JP6122312B2 - 形状測定機 - Google Patents
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Description
このような接触式の形状測定機においては、測定精度の向上に伴って、ワーク表面と接触子との接触状態が測定結果に影響を及ぼすようになっている。
また、ワーク表面に段差や突起等があると、ワーク表面をなぞってきた接触子が当該部分でひっかかり、その後のなぞる動作を継続できなくなることもある。
また、接触子の先端にダイヤモンド系材料などによる低摩擦コーティングを施し、摩擦係数を抑制することがなされている(特許文献2参照)。
さらに、ワーク表面をなぞる動作の際に、接触子を振動させることでワーク表面との間の摩擦力を緩和することがなされている(特許文献3参照)。
また、ダイヤモンド系材料などによる低摩擦コーティングは、一般に高価であり、形状測定機としてのコスト上昇の原因となる。
すなわち、接触子が一端に形成されたスタイラスを片持ち梁として支持する構造の形状測定機では、このスタイラスの接触子側を振動させることで、ワーク表面と接触子との摩擦力を緩和することができる。このような構造では、スタイラスの接触子とは反対側部位の変位を検出することで、接触子が接触するワーク表面の形状を検出しているため、スタイラスの接触子側に振動を加えた際に、振動に伴ってスタイラスの接触子側が撓むように変形しても、測定は接触子の近傍で行われているため、測定結果に影響は及ばない。
形状測定機において、回動により接触子を変位させる構造は、接触子背面側などスタイラス先端側の検出に限定されない等、検出器の設置位置の自由度が高く、多用される構造である。このため、回動により接触子を変位させる構造の形状測定機において、ワーク表面と接触子との接触状態を安定させることが強く要望されていた。
可動部としては、スタイラスおよびスタイラスホルダの長手方向に対して、接触子が直交方向に延びる形式、あるいは同方向へ延びる形式が適宜利用できる。スタイラスホルダは、形状測定機の本体であるケースまたはフレームに、転がり軸受あるいは低摩擦材料を用いた滑り軸受を介して回動自在に支持されるものが好ましい。
振動発生部としては、入力信号に対して振動つまり周期的な機械的変位を生じる各種のアクチュエータが利用できる。とくに、圧電素子などの電歪素子を利用することができ、これらは簡単な構造で低価格であるうえ、確実な測定結果が得られる。
そして、可動部および振動発生部においては、振動発生部により可動部を振動させ、これによりワーク表面をなぞる接触子を振動させることにより、ワーク表面に対する接触子の摩擦力を緩和し、ワーク表面に対する接触子の移動を連続的で円滑なものにすることができる。
さらに、本発明では、振動発生部による振動がスタイラスホルダに加えられ、スタイラスを介して接触子に伝達される構造となるため、スタイラスおよび接触子は振動発生部との機械的関係を考慮する必要がなく、スタイラスおよび接触子を自由に交換等することができる。
このような本発明では、振動発生部により可動部をその回動方向へ振動させることで、接触子をワーク表面に対して周期的に近接離隔させることになり、摩擦力の緩和に最も効果的である。
一方、可動部に発生させる振動は、なるべく高い周波数とすることで、後述するフィルタ処理などを利用して測定結果への影響を避けることが容易である。
このような本発明では、接触子によるワーク表面の形状測定に影響するスタイラスホルダの回動軸まわりの振動を小さくしても、これと交差する方向の振動が接触子に加えられるため、ワーク表面の接触点に対する相対移動量が大きくなり、ワーク表面に対する接触子の摩擦力を十分に緩和しつつ、測定精度への影響を低減することができる。
この際、他の方向の成分を含む振動の各方向成分は、周期的規則的でなく、ランダムに繰り返されるものであってもよい。
ここで、前記可動部の固有振動数は、予め該当部分の固有振動数を測定して記憶しておけばよい。また、「前記可動部の固有振動数より低い周波数成分のみを出力する」処理は、いわゆるローパスフィルタによるフィルタリング処理であればよい。この処理は、変位検出部が接続される制御装置あるいはデータ処理装置で行ってもよく、変位検出部自体で行ってもよい。
このような本発明では、検出した信号に対するフィルタリングという簡素な構成および簡素な処理によって振動発生部による振動の影響を除外することができ、これにより接触子の測定方向の変位、つまりワーク表面の変位を検出することができる。
このような本発明では、スタイラスホルダの回動軸よりも接触子側において振動発生部による振動を発生させることで、この振動を接触子に対して直接的に伝達することができる。
このような本発明では、変位検出部を、スタイラスホルダの回動軸を挟んで接触子とは反対側に沿って配置することができ、スタイラスおよび接触子との機械的な干渉等が生じないため、配置自由度を確保することができる。とくに、振動発生部がスタイラスホルダの回動軸よりも接触子側に設置される場合、相互の設置スペースを効率よく確保することができる。
〔第1実施形態〕
図1から図5には、本発明の第1実施形態が示されている。
図1において、形状測定機1は、テーブル2に載置されたワークWの表面形状を測定するものである。
このために、形状測定機1は、本体10に回動自在に支持された可動部20を備え、その先端に接触子21を備えており、接触子21をワーク表面Sに接触させた状態で測定方向(本実施形態ではX軸方向)に移動させる測定動作を行い、この測定動作の間の可動部20の回動状態から接触子21のZ軸方向の変位を検出することにより、ワークWの表面形状(X−Z平面での輪郭形状)を測定するように構成されている。
