JPS60161503A - 表面粗さ測定機用検出装置 - Google Patents
表面粗さ測定機用検出装置Info
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- JPS60161503A JPS60161503A JP1760984A JP1760984A JPS60161503A JP S60161503 A JPS60161503 A JP S60161503A JP 1760984 A JP1760984 A JP 1760984A JP 1760984 A JP1760984 A JP 1760984A JP S60161503 A JPS60161503 A JP S60161503A
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- Japan
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- arm
- measuring force
- coil spring
- arm holder
- attached
- Prior art date
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/28—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/34—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は触針式表面粗さ測定機における検出装置の改
良に関するものである。
良に関するものである。
周知のように触針式表面粗さ測定機は、検出装置と被測
定物とを相対的に移動させて被測定物の表面を検出装置
先端の触針でトレースし、その凹凸、つまり粗さを検出
装置に内蔵した差動変圧器のような検出器で検出して電
気変換し、これを記録計に拡大記録させるか、またはメ
ータに拡大表示させるものである。
定物とを相対的に移動させて被測定物の表面を検出装置
先端の触針でトレースし、その凹凸、つまり粗さを検出
装置に内蔵した差動変圧器のような検出器で検出して電
気変換し、これを記録計に拡大記録させるか、またはメ
ータに拡大表示させるものである。
通常検出装置は、その内部にピボット軸受等によって回
動自在にアームが軸支され、その先端には触針が、また
支点を挾んで後端には差動変圧器のような検出器が取付
けられている。
動自在にアームが軸支され、その先端には触針が、また
支点を挾んで後端には差動変圧器のような検出器が取付
けられている。
か＼る粗さ測定機においては触針先端が被測定物の軽微
な凹凸にも追従できるように、°触針な有する７−ムが
軽い測定力によっても回動可能なように軸支されている
ことが必要であると共に、その軸支がガタのない安定し
たものであり、かつ測定力の微調整可能であることが要
請される。
な凹凸にも追従できるように、°触針な有する７−ムが
軽い測定力によっても回動可能なように軸支されている
ことが必要であると共に、その軸支がガタのない安定し
たものであり、かつ測定力の微調整可能であることが要
請される。
ところが従来の装置においては上記したような技術的な
要請に対しこれを充分に満足させるものはなかった。例
えば従来装置として支点はビボット軸受とし測定力を付
加するために重量バランスを用いたもの、あるいは支点
に板ばねな用いそのばね圧をもって測定力とするもの等
が提案されている。しかし前者において測定力を軽くす
るためにはピボット軸受部での支持は少し間隙を有する
程度に軽くしなげればならないが、そうすると支点とし
ての安定性が悪くなり、逆に安定性を良くするために強
く締付けると弱い力での回転が出来ず、従って測定力を
軽くすることができないという欠点があった。また後者
においては測定力を調整することは困難であるし、また
アーム等を麦持しなげればならない関係上、ばね定数を
小さくすることにも限界があり測定力を軽（することが
できないという欠点があった。また従来装置の他の例と
して、支点はピボット軸受とし、その支点から離れた位
置に設けられたコイルばねにより測定力を付加する方法
が提案されているが、この場合にも上述した前者の場合
と同様の欠点があった。
要請に対しこれを充分に満足させるものはなかった。例
えば従来装置として支点はビボット軸受とし測定力を付
加するために重量バランスを用いたもの、あるいは支点
に板ばねな用いそのばね圧をもって測定力とするもの等
が提案されている。しかし前者において測定力を軽くす
るためにはピボット軸受部での支持は少し間隙を有する
程度に軽くしなげればならないが、そうすると支点とし
ての安定性が悪くなり、逆に安定性を良くするために強
く締付けると弱い力での回転が出来ず、従って測定力を
軽くすることができないという欠点があった。また後者
においては測定力を調整することは困難であるし、また
アーム等を麦持しなげればならない関係上、ばね定数を
小さくすることにも限界があり測定力を軽（することが
