JP6163341B2

JP6163341B2 - Break device

Info

Publication number: JP6163341B2
Application number: JP2013076715A
Authority: JP
Inventors: 西尾　仁孝; 仁孝西尾
Original assignee: Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd
Current assignee: Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd
Priority date: 2013-04-02
Filing date: 2013-04-02
Publication date: 2017-07-12
Anticipated expiration: 2033-04-02
Also published as: CN104108119A; TW201439019A; TWI612016B; JP2014200940A; CN104108119B; KR20140120256A

Description

本発明は、ブレイク装置に関するものである。 The present invention relates to a break device.

液晶装置は、液晶層を間に介在するように第１基板と第２基板とがシール材によって貼り合わされる貼り合わせ基板によって構成される（例えば特許文献１）。この貼り合わせ基板は、生産性の観点から、まず大判の状態で作製され、これを分断して複数の貼り合わせ基板とする。この分断方法について詳細に説明すると、まず貼り合わせ基板の第１基板側の面にスクライブラインを形成し、次に、第２基板側から貼り合わせ基板を押圧して撓ませ、第１基板をスクライブラインに沿ってブレイクする。続いて、貼り合わせ基板の第２基板側の面にスクライブラインを形成し、次に、第１基板側から貼り合わせ基板を押圧して撓ませ、第２基板をスクライブラインに沿ってブレイクする。 The liquid crystal device is configured by a bonded substrate in which a first substrate and a second substrate are bonded together with a sealing material so that a liquid crystal layer is interposed (for example, Patent Document 1). This bonded substrate is first manufactured in a large format from the viewpoint of productivity, and is divided into a plurality of bonded substrates. This cutting method will be described in detail. First, a scribe line is formed on the surface of the bonded substrate on the first substrate side, and then the bonded substrate is pressed and bent from the second substrate side to scribe the first substrate. Break along the line. Subsequently, a scribe line is formed on the surface of the bonded substrate on the second substrate side, and then the bonded substrate is pressed and bent from the first substrate side to break the second substrate along the scribe line.

特開２０１２−２０３２３５号公報JP2012-203235A

上述した方法では、第１基板をブレイクした後に、貼り合わせ基板の表裏を反転させて第２基板をブレイクする必要がある。このように貼り合わせ基板の表裏を反転させることは生産性が低下するといった問題が生じるため、貼り合わせ基板の表裏を反転させることなく第１基板及び第２基板をブレイクすることが望ましい。 In the method described above, after breaking the first substrate, it is necessary to break the second substrate by inverting the front and back of the bonded substrate. Thus, since reversing the front and back of the bonded substrate causes a problem that productivity is lowered, it is desirable to break the first substrate and the second substrate without reversing the front and back of the bonded substrate.

本発明の課題は、貼り合わせ基板の表裏を反転させることなく第１基板及び第２基板をブレイクすることができるブレイク装置を提供することにある。 The subject of this invention is providing the breaking apparatus which can break a 1st board | substrate and a 2nd board | substrate, without reversing the front and back of a bonding board | substrate.

（１）本発明のある側面に係るブレイク装置は、第１基板と第２基板とが貼り合わされた貼り合わせ基板の両面に形成されたスクライブラインに沿って貼り合わせ基板をブレイクする装置である。このブレイク装置は、搬送ユニット、第１ブレイクユニット、及び第２ブレイクユニットを備える。搬送ユニットは、貼り合わせ基板を上流から下流に搬送する。第１ブレイクユニットは、第１基板側の面に形成されたスクライブラインに沿って第１基板をブレイクする。第２ブレイクユニットは、第１ブレイクユニットの下流に配置される。また、第２ブレイクユニットは、第２基板側の面に形成されたスクライブラインに沿って第２基板をブレイクする。 (1) A breaking device according to an aspect of the present invention is a device that breaks a bonded substrate along a scribe line formed on both surfaces of a bonded substrate on which a first substrate and a second substrate are bonded. The break device includes a transport unit, a first break unit, and a second break unit. The transport unit transports the bonded substrate from upstream to downstream. The first break unit breaks the first substrate along a scribe line formed on the surface on the first substrate side. The second break unit is disposed downstream of the first break unit. The second break unit breaks the second substrate along a scribe line formed on the surface on the second substrate side.

この構成によれば、搬送ユニットによって搬送される貼り合わせ基板は、まず第１ブレイクユニットによって第１基板がブレイクされ、次に、第２ブレイクユニットによって第２基板がブレイクされる。このように、搬送方向に並べて配置された第１ブレイクユニット及び第２ブレイクユニットによって、貼り合わせ基板の表裏を反転させることなく第１基板と第２基板との両方をブレイクすることができる。この結果、生産性を向上させることができる。 According to this configuration, the first substrate is first broken by the first break unit, and then the second substrate is broken by the second break unit. In this way, both the first substrate and the second substrate can be broken without inverting the front and back of the bonded substrate board by the first break unit and the second break unit arranged side by side in the transport direction. As a result, productivity can be improved.

