JP6387695B2 - Breaking device for brittle material substrate - Google Patents

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JP6387695B2 JP2014121940A JP2014121940A JP6387695B2 JP 6387695 B2 JP6387695 B2 JP 6387695B2 JP 2014121940 A JP2014121940 A JP 2014121940A JP 2014121940 A JP2014121940 A JP 2014121940A JP 6387695 B2 JP6387695 B2 JP 6387695B2
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    • C03B33/023Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
    • C03B33/033Apparatus for opening score lines in glass sheets

Description

本発明は、ブレイク装置、特に、第1方向に延びる第1スクライブラインと、第1方向と交差する第2方向に延びる第2スクライブラインと、が形成された脆性材料基板を、第1及び第2スクライブラインに沿って分断するためのブレイク装置に関するものである。   The present invention relates to a brittle material substrate formed with a break device, in particular, a first scribe line extending in a first direction and a second scribe line extending in a second direction intersecting the first direction. The present invention relates to a break device for cutting along two scribe lines.
ガラス基板等の脆性材料基板をブレイクする装置が特許文献1及び特許文献2に示されている。これらの文献に示された装置では、まず、スクライブ装置によって脆性材料基板にスクライブラインが形成される。そして、ブレイク装置によって、脆性材料基板が押圧され、スクライブラインに沿ってブレイクされる。   Patent Documents 1 and 2 show apparatuses for breaking a brittle material substrate such as a glass substrate. In the devices shown in these documents, first, a scribe line is formed on a brittle material substrate by a scribe device. Then, the brittle material substrate is pressed by the breaking device and broken along the scribe line.
ブレイク装置は、表面にゴム等のクッションシートを有するテーブルと、テーブルの上方に配置されたブレイクバーと、を有している。脆性材料基板は、スクライブラインが形成された側の面を下向きにしてテーブル上に載置される。そして、ブレイクバーを脆性材料基板の上面から押圧する。これにより、脆性材料基板がクッションシート上で撓み、スクライブラインに沿ってブレイクされる。   The break device has a table having a cushion sheet made of rubber or the like on the surface, and a break bar disposed above the table. The brittle material substrate is placed on the table with the surface on which the scribe line is formed facing downward. Then, the break bar is pressed from the upper surface of the brittle material substrate. Thereby, the brittle material substrate is bent on the cushion sheet and is broken along the scribe line.
特開2002−103295号公報JP 2002-103295 A 特開2002−187098号公報JP 2002-187098 A
ここで、1枚のマザー基板の表面に、互いに直交する第1方向及び第2方向のスクライブラインを形成し、その後両スクライブラインに沿って複数の単位基板にブレイクすることが広く行われている。   Here, it is widely practiced to form scribe lines in the first direction and the second direction orthogonal to each other on the surface of one mother substrate, and then to break into a plurality of unit substrates along both scribe lines. .
特許文献1及び2の装置によって以上のようなブレイクを行う場合、まず、第1方向のスクライブラインに沿って前述したような方法でブレイクを行う。このとき、テーブルはスクライブラインのピッチ毎に移動し、ブレイクバーは、スクライブラインの数だけ昇降する。その後、テーブルを90°回転させる。そして、第2方向のスクライブラインに沿って、第1方向のブレイクと同様な方法でブレイクを行う。   When performing the above break by the devices of Patent Documents 1 and 2, first, the break is performed by the method described above along the scribe line in the first direction. At this time, the table moves at every pitch of the scribe line, and the break bar moves up and down by the number of scribe lines. Thereafter, the table is rotated 90 °. Then, the break is performed along the scribe line in the second direction by the same method as the break in the first direction.
以上のような従来の装置では、第1方向及び第2方向の両方のスクライブラインの数だけ1つのブレイクバーを昇降させる必要がある。また、テーブルを水平面内で回転させるための機構が必要になる。このため、スクライブラインの数が増加するのに伴ってブレイクに要する時間が長くなり、またブレイクバー及びその昇降機構の摩耗が増えて寿命が短くなる。   In the conventional apparatus as described above, it is necessary to raise and lower one break bar by the number of scribe lines in both the first direction and the second direction. In addition, a mechanism for rotating the table in the horizontal plane is required. For this reason, as the number of scribe lines increases, the time required for the break increases, and wear of the break bar and its lifting mechanism increases, thereby shortening the life.
本発明の課題は、ブレイクに要する時間を短縮することにある。   An object of the present invention is to shorten the time required for a break.
本発明の一側面に係る脆性材料基板のブレイク装置は、第1方向に延びる第1スクライブラインと、第1方向と交差する第2方向に延びる第2スクライブラインと、が形成された脆性材料基板を、第1及び第2スクライブラインに沿って分断するための装置である。このブレイク装置は、搬送ベルトと、第1ブレイク機構と、第2ブレイク機構と、を備えている。搬送ベルトは、載置面を有し、載置面に載置された脆性材料基板を第1方向に沿って搬送する。第1ブレイク機構は、搬送ベルトに載置された脆性材料基板を第1スクライブラインに沿って分断する。第2ブレイク機構は、搬送ベルトに載置された脆性材料基板を第2スクライブラインに沿って分断する。   A brittle material substrate breaking device according to one aspect of the present invention includes a brittle material substrate on which a first scribe line extending in a first direction and a second scribe line extending in a second direction intersecting the first direction are formed. Is a device for cutting along the first and second scribe lines. The break device includes a conveyor belt, a first break mechanism, and a second break mechanism. The conveyance belt has a placement surface and conveys the brittle material substrate placed on the placement surface along the first direction. The first break mechanism divides the brittle material substrate placed on the transport belt along the first scribe line. The second break mechanism divides the brittle material substrate placed on the conveyor belt along the second scribe line.