支持部11は、テーブル2に隣接して設置されたコラム(図示省略)により支持される構成が採用できる。この際、支持部11は、前述したコラムに沿って昇降可能としてもよい。あるいは、コラムを用いず、テーブル2の近傍に支持部11を並べて設置する構成としてもよく、接触子21がワーク表面Sに接触でき、かつX軸方向の移動が実行できるものであればよい。
送り機構12には制御装置30が接続されている。制御装置30はパーソナルコンピュータ等を利用して構成され、予め記録された動作プログラムに基づいて送り機構12の動作を制御することができる。
スタイラスホルダ22は、X軸方向に延びるとともに、回動軸24によって本体10に対して回動自在に支持され、揺動することで端部がZ軸方向に変位する。
スタイラス23は、スタイラスホルダ22の一端に接続され、スタイラスホルダ22の延長線上をX軸方向に延びる。
回動軸24は、転がり軸受あるいは低摩擦材料を用いた滑り軸受で構成され、図面交差方向(X軸およびZ軸に交差するY軸方向)の軸線に沿って配置されている。
接触子21は全体として丸棒状であるが、接触子21の先端は円錐形状に形成され、かつその円錐形状の表面にはDLC(ダイアモンドライクカーボン被膜)が形成され、摩耗耐久性および低摩擦性が確保されている。
これにより、スタイラス23は、端部を接続部25に挿入することで、スタイラスホルダ22と同じ軸線上に保持され、さらにクリップ部材26の圧接により抜け留めがなされる。この状態で、クリップ部材26の保持力より大きな力でスタイラス23を引き抜けば、スタイラス23は接続部25から抜き出すことができ、これによりスタイラス23を他のものと交換することができる。
この測定力付与部31により、スタイラスホルダ22の端部がZ軸方向上向きに付勢され、反対側においてはスタイラス23および接触子21が同方向下向きに付勢されることになり、これにより接触子21がワーク表面Sに対して所定の測定力で接触する状態とされる。
なお、変位検出部32としては、スタイラスホルダ22の任意の部位で変位を検出できればよく、変位検出は差動コイル等の電磁的な方式のほか、光学的な変位検出等を利用することもできる。
振動発生部33としては、制御装置30からの電気信号により発振する圧電素子などの電歪素子が利用されている。
測定にあたっては、図1に示すように、ワークWをテーブル2上に載置し、ワーク表面Sに接触子21が接触した状態となるように本体10を配置する。
そして、制御装置30から制御信号を送り、送り機構12により可動部20をX軸方向へ移動させながら、変位検出部32からの検出信号を記録してゆくことで、X軸方向に沿ったZ軸変位としてワーク表面Sの形状測定が行われる。
図3に示すように、接触子21は、ワーク表面Sに接触した状態でX軸方向へ移動する測定動作Mxを行う。この間、接触子21には、前述した振動発生部33(図1参照)からの振動Vが加えられる。
このような振動Vが加えられることで、測定動作Mxにおけるワーク表面Sに対する接触子21の摩擦力が緩和され、ワーク表面Sに対する接触子21の移動が連続的で円滑なものとなる。
また、変位検出部32がスタイラスホルダ22から検出した信号は、制御装置30で処理されてX軸方向に沿ったZ軸変位として測定される。この際、制御装置30においては、可動部20の固有振動数foより低い周波数fp以下の周波数成分のみを通すローパスフィルタ処理が行われる。
このために、制御装置30には、予め測定しておいた可動部20の固有振動数foが記憶されている。
このような振動Vおよび信号処理を用いることで、振動発生部33から加えられる振動Vが、変位検出部32で検出される信号に影響しないようにすることができ、これにより接触子21の測定方向(Z軸方向)の変位、つまりワーク表面Sの形状を安定的かつ確実に測定することができる。
また、振動発生部33から加えられる振動Vを、図4に示すような設定とすることで、変位検出部32で検出される信号に影響しないようにすることができ、ワーク表面Sの形状を安定的かつ確実に測定することができる。
また、接触子21およびスタイラス23を交換しても、振動発生部33はスタイラスホルダ22に残るため、交換可能な複数の接触子21およびスタイラス23で振動発生部33を共用することができる。
さらに、振動発生部33は、スタイラス23を接続するための接続部25を利用してスタイラスホルダ22に設置するようにしたため、特別な収容部等が必要なく、構造が簡単で製造が容易である。
また、本実施形態では、変位検出部32が、スタイラスホルダ22の回動軸24を挟んで接触子21とは反対側に配置するとしたため、スタイラス23および接触子21との機械的な干渉等が生じず、配置自由度を確保することができる。とくに、振動発生部33がスタイラスホルダ22の回動軸24よりも接触子21側に設置される場合でも、相互の設置スペースを効率よく確保することができる。
図5には、本発明の第2実施形態が示されている。
本実施形態は、前述した第1実施形態の形状測定機1と同じ構成を有するが、振動発生部33が接続部25ではなく、回動軸24の近傍に設置されている点が異なる。
このような本実施形態においても、前述した第1実施形態と同様な効果を得ることができる。
但し、振動発生部33を接続部25に収容しないため、振動発生部33を収容する孔等をスタイラスホルダ22に形成する等の追加的な加工が必要となる。
