JP6168400B2 - 放電装置及び分極処理方法 - Google Patents
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以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。
図1は、本発明の一実施形態に係る放電装置としてのコロナ放電装置の全体構成の一例を示す概略構成斜視図である。なお、本実施形態では、コロナ放電装置を、処理対象物としての電気機械変換素子の圧電体膜に対して放電による分極処理を行う分極処理装置として用いた場合について説明するが、本実施形態のコロナ放電装置の用途は分極処理装置に限定されるものではない。
図2に示すように、コロナ放電装置70には、2本のコロナ電極71の間を電気的に遮蔽する遮蔽部としての遮蔽グリッド電極731が配設されている。図示の例では、平板形状の遮蔽グリッド電極731をグリッド電極73の電極面に対して垂直に配設し、コロナ電極71の延在方向(長手方向)と直交する断面における形状が逆T字形となるように複数のグリッド電極を組み合わせて作製されている。また、図3に示すように、遮蔽グリッド電極731の断面の形状がコの字形となるように一枚の電極板を折り曲げ、遮蔽グリッド電極731とグリッド電極73とを一体的な構造体として作製してもよい。
図5(a)に示すように、遮蔽グリッド電極731がある場合は、互いに隣接する複数のコロナ電極71の間の電気的な相互干渉を抑え、各コロナ電極71と処理対象物との間に形成される電気力線の安定制御が可能となる。一方、図5(b)に示すように、遮蔽グリッド電極731が無い場合は、互いに隣接する複数のコロナ電極71の間の電気的な相互干渉により、電気力線の安定制御が難しい。そのため、電気力線の空間的な形成位置や密度のばらつきにより、処理対象物に対する電荷の付与量にばらつきが生じてしまう。電気機械変換素子の圧電体膜の分極処理を行う場合は、その分極処理にばらつきが生じてしまう。
図8(a)の構成例では、ステージ75の処理対象物を保持する保持部752内に、処理対象物の形状にあわせて形成された処理対象物保持用の溝751と、加熱手段としての電熱線等からなる加熱機構753とを有している。この加熱機構753により、電気機械変換素子などの処理対象物を均一に加熱することができる。なお、処理対象物を均一に加熱する観点から、保持部752は金属により構成されていることが好ましい。保持部752を構成する金属としては、例えばステンレス鋼やインコネルを好ましく用いることができ、特に処理対象物を均一に加熱する観点からインコネルをより好ましく用いることができる。
次に、上記構成のコロナ放電装置70を用いて分極処理した電気機械変換素子を搭載した液滴吐出ヘッドについて説明する。
図13に示すように、本実施形態に係る液滴吐出ヘッド20は、基板21の部分に加圧液室81が形成され、加圧液室81の下端部分には、液滴を吐出するノズル82が設けられたノズル板83が配置されている。また、圧力発生手段(吐出駆動手段)としてのアクチュエータ素子である電気機械変換素子26は、下地膜(振動板)22上に、第1の電極23と、電気機械変換膜24と、第2の電極25とが積層されて形成されている。そして、電気機械変換素子26に電圧が印加され、電気機械変換膜24が変形(表面変位)すると、下地膜(振動板)22が変形(表面変位)して加圧液室81内の液体を液滴としてノズル82から吐出するように構成されている。また、図14に示すように液滴吐出ヘッド20を複数個配列した構成とすることもできる。なお、図中には液体供給手段、流路、流体抵抗についての説明は省略した。
次に、上記実施形態2で説明した液滴吐出ヘッドを搭載した液滴吐出装置について説明する。
図15は、上記構成の液滴吐出ヘッドを搭載した画像形成装置の一構成例を示す側面図である。図15に示すように、画像形成装置としての記録装置50はブラック(B)とシアン(C)とマゼンタ(M)とイエロー(Y)の4色にそれぞれ対応した液滴吐出ヘッド1B,1C,1M,1Yを有する。各液滴吐出ヘッド1には維持機構装置51があり、パージ処理、ワイピング処理などの保全動作時には液滴吐出ヘッド1のノズル面に対向する位置に移動する。この液滴吐出ヘッド1は記録媒体としての記録紙30の印字領域幅以上の長さのノズル列を有するライン型からなる。給紙トレイ52は圧板53と、記録紙30を給紙する給紙回転体54がベース55に取り付けられている。圧板53はベース55に取り付けられた回転軸を中心に揺動可能であり、圧板ばね56により給紙回転体54に押圧される。給紙回転体54と対向する圧板53の部位には記録紙30の重送を防止するため、人工皮等の摩擦係数の大きい材質からなる不図示の分離パッドが設けられている。また、圧板53と給紙回転体54の当接を解除する不図示のリリースカムが設けられている。
