WO2014185407A1 - 光路分岐ミラーユニット - Google Patents

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WO2014185407A1
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mirror
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laser light
mirror unit
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Inventor
正幸 赤城
昌利 斎藤
Original Assignee
ミヤチテクノス株式会社
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/005—Optical devices external to the laser cavity, specially adapted for lasers, e.g. for homogenisation of the beam or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/0014—Monitoring arrangements not otherwise provided for

Definitions

  • the present invention relates to an optical path branching mirror unit that branches an optical path of a laser beam, and more particularly to an optical path branching mirror unit suitable for detecting an operation abnormality when the optical path is branched.
  • laser light generated by one laser oscillator is used simultaneously or non-simultaneously (time-division-wise) in order to perform multi-point simultaneous processing or multi-position processing.
  • a method is adopted in which a plurality of laser beams are branched, and the branched laser beams are transmitted to a remote processing location via an optical fiber and irradiated to a desired processing point (for example, Patent Document 1, FIG. 1 and FIG. 6). ).
  • an optical path branching mirror unit mainly composed of a branching mirror is provided to branch the laser beam.
  • the branch mirror is disposed on the optical path of the laser beam, and is formed so as to branch the branch laser beam in a predetermined direction and output it. Further, in order to change the branching state, the branching mirror is installed so as to be movable between the branching position on the optical path and the retracted position retracted from the optical path. In this case, the branch mirror at the final stage of the branch is installed in a fixed state.
  • the present invention has been made in view of these points, and an object of the present invention is to provide an optical path branching mirror unit capable of branching laser light and reliably detecting abnormal operation when it occurs.
  • the optical path branching mirror unit is arranged so as to be movable between a branching mirror that branches the laser light, a blocking position on the optical path of the branched laser light, and a retreating position retracted from the optical path.
  • the laser light when the safety shutter mirror is in the blocking position, when the laser light reaches the safety shutter mirror with some abnormal operation, the laser light is reflected toward the damper and is attenuated and absorbed by the damper. At the same time, it becomes scattered light from the damper and is scattered to the outside, and the scattered light is detected by the photosensor, so that abnormal operation is reliably detected.
  • the second aspect of the optical path branching mirror unit of the present invention includes a plurality of stages of optical path branching mirror units of the first aspect arranged in series on the optical path of the laser beam, and each of the optical path branching mirror units before the final stage.
  • the branching mirror is characterized in that the branching position on the optical path of the laser beam and the retracted position retracted from the optical path are movably arranged.
  • the third aspect of the optical path branching mirror unit of the present invention is characterized in that, in the second aspect, it is formed without installing the photosensor in each optical path branching mirror unit before the final stage.
  • the third aspect it is possible to reliably detect the abnormal operation of each branch mirror movable by the photosensor installed at the final stage and the safety shutter mirror at the final stage.
  • the block diagram which shows one Embodiment of the optical path branching mirror unit of this invention The perspective view which shows the connection state with the drive system of a safety shutter mirror
  • FIG 1 and 2 show an embodiment of an optical path branching mirror unit of the present invention.
  • the laser beam is branched in two stages (two locations).
  • the laser light L travels from left to right in FIG. 1, and the first optical path branching mirror unit 1 and the second optical path branching mirror unit 21 are installed in the order of progress.
  • the first optical path branching mirror unit 1 is formed in the same manner as a conventional unit, and the second optical path branching mirror unit 21 is formed according to the present invention.
  • the branching mirror 2 is provided on the optical path of the laser light L, the branching position (the solid line position in FIG. 1) for branching the laser light L and outputting the branched laser light LS1, and the light. It is arranged so as to be movable between a retracted position retracted from the road (a broken line position in FIG. 1).
  • the branch mirror 2 is disposed at an angle of 45 degrees with respect to the optical path (optical axis) of the laser light L at the branch position.
  • the branching mirror 22 is arranged on the optical path of the laser light L in a fixed state at the branching position for branching the laser light L and outputting the branched laser light LS2. Yes.
