JP6146674B2 - メタルマスクおよびメタルマスクの製造方法 - Google Patents
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Description
各凹部内にレーザ光を照射して、当該凹部を第2面まで貫通させた貫通孔を形成する工程と、を備え、
前記貫通孔を形成する工程でのレーザ光の照射によって、前記第2面上における前記貫通孔の周縁の少なくとも一部分に沿って延び、且つ、前記第2面上における前記貫通孔の前記周縁から前記金属板の法線方向において外方に延び出した延出片を形成する。
前記金属板には、複数の貫通孔が形成されており、
前記第2面上における前記貫通孔の周縁の少なくとも一部分に沿って延び、且つ、前記第2面上における前記貫通孔の前記周縁から前記金属板の法線方向において外方に延び出した延出片が設けられている。
前記金属板の板面に平行な方向に対向して配置され、各々が、前記第1面の側から、前記第1面と前記第2面との間の中間にある接続位置まで、延びている一対の第1部分であって、前記金属板の法線方向に沿って前記第1面の側から前記第2面の側へ向かうにつれて、前記金属板の板面に平行な方向に互いに接近していく一対の第1部分と、
前記金属板の板面に平行な方向に対向して配置され、各々が、対応する側の前記第1部分と接続され、前記接続位置から前記第2面まで延びている、一対の第2部分であって、前記金属板の法線方向に沿って前記第1面の側から前記第2面の側へ向かうにつれて、前記金属板の板面に平行な方向に互いに接近していく一対の第2部分と、を含み、
前記金属板の法線方向に沿った断面において、前記第1部分は、湾曲形状となっていてもよい。
延出片24の高さが5μm以上に形成されると、例えば延出片24がメタルマスク20とガラス基板42との密着を妨げてしまい、メタルマスク20とガラス基板42との隙間を効果的に埋めることができないおそれがある。結果として、高精細なパターンでの蒸着を行うことができないおそれがある。一方、延出片24の高さが1μm以下に形成されると、メタルマスク20とガラス基板42との隙間を埋めきれず、高精細なパターンでの蒸着を行うことができないおそれがある。
また、形成される穴62は、凹部61の曲面状の壁面に接続され、当該接続位置63から第2面34bまで延びる。
また、少量の金属溶融物を飛散させるため、当該金属溶融物が形成する返し(ドロス)65の厚みおよび高さも安定する。すなわち、対応する穴62の周縁に沿って形成される各返し(ドロス)65の厚みおよび高さを従来に比べて均一に形成することができる。このような形態によって、返し65によって、メタルマスク20とガラス基板42との密着性を更に向上させ、高精細なパターンでの蒸着を更に精度良く行うことができると考えられる。
一方、図13に示す例では、緑色パターン144は、赤色パターン143および青色パターン145よりも長い他方向に沿った長さを有している。
軸方向に沿った最大のずれ量Mxおよび蒸着材料のy軸方向に沿った最大のずれ量Myの値を表2に示す。
15 フレーム
20 メタルマスク
21a 第1面
21b 第2面
21 金属板
22 有孔領域
23 無孔領域
24 延出片
24a 第3部分
25 貫通孔
26 接続位置
27 段差
28 第1部分
29 第2部分
34 金属製シート
34a 第1面
34b 第2面
35 レジストパターン
40 蒸着装置
42 ガラス基板
48 蒸着材料
44 るつぼ
46 ヒータ
60 貫通孔
61 凹部
62 穴
63 接続位置
64 金属製シート
65 返し
70 レーザ加工装置
72 レーザ照射レンズ
Claims (11)
- 蒸着材料を基板上にパターニングするために用いられる蒸着用のメタルマスクを製造する方法であって、
第1面および前記第1面とは反対側の第2面を有する金属板を前記第1面の側からエッチングして、凹部を前記第1面の側から形成する工程と、
各凹部内にレーザ光を照射して、当該凹部を第2面まで貫通させた貫通孔を形成する工程と、を備え、
前記貫通孔を形成する工程でのレーザ光の照射によって、前記第2面上における前記貫通孔の周縁の全周に沿って周状に延び、且つ、前記第2面上における前記貫通孔の前記周縁から前記金属板の法線方向において外方に延び出した延出片を形成し、
前記延出片は、蒸着材料を基板上にパターニングする際に前記基板に接触する延出片であり、
前記貫通孔を形成する工程でのレーザ光の照射によって形成される前記延出片の厚みは、1μm以上5μm以下である、メタルマスクの製造方法。 - 前記金属板の厚みは、20μm〜80μmである、請求項1に記載のメタルマスクの製造方法。
- 前記貫通孔は、前記凹部から前記第2面まで延びる穴を含み、
前記穴の深さは、1μm以上15μm以下である、請求項1または2に記載のメタルマスクの製造方法。 - 前記金属板をフレームに取り付ける工程を更に備え、
前記金属板をフレームに取り付ける工程は、前記貫通孔を形成する工程よりも前に行われる、請求項1〜3のいずれか一項に記載のメタルマスクの製造方法。 - 蒸着材料を基板上にパターニングするために用いられる蒸着用のメタルマスクであって、
第1面および前記第1面とは反対側の第2面を有する金属板を備え、前記金属板には、複数の貫通孔が形成されており、
前記第2面上における前記貫通孔の周縁の全周に沿って周状に延び、且つ、前記第2面上における前記貫通孔の前記周縁から前記金属板の法線方向において外方に延び出した延出片が設けられ、
前記延出片は、蒸着材料を基板上にパターニングする際に前記基板に接触する延出片であり、
前記延出片の厚みは、1μm以上5μm以下である、メタルマスク。 - 前記金属板の厚みは、20μm〜80μmである、請求項5に記載のメタルマスク。
- 前記延出片は、前記第2面上における前記貫通孔の周縁から、前記金属板の板面に平行な方向において前記貫通孔の側に延び出している、請求項5または6に記載のメタルマスク。
- 前記延出片は、前記金属板と一体的に形成されている、請求項5〜7のいずれか一項に記載のメタルマスク。
- 前記延出片は、レーザ光の照射にともなって形成された返しである、請求項5〜8のいずれか一項に記載のメタルマスク。
- 前記金属板の法線方向に沿った断面における各貫通孔の輪郭は、
前記金属板の板面に平行な方向に対向して配置され、各々が、前記第1面の側から、前記第1面と前記第2面との間の中間にある接続位置まで、延びている一対の第1部分であって、前記金属板の法線方向に沿って前記第1面の側から前記第2面の側へ向かうにつれて、前記金属板の板面に平行な方向に互いに接近していく一対の第1部分と、
前記金属板の板面に平行な方向に対向して配置され、各々が、対応する側の前記第1部分と接続され、前記接続位置から前記第2面まで延びている、一対の第2部分であって、前記金属板の法線方向に沿って前記第1面の側から前記第2面の側へ向かうにつれて、前記金属板の板面に平行な方向に互いに接近していく一対の第2部分と、を含み、
前記金属板の法線方向に沿った断面において、前記第1部分は、湾曲形状となっている、請求項5〜9のいずれか一項に記載のメタルマスク。 - 前記金属板の法線方向に沿った前記第2部分の長さは、1μm以上15μm以下である、請求項10に記載のメタルマスク。
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