JP6163023B2 - 水晶デバイス及び水晶デバイスの製造方法 - Google Patents
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Description
<水晶デバイス100の構成>
図1は、水晶デバイス100の分解斜視図である。水晶デバイス100は、リッド板110と、ベース板120と、水晶振動片130と、により構成されている。水晶振動片130には例えばATカットの水晶振動片が用いられる。ATカットの水晶振動片は、主面(YZ面)が結晶軸(XYZ)のY軸に対して、X軸を中心としてZ軸からY軸方向に35度15分傾斜されている。以下の説明では、ATカットの水晶振動片の軸方向を基準とし、傾斜された新たな軸をY’軸及びZ’軸として用いる。すなわち、水晶デバイス100においては水晶デバイス100の長辺方向をX軸方向、水晶デバイス100の高さ方向をY’軸方向、X及びY’軸方向に垂直な方向をZ’軸方向として説明する。
図3は、水晶デバイス100の製造方法が示されたフローチャートである。以下、図3のフローチャートに従って、水晶デバイス100の製造方法について説明する。
欧州連合(EU)では、欧州連合(EU)による指令であるRoHS指令により、水晶デバイスの外部電極の鉛の含有量を1000ppm以下にしなければならないと規定されている。水晶デバイスの無電解メッキは、メッキ液にベースウエハを含浸することにより行われるが、このメッキ液にはメッキ液を安定させるために安定剤が入れられる。市販の安定剤には鉛(Pb)又はビスマス(Bi)等が使用されるが、鉛の安定剤が使用された場合には、この鉛が無電解メッキ膜に含まれることにより、外部電極から鉛が検出される。従来の無電解メッキの方法では、鉛の含有量が1000ppmを超えてしまい、問題となっている。
水晶振動片には、振動部の周囲を囲むように枠部が形成された水晶振動片を用いてもよい。以下に枠部を有する水晶振動片が用いられた水晶デバイス200について説明する。また、以下の説明において、第1実施形態と同じ部分に関しては同一の符号を付してその説明を省略する。
図8は、水晶デバイス200の分解斜視図である。水晶デバイス200は、リッド板110と、ベース板220と、水晶振動片230と、により構成されている。水晶デバイス200では、第1実施形態と同様に、水晶振動片230にATカットの水晶振動片が用いられている。
図10は、水晶デバイス200の製造方法が示されたフローチャートである。以下、図11のフローチャートに従って、水晶デバイス200の製造方法について説明する。
101 … キャビティ
110 … リッド板
111 … 凹部
112 … 接合面
120、220 … ベース板
121 … 凹部
122 … 接合面
123、223 … 接続電極
124、224 … 外部電極
125、225 … 側面電極
126 … キャスタレーション
130、230 … 水晶振動片
131、231 … 励振電極
132、232 … 引出電極
134、234 … 振動部
141 … 導電性接着剤
142 … 封止材
171 … スクライブライン
172 … 貫通孔
235 … 枠部
236 … 連結部
237 … 貫通結部
W110 … リッドウエハ
W120 … ベースウエハ
Claims (7)
- 表面実装型の水晶デバイスであって、
所定の周波数で振動する水晶振動片と、
ガラス又は水晶材料で形成され、底面に前記水晶デバイスを実装するための外部電極が形成され、前記底面の反対側の面に前記水晶振動片が載置されるベース板と、を有し、
前記外部電極は、前記ベース板の表面にスパッタにより形成される金属膜と、前記金属膜の表面に無電解メッキにより形成される無電解メッキ膜と、を含み、
前記無電解メッキ膜が鉛及びビスマスを含有するニッケル層を含み、前記ニッケル層全体の体積に対する前記鉛の含有量が90ppmから470ppmであり、前記ビスマスの含有量が5600ppmから7000ppmである水晶デバイス。 - 前記金属膜は少なくとも、前記ベース板の表面に形成されるクロム層、前記クロム層の表面に形成されるニッケルタングステン層、及び前記ニッケルタングステン層の表面に形成される金層を含む請求項1に記載の水晶デバイス。
- 前記無電解メッキ膜は、無電解メッキにより前記金属膜の表面にパラジウム層が形成され、前記パラジウム層の表面に前記ニッケル層が形成され、前記ニッケル層の表面に金層が形成されることにより形成される請求項1又は請求項2に記載の水晶デバイス。
- 表面実装型の水晶デバイスの製造方法であって、
複数の水晶振動片を用意する工程と、
矩形形状に形成された複数のベース板を有するベースウエハを用意する工程と、
複数のリッド板を有するリッドウエハを用意する工程と、
前記ベースウエハの一方の主面の前記水晶デバイスを実装するための外部電極が形成される領域にスパッタにより金属膜を形成する金属膜形成工程と、
前記ベースウエハの他方の主面に前記複数の水晶振動片を載置する載置工程と、
前記リッドウエハを、前記水晶振動片が密封されるように前記ベースウエハの他方の主面に接合する接合工程と、
前記ベースウエハの一方の主面に無電解メッキを施して前記金属膜の表面にニッケル層を含む無電解メッキ膜を形成する無電解メッキ工程と、を備え、