  • the branch mirror 22 is disposed at an angle of 45 degrees with respect to the optical path (optical axis) of the laser light L at the branch position.
  • the safety shutter mirror 23 On the optical path of the branched laser light LS2, the safety shutter mirror 23 reflects the branched laser light LS2 and outputs it to the damper 24 (solid line position in FIG. 1) and from the optical path of the branched laser light LS2.
  • the retracted position (the broken line position in FIG. 1) is retractably disposed.
  • the safety shutter mirror 23 is disposed at an angle of 45 degrees with respect to the optical path (optical axis) of the branched laser beam LS2 at the blocking position.
  • the damper 24 attenuates and absorbs the branched laser light LS2 received from the safety shutter mirror 23 and reflects a part thereof as scattered light.
  • a photosensor 25 composed of a pin photodiode that detects scattered light from the damper 24 is installed.
  • the movable branch mirror 2 and the safety shutter mirror 23 in FIG. 1 are fastened and fixed to the output shaft 26a of the solenoid 26 as a drive source with tightening tools such as bolts.
  • the blocking position (solid line in the figure) and the retracted position (dashed line in the figure) are formed to be movable.
  • the safety shutter mirror 23 is in the blocking position when the solenoid 26 is not energized (OFF), and the safety shutter mirror 23 is moved to the retracted position when the solenoid 26 is energized (ON).
  • Various motors such as a servo motor can be used as a driving source for the safety shutter mirror 23.
  • the branching mirror 2 When branching by the first optical path branching mirror unit 1, the branching mirror 2 is moved to the branching position by a control system (not shown). In the second optical path branching mirror unit 21, the safety shutter mirror 23 is moved to the blocking position. As a result, the laser beam L is branched as the branched laser beam LS1 by the branch mirror 2, and is output to the next stage processing means (not shown, hereinafter the same).
  • the branching mirror 2 of the first optical path branching mirror unit 1 is moved to the retracted position.
  • the safety shutter mirror 23 is moved to the retracted position.
  • the laser light L passes through the first optical path branching mirror unit 1 and reaches the branching mirror 22 of the second optical path branching mirror unit 21 and is branched as the branched laser light LS2.
  • the branched laser light LS2 passes through the front of the safety shutter mirror 23 at the retracted position and is output to the next processing means.
  • the photo sensor 25 detects that there is some abnormality when such an appropriate laser beam L is branched.
  • the branching mirror 2 when branching is performed by the first optical path branching mirror unit 1, the branching mirror 2 should drop off, the tightening and fixing of the branching mirror 2 to a drive source such as a solenoid or servomotor may be loosened, It is assumed that there is a malfunction in the drive system of the mirror 2 and the branch mirror 2 moves to the retracted position.
  • the laser light L passes through the branch mirror 2, reaches the second optical path branch mirror unit 21, is branched by the branch mirror 22, and becomes the branched laser light LS2, and then The light is reflected by the safety shutter mirror 23 in the blocking position, travels to the damper 24, and is attenuated and absorbed.
  • the damper 24 is preferably one capable of reflecting scattered light having an intensity detectable by the photosensor 25, and further preferably has a slow temperature rise rate when the branched laser light LS2 is absorbed.
  • the photosensor 25 is preferably a photosensor 25 having a detection speed of scattered light, that is, a short time from the reception of the scattered light until the detection threshold is exceeded from the viewpoint of suppressing the temperature rise of the damper 24.
  • the first optical path branching mirror unit 1 in one stage is provided in front of the second optical path branching mirror unit 21 according to the present invention, but a plurality of optical path branching mirror units 1 may be arranged in series. The occurrence of abnormal operation in any one of the optical path branch mirror units 1 can be reliably detected by the second optical path branch mirror unit 21.
  • the laser beam is branched in three stages (three locations).
  • the laser light L travels from left to right in FIG. 3, and the first optical path branching mirror unit 11, the second optical path branching mirror unit 21, and the third optical path branching mirror unit 31 are installed in the order of progress. Has been.