（２）好ましくは、第１ブレイクユニットと第２ブレイクユニットとは、互いに同期してブレイク動作を実行する。この構成によれば、例えば、搬送ユニットによって搬送される貼り合わせ基板が、搬送方向に所定間隔をあけて複数のスクライブラインが形成されている場合、第１ブレイクユニットにおいて、上流側のスクライブラインに沿って第１基板をブレイクするとともに、第２ブレイクユニットにおいて、下流側のスクライブラインに沿って第２基板をブレイクすることができる。このように、貼り合わせ基板には対向する方向に２つの押圧力が作用するため、貼り合わせ基板が押圧力によって歪んでしまうことを抑制することができる。 (2) Preferably, the first break unit and the second break unit perform a break operation in synchronization with each other. According to this configuration, for example, when the bonded substrate transported by the transport unit has a plurality of scribe lines formed at predetermined intervals in the transport direction, in the first break unit, on the upstream scribe line. The first substrate can be broken along the second substrate, and the second substrate can be broken along the scribe line on the downstream side in the second break unit. In this way, since two pressing forces act on the bonded substrate in opposite directions, the bonded substrate can be prevented from being distorted by the pressing force.

（３）好ましくは、第１ブレイクユニット及び第２ブレイクユニットの少なくとも一方は、ブレイクバーとバックアップバーとを有する。ブレイクバーは、搬送ユニットの搬送面と平行に延びる押圧部を有する。この押圧部は、貼り合わせ基板をブレイクする際に貼り合わせ基板と接触する部分である。バックアップバーは、押圧部の幅よりも広い間隔をあけて押圧部の長手方向に沿って延びる２つの支持部を有する。各支持部は、貼り合わせ基板をブレイクする際に貼り合わせ基板と接触する部分である。押圧部は、貼り合わせ基板の搬送路を介して、各支持部間と対向するように配置される。押圧部及び各支持部の少なくとも一方が押圧部及び各支持部の他方側に向かって移動することによって、貼り合わせ基板がブレイクされる。 (3) Preferably, at least one of the first break unit and the second break unit has a break bar and a backup bar. The break bar has a pressing portion extending in parallel with the transport surface of the transport unit. The pressing portion is a portion that comes into contact with the bonded substrate when the bonded substrate is broken. The backup bar has two support portions that extend along the longitudinal direction of the pressing portion with an interval wider than the width of the pressing portion. Each support portion is a portion that comes into contact with the bonded substrate when the bonded substrate is broken. The pressing portion is disposed so as to face between the support portions via the conveyance path of the bonded substrate. The bonded substrate is broken by moving at least one of the pressing part and each supporting part toward the other side of the pressing part and each supporting part.

この構成によれば、ブレイクユニットは、貼り合わせ基板の一方面側から２つの支持部によって支持し、貼り合わせ基板の他方面側から押圧部で貼り合わせ基板を押圧することによって、貼り合わせ基板をブレイクする。このように、貼り合わせ基板はいわゆる３点曲げとなるため、より確実に貼り合わせ基板をブレイクすることができる。なお、押圧部及び各支持部は、ブレイク動作時以外にも貼り合わせ基板と接触していてもよい。 According to this configuration, the break unit is supported by the two support portions from one side of the bonded substrate, and the bonded substrate is pressed by pressing the bonded substrate with the pressing portion from the other surface of the bonded substrate. Break. Thus, since the bonded substrate is a so-called three-point bending, the bonded substrate can be more reliably broken. In addition, the pressing part and each supporting part may be in contact with the bonded substrate substrate other than during the break operation.

（４）好ましくは、バックアップバーは、各支持部が互いに離れるように変形可能である。この構成によれば、貼り合わせ基板をブレイクするために押圧部が貼り合わせ基板を押圧すると、各支持部が互いに離れる。これにより、貼り合わせ基板には、スクライブラインから離れる方向に引張り力が作用するため、より小さな押圧力で貼り合わせ基板をブレイクすることができる。 (4) Preferably, the backup bar is deformable so that the support portions are separated from each other. According to this configuration, when the pressing portion presses the bonded substrate to break the bonded substrate, the support portions are separated from each other. Thereby, since a tensile force acts on the bonded substrate in a direction away from the scribe line, the bonded substrate can be broken with a smaller pressing force.

（５）好ましくは、各支持部は、各支持部が離れる方向の側面において、支持部の長手方向に沿って延びる凹部が形成されている。この構成によれば、上述したように、押圧部が貼り合わせ基板を押圧すると、各支持部が互いに離れる方向に変形することができる。 (5) Preferably, each support part is formed with a recess extending along the longitudinal direction of the support part on the side surface in the direction in which each support part is separated. According to this configuration, as described above, when the pressing portion presses the bonded substrate, the respective supporting portions can be deformed in directions away from each other.

（６）好ましくは、第１ブレイクユニット及び第２ブレイクユニットの少なくとも一方は、上流及び下流に移動可能である。この構成によれば、複数のスクライブラインが形成されている貼り合わせ基板において、スクライブラインの種々のピッチに対応することができる。 (6) Preferably, at least one of the first break unit and the second break unit is movable upstream and downstream. According to this configuration, it is possible to cope with various pitches of the scribe lines in the bonded substrate in which a plurality of scribe lines are formed.

（７）好ましくは、前記搬送ユニットは、上流及び下流に移動可能である。

(7) Preferably, the transport unit is movable upstream and downstream.

本発明によれば、貼り合わせ基板の表裏を反転させることなく第１基板及び第２基板をブレイクすることができる。 According to the present invention, it is possible to break the first substrate and the second substrate without inverting the front and back of the bonded substrate.

ブレイク装置の斜視図。The perspective view of a break device. ブレイク動作を説明するためのブレイク装置の斜視図。The perspective view of the break device for demonstrating a break operation | movement. ブレイク動作を説明するためのブレイク装置の斜視図。The perspective view of the break device for demonstrating a break operation | movement. ブレイク動作を説明するためのブレイク装置の斜視図。The perspective view of the break device for demonstrating a break operation | movement. 変形例３に係るブレイク装置の斜視図。The perspective view of the breaking apparatus which concerns on the modification 3. FIG.