前記ニッケル層の無電解メッキは鉛及びビスマスを含有するメッキ液に前記ベースウエハを含浸させることにより行い、
前記メッキ液に含まれる前記鉛の含有量が0.05ml/Lから0.20ml/Lであり、前記ビスマスの含有量が3.00ml/Lである水晶デバイスの製造方法。 - 所定の振動数で振動する振動部と、前記振動部を囲む枠部と、前記振動部と前記枠部とを連結する連結部と、を含む複数の水晶振動片を有する水晶ウエハを用意する工程と、
矩形形状に形成された複数のベース板を有するベースウエハを用意する工程と、
複数のリッド板を有するリッドウエハを用意する工程と、
前記ベースウエハの一方の主面の前記水晶デバイスを実装するための外部電極が形成される領域にスパッタにより金属膜を形成する金属膜形成工程と、
前記各ベース板の他方の主面に前記水晶振動片がそれぞれ載置されるように、前記ベースウエハと前記水晶ウエハとを接合する載置工程と、
前記リッドウエハを、前記振動部が密封されるように前記水晶ウエハに接合する接合工程と、
前記ベースウエハに無電解メッキを施して前記金属膜の表面にニッケル層を含む無電解メッキ膜を形成する無電解メッキ工程と、を備え、
前記ニッケル層の無電解メッキは鉛及びビスマスを含有するメッキ液に前記ベースウエハを含浸させることにより行い、
前記メッキ液に含まれる前記鉛の含有量は0.05ml/Lから0.20ml/Lであり、前記ビスマスの含有量が3.00ml/Lである水晶デバイスの製造方法。 - 前記金属膜は少なくとも、前記ベースウエハの表面に形成されるクロム膜、前記クロム膜の表面に形成されるニッケルタングステン膜、及び前記ニッケルタングステン膜の表面に形成される金膜を含む請求項4又は請求項5に記載の水晶デバイスの製造方法。
- 前記無電解メッキ工程は、前記ニッケル層が形成される前に無電解メッキによりパラジウム層が形成され、前記ニッケル層の表面に無電解メッキにより金層が形成される請求項4から請求項6のいずれか一項に記載の水晶デバイスの製造方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013121401A JP6163023B2 (ja) | 2013-06-10 | 2013-06-10 | 水晶デバイス及び水晶デバイスの製造方法 |
US14/291,001 US9614493B2 (en) | 2013-06-10 | 2014-05-30 | Quartz crystal device and method for fabricating the same |
CN201410253051.5A CN104242861B (zh) | 2013-06-10 | 2014-06-09 | 晶体器件以及晶体器件的制造方法 |
TW103119968A TWI583033B (zh) | 2013-06-10 | 2014-06-10 | 晶體器件以及晶體器件的製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013121401A JP6163023B2 (ja) | 2013-06-10 | 2013-06-10 | 水晶デバイス及び水晶デバイスの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014239358A JP2014239358A (ja) | 2014-12-18 |
JP6163023B2 true JP6163023B2 (ja) | 2017-07-12 |
Family
ID=52004894
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013121401A Active JP6163023B2 (ja) | 2013-06-10 | 2013-06-10 | 水晶デバイス及び水晶デバイスの製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9614493B2 (ja) |
JP (1) | JP6163023B2 (ja) |
CN (1) | CN104242861B (ja) |
TW (1) | TWI583033B (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013165336A (ja) * | 2012-02-09 | 2013-08-22 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電デバイス |
WO2016158520A1 (ja) * | 2015-03-27 | 2016-10-06 | 京セラ株式会社 | 水晶振動子および水晶振動デバイス |
CN106052666B (zh) | 2015-04-03 | 2021-07-02 | 精工爱普生株式会社 | 电子器件、电子器件的制造方法、电子设备以及移动体 |
US11152911B2 (en) | 2016-09-16 | 2021-10-19 | Daishinku Corporation | Piezoelectric resonator device |