  • the first to third optical path branching mirror units 11, 21, and 31 are formed according to the present invention.
  • the first to third optical path branching mirror units 11, 21, and 31 are basically formed in the same manner as the second optical path branching mirror unit 21 of the embodiment shown in FIG. 32, safety shutter mirrors 13, 23, 33, dampers 14, 24, 34 and photosensors 15, 25, 35.
  • the branch mirrors 12 and 22 of the first and second optical path branch mirror units 11 and 21 branch the laser beam L and output the branched laser beams LS1 and LS2, respectively (the solid line position in FIG. 3) It is arranged so as to be movable between a retracted position (a broken line position in FIG. 3) retracted from the optical path.
  • the branch mirror 32 of the third optical path branch mirror unit 31 is arranged in a fixed state.
  • the branch mirrors 12, 22, 32 and the safety shutter mirrors 13, 23, 33 at each stage are moved as shown in Table 1 below. Thereby, the branched laser beams LS1, LS2, and LS3 at each stage are normally output.
  • the safety shutter mirror 13 remains in the branch position because the branch mirror 12 is in the retracted position, the branch mirror 22 is in the branch position, and the branch mirror 32 is in the fixed state.
  • the safety shutter mirror 23 is set to the retracted position, and the safety shutter mirror 33 is set to the blocking position.
  • the first photosensor 15 detects scattered light, it means that a trouble has occurred in the first safety shutter mirror 13 and the second photosensor 15 is detected.
  • the sensor 25 detects the scattered light, it means that a trouble has occurred in the first branch mirror 12 and the second branch mirror 22, and when the third photosensor 35 detects the scattered light, the first branch mirror 12 A trouble has been detected.
  • the first photosensor 15 detects the scattered light, it means that the trouble of the first branching mirror 12 is detected.
  • the trouble of the second safety shutter mirror 23 is detected, and when the third photosensor 35 detects the scattered light, the trouble of the second branch mirror 22 is detected.
  • the first photosensor 15 detects the scattered light, it means that the trouble of the first branching mirror 12 is detected.
  • the trouble of the second branch mirror 22 is detected.
  • the third photosensor 35 detects the scattered light, the trouble of the third safety shutter mirror 33 is detected.
  • the laser light can be branched by the optical path branching mirror units 11, 21, and 31 of each stage, and the movable branching mirror branching mirrors 12 and 22 and the safety shutter mirrors 13 that can be moved. , 23, 33 can be reliably detected by the photosensors 15, 25, 35 installed in each stage.
  • three-stage optical path branching mirror units 11, 21, and 31 are installed, but they may be installed in two stages or four or more stages.
  • the photosensors 15, 25, and 35 are installed in the optical path branching mirror units 11, 21, and 31 at each stage, respectively, but the photosensors 15 and 25 other than the final stage may be omitted as necessary. .
  • this invention is not limited to said embodiment, It can change as needed.