以下、本発明に係るブレイク装置の実施形態について図面を参照しつつ説明する。図１は、ブレイク装置の全体を示す斜視図である。なお、図１の左側を上流、右側を下流とする。また、以下の説明において「搬送方向」とは、下流に向かう方向を意味する。 Hereinafter, embodiments of a break device according to the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing the entire breaking device. The left side of FIG. 1 is the upstream side and the right side is the downstream side. In the following description, “conveying direction” means a direction toward the downstream.

図１に示すように、ブレイク装置１は、貼り合わせ基板１０の両面に形成されたスクライブライン１３に沿って貼り合わせ基板をブレイクするための装置であり、上流から順に、第１搬送ユニット２、第１ブレイクユニット３、支持テーブル４、第２ブレイクユニット５、及び第２搬送ユニット６を備えている。なお、これら各ユニット２〜６は、各ユニット間の間隔を変えることができるよう、上流側又は下流側に移動可能である。 As shown in FIG. 1, the breaking device 1 is a device for breaking the bonded substrate along the scribe lines 13 formed on both surfaces of the bonded substrate 10. A first break unit 3, a support table 4, a second break unit 5, and a second transport unit 6 are provided. The units 2 to 6 can be moved upstream or downstream so that the interval between the units can be changed.

ブレイク装置１の加工対象である貼り合わせ基板１０は、上側基板（第２基板の一例）１１と下側基板（第１基板の一例）１２とが貼り合わされて構成される基板であって、上側基板１１と下側基板１２との間で例えば液晶層を構成する。また、貼り合わせ基板１０は、図示しない複数のシール部材が上側基板１１と下側基板１２との間に配置されており、このシール部材によって液晶層を囲んでいる。このシール部材は、ブレイク後の貼り合わせ基板の数だけ配置されている。 A bonded substrate 10 to be processed by the breaker 1 is a substrate configured by bonding an upper substrate (an example of a second substrate) 11 and a lower substrate (an example of a first substrate) 12, For example, a liquid crystal layer is formed between the substrate 11 and the lower substrate 12. In the bonded substrate board 10, a plurality of sealing members (not shown) are arranged between the upper substrate 11 and the lower substrate 12, and the liquid crystal layer is surrounded by the sealing members. This seal member is arranged by the number of bonded substrates after the break.

本実施形態における貼り合わせ基板１０は、上側基板１１が上側、下側基板１２が下側に配置された状態で搬送される。貼り合わせ基板１０は、上面（上側基板１１側の面）に複数のスクライブライン１３が所定のピッチで形成されている。また、貼り合わせ基板１０は、下面（下側基板１２側の面）にも複数のスクライブライン１３が形成されている。この下面に形成されたスクライブライン１３は、上面に形成されたスクライブライン１３と対応する位置に形成されている。なお、本実施形態では、搬送方向と直交する方向にのみスクライブライン１３が形成されているが、スクライブライン１３は、搬送方向と平行する方向に形成されていてもよい。 The bonded substrate 10 in the present embodiment is transported with the upper substrate 11 disposed on the upper side and the lower substrate 12 disposed on the lower side. The bonded substrate 10 has a plurality of scribe lines 13 formed at a predetermined pitch on the upper surface (the surface on the upper substrate 11 side). The bonded substrate 10 also has a plurality of scribe lines 13 formed on the lower surface (surface on the lower substrate 12 side). The scribe line 13 formed on the lower surface is formed at a position corresponding to the scribe line 13 formed on the upper surface. In the present embodiment, the scribe line 13 is formed only in the direction orthogonal to the transport direction, but the scribe line 13 may be formed in a direction parallel to the transport direction.

第１搬送ユニット２は、搬送面２１上に載置された貼り合わせ基板１０を、下流に向かって搬送するための装置であり、例えばベルトコンベアなどによって構成することができる。具体的には、第１搬送ユニット２は、一対のローラ２２ａ、２２ｂと、各ローラ２２ａ、２２ｂに巻き掛けられたベルト２３と、を有する。図示しない駆動モータが各ローラ２２ａ、２２ｂを時計回りに回転駆動することによって、上側に位置するベルト２３が貼り合わせ基板１０を下流に搬送する。 The 1st conveyance unit 2 is an apparatus for conveying the bonding board | substrate 10 mounted on the conveyance surface 21 toward a downstream, for example, can be comprised by a belt conveyor etc. Specifically, the 1st conveyance unit 2 has a pair of roller 22a, 22b and the belt 23 wound around each roller 22a, 22b. A drive motor (not shown) drives the rollers 22a and 22b to rotate clockwise, whereby the belt 23 located on the upper side conveys the bonded substrate 10 downstream.

第１搬送ユニット２の下流側に設置された第１ブレイクユニット３は、ブレイクバー３１と、バックアップバー３２とを備えている。ブレイクバー３１とバックアップバー３２とは、上下方向において対向する位置に配置されている。より詳細には、ブレイクバー３１とバックアップバー３２とは、貼り合わせ基板１０の搬送路を介して対向する位置に配置されており、ブレイクバー３１は搬送路の上方に配置され、バックアップバー３２は搬送路の下方に配置されている。 The first break unit 3 installed on the downstream side of the first transport unit 2 includes a break bar 31 and a backup bar 32. The break bar 31 and the backup bar 32 are arranged at positions facing each other in the vertical direction. More specifically, the break bar 31 and the backup bar 32 are arranged at positions facing each other through the conveyance path of the bonded substrate 10, the break bar 31 is arranged above the conveyance path, and the backup bar 32 is It is arrange | positioned under the conveyance path.