また、回動軸24に近く、接触子21から遠くなるため、接触子21に振動を伝達するという点では効率的ではなく、前述した第1実施形態のほうが好ましいといえる。
従って、振動発生部33は、回動軸24からスタイラスホルダ22のスタイラス23側の端部までの区間(図5の区間A)であることが好ましい。
図6には、本発明の第3実施形態が示されている。
本実施形態は、前述した第1実施形態の形状測定機1と同じ構成を有するが、振動発生部33がスタイラスホルダ22ではなく、スタイラス23の接触子21の基部に設置されている点が異なる。
このような本実施形態においても、前述した第1実施形態と同様な効果を得ることができる。
一方で、振動発生部33がスタイラス23の接触子21の基部に設置されるため、振動発生部33からの振動は直接的に接触子21に伝達され、振動伝達のエネルギ効率は最大にできるとともに、振動の応答性も最大にできる。
本発明は、前述した各実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲内での変形等は本発明に含まれるものである。
例えば、測定力付与部31、変位検出部32、振動発生部33の設置位置および各々の機構、形式等は適宜変更することができる。また、可動部20の構成も同様であり、接触子21、スタイラスホルダ22、スタイラス23および回動軸24の形状、構造などは適宜変更することができる。
例えば、振動発生部33によりZ軸方向の振動VzとY軸方向の振動Vyとを発生させることができ、この際、振動Vz,Vyの位相差を調整することで、接触子21の先端の振動Vを多様な形態とすることができる。例えば、図7のように、振動Vz,Vyの位相差が0度であれば、接触子21の先端をX方向およびY方向に対して傾斜した仮想面内での振動Vをとすることができる。
このような多様な形態の振動Vは、振動発生部33に対する制御装置30からの入力信号により制御可能である。
さらに、本発明では、接触子の円錐形状と協同して、ワーク表面に段差や突起等があった場合に接触子がひっかかる問題の解消にも有効である。
すなわち、接触子は一般に下向きの円錐形状とされ、通常は円錐の先端でワーク表面に摺接する。ここで、ワーク表面に、不連続な立ち上がり段差があった場合には、測定動作の移動の途中で接触子が段差にひっかかり、その後の移動が阻害される可能性があった。
しかし、ワーク表面の立ち上がりが、接触子の円錐形状の高さ寸法以下であれば、接触子の円錐形状の先端が段差に到達するより先に、段差の上端縁が接触子の円錐形状の側壁に接触し、円錐形状の傾斜に沿って段差の上端縁が摺接することになる。
ここで、円錐形状の表面と段差の上端縁との間の摩擦が低減されていれば、測定動作の移動に伴って円錐形状の表面に対して段差の上端縁が滑らかに摺接し、やがて円錐形状の先端が段差上端縁に達し、つまり接触子が段差を登り切り、これにより接触子は段差を超えることができる。
このような段差超えが円滑に行われるためには、接触子の円錐形状の表面と段差の上端縁との摺接が円滑であること、そのためにコーン側壁の摩擦係数を軽減することが必要であるが、本発明によれは、接触子に振動が与えられることで低摩擦が実現され、前述した第1実施形態のように接触子の表面にDLCコーティングを施すことで、段差超えに更に有効な構成とすることができる。
2…テーブル
10…本体
11…支持部
12…機構
20…可動部
21…接触子
22…スタイラスホルダ
23…スタイラス
24…回動軸
25…接続部
26…クリップ部材
30…制御装置
31…測定力付与部
32…変位検出部
33…振動発生部
S…ワーク表面
V…振動
Vy…振動
Vz…振動
W…ワーク
Claims (5)
- 本体と、
前記本体に回動自在に支持されたスタイラスホルダ、前記スタイラスホルダに保持されたスタイラス、および前記スタイラスの一端に形成されてワーク表面に接触可能な接触子を有する可動部と、
前記スタイラスホルダに回転力を発生させて前記接触子を前記ワーク表面に接触させる測定力付与部と、
前記スタイラスホルダの何れかの部位で前記スタイラスホルダの回動に伴う変位を検出する変位検出部と、
前記スタイラスホルダの回動軸まわりに変位する振動を前記スタイラスホルダに発生させる振動発生部と、を備えたことを特徴とする形状測定機。 - 請求項1に記載した形状測定機において、
前記振動発生部は、前記スタイラスホルダの回動軸まわりに変位する振動と、前記回動軸まわりに変位する振動と交差する方向の別の振動との2方向の振動を発生させるものであることを特徴とする形状測定機。 - 請求項1または請求項2に記載した形状測定機において、
前記振動発生部は、前記可動部の固有振動数より高い周波数で前記スタイラスホルダを振動させるものであり、
前記変位検出部は、前記スタイラスホルダの何れかの部位の変位を検出し、検出した信号から前記可動部の固有振動数より低い周波数成分のみを出力することを特徴とする形状測定機。 - 請求項1から請求項3の何れか一項に記載した形状測定機において、
前記振動発生部は、前記スタイラスホルダの前記回動軸から前記接触子までの領域に振動を発生させるものであることを特徴とする形状測定機。 - 請求項1から請求項4の何れか一項に記載した形状測定機において、
前記変位検出部は、前記スタイラスホルダの前記回動軸よりも前記接触子と反対側にある部位の変位を検出するものであることを特徴とする形状測定機。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013039485A JP6122312B2 (ja) | 2013-02-28 | 2013-02-28 | 形状測定機 |