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Abstract

レーザ光を分岐するとともに、異常動作が発生した場合にはそれを確実に検出することができる光路分岐ミラーユニットを提供する。レーザ光Ｌを分岐する分岐ミラー（２）と、分岐されたレーザ光（ＬＳ２）の光路上の遮断位置と前記光路上から退避した退避位置とを移動可能に配置された安全シャッタミラー（２３）と、前記安全シャッタミラー（２３）によって反射されたレーザ光（ＬＳ２）を受けて減衰させるダンパ（２４）と、前記ダンパ（２４）によるレーザ光（ＬＳ２）の散乱光を検出するフォトセンサ（２５）とを有することを特徴とする。

Description

光路分岐ミラーユニット
　本発明は、レーザ光の光路を分岐する光路分岐ミラーユニットに係り、特に光路を分岐させる場合における動作異常を検知するのに好適な光路分岐ミラーユニットに関する。
　従来より、レーザ溶接やレーザマーキング等のレーザ加工分野においては、多点同時加工あるいはマルチポジション加工を行うために、１台のレーザ発振器で生成したレーザ光を同時または非同時（時分割的）に複数のレーザ光に分岐させ、それらの分岐レーザ光を遠隔の加工場所まで光ファイバで伝送して所望の加工点に照射する方式が採用されている（例えば、特許文献１、図１および図６）。
　そして、レーザ光を分岐させるために主として分岐ミラーからなる光路分岐ミラーユニットを設けている。分岐ミラーはレーザ光の光路上に配置されていて、分岐レーザ光を所定方向に分岐させて出力するように形成されている。また、分岐状態を変更するために、分岐ミラーを光路上の分岐位置と光路上から退避した退避位置とを移動可能に設置している。この場合、分岐の最終段の分岐ミラーは固定状態にして設置されている。
特開２００７－１９０５６０号公報
　分岐ミラーを設置する場合には、脱落して誤動作することのないように強固に設置されている。
　しかしながら、分岐ミラーが万一脱落したり、分岐ミラーの駆動系に故障があって誤動作することを考慮して、光路分岐ミラーユニットの異常動作を検出することが望まれていた。
　本発明は、これらの点に鑑みてなされたものであり、レーザ光を分岐するとともに、異常動作が発生した場合にはそれを確実に検出することができる光路分岐ミラーユニットを提供することを目的とする。
　本発明の第１態様の光路分岐ミラーユニットは、レーザ光を分岐する分岐ミラーと、分岐されたレーザ光の光路上の遮断位置と前記光路上から退避した退避位置とを移動可能に配置された安全シャッタミラーと、前記安全シャッタミラーによって反射されたレーザ光を受けて減衰させるダンパと、前記ダンパによるレーザ光の散乱光を検出するフォトセンサとを有することを特徴とする。
　この第１の態様によれば、安全シャッタミラーが遮断位置にあると、何らかの異常動作に伴ってレーザ光が安全シャッタミラーまで到達すると、レーザ光がダンパに向けて反射されてダンパによって減衰吸収されるとともにダンパから散乱光となって外部に散乱され、その散乱光がフォトセンサによって検出されて、異常動作が確実に検出される。
　また、本発明の光路分岐ミラーユニットの第２の態様は、レーザ光の光路上に第１の態様の光路分岐ミラーユニットを直列に複数段配置し、最終段より前の光路分岐ミラーユニットの各分岐ミラーをレーザ光の光路上の分岐位置と前記光路上から退避した退避位置とを移動可能に配置したことを特徴とする。
　この第２の態様によれば、各段の光路分岐ミラーユニットによってそれぞれレーザ光を分岐することができ、移動可能な各分岐ミラーおよび各安全シャッタミラーの異常動作を各段に設置したフォトセンサによって確実に検出することができる。
　また、本発明の光路分岐ミラーユニットの第３の態様は、第２の態様において、最終段より前段の各光路分岐ミラーユニットにおける前記フォトセンサを設置しないで形成したことを特徴とする。
　この第３の態様によれば、最終段に設置されたフォトセンサによって移動可能な各分岐ミラーおよび最終段の安全シャッタミラーの異常動作を確実に検出することができる。