ブレイクバー３１は、第１搬送ユニット２の搬送面２１と平行且つ搬送方向と直交する方向に延びている。ブレイクバー３１の下部は、搬送面２１と平行且つ搬送方向と直交する方向に延びる三角柱状に形成されており、先端（下端）に行くほど細くなる先細り形状となっている。このブレイクバー３１の先端における稜線部が、ブレイク動作時に貼り合わせ基板１０と接触する押圧部３１１である。ブレイクバー３１は、作動位置と非作動位置との間で昇降可能に設置されており、作動位置では押圧部３１１が貼り合わせ基板１０を押圧する。また、ブレイクバー３１が作動位置から上昇して非作動位置にあるときは、押圧部３１１は貼り合わせ基板１０と接触しない。 The break bar 31 extends in a direction parallel to the transport surface 21 of the first transport unit 2 and perpendicular to the transport direction. The lower portion of the break bar 31 is formed in a triangular prism shape extending in a direction parallel to the transport surface 21 and perpendicular to the transport direction, and has a tapered shape that becomes thinner toward the tip (lower end). The ridge line portion at the tip of the break bar 31 is a pressing portion 311 that comes into contact with the bonded substrate 10 during the break operation. The break bar 31 is installed so as to be movable up and down between an operating position and a non-operating position, and the pressing portion 311 presses the bonded substrate 10 at the operating position. Further, when the break bar 31 is raised from the operating position and is in the non-operating position, the pressing portion 311 does not contact the bonded substrate 10.

バックアップバー３２は、ブレイクバー３１の長手方向に沿って延びている、すなわち第１搬送ユニット２の搬送面２１と平行且つ搬送方向と直交する方向に延びている。バックアップバー３２は２つの上部を有しており、各上部は搬送面２１と平行且つ搬送方向と直交する方向に延びる三角柱状に形成されている。また、バックアップバー３２の各上部は、先端（上端）に行くほど細くなる先細り形状となっている。このバックアップバー３２の各先端における２つの稜線部が、貼り合わせ基板１０と接触する支持部３２１ａ、３２１ｂである。この各支持部３２１ａ、３２１ｂは、押圧部３１１の長手方向に沿って延びている。各支持部３２１ａ、３２１ｂは互いに所定間隔をあけて延びている。そして、押圧部３１１は、貼り合わせ基板１０の搬送路を介して各支持部３２１ａ、３２１ｂ間と対向する位置に配置されている。なお、各支持部３２１ａ、３２１ｂ間の距離は、押圧部３１１の幅よりも広い。 The backup bar 32 extends along the longitudinal direction of the break bar 31, that is, extends in a direction parallel to the transport surface 21 of the first transport unit 2 and perpendicular to the transport direction. The backup bar 32 has two upper portions, and each upper portion is formed in a triangular prism shape extending in a direction parallel to the transport surface 21 and perpendicular to the transport direction. Each upper portion of the backup bar 32 has a tapered shape that becomes thinner toward the tip (upper end). Two ridge line portions at each tip of the backup bar 32 are support portions 321 a and 321 b in contact with the bonded substrate 10. Each of the support portions 321 a and 321 b extends along the longitudinal direction of the pressing portion 311. Each support part 321a, 321b extends at a predetermined interval from each other. The pressing portion 311 is arranged at a position facing the support portions 321a and 321b via the conveyance path of the bonded substrate 10. The distance between the support portions 321a and 321b is wider than the width of the pressing portion 311.

支持テーブル４は、第１ブレイクユニット３と第２ブレイクユニット５との間において、貼り合わせ基板１０を支持するためのテーブルである。この支持テーブル４の上面である支持面４１は、第１搬送ユニット２の搬送面２１、及び第２搬送ユニット６の搬送面６１と同じ高さに位置する。 The support table 4 is a table for supporting the bonded substrate 10 between the first break unit 3 and the second break unit 5. The support surface 41 that is the upper surface of the support table 4 is located at the same height as the transport surface 21 of the first transport unit 2 and the transport surface 61 of the second transport unit 6.

第２ブレイクユニット５は、ブレイクバー５１と、バックアップバー５２とを備えている。ブレイクバー５１は先端（上端）に押圧部５１１を有しており、バックアップバー５２は先端（下端）に２つの支持部５２１ａ、５２１ｂを有している。第２ブレイクユニット５は、ブレイクバー５１が下方に位置しバックアップバー５２が上方に位置するという配置以外は上述した第１ブレイクユニット３と同様の構成であるため、詳細な説明を省略する。 The second break unit 5 includes a break bar 51 and a backup bar 52. The break bar 51 has a pressing portion 511 at the tip (upper end), and the backup bar 52 has two support portions 521a and 521b at the tip (lower end). Since the second break unit 5 has the same configuration as the first break unit 3 described above except that the break bar 51 is positioned below and the backup bar 52 is positioned above, detailed description is omitted.