この装置では、第1及び第2スクライブラインが形成された脆性材料基板が、搬送ベルトに載置されて第1方向に搬送される。そして、第1ブレイク機構によって、脆性材料基板は第1スクライブラインに沿ってブレイクされる。また、第2ブレイク機構によって、脆性材料基板は第2スクライブラインに沿ってブレイクされる。   In this apparatus, the brittle material substrate on which the first and second scribe lines are formed is placed on the transport belt and transported in the first direction. Then, the brittle material substrate is broken along the first scribe line by the first break mechanism. Further, the brittle material substrate is broken along the second scribe line by the second breaking mechanism.
ここでは、第1ブレイク機構と第2ブレイク機構とによって、第1スクライブラインに沿ったブレイクと第2スクライブラインに沿ったブレイクとを並行して行うことができる。このため、ブレイクに要する時間を短縮することができる。   Here, the break along the first scribe line and the break along the second scribe line can be performed in parallel by the first break mechanism and the second break mechanism. For this reason, the time required for the break can be shortened.
本発明の脆性材料基板のブレイク装置では、第1及び第2ブレイク機構は、脆性材料基板の搬送姿勢を同じ姿勢に維持した状態で第1及び第2スクライブラインに沿って分断する。 In the breaking apparatus of the brittle material substrate of the present invention, the first and second breaking mechanism is divided along the first and second scribe lines while maintaining the conveying posture of the brittle material substrate in the same posture.
ここでは、従来装置における90°回転機構が不要になる。   Here, the 90 ° rotation mechanism in the conventional apparatus is not necessary.
本発明の脆性材料基板のブレイク装置では、第1ブレイク機構は第1方向に延び昇降可能な第1ブレイクバーを有している。第2ブレイク機構は第2方向に延び昇降可能な第2ブレイクバーを有している。第1及び第2ブレイクバーは、第1及び第2スクライブラインが形成された脆性材料基板を各スクライブラインが形成された面と逆側の面から押圧力を加えて分断するものである。搬送ベルトは、載置面に載置された脆性材料基板が第1及び第2ブレイクバーにより押圧力を受けたときに弾性変形可能である。 In the breaking apparatus of the brittle material substrate of the present invention, the first breaking mechanism includes a first breaking bar elevatable extend in a first direction. The second break mechanism has a second break bar that extends in the second direction and can be raised and lowered. The first and second break bars divide the brittle material substrate on which the first and second scribe lines are formed by applying a pressing force from the surface opposite to the surface on which each scribe line is formed. The conveyor belt can be elastically deformed when the brittle material substrate placed on the placement surface receives a pressing force by the first and second break bars.
この装置では、脆性材料基板はブレイクバーによって押圧力を受ける。具体的には、脆性材料基板のスクライブラインが形成された面と逆側の面に対して、直接に、あるいは搬送ベルトを介して、各ブレイク機構のブレイクバーが押し付けられる。ブレイクバーの押圧によって、搬送ベルトが撓み、このため脆性材料基板はスライブラインに沿ってブレイクされる。   In this apparatus, the brittle material substrate is subjected to a pressing force by a break bar. Specifically, the break bar of each break mechanism is pressed against the surface of the brittle material substrate opposite to the surface on which the scribe line is formed, directly or via the conveyor belt. The conveying belt is bent by the pressing of the break bar, and thus the brittle material substrate is broken along the slive line.
本発明の脆性材料基板のブレイク装置では、第1ブレイクバーは第2方向に移動可能である。 In the breaking apparatus of the brittle material substrate of the present invention, first breaking bar is movable in a second direction.
ここでは、複数の第1スクライブラインのそれぞれの位置に第2ブレイクバーが移動し、各移動位置においてブレイク処理が実行される。   Here, the second break bar moves to each position of the plurality of first scribe lines, and break processing is executed at each movement position.
本発明の脆性材料基板のブレイク装置では、第1ブレイク機構は、第1上ブレイクバーと第1下ブレイクバーとを有している。第1上ブレイクバーは、搬送ベルトの載置面の上方に配置され第1方向に延びる。第1下ブレイクバーは、載置面の下方に配置され第1方向に延びる。第1上ブレイクバー及び第1下ブレイクバーは、昇降可能かつ第2方向に移動可能である。
In the breaking apparatus of the brittle material substrate of the present invention, the first breaking mechanism, and a first upper breaking bar and a first lower breaking bar. The first upper break bar is disposed above the placement surface of the conveyor belt and extends in the first direction. The first lower break bar is disposed below the placement surface and extends in the first direction. The first upper break bar and the first lower break bar can move up and down and move in the second direction.
そして、第1上ブレイクバーは、載置面と接触する下表面に第1スクライブラインが形成された脆性材料基板を上方から押圧し、搬送ベルトを弾性変形させて脆性材料基板を第1スクライブラインに沿って分断する。また、第1下ブレイクバーは、上表面に第1スクライブラインが形成された脆性材料基板に、搬送ベルトを介して押圧力を加え、搬送ベルトを弾性変形させて脆性材料基板を分断する。   Then, the first upper break bar presses the brittle material substrate having the first scribe line formed on the lower surface in contact with the mounting surface from above, and elastically deforms the transport belt to cause the brittle material substrate to move to the first scribe line. Divide along. Further, the first lower break bar applies a pressing force to the brittle material substrate having the first scribe line formed on the upper surface via the transport belt, and elastically deforms the transport belt to divide the brittle material substrate.