　本発明の光路分岐ミラーユニットによれば、レーザ光を分岐して分岐レーザ光を出力することができるとともに、異常動作が発生した場合にはそれを確実に検出することができるなどの優れた効果を奏する。
本発明の光路分岐ミラーユニットの一実施形態を示すブロック図 安全シャッタミラーの駆動系との接続状態を示す斜視図 本発明の光路分岐ミラーユニットの他の実施形態を示すブロック図
　以下、本発明の光路分岐ミラーユニットの実施形態を図１から図３により説明する。
　図１および図２は本発明の光路分岐ミラーユニットの１実施形態を示している。
　本実施形態は、図１に示すように、レーザ光を２段（２箇所）で分岐する場合を示している。
　本実施形態においてレーザ光Ｌは図１中の左から右に進行し、その進行順に第１の光路分岐ミラーユニット１と第２の光路分岐ミラーユニット２１が設置されている。
　本実施形態において、第１の光路分岐ミラーユニット１は従来のユニットと同様に形成されており、第２の光路分岐ミラーユニット２１が本発明によって形成されている。
　第１の光路分岐ミラーユニット１においては、レーザ光Ｌの光路上には分岐ミラー２を、レーザ光Ｌを分岐して分岐レーザ光ＬＳ１を出力する分岐位置（図１の実線位置）と前記光路上から退避した退避位置（図１の破線位置）とを移動可能に配置されている。分岐ミラー２は分岐位置においてレーザ光Ｌの光路（光軸）に対して４５度の角度に配置される。
　本発明による第２の光路分岐ミラーユニット２１においては、レーザ光Ｌの光路上に分岐ミラー２２を、レーザ光Ｌを分岐して分岐レーザ光ＬＳ２を出力する分岐位置に固定状態にして配置されている。分岐ミラー２２は分岐位置においてレーザ光Ｌの光路（光軸）に対して４５度の角度に配置される。分岐レーザ光ＬＳ２の光路上には、安全シャッタミラー２３を、分岐レーザ光ＬＳ２を反射してダンパ２４に向けて出力する遮断位置（図１の実線位置）と前記分岐レーザ光ＬＳ２の光路上から退避した退避位置（図１の破線位置）とを移動可能に配置されている。安全シャッタミラー２３は遮断位置において分岐レーザ光ＬＳ２の光路（光軸）に対して４５度の角度に配置される。ダンパ２４は安全シャッタミラー２３から受光した分岐レーザ光ＬＳ２を減衰吸収するとともに一部を散乱光として反射させる。本実施形態の第２の光路分岐ミラーユニット２１においては、ダンパ２４からの散乱光を検出するピンフォトダイオードからなるフォトセンサ２５が設置されている。
　図１における移動可能な分岐ミラー２および安全シャッタミラー２３は、図２の安全シャッタミラー２３の場合として示すように、駆動源としてのソレノイド２６の出力軸２６ａにボルト等の緊締具をもって緊締固着されており、遮断位置（同図実線）と退避位置（同図破線）を移動自在に形成されている。ソレノイド２６への非通電（ＯＦＦ）時に安全シャッタミラー２３は遮断位置にあり、ソレノイド２６への通電（ＯＮ）時に安全シャッタミラー２３は退避位置に移動するように形成されている。なお、安全シャッタミラー２３の駆動源として、サーボモータ等の種々のモータを用いることもできる。
　次に、本実施形態の作用を説明する。
　第１の光路分岐ミラーユニット１による分岐を行う場合には、図示しない制御系によって分岐ミラー２を分岐位置に移動させる。第２の光路分岐ミラーユニット２１においては安全シャッタミラー２３を遮断位置に移動させておく。これによりレーザ光Ｌは分岐ミラー２によって分岐レーザ光ＬＳ１として分岐されて、次段の加工手段（図示せず、以下同じ）へ出力される。
　第２の光路分岐ミラーユニット２１による分岐を行う場合には、第１の光路分岐ミラーユニット１の分岐ミラー２を退避位置に移動させる。第２の光路分岐ミラーユニット２１においては安全シャッタミラー２３を退避位置に移動させる。これによりレーザ光Ｌは第１の光路分岐ミラーユニット１を通過して第２の光路分岐ミラーユニット２１の分岐ミラー２２に到達するとともに分岐レーザ光ＬＳ２として分岐される。この分岐レーザ光ＬＳ２は退避位置にある安全シャッタミラー２３の前を通過して次段の加工手段へ出力される。