EP14000622.2A EP2772722B1 (en) | 2013-02-28 | 2014-02-21 | Form measuring instrument |
US14/190,452 US9285201B2 (en) | 2013-02-28 | 2014-02-26 | Form measuring instrument |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013039485A JP6122312B2 (ja) | 2013-02-28 | 2013-02-28 | 形状測定機 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014167435A JP2014167435A (ja) | 2014-09-11 |
JP2014167435A5 JP2014167435A5 (ja) | 2016-02-25 |
JP6122312B2 true JP6122312B2 (ja) | 2017-04-26 |
Family
ID=50179467
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013039485A Active JP6122312B2 (ja) | 2013-02-28 | 2013-02-28 | 形状測定機 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9285201B2 (ja) |
EP (1) | EP2772722B1 (ja) |
JP (1) | JP6122312B2 (ja) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6122312B2 (ja) * | 2013-02-28 | 2017-04-26 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定機 |
JP6189153B2 (ja) * | 2013-09-18 | 2017-08-30 | 株式会社ミツトヨ | 梃子式測定器 |
JP6361243B2 (ja) * | 2014-04-07 | 2018-07-25 | 株式会社ジェイテクト | 加工変質検出センサを備える工作機械 |
JP6282517B2 (ja) * | 2014-04-09 | 2018-02-21 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定機 |
JP6447997B2 (ja) * | 2015-02-09 | 2019-01-09 | 株式会社ミツトヨ | テストインジケータ |
CN105018333B (zh) * | 2015-08-24 | 2017-03-08 | 苏州大学张家港工业技术研究院 | 一种基于粘滑驱动原理的显微注射机构 |
JP6680643B2 (ja) * | 2016-08-03 | 2020-04-15 | 株式会社Soken | 面圧計測装置 |
RU2659324C1 (ru) * | 2017-06-15 | 2018-06-29 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Тольяттинский государственный университет" | Способ контроля диаметров и формы миниатюрных цилиндрических несимметричных деталей |
JP2019100874A (ja) | 2017-12-04 | 2019-06-24 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置 |
KR101944080B1 (ko) * | 2018-07-24 | 2019-01-30 | 황재은 | 형상측정기 |
US11150731B2 (en) * | 2018-09-28 | 2021-10-19 | Apple Inc. | Multi-modal haptic feedback for an electronic device using a single haptic actuator |
JP7261560B2 (ja) * | 2018-10-31 | 2023-04-20 | 株式会社ミツトヨ | 表面性状測定方法および表面性状測定装置 |
KR102180526B1 (ko) * | 2019-08-16 | 2020-11-18 | 한양대학교 산학협력단 | 휴대용 표면 측정 장치 및 제어 방법 |
JP7448323B2 (ja) * | 2019-09-06 | 2024-03-12 | 株式会社ミツトヨ | 粗さ測定機 |
DE102020108406A1 (de) * | 2020-03-26 | 2021-09-30 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Taktiler oder/und optischer Abstandssensor, System mit einem solchen Abstandssensor und Verfahren zur Kalibrierung eines solchen Abstandssensors oder eines solchen Systems |