第２搬送ユニット６は、搬送面６１に載置された貼り合わせ基板１０を下流に向かって搬送する。この第２搬送ユニット６は、一対のローラ６２ａ、６２ｂと、各ローラ６２ａ、６２ｂに巻き掛けられたベルト６３と、を有する。第２搬送ユニット６は、上述した第１搬送ユニット２と同様の構成であるため、その詳細な説明を省略する。 The second transport unit 6 transports the bonded substrate 10 placed on the transport surface 61 toward the downstream side. The second transport unit 6 includes a pair of rollers 62a and 62b and a belt 63 wound around the rollers 62a and 62b. Since the 2nd conveyance unit 6 is the structure similar to the 1st conveyance unit 2 mentioned above, the detailed description is abbreviate | omitted.

次に上述したように構成されたブレイク装置１の動作について説明する。 Next, the operation of the break device 1 configured as described above will be described.

図１に示すように、まず、貼り合わせ基板１０のサイズ、及び各スクライブライン１３のピッチに基づいて、各ユニット２〜６の位置を調整する。具体的には、第１ブレイクユニット３のブレイクバー３１の押圧部３１１と、第２ブレイクユニット５のブレイクバー５１の押圧部５１１との搬送方向における距離を、スクライブライン１３のピッチと同じにする。その他、第１及び第２搬送ユニット２，６と支持テーブル４とを、貼り合わせ基板１０がスムーズに搬送方向に搬送されるように、適切な位置にセットする。 As shown in FIG. 1, first, the positions of the units 2 to 6 are adjusted based on the size of the bonded substrate 10 and the pitch of the scribe lines 13. Specifically, the distance in the conveying direction between the pressing portion 311 of the break bar 31 of the first break unit 3 and the pressing portion 511 of the break bar 51 of the second break unit 5 is made equal to the pitch of the scribe line 13. . In addition, the first and second transport units 2 and 6 and the support table 4 are set at appropriate positions so that the bonded substrate 10 is smoothly transported in the transport direction.

次に、図示しないスクライブ装置によって両面にスクライブライン１３が形成された貼り合わせ基板１０が、第１搬送ユニット２の搬送面２１上に載置される。第１搬送ユニット２は、この貼り合わせ基板１０を間欠的に搬送する。具体的には、第１搬送ユニット２は、貼り合わせ基板１０を下流側に搬送し、図２に示すように貼り合わせ基板１０の下流側のスクライブライン１３が第１ブレイクユニット３に到達すると、その搬送を停止する。より詳細には、貼り合わせ基板１０の下流側のスクライブライン１３が第１ブレイクユニット３におけるブレイクバー３１の押圧部３１１の下方に位置すると、第１搬送ユニット２は搬送を停止する。なお、貼り合わせ基板１０が搬送されている間、第１及び第２ブレイクユニット３、５のブレイクバー３１、５１は、非作動位置にある。 Next, the bonded substrate 10 on which the scribe lines 13 are formed on both surfaces by a scribe device (not shown) is placed on the transport surface 21 of the first transport unit 2. The first transport unit 2 transports the bonded substrate 10 intermittently. Specifically, the first transport unit 2 transports the bonded substrate 10 to the downstream side, and when the scribe line 13 on the downstream side of the bonded substrate 10 reaches the first break unit 3 as shown in FIG. The conveyance is stopped. More specifically, when the scribe line 13 on the downstream side of the bonded substrate 10 is positioned below the pressing portion 311 of the break bar 31 in the first break unit 3, the first transport unit 2 stops transport. While the bonded substrate 10 is being transported, the break bars 31 and 51 of the first and second break units 3 and 5 are in the inoperative position.

この状態において、第１ブレイクユニット３が作動する。具体的には、第１ブレイクユニット３のブレイクバー３１が作動位置まで下降し、押圧部３１１が貼り合わせ基板１０を上側基板１１側から下流側のスクライブライン１３に沿って押圧する。これによって、貼り合わせ基板１０の下側基板１２が下流側のスクライブライン１３に沿ってブレイクされる。なお、このブレイク動作の際、貼り合わせ基板１０は、バックアップバー３２の各支持部３２１ａ、３２１ｂによって、下側から支持されている。 In this state, the first break unit 3 operates. Specifically, the break bar 31 of the first break unit 3 is lowered to the operating position, and the pressing portion 311 presses the bonded substrate 10 along the scribe line 13 on the downstream side from the upper substrate 11 side. Thereby, the lower substrate 12 of the bonded substrate 10 is broken along the scribe line 13 on the downstream side. In this break operation, the bonded substrate 10 is supported from below by the support portions 321 a and 321 b of the backup bar 32.

貼り合わせ基板１０の下側基板１２が下流側のスクライブライン１３に沿ってブレイクされると、第１ブレイクユニット３のブレイクバー３１は非作動位置に戻るとともに第１搬送ユニット２が作動し、貼り合わせ基板１０はさらに下流側に搬送される。そして、図３に示すように、貼り合わせ基板１０の下流側のスクライブライン１３が第２ブレイクユニット５に到達すると、第１搬送ユニット２は貼り合わせ基板１０の搬送を停止する。より詳細には、貼り合わせ基板１０の下流側のスクライブライン１３が第２ブレイクユニット５におけるブレイクバー５１の押圧部５１１の上方に位置すると、第１搬送ユニット２は搬送動作を停止する。なお、この状態において、貼り合わせ基板１０の上流側のスクライブライン１３は、第１ブレイクユニット３に到達している。そして、貼り合わせ基板１０の上流側のスクライブライン１３は、第１ブレイクユニット３におけるブレイクバー３１の押圧部３１１の下方に位置する。 When the lower substrate 12 of the bonded substrate 10 is broken along the scribe line 13 on the downstream side, the break bar 31 of the first break unit 3 returns to the non-operating position and the first transport unit 2 is activated to be bonded. The laminated substrate 10 is further conveyed downstream. As shown in FIG. 3, when the scribe line 13 on the downstream side of the bonded substrate 10 reaches the second break unit 5, the first transfer unit 2 stops the transfer of the bonded substrate 10. More specifically, when the scribe line 13 on the downstream side of the bonded substrate 10 is positioned above the pressing portion 511 of the break bar 51 in the second break unit 5, the first transport unit 2 stops the transport operation. In this state, the scribe line 13 on the upstream side of the bonded substrate 10 reaches the first break unit 3. The scribe line 13 on the upstream side of the bonded substrate 10 is positioned below the pressing portion 311 of the break bar 31 in the first break unit 3.