本発明のさらに別の側面に係る脆性材料基板のブレイク装置では、第2ブレイク機構は、第2上ブレイクバーと第2下ブレイクバートを有している。第2上ブレイクバーは、搬送ベルトの載置面の上方に配置され第2方向に延びる。第2下ブレイクバーは、載置面の下方に配置され第2方向に延びる。第2上ブレイクバー及び第2下ブレイクバーは、昇降可能である。   In the brittle material substrate breaker according to still another aspect of the present invention, the second break mechanism has a second upper break bar and a second lower break bar. The second upper break bar is disposed above the placement surface of the conveyor belt and extends in the second direction. The second lower break bar is disposed below the placement surface and extends in the second direction. The second upper break bar and the second lower break bar can be moved up and down.
そして、第2上ブレイクバーは、載置面と接触する下表面に第2スクライブラインが形成された脆性材料基板を上方から押圧し、搬送ベルトを弾性変形させて脆性材料基板を分断する。また、第2下ブレイクバーは、上表面に第2スクライブラインが形成された脆性材料基板に、搬送ベルトを介して押圧力を加え、搬送ベルトを弾性変形させて脆性材料基板を分断する。   Then, the second upper break bar presses the brittle material substrate having the second scribe line formed on the lower surface in contact with the placement surface from above, and elastically deforms the transport belt to divide the brittle material substrate. Further, the second lower break bar applies a pressing force to the brittle material substrate having the second scribe line formed on the upper surface via the transport belt, and elastically deforms the transport belt to divide the brittle material substrate.
本発明によれば、第1方向及び第1方向と交差する第2方向にスクライブラインが形成された脆性材料基板を、短い時間でブレイクすることができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the brittle material board | substrate with which the scribe line was formed in the 2nd direction crossing the 1st direction and the 1st direction can be broken in a short time.
ブレイク装置の概略平面図Schematic plan view of break device ブレイク装置の概略正面図Schematic front view of break device 第1ブレイク機構の概略側面図Schematic side view of the first break mechanism 第1ブレイク機構の概略側面図Schematic side view of the first break mechanism 第1ブレイク機構の概略側面図Schematic side view of the first break mechanism 第1ブレイク機構の概略側面図Schematic side view of the first break mechanism 第1ブレイク機構の概略側面図Schematic side view of the first break mechanism 第1ブレイク機構の概略側面図Schematic side view of the first break mechanism 第1ブレイク機構の概略側面図Schematic side view of the first break mechanism 第1ブレイク機構の概略側面図Schematic side view of the first break mechanism 第1ブレイク機構の概略側面図Schematic side view of the first break mechanism
図1は、本発明の一実施形態によるブレイク装置の概略平面図、図2はその正面図である。これらの図に示すように、ブレイク装置1は、脆性材料基板としてのガラス基板Gをスクライブラインに沿ってブレイクする装置である。   FIG. 1 is a schematic plan view of a breaking device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a front view thereof. As shown in these drawings, the breaking device 1 is a device that breaks a glass substrate G as a brittle material substrate along a scribe line.
[ガラス基板G]
本実施形態では、ガラス基板Gは貼り合わせ基板である。すなわち、ガラス基板Gは、第1基板G1と第2基板G2とによって構成されている。各基板G1,G2には、ブレイク装置1における処理の前工程において、第1方向(ここでは、ブレイク装置1における基板搬送方向)に延びる複数の第1スクライブラインと、第2方向に延びる複数の第2スクライブラインが形成されている。第1方向と第2方向とは直交する方向である。すなわち、第1スクライブラインと第2スクライブラインとは直交している。
[Glass substrate G]
In this embodiment, the glass substrate G is a bonded substrate. That is, the glass substrate G is composed of the first substrate G1 and the second substrate G2. Each of the substrates G1 and G2 includes a plurality of first scribe lines extending in the first direction (here, the substrate transport direction in the break device 1) and a plurality of extending in the second direction in the pre-process of the processing in the break device 1. A second scribe line is formed. The first direction and the second direction are directions orthogonal to each other. That is, the first scribe line and the second scribe line are orthogonal to each other.
ここで、本実施形態におけるガラス基板Gは、第1基板G1が上側、第2基板G2が下側に配置された状態で搬送される。そして、各基板G1,G2のスクライブラインは、貼り合わせ面とは逆側の面に形成されている。すなわち、上方の第1基板G1には上側の面にスクライブラインが形成され、下方の第2基板G2には下側の面にスクライブラインが形成されている。   Here, the glass substrate G in the present embodiment is transported in a state where the first substrate G1 is disposed on the upper side and the second substrate G2 is disposed on the lower side. And the scribe line of each board | substrate G1, G2 is formed in the surface on the opposite side to a bonding surface. That is, a scribe line is formed on the upper surface of the upper first substrate G1, and a scribe line is formed on the lower surface of the second substrate G2 below.
第1基板G1と第2基板G2との間で例えば液晶層が構成されている。また、ガラス基板Gは、第1基板G1と第2基板G2との間に配置されたシール部材(図示省略)を有している。このシール部材によって液晶層を囲んでいる。   For example, a liquid crystal layer is formed between the first substrate G1 and the second substrate G2. The glass substrate G has a seal member (not shown) disposed between the first substrate G1 and the second substrate G2. The liquid crystal layer is surrounded by the seal member.