　このような適正なレーザ光Ｌの分岐が行われている際に何らかの異常があるとフォトセンサ２５が検出する。
　更に説明すると、第１の光路分岐ミラーユニット１による分岐を行う場合に、分岐ミラー２が万一脱落したり、分岐ミラー２のソレノイドやサーボモータ等の駆動源への緊締固着が緩んだり、分岐ミラー２の駆動系に故障があって分岐ミラー２が退避位置に移動するという誤動作が発生することが想定される。この場合には、本実施形態においては、レーザ光Ｌは分岐ミラー２を通過して、第２の光路分岐ミラーユニット２１に到達し、分岐ミラー２２によって分岐されて分岐レーザ光ＬＳ２となり、その後、遮断位置にある安全シャッタミラー２３によって反射されてダンパ２４に進行して減衰吸収される。また、分岐レーザ光ＬＳ２がダンパ２４に減衰吸収されると同時に、ダンパ２４から分岐レーザ光ＬＳ２の一部が散乱反射されてフォトセンサ２５によって検出されて、異常動作が発生したことが図示しない警報系に出力される。
　この場合、ダンパ２４としてはフォトセンサ２５によって検出可能な強さの散乱光を反射できるものが好ましく、更に分岐レーザ光ＬＳ２を吸収した場合の温度上昇速度が遅いものが好ましい。また、フォトセンサ２５としては、散乱光の検出速度即ち散乱光の受光から検出閾値を越えるまでの時間の短いものが、ダンパ２４の温度上昇を抑える意味からも好ましい。
　図１においては、本発明による第２の光路分岐ミラーユニット２１の前に１段の第１の光路分岐ミラーユニット１を設けているが、複数の光路分岐ミラーユニット１を直列に配置しても、いずれかの光路分岐ミラーユニット１における異常動作の発生を第２の光路分岐ミラーユニット２１によって確実に検出することができる。
　次に、図３により本発明の光路分岐ミラーユニットの他の実施形態を説明する。
　本実施形態は、図３に示すように、レーザ光を３段（３箇所）で分岐する場合を示している。
　本実施形態においてレーザ光Ｌは図３中の左から右に進行し、その進行順に第１の光路分岐ミラーユニット１１、第２の光路分岐ミラーユニット２１および第３の光路分岐ミラーユニット３１が設置されている。
　本実施形態において、第１から第３の光路分岐ミラーユニット１１、２１、３１は本発明によって形成されている。
　第１から第３の光路分岐ミラーユニット１１、２１、３１は、基本的に図１に示す実施形態の第２の光路分岐ミラーユニット２１と同様に形成されており、それぞれ分岐ミラー１２、２２、３２、安全シャッタミラー１３、２３、３３、ダンパ１４、２４、３４およびフォトセンサ１５、２５、３５を備えている。
　そして、第１および第２の光路分岐ミラーユニット１１、２１の各分岐ミラー１２、２２はレーザ光Ｌを分岐して分岐レーザ光ＬＳ１、ＬＳ２を出力する分岐位置（図３の実線位置）と前記光路上から退避した退避位置（図３の破線位置）とを移動可能に配置されている。また、第３の光路分岐ミラーユニット３１の分岐ミラー３２は固定状態に配置されている。
　次に、本実施形態の作用を説明する。
　各段におけるレーザ光Ｌの分岐を行う場合には、各段の分岐ミラー１２、２２、３２と各安全シャッタミラー１３、２３、３３を次の表１の通りに移動させる。これにより各段における分岐レーザ光ＬＳ１、ＬＳ２、ＬＳ３が正常に出力される。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
　１例として第２の光路分岐ミラーユニット２１において分岐する場合を説明すると、分岐ミラー１２を退避位置、分岐ミラー２２を分岐位置、分岐ミラー３２は固定状態のため分岐位置のまま、安全シャッタミラー１３を遮断位置、安全シャッタミラー２３を退避位置、安全シャッタミラー３３を遮断位置にそれぞれ設定する。
　次に、本実施形態における異常発生時の検出作用を説明する。
　各段におけるレーザ光Ｌの分岐を選択的に行っている際に、各フォトセンサ１５、２５、３５が異常を検知した場合には、次の表２の通りの９種類の異常動作の発生に分類して検出される。なお、表２において、第１段から第３段の分岐を、それぞれ分岐１から分岐３として表記している。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