図16は液滴吐出ヘッドを搭載した記録装置の他の構成例を示す斜視図であり、図17は同記録装置の機構部の構成例を示す側面図である。
記録装置100は、装置本体の内部に印字機構部103等を収納し、装置本体の下方部には前方側から多数枚の記録紙30を積載可能な給紙カセット(或いは給紙トレイでもよい)104を抜き差し自在に装着されている。また、記録紙30を手差しで給紙するために開かれる手差しトレイ105を有している。給紙カセット104あるいは手差しトレイ105から給送される記録紙30を取り込み、印字機構部103によって所要の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイ106に排紙する。
(態様A)
コロナ電極71などの主放電電極と、コロナ電極71と電気機械変換素子26などの処理対象物との間に設けられたグリッド電極73などの放電制御電極とを備えたコロナ放電装置70などの放電装置であって、主放電電極は、処理対象物の表面に沿った方向に複数並設され、互いに隣接する複数の主放電電極の間を電気的に遮蔽する遮蔽グリッド電極731などの遮蔽部を備える。
これによれば、上記実施形態1について説明したように、主放電電極が複数並設されているため、複数の主放電電極それぞれと処理対象物の表面との間に放電を一括して発生させることができる。また、複数の主放電電極それぞれと処理対象物との間に放電を制御するための放電制御電極が設けられているので、各主放電電極で発生させる放電が安定する。従って、処理対象物の表面に対して均一な放電処理を一括して行って均一な電荷付与ができるため、生産性を高めることができる。また、遮蔽部により、互いに隣接する複数の主放電電極の間を電気的に遮蔽している。この電気的な遮蔽により、互いに隣接する複数の主放電電極のうち一方の主放電電極から延びる電気力線と他方の主放電電極から延びる電気力線とが互いに電気的に遮蔽された状態で形成される。これにより、互いに隣接する複数の主放電電極の間の境界領域において、各主放電電極からの電気力線の分布が互いに干渉しあって変動する相互干渉が抑制できる。この相互干渉の抑制により、各主放電電極における放電状態がより安定するので、上記処理対象物の表面に対する均一な放電処理による電荷付与を安定化させることができる。以上のように、高い生産性を得るとともに処理対象物の表面に対して均一で安定した電荷付与を行うことができる。
(態様B)
上記態様Aにおいて、放電制御電極及び遮蔽部は一体的に形成された構造体である。これによれば、上記実施形態1について説明したように、放電制御電極と遮蔽部とを個別に位置決めする必要がなく、また、部品点数が少なくて済むため低コスト化を図ることができる。
(態様C)
上記態様A又はBにおいて、複数の主放電電極はそれぞれワイヤー形状の電極であり、複数の主放電電極に対応する複数の放電発生領域それぞれにおいて、主放電電極と処理対象物の表面との距離が長い箇所ほど、処理対象物と放電制御電極との距離が短くなるように、放電制御電極が形成されている。これによれば、上記実施形態1について説明したように、処理対象物の表面に対して付与される電荷量を更に均一にし、処理対象物の表面の単位電面積あたりの電荷量及び表面電位のばらつきをより小さくすることができる。
(態様D)
上記態様A乃至Cのいずれかにおいて、電気機械変換膜などの処理対象物を載置して保持するステージ75などの保持部材と、処理対象物を加熱する電熱線等からなる加熱機構753などの加熱手段と、を更に備えた。これによれば、上記実施形態1について説明したように、保持部材に設置された処理対象物を温度制御しながら放電処理を施すことが可能となり、処理対象物として電気機械変換膜の分極処理を行う場合に分極処理の処理速度を高めることができる。
(態様E)
上記態様Dにおいて、保持部材は、導電性材料で形成され、接地されている。これによれば、上記実施形態1について説明したように、保持部材を接地することにより、保持部材で保持されている処理対象物と主放電電極との間に形成される電界強度の制御が容易になる。従って、処理対象物の表面に対してより均一で安定した電荷付与を行うことができ、処理対象物の表面の単位電面積あたりの電荷量及び表面電位のばらつきをより小さくすることができる。