[ブレイク装置1]
ブレイク装置1は、搬送ベルト2と、搬送方向上流側に配置された第1ブレイク機構11と、第1ブレイク機構11の搬送方向下流側に配置された第2ブレイク機構12と、を備えている。
[Break device 1]
The break device 1 includes a transport belt 2, a first break mechanism 11 disposed on the upstream side in the transport direction, and a second break mechanism 12 disposed on the downstream side in the transport direction of the first break mechanism 11. .
<搬送ベルト2>
搬送ベルト2は、ガラス基板Gが載置される載置面2aを有している。搬送ベルト2は、可撓性を有しており、例えば、天然ゴム、合成ゴム、布、又は合成樹脂などによって形成することができる。搬送ベルト2は、弛まない程度に張力が掛かった状態で、複数の搬送ローラ3の間に架け渡されている。また、搬送ベルト2は、図2において、時計周りに回転している。すなわち、搬送ベルト2は、載置面2aに載置されたガラス基板Gを、図2の左から右方向に搬送する。
<Conveyor belt 2>
The conveyor belt 2 has a placement surface 2a on which the glass substrate G is placed. The conveyance belt 2 has flexibility, and can be formed of, for example, natural rubber, synthetic rubber, cloth, or synthetic resin. The conveyor belt 2 is stretched between a plurality of conveyor rollers 3 in a state where tension is applied to such an extent that the conveyor belt 2 does not loosen. Further, the conveyor belt 2 rotates clockwise in FIG. That is, the transport belt 2 transports the glass substrate G placed on the placement surface 2a from the left to the right in FIG.
<第1ブレイク機構11>
第1ブレイク機構11は、搬送ベルト2に載置されたガラス基板Gを第1スクライブラインに沿って分断する。第1ブレイク機構11は、図1及び図2に示すように、第1上ブレイクバー14と、1対の第1上支持部材15a,15bと、第1下ブレイクバー16と、1対の第1下支持部材17a,17bと、第1上ガントリー18及び第1下ガントリーと、を有している。なお、図では、第1下ガントリーは表れていない。
<First break mechanism 11>
The first break mechanism 11 divides the glass substrate G placed on the transport belt 2 along the first scribe line. As shown in FIGS. 1 and 2, the first break mechanism 11 includes a first upper break bar 14, a pair of first upper support members 15a and 15b, a first lower break bar 16, and a pair of first breakers. 1 lower support members 17a, 17b, a first upper gantry 18 and a first lower gantry. In the figure, the first lower gantry does not appear.
第1上ブレイクバー14は、搬送ベルト2の載置面2aの上方に配置され、第1方向(搬送方向)に延びている。第1上ブレイクバー14は、載置面2a上に載置されたガラス基板Gを上方から押圧し、ガラス基板Gを第1スクライブラインSに沿ってブレイクするための部材である。詳細には、図3等に示すように、第1上ブレイクバー14の先端部は、先端に向かって徐々に厚さが薄くなるように構成されている。そして、第1上ブレイクバー14は、先端部(下端部)でガラス基板Gを押圧する。また、第1上ブレイクバー14は、例えば、流体シリンダ(図示省略)によって駆動され、昇降可能である。   The first upper break bar 14 is disposed above the placement surface 2a of the transport belt 2 and extends in the first direction (transport direction). The first upper break bar 14 is a member for pressing the glass substrate G placed on the placement surface 2a from above and breaking the glass substrate G along the first scribe line S. In detail, as shown in FIG. 3 etc., the front-end | tip part of the 1st upper break bar 14 is comprised so that thickness may become thin gradually toward a front-end | tip. And the 1st upper break bar 14 presses the glass substrate G in a front-end | tip part (lower end part). The first upper break bar 14 is driven by, for example, a fluid cylinder (not shown) and can be raised and lowered.
1対の第1上支持部材15a,15bは、搬送ベルト2の載置面2aの上方に配置されており、第1方向に延びている。また、1対の第1上支持部材15a,15bは、第1上ブレイクバー14を挟むように配置されている。1対の第1上支持部材15a,15bは、載置面2aに載置されたガラス基板Gの表面(上面)に当接して、ガラス基板Gを支持するための部材である。また、1対の第1上支持部材15a,15bは、例えば、流体シリンダ(図示省略)によって駆動され、昇降可能である。   The pair of first upper support members 15a and 15b are disposed above the placement surface 2a of the conveyor belt 2 and extend in the first direction. The pair of first upper support members 15 a and 15 b are arranged so as to sandwich the first upper break bar 14. The pair of first upper support members 15a and 15b are members for supporting the glass substrate G in contact with the surface (upper surface) of the glass substrate G placed on the placement surface 2a. Further, the pair of first upper support members 15a and 15b are driven by, for example, a fluid cylinder (not shown) and can be moved up and down.
第1上ガントリー18は、第1上ブレイクバー14及び1対の第1上支持部材15a,15bのさらに上方に配置され、これらの部材14,15a,15bを第2方向、すなわち搬送方向と直交する方向に移動自在に支持している。   The first upper gantry 18 is disposed further above the first upper break bar 14 and the pair of first upper support members 15a, 15b, and these members 14, 15a, 15b are orthogonal to the second direction, that is, the transport direction. It is supported so that it can move freely in the direction of movement.