この状態において、第１ブレイクユニット３及び第２ブレイクユニット５が同期して作動する。具体的には、第２ブレイクユニット５のブレイクバー５１が作動位置まで上昇し、押圧部５１１が貼り合わせ基板１０を下側基板１２側から下流側のスクライブライン１３に沿って押圧する。これによって、貼り合わせ基板１０の上側基板１１が下流側のスクライブライン１３に沿ってブレイクされる。なお、このブレイク動作の際、貼り合わせ基板１０は、バックアップバー５２の各支持部５２１ａ、５２１ｂによって、上側から支持されている。 In this state, the first break unit 3 and the second break unit 5 operate in synchronization. Specifically, the break bar 51 of the second break unit 5 rises to the operating position, and the pressing portion 511 presses the bonded substrate 10 along the scribe line 13 on the downstream side from the lower substrate 12 side. Thereby, the upper substrate 11 of the bonded substrate 10 is broken along the scribe line 13 on the downstream side. During the break operation, the bonded substrate 10 is supported from above by the support portions 521a and 521b of the backup bar 52.

また、第２ブレイクユニット５による上側基板１１のブレイクと同時に、第１ブレイクユニットユニット３による下側基板１２のブレイクが行われる。すなわち、第１ブレイクユニット３のブレイクバー３１が作動位置まで下降し、押圧部３１１が貼り合わせ基板１０を上側基板１１側から上流側のスクライブライン１３に沿って押圧する。これによって、貼り合わせ基板１０の下側基板１２が上流側のスクライブライン１３に沿ってブレイクされる。このように、上側基板１１が下流側のスクライブライン１３に沿ってブレイクされるとともに、下側基板１２が上流側のスクライブライン１３に沿ってブレイクされる。なお、貼り合わせ基板１０の最下流側の部分１０ａは、上側基板１１及び下側基板１２ともにブレイクされたため、図４に示すように、残りの貼り合わせ基板１０ｂから完全に分断された状態となる。 Further, simultaneously with the break of the upper substrate 11 by the second break unit 5, the break of the lower substrate 12 by the first break unit unit 3 is performed. That is, the break bar 31 of the first break unit 3 is lowered to the operating position, and the pressing portion 311 presses the bonded substrate 10 along the scribe line 13 on the upstream side from the upper substrate 11 side. Thereby, the lower substrate 12 of the bonded substrate 10 is broken along the scribe line 13 on the upstream side. Thus, the upper substrate 11 is broken along the downstream scribe line 13 and the lower substrate 12 is broken along the upstream scribe line 13. In addition, since the uppermost substrate 11 and the lower substrate 12 are both broken, the most downstream portion 10a of the bonded substrate 10 is in a state of being completely separated from the remaining bonded substrate 10b as shown in FIG. .

続いて、第１及び第２ブレイクユニット３、５のブレイクバー３１、５１が非作動位置に戻るとともに第１及び第２搬送ユニット２、６が作動し、貼り合わせ基板１０がさらに下流側に搬送される。そして、図４に示すように、貼り合わせ基板１０の上流側のスクライブライン１３が第２ブレイクユニット５に到達すると、第１及び第２搬送ユニット２，６は貼り合わせ基板１０の搬送を停止する。より詳細には、貼り合わせ基板１０の上流側のスクライブライン１３が第２ブレイクユニット５におけるブレイクバー５１の押圧部５１１の上方に位置すると、第１及び第２搬送ユニット２、６は搬送動作を停止する。 Subsequently, the break bars 31 and 51 of the first and second break units 3 and 5 return to the non-operating position, and the first and second transport units 2 and 6 are operated, so that the bonded substrate 10 is transported further downstream. Is done. As shown in FIG. 4, when the scribe line 13 on the upstream side of the bonded substrate 10 reaches the second break unit 5, the first and second transfer units 2 and 6 stop the transfer of the bonded substrate 10. . More specifically, when the scribe line 13 on the upstream side of the bonded substrate 10 is positioned above the pressing portion 511 of the break bar 51 in the second break unit 5, the first and second transport units 2 and 6 perform the transport operation. Stop.

そして、第２ブレイクユニット５が作動する。具体的には、第２ブレイクユニット５のブレイクバー５１が作動位置まで上昇し、押圧部５１１が貼り合わせ基板１０を下側基板１２側から上流側のスクライブライン１３に沿って押圧する。これによって、貼り合わせ基板１０の上側基板１１が上流側のスクライブライン１３に沿ってブレイクされる。 Then, the second break unit 5 operates. Specifically, the break bar 51 of the second break unit 5 rises to the operating position, and the pressing portion 511 presses the bonded substrate 10 along the scribe line 13 on the upstream side from the lower substrate 12 side. Thereby, the upper substrate 11 of the bonded substrate 10 is broken along the scribe line 13 on the upstream side.