US11342899B2 (en) * | 2016-11-16 | 2022-05-24 | Daishinku Corporation | Crystal resonator device |
JP7162573B2 (ja) * | 2019-07-02 | 2022-10-28 | 日本発條株式会社 | スタビライザ |
CN114351094B (zh) * | 2021-12-20 | 2023-08-04 | 唐山万士和电子有限公司 | 一种增镀石墨层微天平石英晶片的生产方法 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5554211A (en) | 1995-11-15 | 1996-09-10 | Mcgean-Rohco, Inc. | Aqueous electroless plating solutions |
JP3208348B2 (ja) * | 1997-03-10 | 2001-09-10 | 有限会社オーシャン | 回路電極部の製造方法及び回路電極部 |
JP2000124571A (ja) * | 1998-10-16 | 2000-04-28 | Nippon Kojundo Kagaku Kk | ボンディング用プリント配線板 |
JP3374778B2 (ja) | 1999-02-25 | 2003-02-10 | 株式会社村田製作所 | チップ型電子部品 |
JP2005243767A (ja) * | 2004-02-25 | 2005-09-08 | Dowa Mining Co Ltd | 金属−セラミックス回路基板およびその製造方法 |
WO2007043333A1 (ja) * | 2005-10-07 | 2007-04-19 | Nippon Mining & Metals Co., Ltd. | 無電解ニッケルめっき液 |
JP2010187333A (ja) * | 2009-02-13 | 2010-08-26 | Seiko Instruments Inc | 圧電振動子、圧電振動子の製造方法および発振器 |
JP5026574B2 (ja) * | 2010-04-27 | 2012-09-12 | 日本電波工業株式会社 | 圧電デバイス |
JP5603166B2 (ja) | 2010-08-23 | 2014-10-08 | セイコーインスツル株式会社 | 電子デバイス、電子機器及び電子デバイスの製造方法 |
JP5778435B2 (ja) | 2011-02-09 | 2015-09-16 | 日本電波工業株式会社 | 表面実装用の圧電デバイス |
JP2012222537A (ja) | 2011-04-07 | 2012-11-12 | Seiko Epson Corp | パッケージ、振動子、発振器及び電子機器 |
JP2012257180A (ja) * | 2011-06-10 | 2012-12-27 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電デバイスの製造方法及び圧電デバイス |
WO2013047807A1 (ja) * | 2011-09-30 | 2013-04-04 | 株式会社大真空 | 電子部品パッケージ、電子部品パッケージ用封止部材、および前記電子部品パッケージ用封止部材の製造方法 |
-
2013
- 2013-06-10 JP JP2013121401A patent/JP6163023B2/ja active Active
-
2014
- 2014-05-30 US US14/291,001 patent/US9614493B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2014-06-09 CN CN201410253051.5A patent/CN104242861B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2014-06-10 TW TW103119968A patent/TWI583033B/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US9614493B2 (en) | 2017-04-04 |
TW201448297A (zh) | 2014-12-16 |
CN104242861A (zh) | 2014-12-24 |
TWI583033B (zh) | 2017-05-11 |
JP2014239358A (ja) | 2014-12-18 |
CN104242861B (zh) | 2017-12-29 |
US20140361665A1 (en) | 2014-12-11 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160516 |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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R250 | Receipt of annual fees |
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