図2から明らかなように、第1下ブレイクバー16、1対の第1下支持部材17a,17b、及び第1下ガントリー(図示せず)は、循環する搬送ベルト2によって構成された空間R内に配置されている。第1下ブレイクバー16及び1対の第1下支持部材17a,17bは、それぞれ第1上ブレイクバー14及び1対の第1上支持部材15a,15bに対して載置面2aを挟んで上下対称に構成されている。第1下ブレイクバー16、1対の第1下支持部材17a,17b、及び第1下ガントリーは、第1上ブレイクバー14、1対の第1上支持部材15a,15b、及び第1上ガントリー18と基本的に同じ構成である。   As apparent from FIG. 2, the first lower break bar 16, the pair of first lower support members 17 a and 17 b, and the first lower gantry (not shown) are a space R formed by the conveying belt 2 that circulates. Is placed inside. The first lower break bar 16 and the pair of first lower support members 17a and 17b are vertically moved with the mounting surface 2a interposed therebetween with respect to the first upper break bar 14 and the pair of first upper support members 15a and 15b, respectively. It is configured symmetrically. The first lower break bar 16, the pair of first lower support members 17a, 17b, and the first lower gantry include the first upper break bar 14, the pair of first upper support members 15a, 15b, and the first upper gantry. 18 is basically the same configuration.
<第2ブレイク機構12>
第2ブレイク機構12は、搬送ベルト2に載置されたガラス基板Gを第2スクライブラインに沿って分断する。第2ブレイク機構12は、第2上ブレイクバー24と、1対の第2上支持部材25a,25bと、第2下ブレイクバー26と、1対の第2下支持部材27a,27bと、第2上ガントリー28及び第2下ガントリーと、を有している。なお、図では、第2下ガントリーは表れていない。
<Second break mechanism 12>
The second break mechanism 12 divides the glass substrate G placed on the transport belt 2 along the second scribe line. The second break mechanism 12 includes a second upper break bar 24, a pair of second upper support members 25a, 25b, a second lower break bar 26, a pair of second lower support members 27a, 27b, 2 upper gantry 28 and second lower gantry. In the figure, the second lower gantry does not appear.
第2上ブレイクバー24は、搬送ベルト2の載置面2aの上方に配置され、第2方向(搬送方向と直交する方向)に延びている。第2上ブレイクバー24は、載置面2a上に載置されたガラス基板Gを上方から押圧し、ガラス基板Gを第2スクライブラインに沿ってブレイクするための部材である。詳細には、図2に示すように、第2上ブレイクバー24の先端部は、先端に向かって徐々に厚さが薄くなるように構成されている。そして、第2上ブレイクバー24は、先端部(下端部)でガラス基板Gを押圧する。また、第2上ブレイクバー24は、例えば、流体シリンダ(図示省略)によって駆動され、昇降可能である。   The second upper break bar 24 is disposed above the placement surface 2a of the transport belt 2 and extends in the second direction (a direction orthogonal to the transport direction). The second upper break bar 24 is a member for pressing the glass substrate G placed on the placement surface 2a from above and breaking the glass substrate G along the second scribe line. Specifically, as shown in FIG. 2, the tip portion of the second upper break bar 24 is configured so that the thickness gradually decreases toward the tip. And the 2nd upper break bar 24 presses the glass substrate G in a front-end | tip part (lower end part). The second upper break bar 24 is driven by, for example, a fluid cylinder (not shown) and can be raised and lowered.
1対の第2上支持部材25a,25bは、搬送ベルト2の載置面2aの上方に配置されており、第2方向に延びている。また、1対の第2上支持部材25a,25bは、第2上ブレイクバー24を挟むように配置されている。1対の第2上支持部材25a,25bは、載置面2aに載置されたガラス基板Gの表面(上面)に当接して、ガラス基板Gを支持するための部材である。また、1対の第2上支持部材25a,25bは、例えば、流体シリンダ(図示省略)によって駆動され、昇降可能である。   The pair of second upper support members 25a and 25b are disposed above the placement surface 2a of the conveyor belt 2 and extend in the second direction. In addition, the pair of second upper support members 25 a and 25 b are disposed so as to sandwich the second upper break bar 24. The pair of second upper support members 25a and 25b are members for supporting the glass substrate G in contact with the surface (upper surface) of the glass substrate G placed on the placement surface 2a. Further, the pair of second upper support members 25a and 25b are driven by, for example, a fluid cylinder (not shown) and can be moved up and down.
第2上ガントリー28は、第2上ブレイクバー24及び1対の第2上支持部材25a,25bのさらに上方に配置され、これらの部材24,25a,25bを第1方向、すなわち搬送方向に移動自在に支持している。   The second upper gantry 28 is disposed further above the second upper break bar 24 and the pair of second upper support members 25a and 25b, and moves these members 24, 25a and 25b in the first direction, that is, the transport direction. Supports freely.
第2下ブレイクバー26、1対の第2下支持部材27a,27b、及び第2下ガントリー(図示せず)は、第1下ブレイクバー16、1対の第1下支持部材17a,17b、及び第1下ガントリーとともに、循環する搬送ベルト2によって構成された空間R内に配置されている。第2下ブレイクバー26及び1対の第2下支持部材27a,27bは、それぞれ第2上ブレイクバー24及び1対の第2上支持部材25a,25bに対して載置面2aを挟んで上下対称に構成されている。第2下ブレイクバー26、1対の第2下支持部材27a,27b、及び第2下ガントリーは、第2上ブレイクバー24、1対の第2上支持部材25a,25b、及び第2上ガントリー28と基本的に同じ構成である。   The second lower break bar 26, the pair of second lower support members 27a, 27b, and the second lower gantry (not shown) include the first lower break bar 16, the pair of first lower support members 17a, 17b, And it arrange | positions in the space R comprised by the conveyance belt 2 which circulates with a 1st lower gantry. The second lower break bar 26 and the pair of second lower support members 27a and 27b are vertically moved with the mounting surface 2a interposed between the second upper break bar 24 and the pair of second upper support members 25a and 25b, respectively. It is configured symmetrically. The second lower break bar 26, the pair of second lower support members 27a, 27b, and the second lower gantry are the second upper break bar 24, the pair of second upper support members 25a, 25b, and the second upper gantry. The configuration is basically the same as 28.