　各分岐選択と検出位置を説明する。
　まず、第１の光路分岐ミラーユニット１１において分岐する場合を説明すると、第１のフォトセンサ１５が散乱光を検知した時には第１の安全シャッタミラー１３のトラブルを検知したこととなり、第２のフォトセンサ２５が散乱光を検知した時には第１の分岐ミラー１２および第２の分岐ミラー２２のトラブルを検知したこととなり、第３のフォトセンサ３５が散乱光を検知した時には第１の分岐ミラー１２のトラブルを検知したこととなる。
　第２の光路分岐ミラーユニット２１において分岐する場合を説明すると、第１のフォトセンサ１５が散乱光を検知した時には第１の分岐ミラー１２のトラブルを検知したこととなり、第２のフォトセンサ２５が散乱光を検知した時には第２の安全シャッタミラー２３のトラブルを検知したこととなり、第３のフォトセンサ３５が散乱光を検知した時には第２の分岐ミラー２２のトラブルを検知したこととなる。
　第３の光路分岐ミラーユニット３１において分岐する場合を説明すると、第１のフォトセンサ１５が散乱光を検知した時には第１の分岐ミラー１２のトラブルを検知したこととなり、第２のフォトセンサ２５が散乱光を検知した時には第２の分岐ミラー２２のトラブルを検知したこととなり、第３のフォトセンサ３５が散乱光を検知した時には第３の安全シャッタミラー３３のトラブルを検知したこととなる。
　このように本実施形態によれば、各段の光路分岐ミラーユニット１１、２１、３１によってそれぞれレーザ光を分岐することができ、移動可能な各分岐ミラー分岐ミラー１２、２２と各安全シャッタミラー１３、２３、３３の異常動作を各段に設置したフォトセンサ１５、２５、３５によって確実に検出することができる。
　図３においては３段の光路分岐ミラーユニット１１、２１、３１を設置したが、２段もしくは４段以上に設置してもよい。
　また、図３において各段の光路分岐ミラーユニット１１、２１、３１にそれぞれフォトセンサ１５、２５、３５を設置したが、最終段以外のフォトセンサ１５、２５は必要に応じて省略してもよい。
　この場合には、最終段に設置されたフォトセンサ３５によって移動可能な各分岐ミラー１２、２２および最終段の安全シャッタミラー３３の異常動作を確実に検出することができる（表２の最右側縦列参照）。なお、最終段である第３段より前の第１段および第２段については、分岐レーザ光ＬＳ１、ＬＳ２の出力の有無を検出して、各段の異常動作の有無を併せて監視すると良い。
　なお、本発明は、上記の実施形態に限定されるものではなく、必要に応じて変更することができる。
　１１、２１、３１　光路分岐ミラーユニット
　１２、２２、３２　分岐ミラー
　１３、２３、３３　安全シャッタミラー
　１４、２４、３４　ダンパ
　１５、２５、３５　フォトセンサ

Claims (3)

  1. 　レーザ光を分岐する分岐ミラーと、
    　分岐されたレーザ光の光路上の遮断位置と前記光路上から退避した退避位置とを移動可能に配置された安全シャッタミラーと、
    　前記安全シャッタミラーによって反射されたレーザ光を受けて減衰させるダンパと、
    　前記ダンパによるレーザ光の散乱光を検出するフォトセンサとを有する
    　ことを特徴とする光路分岐ミラーユニット。
  2. 　レーザ光の光路上に請求項１に記載の光路分岐ミラーユニットを直列に複数段配置し、最終段より前の光路分岐ミラーユニットの各分岐ミラーをレーザ光の光路上の分岐位置と前記光路上から退避した退避位置とを移動可能に配置した
    　ことを特徴とする光路分岐ミラーユニット。
  3. 　最終段より前段の各光路分岐ミラーユニットにおいて、前記フォトセンサを設置しないで形成した
    　ことを特徴とする請求項２に記載の光路分岐ミラーユニット。
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