JP2006281268A5 - - Google Patents

Claims (6)

1. レーザ発振器と、入射する前記レーザ発振器から出力されたレーザを第１の方向または第１の方向に対して所定の角度偏向した第２の方向に出射する光路偏向手段と、第１と第２の２個のレーザ照射部と、前記光路偏向手段から出射される第１の方向の前記レーザを前記第１のレーザ照射部に導く第１の光学系と、前記光路偏向手段から出射される第２の方向の前記レーザを前記第２のレーザ照射部に導く第２の光学系と、を備え、前記レーザ発振器から出力される前記レーザを前記光路偏向手段により選択して前記２個のレーザ照射部のいずれか一方に供給するようにしたレーザ加工機において、
   入射するレーザを、光軸が入射するレーザの光軸と同軸の第１の分岐レーザと、光軸が入射するレーザの光軸と交差する第２の分岐レーザに分岐して出射させるビームスプリッタと、
   このビームスプリッタを、前記レーザ発振器と前記光路偏向手段との間で、前記レーザ発振器から出力される前記レーザの光軸に交差させる動作位置と前記レーザの光軸から外れる待機位置との間で移動させる移動手段と、
   前記動作位置に位置決めされた前記ビームスプリッタから分岐される前記第２の分岐レーザを前記光路偏向手段にて前記第１の分岐レーザが供給されない方に選択された前記第２の光学系の前記レーザ照射部に導く第３の光学系と、をさらに備え、
   前記レーザを、前記２個のレーザ照射部のいずれか一方または両方に供給することを選択できるようにしたことを特徴とするレーザ加工機。
2. 前記第３の光学系に第２の光路偏向手段を配置してなる、
   請求項１記載のレーザ加工機。
3. 前記第３の光学系にエネルギー調節手段を配置してなる、
   請求項１記載のレーザ加工機。
4. 前記光路偏向手段が、直列に配置された２個の光路偏向器からなる、
   請求項１記載のレーザ加工機。
5. 前記２個の光路偏向器が、接触して配置され、
   前記第３の光学系が、前記２個の光路偏向器を通過した後の前記第２の光学系と共通してなる、
   請求項１記載のレーザ加工機。
6. 前期２個の光路偏向器が、離れて配置され、
   前記第３の光学系が、前記２個の光路偏向器の間において前記第２の光学系と共通してなる、
   請求項１記載のレーザ加工機。