[動作:第1ブレイク機構11]
まず、図1に示すように、搬送ベルト2の載置面2aにガラス基板Gを載置し、搬送ベルト2によってガラス基板Gを搬送する。そして、ガラス基板Gが第1上ブレイクバー14の真下の第1ブレイク位置に到達したとき、搬送ベルト2によるガラス基板Gの搬送を停止する。
[Operation: First break mechanism 11]
First, as shown in FIG. 1, the glass substrate G is placed on the placement surface 2 a of the transport belt 2, and the glass substrate G is transported by the transport belt 2. When the glass substrate G reaches the first break position directly below the first upper break bar 14, the conveyance of the glass substrate G by the conveyance belt 2 is stopped.
<端部以外のスクライブラインに沿ったブレイク>
ガラス基板Gが第1ブレイク位置にセットされると、図3(図3以降の図面は、第1ブレイク機構11を搬送方向に沿った方向から視ている)に示すように、1対の第1下支持部材17a,17bを上方に移動させ、第1下支持部材17a,17bによって下方から搬送ベルト2を支持する。ここで、1対の第1下支持部材17a,17bは、搬送ベルト2を介して、ガラス基板Gの下に位置している。
<Break along the scribe line other than the end>
When the glass substrate G is set at the first break position, as shown in FIG. 3 (the drawings after FIG. 3 are viewed from the direction along the transport direction of the first break mechanism 11), a pair of first 1 The lower support members 17a and 17b are moved upward, and the transport belt 2 is supported from below by the first lower support members 17a and 17b. Here, the pair of first lower support members 17 a and 17 b are located under the glass substrate G via the conveyor belt 2.
次に、図4に示すように、第1上ブレイクバー14を下方に移動させる。これによって、第1上ブレイクバー14はガラス基板Gを下方に押圧する。なお、第1上ブレイクバー14は、第1スクライブラインS上を押圧する。この押圧力によって、ガラス基板Gは搬送ベルト2とともに撓む。この結果、下方の第2基板G2が第1スクライブラインSに沿ってブレイクされる。   Next, as shown in FIG. 4, the first upper break bar 14 is moved downward. As a result, the first upper break bar 14 presses the glass substrate G downward. The first upper break bar 14 presses on the first scribe line S. Due to this pressing force, the glass substrate G is bent together with the transport belt 2. As a result, the lower second substrate G2 is broken along the first scribe line S.
次に、第1上ブレイクバー14及び第1下支持部材17a,17bを元の位置に戻した後、図5に示すように、1対の第1上支持部材15a,15bを下方に移動させ、第1上支持部材15a,15bによって上方から搬送ベルト2を支持する。ここで、1対の第1上支持部材15a,15bはガラス基板Gの上面に当接している。   Next, after the first upper break bar 14 and the first lower support members 17a and 17b are returned to their original positions, the pair of first upper support members 15a and 15b are moved downward as shown in FIG. The transport belt 2 is supported from above by the first upper support members 15a and 15b. Here, the pair of first upper support members 15 a and 15 b are in contact with the upper surface of the glass substrate G.
以上のようにしてガラス基板Gを支持した状態で、図6に示すように、第1下ブレイクバー16を上方に移動させる。これによって、第1下ブレイクバー16はガラス基板Gを、搬送ベルト2を介して上方に押圧する。この結果、ガラス基板Gは搬送ベルト2とともに撓み、上方の第1基板G1が第1スクライブラインSに沿ってブレイクされる。   With the glass substrate G being supported as described above, the first lower break bar 16 is moved upward as shown in FIG. Thereby, the first lower break bar 16 presses the glass substrate G upward via the transport belt 2. As a result, the glass substrate G is bent together with the transport belt 2, and the upper first substrate G1 is broken along the first scribe line S.
以上の処理を、各ブレイクバー14,16及び各支持部材15a,15b,17a,17bを第2方向に移動させながら、すべてのスクライブラインについて実行する。これにより、第1方向の複数の第1スクライブラインに沿ってガラス基板Gをブレイクすることができる。   The above processing is executed for all the scribe lines while moving the break bars 14 and 16 and the support members 15a, 15b, 17a, and 17b in the second direction. Thereby, the glass substrate G can be broken along the plurality of first scribe lines in the first direction.
<端部のスクライブラインに沿ったブレイク>
ここで、ガラス基板Gの端部に形成された第1スクライブラインに沿ってブレイクを行う場合は、前述のような方法でブレイクできない場合がある。すなわち、例えば、1対の第1下支持板17a,17bによって、ガラス基板Gにおける第1スクライブラインの両側を支持できない場合がある。このような端部に形成されたスクライブラインに沿ってブレイクを行う場合は、以下のような方法によって行う。
<Break along the scribe line at the end>
Here, when the break is performed along the first scribe line formed at the end of the glass substrate G, the break may not be possible by the method described above. That is, for example, the pair of first lower support plates 17a and 17b may not support both sides of the first scribe line in the glass substrate G. When breaking along the scribe line formed at such an end, the following method is used.
