JP6800037B2 - 光ファイバレーザ装置およびその制御方法 - Google Patents
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Description
図1は、第1実施形態に係る光ファイバレーザ装置100の概略構成を示す図である。図1に示すように、第1実施形態に係る光ファイバレーザ装置100は、レーザ発振器110における増幅媒質に増幅用光ファイバ111を用いて第1波長のレーザ光を発生させる光ファイバレーザ型の装置である。
図2は、第2実施形態に係る光ファイバレーザ装置200の概略構成を示す図である。図2に示すように、第2実施形態に係る光ファイバレーザ装置200は、複数の光ファイバレーザ部1001,・・・,100n−1,100nを備え、各光ファイバレーザ部1001,・・・,100n−1,100nが出力する各レーザ光をコンバイナ122にて結合し、伝送用光ファイバ120および光学ヘッド121を介してレーザ光Lとして加工対象物Wに照射する構成である。
ここで、第1実施形態の光ファイバレーザ装置100の構成を例に用いて光ファイバレーザ装置の制御方法について説明する。なお、以下の説明は、第2実施形態の光ファイバレーザ装置200の制御方法に対しても適用できる。
以下、従来構成の光ファイバレーザ装置を用いては困難であった加工対象の表面状態の検出例が本発明の実施形態の光ファイバレーザ装置を用いると可能になることについて説明する。
110 レーザ発振器
111 増幅用光ファイバ
112 第1光反射器
113 第2光反射器
114 励起光合波器
115a,115b 励起光源
120 伝送用光ファイバ
121 光学ヘッド
122 コンバイナ
123 ダミー光ファイバ
130 制御部
131 モニタ用光源
132a,132b 光検出器
133a,133b フィルタ
1001,・・・,100n−1,100n 光ファイバレーザ部
Claims (12)
- レーザ発振器における増幅媒質に増幅用光ファイバを用いて第1波長のレーザ光を発生させる光ファイバレーザ装置において、
前記レーザ光を加工対象へ照射する光学ヘッドへ前記レーザ光を伝送する伝送用光ファイバと、
前記増幅用光ファイバと前記伝送用光ファイバとを接続するコンバイナと、
前記加工対象へ照射される、前記第1波長とは異なる第2波長の光を出力する光源と、
前記コンバイナに接続され、少なくとも前記第2波長の光を伝搬する少なくとも1つの光ファイバと、
前記光ファイバに接続され、前記伝送用光ファイバを前記レーザ光とは逆方向に伝搬する光のうち第2波長の光を、少なくとも第1波長の光を減衰するフィルタを介して検出する光検出器と、
前記光検出器で検出した前記第2波長の光の強度に基づいて、前記第1波長のレーザ光の強度を増減する制御部と、
を備えることを特徴とする光ファイバレーザ装置。 - 前記制御部は、前記第2波長の光の強度の時間変化に基づいて、前記第1波長のレーザ光の強度を増減することを特徴とする請求項1に記載の光ファイバレーザ装置。
- 前記光ファイバは、前記伝送用光ファイバを前記レーザ光とは逆方向に伝搬する光が結合しやすい光ファイバであることを特徴とする請求項1または2に記載の光ファイバレーザ装置。
- 前記光ファイバは、前記コンバイナに複数接続されていることを特徴とする請求項3に記載の光ファイバレーザ装置。
- 前記光検出器は、前記複数の光ファイバに接続されていることを特徴とする請求項4に記載の光ファイバレーザ装置。
- 前記制御部は、前記複数の光ファイバに接続された前記光検出器の出力を統計的に処理することを特徴とする請求項5に記載の光ファイバレーザ装置。
- 前記制御部は、前記光検出器の出力を分析して前記加工対象の表面状態を推定することを特徴とする請求項1から請求項6の何れか1項に記載の光ファイバレーザ装置。
- 前記第2波長の光は、可視光であることを特徴とする請求項1から請求項7の何れか1項に記載の光ファイバレーザ装置。
- 前記フィルタは、前記第2波長を含む波長域のみを透過させるバンドパスフィルタであることを特徴とする請求項1から請求項8の何れか1項に記載の光ファイバレーザ装置。
- 前記フィルタは、前記第1波長を含む波長域のみを低減させるフィルタであることを特徴とする請求項1から請求項8の何れか1項に記載の光ファイバレーザ装置。
- レーザ発振器における増幅媒質に増幅用光ファイバを用いて第1波長のレーザ光を発生させ、伝送用光ファイバを介して前記レーザ光を加工対象へ照射する光ファイバレーザ装置の制御方法において、
前記第1波長とは異なる第2波長の光を、前記伝送用光ファイバを介して加工対象へ照射する工程と、
前記伝送用光ファイバを前記レーザ光とは逆方向に伝搬する光のうち第2波長の光を検出する工程と、
前記検出した第2波長の光の強度に基づいて、前記第1波長のレーザ光の強度を増減する工程と、
を有することを特徴とする光ファイバレーザ装置の制御方法。 - 前記第2波長の光を前記加工対象へ照射する工程は、前記第1波長のレーザ光が照射される位置を確認する工程を兼ねている、
ことを特徴とする請求項11に記載の光ファイバレーザ装置の制御方法。
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