965A1 (ja) * | 2015-02-27 | 2018-01-18 | ギガフォトン株式会社 | ビームダンプ装置、それを備えたレーザ装置および極端紫外光生成装置 |
US10401615B2 (en) | 2015-02-27 | 2019-09-03 | Gigaphoton Inc. | Beam dump apparatus, laser apparatus equipped with the beam dump apparatus, and extreme ultraviolet light generating apparatus |
JP2016175813A (ja) * | 2015-03-20 | 2016-10-06 | アウレアワークス株式会社 | レーザ光分割装置を有する単結晶育成装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6169889B2 (ja) | 2017-07-26 |
WO2014185407A1 (ja) | 2014-11-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6291993B2 (ja) | 多光軸光電センサ | |
JP6140112B2 (ja) | 停止機能を備えたロボット制御システム | |
US20100164739A1 (en) | Monitoring device for a laser machining device | |
JP2018520007A5 (ja) | ||
KR101743829B1 (ko) | 센서 장치 및 위험 검지 시스템 | |
WO2014185407A1 (ja) | 光路分岐ミラーユニット | |
JP2006281268A5 (ja) | ||
JP2013130856A5 (ja) | ||
JP2017006927A (ja) | 光路切替え装置および光路切替え方法 | |
JP2002001555A (ja) | レーザ加工装置 | |
CN110168820B (zh) | 激光装置 | |
US8803026B2 (en) | Laser machining device and bellows device | |
JP2015184037A (ja) | レーザレーダ装置 | |
JP6306659B1 (ja) | ビーム分配器 | |
KR102165511B1 (ko) | 광학 장치, 가공 장치, 물품 제조 방법 및 컴퓨터 판독가능 저장 매체 | |
US10162187B2 (en) | High-output optical attenuator, measurement device, and 3D shaping apparatus | |
EP3834978B1 (en) | Laser machining device | |
JP5033528B2 (ja) | 安全装置 | |
JP2021097073A (ja) | レーザ発振器 | |
CN107966766B (zh) | 光束分配器 | |
JP7454769B2 (ja) | レーザ装置 | |
KR20110009234A (ko) | 초음파의 레이저 발생을 위한 블록-단말 광섬유 | |
JP3570519B2 (ja) | 光線式安全装置のセルフチェックシステム | |
Blomster et al. | High-power fiber optic cable with integrated active sensors for live process monitoring | |
JP2013212510A (ja) | レーザ加工機およびレーザ光保護装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160502 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160901 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170228 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170501 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170501 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170606 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170629 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6169889 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |