JP2019207932A - レーザ発振器 - Google Patents
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Abstract
Description
そこで、レーザ発振器には、閾値を超える強度の反射光を検知するとレーザ光の発振を停止する機能が設けられる(例えば、特許文献1参照)。
以下、本発明の第1実施形態について説明する。
図1は、本実施形態に係るレーザ発振器1の構成を示す図である。
レーザ発振器1は、レーザキャビティ(LC)10と、ビームコンバイナ(BC)20と、光ファイバ30と、光検出センサ40と、フィルタ41と、制御部50と、記憶部60とを備える。
レーザ発振器1は、LC10で発生したレーザ光を、BC20で結合させて、光ファイバ30により伝搬させる。
そこで、光ファイバ30の融着点等、外部に光が漏れやすい箇所に光検出センサ40が複数配置される(例えば、光検出センサ40a及び40b)。
光検出センサ40は、例えば、フォトダイオード等であり、光強度に応じて変化する電流値等を検出することで、光強度を測定する。
レーザ発振器1で発生するレーザ光(順光)は、光ファイバ30のコア31に入射され、対象物からの反射光等の戻り光は、コア31及びクラッド32に入射される。これらの順光及び戻り光は、光ファイバ30の融着点33、特にクラッド32の部分から外部へ漏れやすい。
したがって、この融着点33に光検出センサ40を配置することで、主に戻り光で占められるクラッド32内の光強度と相関した漏れ光の強度が検出される。
また、複数の光検出センサ40は、互いに波長毎の感度特性が異なっていてもよい。
ここで、戻り光のうち、対象物からの反射光は、変換を伴わないことから強度が最も強く、レーザ発振器1を損傷させる可能性が高いため、レーザ光と同じ波長の検出値に基づく制御が優先される。
この例では、加工対象物の材料及び板厚、レーザ出力、周波数、デューティ、加工速度、集光レンズの焦点距離、加工ノズルの径、アシストガスの種類及び圧力等で示される加工条件それぞれに対して、発振波長の光強度に対する閾値が設定されている。
ここで、発振波長とは異なる波長の光強度に対しても、各光検出センサ40に紐づけてそれぞれ閾値が設定されてもよいし、所定の計算式により算出されてもよい。
したがって、レーザ発振器1は、複数の波長の光強度を検出し、レーザ光の発振波長等、特定の波長に対する閾値と、他の波長に対する閾値とを別々に設定し、破損のリスクに応じて、適切にレーザ光の発振を停止できる。
この結果、レーザ発振器1は、反射光から適切に保護できると共に、レーザ光の発振の不必要な停止による稼働率の低下を抑制でき、安定稼働を実現できる。
以下、本発明の第2実施形態について説明する。
本実施形態では、第1の実施形態と比べて光検出センサ40の配置が異なる。
複数の光検出センサ40のうち、少なくとも発振波長の光強度を検出するための光検出センサ40cがBC20の入射側のポートに配置される。
光検出センサ40cは、BC20のLC10側のポートの一つに取り付けられることにより、発生するレーザ光と波長が同じである反射光以外の成分が減衰された戻り光を検出できる。
以下、本発明の第3実施形態について説明する。
本実施形態では、光検出センサ40による検出値の所定期間の時系列データを利用して、閾値が設定される。
例えば、a(t)及びb(t)の2つの時系列データについて、時刻tでの正規化された値は、それぞれa(t)/Σa(t)及びb(t)/Σb(t)となる。両者の差分の絶対値を積分すると、Σ|a(t)/Σa(t)−b(t)/Σb(t)|となる。
10 レーザキャビティ
20 ビームコンバイナ
30 光ファイバ
40 光検出センサ
41 フィルタ
50 制御部
60 記憶部
Claims (7)
- レーザ光を出射する光ファイバからの漏れ光に対して、特性がそれぞれ異なるフィルタを介して、互いに異なる波長の強度を検出する複数のセンサと、
前記複数のセンサのいずれかにより検出された漏れ光の強度が当該センサ毎に設定された閾値を超えた場合に、レーザ光の発振を停止する制御部と、を備えるレーザ発振器。 - 前記複数のセンサは、互いに波長毎の感度が異なる請求項1に記載のレーザ発振器。
- 複数のレーザ光を結合するビームコンバイナを備え、
前記複数のセンサのうち、一部のセンサが前記ビームコンバイナの入射側のポートに配置される請求項1又は請求項2に記載のレーザ発振器。 - レーザ光の発振波長を検出するセンサに対する閾値は、当該発振波長とは異なる波長を検出するセンサに対する閾値よりも低く設定される請求項1から請求項3のいずれかに記載のレーザ発振器。
- 互いに異なる波長に対応した複数のセンサにより検出された複数の時系列データを記憶する記憶部を備え、
前記制御部は、前記複数の時系列データの波形の類似度を判定し、類似した波形を検出したセンサに対する閾値を、他のセンサに対する閾値よりも高く設定する請求項1から請求項4のいずれかに記載のレーザ発振器。 - 前記制御部は、前記時系列データにおける所定期間の波形を正規化し、強度の差分を前記所定期間で積分した値が所定未満の場合に、波形が類似していると判定する請求項5に記載のレーザ発振器。
- 前記制御部は、入力された加工条件に応じて、前記閾値を変更する請求項1から請求項6のいずれかに記載のレーザ発振器。
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