まず、図7に示すように、1対の第1下支持部材17a,17bを上方に移動させ、第1下支持部材17a,17bによって下方から搬送ベルト2を支持する。なお、一方の(基板内側の)第1下支持部材17aは、搬送ベルト2を介してガラス基板Gの下に位置しているが、他方の(基板外側の)第1下支持部材17bは、搬送ベルト2を介してガラス基板Gの下に位置していない。   First, as shown in FIG. 7, the pair of first lower support members 17a and 17b are moved upward, and the conveyor belt 2 is supported from below by the first lower support members 17a and 17b. One of the first lower support members 17a (inside the substrate) is located below the glass substrate G via the transport belt 2, but the other first (lower substrate) first lower support member 17b is It is not located under the glass substrate G via the conveyor belt 2.
次に、図8に示すように、第1上ブレイクバー14を下方に移動させる。これによって、第1上ブレイクバー14はガラス基板Gを下方に押圧し、ガラス基板Gは搬送ベルト2とともに撓む。なお、第1上ブレイクバー14は、第1スクライブラインS上を押圧する。この結果、第2基板G2に形成された第1スクライブラインSに沿って第2基板G2がブレイクされる。   Next, as shown in FIG. 8, the first upper break bar 14 is moved downward. Thus, the first upper break bar 14 presses the glass substrate G downward, and the glass substrate G bends together with the transport belt 2. The first upper break bar 14 presses on the first scribe line S. As a result, the second substrate G2 is broken along the first scribe line S formed on the second substrate G2.
次に、各部材を元の位置に戻した後、上下の各ブレイクバー14,16及び上下の各支持部材15a,15b,17a,17bをガラス基板Gのさらに端部側に移動させる。この状態を図9に示している。そして、図10に示すように、一方の(基板内側の)第1上支持部材15aを下方に移動させるとともに、一方の(基板内側の)第1下支持部材17aを上方に移動させる。この結果、ガラス基板Gの内側部分は、第1上支持部材15aと第1下支持部材17aとによって挟まれて支持される。他方、ガラス基板Gの第1スクライブラインSより外側の端部は、第1上支持部材15bと第1下支持部材17bとによって挟まれていない。なお、第1上支持部材15aと第1下支持部材17aとは、ガラス基板Gのみではなく搬送ベルト2も挟んでいる。   Next, after returning each member to the original position, the upper and lower break bars 14 and 16 and the upper and lower support members 15a, 15b, 17a and 17b are moved further to the end side of the glass substrate G. This state is shown in FIG. Then, as shown in FIG. 10, one (first substrate inner) first upper support member 15 a is moved downward, and one (first substrate inner) first lower support member 17 a is moved upward. As a result, the inner portion of the glass substrate G is sandwiched and supported by the first upper support member 15a and the first lower support member 17a. On the other hand, the end of the glass substrate G outside the first scribe line S is not sandwiched between the first upper support member 15b and the first lower support member 17b. The first upper support member 15a and the first lower support member 17a sandwich not only the glass substrate G but also the conveyor belt 2.
次に、図11に示すように、第1上ブレイクバー14を下方に移動させる。これによって、第1上ブレイクバー14はガラス基板Gの端部を下方に押圧し、端部が下方に撓む。この結果、第1基板G1に形成されたスクライブラインSに沿って第1基板G1がブレイクされる。   Next, as shown in FIG. 11, the first upper break bar 14 is moved downward. Thereby, the 1st upper break bar 14 presses the edge part of the glass substrate G below, and an edge part bends below. As a result, the first substrate G1 is broken along the scribe line S formed on the first substrate G1.
以上のようにして、第1ブレイク機構11は、ガラス基板Gを第1スクライブラインSに沿ってブレイクすることができる。   As described above, the first break mechanism 11 can break the glass substrate G along the first scribe line S.
[動作:第2ブレイク機構12]
次に、搬送ベルト2を駆動し、ガラス基板Gを第2ブレイク機構12の第2ブレイク位置に搬送する。このとき、ガラス基板Gは、同じ搬送姿勢のまま搬送される。すなわち、従来装置のように90°反転させる処理は行わない。第2ブレイク機構12におけるブレイク処理は、スクライブラインの方向が異なるのみで、基本的な動作は第1ブレイク機構11における動作と同じである。
[Operation: Second break mechanism 12]
Next, the conveyance belt 2 is driven to convey the glass substrate G to the second break position of the second break mechanism 12. At this time, the glass substrate G is conveyed with the same conveyance posture. That is, the 90 ° inversion process is not performed as in the conventional apparatus. The break process in the second break mechanism 12 is the same as the operation in the first break mechanism 11 except that the direction of the scribe line is different.
なお、第2ブレイク機構12では、ブレイクバー等の各部材を第1方向に移動させてガラス基板Gをブレイクするほか、ブレイクバー等の各部材の第1方向における位置を固定したまま搬送ベルト2を駆動してガラス基板Gを第2スクライブラインのピッチ毎に移動させてブレイク処理を実行することもできる。   In the second break mechanism 12, each member such as a break bar is moved in the first direction to break the glass substrate G, and the conveyance belt 2 with the position of each member such as the break bar fixed in the first direction. Can be driven to move the glass substrate G for each pitch of the second scribe line to execute the break process.
[他の実施形態]
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない限りにおいて種々の変更が可能である。
[Other Embodiments]
As mentioned above, although embodiment of this invention was described, this invention is not limited to these, A various change is possible unless it deviates from the meaning of this invention.
変形例1
(a)前記実施形態では、第1ブレイク機構11が搬送方向の上流側に位置し、第2ブレイク機構12が搬送方向の下流側に位置しているが、各機構の位置関係は特にこれに限定されない。
Modification 1
(A) In the above-described embodiment, the first break mechanism 11 is located on the upstream side in the transport direction, and the second break mechanism 12 is located on the downstream side in the transport direction. It is not limited.
