JP7125678B2 - 蒸着マスク、有機el基板の製造方法および有機el基板 - Google Patents
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Description
複数の貫通孔が形成された有効領域と、前記有効領域の周囲に位置する周囲領域と、を備える蒸着マスクを製造する方法であって、
互いに対向する第1面および第2面を有する金属板の第1面上に配置されたレジストパターンをマスクとして前記第1面の側から前記金属板をエッチングし、前記有効領域をなすようになる前記金属板の領域内に、前記貫通孔を画成するようになる凹部を第1面の側から形成する工程を備え、前記凹部を形成する工程において、エッチングによる浸食が金属板の板面に沿った方向にも進み、前記レジストパターン下にて隣り合う二つの凹部が合流し、さらに、少なくとも一つの凹部の壁面が、その全周に亘って、当該一つの凹部の周囲に位置する他のいずれかの凹部の壁面と合流する。
前記凹部と前記第2凹部が接続して前記貫通孔が形成されるように、前記凹部及び前記第2凹部が形成されるようにしてもよい。
前記凹部と前記第2凹部が接続して前記貫通孔が形成されるように、前記凹部及び前記第2凹部が形成されるようにしてもよい。
複数の貫通孔が形成された有効領域と、
前記有効領域の周囲に位置する周囲領域と、を備え、
前記有効領域において、前記蒸着マスクの法線方向に沿った一方の側に、当該一方の側へ向けて幅が広くなっていく複数の凹部が設けられ、且つ、この凹部が貫通孔を画成し、 少なくとも一つの凹部の壁面が、その全周に亘って、当該凹部の周囲に位置する他のいずれかの凹部の壁面と合流している。
20a 蒸着マスクの第1面
20b 蒸着マスクの第2面
21 金属板
21a 金属板の第1面
21b 金属板の第2面
22 有効領域
23 周囲領域
25 貫通孔
30 第1凹部
31 壁面
35 第2凹部
36 壁面
64 長尺金属板
64a 長尺金属板の第1面
64b 長尺金属板の第2面
Claims (4)
- 複数の貫通孔が形成された有効領域と、
前記有効領域の周囲に位置する周囲領域と、を備える蒸着マスクであって、
前記有効領域において、前記蒸着マスクの法線方向に沿った一方の側に、当該一方の側へ向けて幅が広くなっていく複数の凹部が設けられ、且つ、この凹部が貫通孔を画成し、
前記凹部は、格子配列にて配列され、
少なくとも一つの凹部の壁面が、その全周に亘って、当該凹部の周囲に位置する他のいずれかの凹部の壁面と合流し、
前記蒸着マスクの法線方向に沿った前記有効領域内の最大厚みは、前記蒸着マスクの法線方向に沿った前記周囲領域内の最大厚みの65%以下であり、
前記周囲領域内における前記蒸着マスクの法線方向に沿った厚みに対する、前記有効領域内において前記蒸着マスクの法線方向に沿った厚みが極大となる最高部での厚みの割合(%)の標準偏差の三倍が、3.3(%)以下となる、蒸着マスク。 - 前記全周に亘って他のいずれかの凹部の壁面と合流している前記凹部の前記壁面と、前記他の凹部の前記壁面とが合流することによって、稜線が形成され、前記最高部は前記稜線上に位置している、請求項1に記載の蒸着マスク。
- 前記有効領域内の全領域において、前記蒸着マスクの一方の側の面は、凹凸面となっている、請求項1又は2記載の蒸着マスク。
- 有機ELディスプレイ装置に組み込まれる有機EL基板の製造方法であって、 請求項1~3のいずれか一項に記載の蒸着マスクを用いてガラス基板上に蒸着材料を蒸着する工程を備える、有機EL基板の製造方法。
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