(態様F)
基板21または下地膜22上に第1の電極23、電気機械変換膜24及び第2の電極25が積層された構造を有する電気機械変換素子26に対して、分極処理を行う分極処理方法であって、上記態様A乃至Eのいずれかの放電装置を用いて、第1の電極23又は第2の電極25のいずれか一方に接続された電極パッドなどの端子電極に電荷を付与し、電気機械変換膜24の分極処理を行う。これによれば、上記実施形態1について説明したように、電気機械変換素子26の生産性を高めつつ、第1の電極23又は第2の電極25のいずれか一方に接続された端子電極の表面に対して均一で安定した電荷付与を行うことができる。従って、電気機械変換膜24の分極処理を安定して行うことができる。特に、複数の電気機械変換素子26について分極処理する場合、複数の電気機械変換素子26に対応する複数の端子電極の表面に対して均一で安定した電荷付与を行うことができる。よって、容易に複数の電気機械変換素子26を一括で分極処理することが可能となる。
(態様G)
基板21または下地膜22上に第1の電極23、電気機械変換膜24及び第2の電極25が積層された構造を有する電気機械変換素子26であって、上記態様A乃至Eのいずれかの放電装置を用いて、電気機械変換膜が分極処理されている。これによれば、上記実施形態1について説明したように、電気機械変換素子26を放電によって分極処理することにより、自発分極を固定化するピニングを発生させやすく、経時における分極特性の変化を小さくすることができる。
(態様H)
液滴を吐出するノズル82と、ノズル82が連通する加圧液室81と、加圧液室81内の液体を昇圧させる圧力発生手段と、を備えた液滴吐出ヘッド20であって、上記圧力発生手段として、上記態様Gの電気機械変換素子26を備える。これによれば、上記実施形態2について説明したように、液滴吐出ヘッド20は、分極特性の変化が小さい電気機械変換素子26を搭載しているので、液滴の吐出特性の変化を小さくすることができる。
(態様I)
画像形成用の液滴を吐出して画像を形成する記録装置50などの画像形成装置であって、画像形成用の液滴を吐出する液滴吐出ヘッドとして、上記態様Hの液滴吐出ヘッドを備える。これによれば、上記実施形態3について説明したように、画像形成物質としての液滴の吐出特性の変化が小さい液滴吐出ヘッド20を搭載しているので、画像品質の劣化を小さくすることができる。
21 基板
22 下地膜(振動板)
23 第1の電極
24 電気機械変換膜
25 第2の電極
26 電気機械変換素子(アクチュエータ素子)
30 記録紙
50 記録装置
70 コロナ放電装置
71 コロナ電極
73 グリッド電極
75 ステージ
76 アース線
81 加圧液室
82 ノズル
100 記録装置
731 遮蔽グリッド電極
753 加熱機構(電熱線)
Claims (5)
- 主放電電極と、前記主放電電極と処理対象物との間に設けられた放電制御電極とを備えた放電装置であって、
前記主放電電極は、前記処理対象物の表面に沿った方向に複数並設され、
互いに隣接する前記複数の主放電電極の間を電気的に遮蔽する遮蔽部を備え、
前記複数の主放電電極はそれぞれワイヤー形状の電極であり、
前記複数の主放電電極に対応する複数の放電発生領域それぞれにおいて、該主放電電極と前記処理対象物の表面との距離が長い箇所ほど、該処理対象物と前記放電制御電極との距離が短くなるように、該放電制御電極が形成されていることを特徴とする放電装置。 - 請求項1の放電装置において、
前記放電制御電極及び前記遮蔽部は一体的に形成された構造体であることを特徴とする放電装置。 - 請求項1又は2の放電装置において、
前記処理対象物を載置して保持する保持部材と、
前記処理対象物を加熱する加熱手段と、を更に備えたことを特徴とする放電装置。 - 請求項3の放電装置において、
前記保持部材は、導電性材料で形成され、接地されていることを特徴とする放電装置。 - 基板または下地膜上に第1の電極、電気機械変換膜及び第2の電極が積層された構造を有する電気機械変換素子に対して、分極処理を行う分極処理方法であって、
請求項1乃至4のいずれかの放電装置を用いて、前記第1の電極又は前記第2の電極のいずれか一方に接続された端子電極に電荷を付与し、前記電気機械変換膜の分極処理を行うことを特徴とする分極処理方法。
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