［特徴］
本実施形態に係るブレイク装置は、次の特徴を有する。 [Feature]
The break device according to the present embodiment has the following features.

（１）第１及び第２搬送ユニット２，６によって搬送される貼り合わせ基板１０は、まず第１ブレイクユニット３によって下側基板１２がブレイクされ、次に、第２ブレイクユニット５によって上側基板１１がブレイクされる。このように、搬送方向に並べて配置された第１ブレイクユニット３及び第２ブレイクユニット５によって、貼り合わせ基板１０の表裏を反転させることなく上側基板１１と下側基板１２との両方をブレイクすることができる。この結果、生産性を向上させることができる。 (1) The bonded substrate 10 transported by the first and second transport units 2 and 6 is firstly broken at the lower substrate 12 by the first break unit 3 and then at the upper substrate 11 by the second break unit 5. Is broken. Thus, both the upper substrate 11 and the lower substrate 12 are broken without inverting the front and back of the bonded substrate board 10 by the first break unit 3 and the second break unit 5 arranged side by side in the transport direction. Can do. As a result, productivity can be improved.

（２）第１ブレイクユニット３と第２ブレイクユニット５とは、互いに同期してブレイク動作を実行する。このため、第１ブレイクユニット３によって、上流側のスクライブライン１３に沿って下側基板１２をブレイクするとともに、第２ブレイクユニット５によって、下流側のスクライブライン１３に沿って上側基板１１をブレイクすることができる。このように、貼り合わせ基板１０には対向する方向に２つの押圧力が作用するため、この押圧力によって貼り合わせ基板１０が歪んでしまうことを抑制することができる。 (2) The first break unit 3 and the second break unit 5 perform a break operation in synchronization with each other. Therefore, the first break unit 3 breaks the lower substrate 12 along the upstream scribe line 13, and the second break unit 5 breaks the upper substrate 11 along the downstream scribe line 13. be able to. Thus, since two pressing forces act on the bonded substrate 10 in opposite directions, the bonded substrate 10 can be prevented from being distorted by the pressing force.

（３）第１ブレイクユニット３は、貼り合わせ基板１０の下面側から２つの支持部３２１ａ、３２１ｂによって支持し、貼り合わせ基板１０の上面側から押圧部３１１で貼り合わせ基板１０を押圧することによって、貼り合わせ基板１０をブレイクする。このように、貼り合わせ基板はいわゆる３点曲げとなるため、より確実に貼り合わせ基板１０をブレイクすることができる。 (3) The first break unit 3 is supported by the two support portions 321a and 321b from the lower surface side of the bonded substrate 10 and presses the bonded substrate 10 by the pressing portion 311 from the upper surface side of the bonded substrate 10. Then, the bonded substrate 10 is broken. Thus, since the bonded substrate is a so-called three-point bending, the bonded substrate 10 can be more reliably broken.

［変形例］
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない限りにおいて種々の変更が可能である。 [Modification]
As mentioned above, although embodiment of this invention was described, this invention is not limited to these, A various change is possible unless it deviates from the meaning of this invention.

変形例１
上記実施形態では、第１ブレイクユニット３によって貼り合わせ基板１０の下側基板１２をブレイクし、第２ブレイクユニット５によって上側基板１１をブレイクするが、特にこれに限定されない。例えば、第１ブレイクユニット３によって上側基板１１をブレイクし、第２ブレイクユニット５によって下側基板１２をブレイクするような構成としてもよい。この場合、第１ブレイクユニット３のブレイクバー３１とバックアップバー３２との位置を上下方向に反転させるとともに、第２ブレイクユニット５のブレイクバー５１とバックアップバー５２との位置を上下方向に反転させる。 Modification 1
In the above embodiment, the lower substrate 12 of the bonded substrate 10 is broken by the first break unit 3 and the upper substrate 11 is broken by the second break unit 5, but the present invention is not limited to this. For example, the upper substrate 11 may be broken by the first break unit 3 and the lower substrate 12 may be broken by the second break unit 5. In this case, the positions of the break bar 31 and the backup bar 32 of the first break unit 3 are reversed in the vertical direction, and the positions of the break bar 51 and the backup bar 52 of the second break unit 5 are reversed in the vertical direction.

変形例２
上記実施形態では、ブレイクバー３１，５１が作動位置に下降又は上昇することによって貼り合わせ基板１０をブレイクするが、特にこれに限定されない。例えば、第１ブレイクユニット３において、ブレイクバー３１は下降せずに、バックアップバー３２が上昇することによって下側基板１２をブレイクしてもよい。また、第２ブレイクユニット５において、ブレイクバー５１は上昇せずに、バックアップバー５２が下降することによって上側基板１１をブレイクしてもよい。さらには、ブレイクバー３１、５１及びバックアップバー３２，５２の双方が互いに近づくように昇降して、貼り合わせ基板１０をブレイクしてもよい。 Modification 2
In the embodiment described above, the bonded substrate 10 is broken by the break bars 31 and 51 being lowered or raised to the operating position, but is not particularly limited thereto. For example, in the first break unit 3, the lower substrate 12 may be broken by raising the backup bar 32 without lowering the break bar 31. Further, in the second break unit 5, the upper substrate 11 may be broken by lowering the backup bar 52 without raising the break bar 51. Furthermore, the bonded substrate 10 may be broken by moving up and down so that both the break bars 31 and 51 and the backup bars 32 and 52 approach each other.