(b)前記実施形態では、脆性材料基板として貼り合わせガラス基板を例にとって説明したが、脆性材料基板は特にこれに限定されない。   (B) Although the laminated glass substrate has been described as an example of the brittle material substrate in the embodiment, the brittle material substrate is not particularly limited thereto.
1 ブレイク装置
2 搬送ベルト
2a 載置面
11 第1ブレイク機構
12 第2ブレイク機構
14 第1上ブレイクバー
16 第1下ブレイクバー
24 第2上ブレイクバー
26 第2下ブレイクバー
G ガラス基板
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Break apparatus 2 Conveying belt 2a Mounting surface 11 1st break mechanism 12 2nd break mechanism 14 1st upper break bar 16 1st lower break bar 24 2nd upper break bar 26 2nd lower break bar G Glass substrate

Claims (2)

  1. 第1方向に延びる第1スクライブラインと、前記第1方向と交差する第2方向に延びる第2スクライブラインと、が形成された脆性材料基板を、前記第1及び第2スクライブラインに沿って分断するためのブレイク装置であって、
    載置面を有し、前記載置面に載置された脆性材料基板を前記第1方向に沿って搬送する搬送ベルトと、
    前記搬送ベルトに載置された脆性材料基板を前記第1スクライブラインに沿って分断する第1ブレイク機構と、
    前記搬送ベルトに載置された脆性材料基板を前記第2スクライブラインに沿って分断する第2ブレイク機構と、
    を備え
    前記第1及び第2ブレイク機構は、脆性材料基板の搬送姿勢を同じ姿勢に維持した状態で前記第1及び第2スクライブラインに沿って分断し、
    前記第1ブレイク機構は、前記搬送ベルトの前記載置面の上方に配置され前記第1方向に延びる第1上ブレイクバーと、前記載置面の下方に配置され前記第1方向に延びる第1下ブレイクバーと、を有し、
    前記第1上ブレイクバー及び前記第1下ブレイクバーは、昇降可能かつ前記第2方向に移動可能であり、
    前記第1上ブレイクバーは、前記載置面と接触する下表面に第1スクライブラインが形成された脆性材料基板を上方から押圧し、前記搬送ベルトを弾性変形させて前記脆性材料基板を分断するものであり、
    前記第1下ブレイクバーは、上表面に第1スクライブラインが形成された脆性材料基板に、前記搬送ベルトを介して押圧力を加え、前記搬送ベルトを弾性変形させて前記脆性材料基板を分断するものである脆性材料基板のブレイク装置。
    A brittle material substrate formed with a first scribe line extending in a first direction and a second scribe line extending in a second direction intersecting the first direction is divided along the first and second scribe lines. A break device for
    A transport belt having a mounting surface and transporting the brittle material substrate mounted on the mounting surface along the first direction;
    A first break mechanism for dividing the brittle material substrate placed on the conveyor belt along the first scribe line;
    A second break mechanism for dividing the brittle material substrate placed on the conveyor belt along the second scribe line;
    Equipped with a,
    The first and second break mechanisms are divided along the first and second scribe lines in a state in which the conveyance posture of the brittle material substrate is maintained in the same posture.
    The first break mechanism includes a first upper break bar disposed above the placement surface of the transport belt and extending in the first direction, and a first extension bar disposed below the placement surface and extending in the first direction. A lower break bar, and
    The first upper break bar and the first lower break bar are movable up and down and movable in the second direction,
    The first upper break bar presses a brittle material substrate having a first scribe line formed on a lower surface in contact with the mounting surface from above, and elastically deforms the transport belt to divide the brittle material substrate. Is,
    The first lower break bar applies a pressing force to the brittle material substrate having a first scribe line formed on the upper surface via the transport belt, and elastically deforms the transport belt to divide the brittle material substrate. breaking apparatus of the brittle material substrate is intended.
  2. 前記第2ブレイク機構は、前記搬送ベルトの前記載置面の上方に配置され前記第2方向に延びる第2上ブレイクバーと、前記載置面の下方に配置され前記第2方向に延びる第2下ブレイクバーと、を有し、The second break mechanism includes a second upper break bar disposed above the placement surface of the conveyor belt and extending in the second direction, and a second upper break bar disposed below the placement surface and extending in the second direction. A lower break bar, and
    前記第2上ブレイクバー及び前記第2下ブレイクバーは、昇降可能であり、  The second upper break bar and the second lower break bar can be raised and lowered,
    前記第2上ブレイクバーは、前記載置面と接触する下表面に第2スクライブラインが形成された脆性材料基板を上方から押圧し、前記搬送ベルトを弾性変形させて前記脆性材料基板を分断するものであり、  The second upper break bar presses a brittle material substrate having a second scribe line formed on the lower surface in contact with the mounting surface from above, and elastically deforms the transport belt to divide the brittle material substrate. Is,
    前記第2下ブレイクバーは、上表面に第2スクライブラインが形成された脆性材料基板に、前記搬送ベルトを介して押圧力を加え、前記搬送ベルトを弾性変形させて前記脆性材料基板を分断するものである、  The second lower break bar applies a pressing force to the brittle material substrate having the second scribe line formed on the upper surface via the transport belt, and elastically deforms the transport belt to divide the brittle material substrate. Is,
    請求項1に記載の脆性材料基板のブレイク装置。The brittle material substrate breaking device according to claim 1.
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