TWI731650B (zh) * | 2020-04-15 | 2021-06-21 | 宏碁股份有限公司 | 觸控筆、觸控電子裝置與觸控系統 |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5343418B2 (ja) * | 1973-09-28 | 1978-11-20 | ||
JPS60161503A (ja) * | 1984-02-01 | 1985-08-23 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 表面粗さ測定機用検出装置 |
US5189806A (en) * | 1988-12-19 | 1993-03-02 | Renishaw Plc | Method of and apparatus for scanning the surface of a workpiece |
JPH0294050U (ja) * | 1989-01-12 | 1990-07-26 | ||
JP2539998B2 (ja) | 1992-10-14 | 1996-10-02 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定機 |
GB9612383D0 (en) * | 1995-12-07 | 1996-08-14 | Rank Taylor Hobson Ltd | Surface form measurement |
SE9600078L (sv) * | 1996-01-09 | 1997-05-12 | Johansson Ab C E | Anordning för dimensionsbestämning av tredimensionella mätobjekt |
IT1299902B1 (it) * | 1998-03-13 | 2000-04-04 | Marposs Spa | Testa, apparecchiatura e metodo per il controllo di dimensioni lineari di pezzi meccanici. |
JP3992853B2 (ja) * | 1998-09-30 | 2007-10-17 | 株式会社ミツトヨ | 表面追従型測定機 |
JP2000199710A (ja) * | 1999-01-06 | 2000-07-18 | Mitsutoyo Corp | タッチ信号プロ―ブの接触部位検出構造 |
JP3650555B2 (ja) | 1999-09-27 | 2005-05-18 | 株式会社ミツトヨ | タッチセンサ |
JP3819250B2 (ja) * | 2000-05-15 | 2006-09-06 | 株式会社ミツトヨ | 加振型接触検出センサ |
JP4688400B2 (ja) | 2001-12-04 | 2011-05-25 | エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 | 走査型プローブ顕微鏡用探針 |
GB0608998D0 (en) * | 2006-05-08 | 2006-06-14 | Renishaw Plc | Contact sensing probe |
JP5009564B2 (ja) * | 2006-07-20 | 2012-08-22 | 株式会社ミツトヨ | 表面追従型測定器 |
JP5108619B2 (ja) * | 2008-05-15 | 2012-12-26 | 株式会社ミツトヨ | センサ信号検知回路 |
JP5297735B2 (ja) * | 2008-09-18 | 2013-09-25 | 国立大学法人東北大学 | 接触式変位センサ |
JP5451180B2 (ja) * | 2009-05-22 | 2014-03-26 | 株式会社ミツトヨ | 真円度測定機 |
JP4968600B1 (ja) * | 2011-01-13 | 2012-07-04 | 株式会社東京精密 | 真円度測定装置及びその心ずれ量補正方法 |
JP5754971B2 (ja) * | 2011-02-14 | 2015-07-29 | キヤノン株式会社 | 形状測定装置及び形状測定方法 |
JP6122312B2 (ja) * | 2013-02-28 | 2017-04-26 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定機 |
-
2013
- 2013-02-28 JP JP2013039485A patent/JP6122312B2/ja active Active
-
2014
- 2014-02-21 EP EP14000622.2A patent/EP2772722B1/en active Active
- 2014-02-26 US US14/190,452 patent/US9285201B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US9285201B2 (en) | 2016-03-15 |
JP2014167435A (ja) | 2014-09-11 |
EP2772722B1 (en) | 2015-09-02 |
EP2772722A1 (en) | 2014-09-03 |
US20140237834A1 (en) | 2014-08-28 |
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