変形例３
第１ブレイクユニット３のバックアップバー３２における支持部３２１ａ、３２１ｂは、互いに離れるように変形可能であってもよい。例えば、図５に示すように、各支持部３２１ａ、３２１ｂが離れる方向の側面に、凹部３２２が形成されている。この凹部３２２によって、各支持部３２１ａ、３２１ｂが互いに離れるようにバックアップバー３２は変形可能である。 Modification 3
The support portions 321a and 321b in the backup bar 32 of the first break unit 3 may be deformable so as to be separated from each other. For example, as shown in FIG. 5, the recessed part 322 is formed in the side surface of the direction from which each support part 321a, 321b leaves | separates. By this recess 322, the backup bar 32 can be deformed so that the support portions 321a and 321b are separated from each other.

変形例４
上記実施形態では、第１及び第２ブレイクユニット３、５は、ブレイクバー３１、５１によって貼り合わせ基板１０をブレイクするが、ブレイクバー３１、５１の代わりに、貼り合わせ基板１０上を押圧しながら転がる押圧ローラによって貼り合わせ基板１０をブレイクしてもよい。 Modification 4
In the above-described embodiment, the first and second break units 3 and 5 break the bonded substrate 10 by the break bars 31 and 51, but pressing the bonded substrate 10 instead of the break bars 31 and 51. The bonded substrate 10 may be broken by a pressing roller that rolls.

変形例５
上記実施形態では、バックアップバー３２は１つの部材から形成されており、このバックアップバー３２の先端が２股に分かれる構造とすることで２つの支持部３２１ａ、３２１ｂが形成されているが、特にこれに限定されない。例えば、バックアップバー３２が２つの部材によって構成されており、各部材の先端を支持部３２１ａ、３２１ｂとすることもできる。 Modification 5
In the above embodiment, the backup bar 32 is formed from a single member, and the two support portions 321a and 321b are formed by making the tip of the backup bar 32 split into two forks. It is not limited to. For example, the backup bar 32 is configured by two members, and the tips of the members can be the support portions 321a and 321b.

１ブレイク装置
２第１搬送ユニット
２１搬送面
３第１ブレイクユニット
３１ブレイクバー
３１１押圧部
３２バックアップバー
３２１ａ、３２１ｂ支持部
５第２ブレイクユニット
５１ブレイクバー
５１１押圧部
５２バックアップバー
５２１ａ、２１ｂ支持部
６第２搬送ユニット
６１搬送面
１０貼り合わせ基板
１１第２基板
１２第１基板
１３スクライブライン DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Break apparatus 2 1st conveyance unit 21 Conveyance surface 3 1st break unit 31 Break bar 311 Press part 32 Backup bar 321a, 321b Support part 5 2nd break unit 51 Break bar 511 Press part 52 Backup bar 521a, 21b Support part 6 Second transport unit 61 Transport surface 10 Bonded substrate 11 Second substrate 12 First substrate 13 Scribe line

Claims

A breaking device for breaking a bonded substrate along a scribe line formed on both surfaces of a bonded substrate on which a first substrate and a second substrate are bonded,
A transport unit for transporting the bonded substrate from upstream to downstream;
A first break unit that breaks the first substrate along the scribe line formed on the surface of the first substrate;
A second break unit that is disposed downstream of the first break unit and breaks the second substrate along the scribe line formed on the second substrate side surface ;
The break device, wherein the first break unit and the second break unit execute a break operation in synchronization with each other .

  A breaking device for breaking a bonded substrate along a scribe line formed on both surfaces of a bonded substrate on which a first substrate and a second substrate are bonded,
  A transport unit for transporting the bonded substrate from upstream to downstream;
  A first break unit that breaks the first substrate along the scribe line formed on the surface of the first substrate;
  A second break unit that is disposed downstream of the first break unit and breaks the second substrate along the scribe line formed on the second substrate side surface;
  At least one of the first break unit and the second break unit is:
  A break bar including a pressing portion that extends in parallel with the conveyance surface of the conveyance unit and contacts the bonded substrate when the bonded substrate is broken;
  A backup bar including two support portions that extend along the longitudinal direction of the pressing portion with a gap wider than the width of the pressing portion and contact the bonded substrate when the bonded substrate is broken;
Have
  The pressing portion is disposed so as to face between the support portions via a conveyance path of the bonded substrate board,
  The bonded substrate is broken by moving at least one of the pressing part and each supporting part toward the other side of the pressing part and each supporting part,
  The backup bar is a break device that is deformable so that the support portions are separated from each other.

The break device according to claim 2, wherein the backup bar is formed with a recess extending along a longitudinal direction of the support portion on a side surface in a direction in which the support portions are separated from each other.

  A breaking device for breaking a bonded substrate along a scribe line formed on both surfaces of a bonded substrate on which a first substrate and a second substrate are bonded,
  A transport unit for transporting the bonded substrate from upstream to downstream;
  A first break unit that breaks the first substrate along the scribe line formed on the surface of the first substrate;
  A second break unit that is disposed downstream of the first break unit and breaks the second substrate along the scribe line formed on the second substrate side surface;
  The said conveyance unit is a break apparatus which can move to an upstream and downstream.

The break device according to any one of claims 1 to 4, wherein at least one of the first break unit and the second break unit is movable to the upstream side and the downstream side.