JP6132425B2 - 配線基板の電極高さ均一化方法およびこれを用いた配線基板の製造方法 - Google Patents
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Description
配線基板の配線が形成されていない側の面を平坦な補強板に貼り合わせた状態で、配線基板の配線が形成されている側の面に、研磨板の研磨作用面を対向配置して面方向に相対運動をさせることで摩擦力を生じさせて、前記電極部分の表面高さが均一になるように表面研磨を行った後、配線基板を前記補強板から外す配線基板の電極高さ均一化方法で、
前記配線基板の配線が形成されていない側の面を平坦な補強板と貼り合わせるのに際して、接着性を有する樹脂からなる接着層で、前記接着層に対して離型性を有する表面を備えた離型層を挟み込んだ、3層構造の積層体を用いることを特徴としている。
が用いられ、一般的に、ニッケル、ニッケル合金、銅、銅合金が用いられるが、それに限定されず他の導電材料であってもよく、耐食性を高めるために、金、スズ等を、その表面に積層してもよい。また、配線2および電極パッド3のパターンは、絶縁基板1上の一面を覆うように積層された前記導電材料を、パターンエッチングすることにより形成している。
2 配線
3 電極パッド
4 バンプ
5 レジスト膜
6 露光マスク
7 補強板
8 積層フィルム
9 積層フィルム
10 配線基板
11 バンプ付き配線基板
12 レジストパターン形成基板
13 バンプ金属充填基板
70 基板固定用補強板
81 離型層
82 接着層
83 離型層
91 離型層
92 接着層
93 離型層
AL 積層体
H0 所望するバンプ高さ
Claims (9)
- 絶縁基板及び絶縁基板の表面にパターン形成された配線を最小構成単位とする配線基板において、他の部品と接続または接触する電極部分の表面高さを均一化する配線基板の電極高さ均一化方法であって、
配線基板の配線が形成されていない側の面を平坦な補強板に貼り合わせた状態で、配線基板の配線が形成されている側の面に、研磨板の研磨作用面を対向配置して面方向に相対運動をさせることで摩擦力を生じさせて、前記電極部分の表面高さが均一になるように表面研磨を行った後、配線基板を前記補強板から外す配線基板の電極高さ均一化方法で、
前記配線基板の配線が形成されていない側の面を平坦な補強板と貼り合わせるのに際して、接着性を有する樹脂からなる接着層で、前記接着層に対して離型性を有する表面を備えた離型層を挟み込んだ、3層構造の積層体を用いることを特徴とする配線基板の電極高さ均一化方法。 - 請求項1に記載の配線基板の電極高さ均一化方法であって、配線基板上の電極が、配線が形成されている面に開口部を有するレジスト膜を形成した後に前記開口部に金属を充填してからレジスト膜を除去して得られる突起形状を有するバンプであるとき、
レジスト膜の開口部にバンプ用金属が充填された状態で、配線基板の配線が形成されていない側の面を平坦な補強板に貼り合わせた状態で、前記バンプ用金属を前記レジスト膜とともに表面研磨した後、前記補強板から外すとともに、レジスト膜を除去することを特徴とする配線基板の電極高さ均一化方法。 - 請求項1または請求項2に記載の配線基板の電極高さ均一化方法であって、前記絶縁基板がフレキシブル性を有するものである配線基板の電極高さ均一化方法。
- 請求項1〜3のいずれかに記載の配線基板の電極高さ均一化方法であって、前記配線基板の配線が形成されていない側の面と平坦な補強板を貼り合わせる前記積層体の、周辺部の離型層を除去して接着層同士を密着させたことを特徴とする配線基板の電極高さ均一化方法。
- 請求項1〜4いずれかに記載の配線基板の電極高さ均一化方法であって、前記補強板の厚みが0.5mm以上であることを特徴とする配線基板の電極高さ均一化方法。
- 請求項1〜5のいずれかに記載の配線基板の電極高さ均一化方法であって、前記補強板が金属板であることを特徴とする配線基板の電極高さ均一化方法。
- 請求項1〜6のいずれかに記載の配線基板の電極高さ均一化方法であって、前記補強板の、前記配線基板の配線が形成されていない側の面と貼り合わせる面を、貼り合わせを行う前に研磨して平滑化することを特徴とする配線基板の電極高さ均一化方法。
- 請求項1〜7のいずれかに記載の配線基板の電極高さ均一化方法であって、前記電極の用途がコンタクトプローブ用電極であることを特徴とする配線基板の電極高さ均一化方法。
- 絶縁基板及び絶縁基板の表面にパターン形成された配線を最小構成単位とする配線基板の製造方法であって、他の部品と接続または接触する電極部分の表面高さを、請求項1〜8のいずれかに記載の配線基板の電極高さ均一化方法により、均一化することを特徴とする配線基板の製造方法。
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