できないという欠点があった。また従来装置の他の例と
して、支点はピボット軸受とし、その支点から離れた位
置に設けられたコイルばねにより測定力を付加する方法
が提案されているが、この場合にも上述した前者の場合
と同様の欠点があった。
本発明は上記したような従来装置の欠点を解決して触針
な有するアームを軽い測定力によっても回動可能に、し
かも安定性をもって軸支すると共に、測定力の微調整を
可能とした検出装置を提供するものである。以下図面に
従って本発明の一実施例を説明する。
な有するアームを軽い測定力によっても回動可能に、し
かも安定性をもって軸支すると共に、測定力の微調整を
可能とした検出装置を提供するものである。以下図面に
従って本発明の一実施例を説明する。
第１図および第２図において２は検出装置１の外枠、３
はその先端に被測定物Ｗに接触する触針４を有するアー
ム、５は前記アーム４を保持するアームホルダ、６は前
記アームボルダ５を貫通して取付けられたピボット軸、
７および８は前記ピボット軸６を回動自在に軸支するピ
ボット軸受、９は前記アームホルダ５の後端つまり前記
ピボット軸６を挾んで７−ム３の取付端とは反対の他の
一端に取付けられた差動変圧器のコアー、１０は前記外
枠２に固定され、前記コアー９と係合して前記触針４の
変位量を検出する差動変圧器のコイル、１１は前記外枠
２に進退可能に螺合された測定力調整用ねじ、１２は一
端を前記測定力調整用ねじ１１の先端に取付けられ話、
他の一端を前記アームホルダ５の側面の前記ピボット軸
６よりわずかに図の上方に植設された複数本のピンの選
ばれた１本１６に取付けられて、アームホルダ５を図の
上方へ付勢するコイルばねを示す。
はその先端に被測定物Ｗに接触する触針４を有するアー
ム、５は前記アーム４を保持するアームホルダ、６は前
記アームボルダ５を貫通して取付けられたピボット軸、
７および８は前記ピボット軸６を回動自在に軸支するピ
ボット軸受、９は前記アームホルダ５の後端つまり前記
ピボット軸６を挾んで７−ム３の取付端とは反対の他の
一端に取付けられた差動変圧器のコアー、１０は前記外
枠２に固定され、前記コアー９と係合して前記触針４の
変位量を検出する差動変圧器のコイル、１１は前記外枠
２に進退可能に螺合された測定力調整用ねじ、１２は一
端を前記測定力調整用ねじ１１の先端に取付けられ話、
他の一端を前記アームホルダ５の側面の前記ピボット軸
６よりわずかに図の上方に植設された複数本のピンの選
ばれた１本１６に取付けられて、アームホルダ５を図の
上方へ付勢するコイルばねを示す。
このような構造において図示しない駆動機構により検出
装置１を図の左右方向に移動させると、ピボット軸６を
支点として回動可能に軸支されている７−ム６の先端の
触＠４は被測定物Ｗの凹凸に追従して上下動し、その変
位量はコアー９およびコイル１０からなる差動変圧器に
よって検出され図示しない拡大記録計等に記録される。
装置１を図の左右方向に移動させると、ピボット軸６を
支点として回動可能に軸支されている７−ム６の先端の
触＠４は被測定物Ｗの凹凸に追従して上下動し、その変
位量はコアー９およびコイル１０からなる差動変圧器に
よって検出され図示しない拡大記録計等に記録される。
このとき７−ムホルダ５はコイルばね１２によって常時
図の上方に、付勢されているから、ピボット軸６とピボ
ット軸受７．８との係合を回転し易いように多少緩めに
しても両者は常に同一接触状態を保って回動しており、
従ってガタのない安定した支点を保証するこ匠ができる
。
図の上方に、付勢されているから、ピボット軸６とピボ
ット軸受７．８との係合を回転し易いように多少緩めに
しても両者は常に同一接触状態を保って回動しており、
従ってガタのない安定した支点を保証するこ匠ができる
。
次にこのコイルばね１２を用いて測定力の微調整を行う
ことについて説明する。コイルばね１２の下端は７−ム
ホダ５の側面に植設された複数本のピン１６のうち、定
められた測定圧の強弱、あるいはアーム乙の長短等によ
るピボット軸６を中心とした左右の重量のアンバランス
等を勘案して適宜な１本に、取付けられる。こうして測
定力調整用ねじ１１を進退させるとコイルばね１２は第
１図で示す垂直状態から左方向あるいは右方向に傾き、
７−ムホルダ５に対しピボット軸６を中心として時計方
向あるいは反時計方向へ回動させる力が働く。そこでこ
の測定力調整用ねじ１１を適宜進退させるという簡単な
操作だけで容易に所望の測定力を得ることができる。
ことについて説明する。コイルばね１２の下端は７−ム
ホダ５の側面に植設された複数本のピン１６のうち、定
められた測定圧の強弱、あるいはアーム乙の長短等によ
るピボット軸６を中心とした左右の重量のアンバランス
等を勘案して適宜な１本に、取付けられる。こうして測
定力調整用ねじ１１を進退させるとコイルばね１２は第
１図で示す垂直状態から左方向あるいは右方向に傾き、
７−ムホルダ５に対しピボット軸６を中心として時計方
向あるいは反時計方向へ回動させる力が働く。そこでこ
の測定力調整用ねじ１１を適宜進退させるという簡単な
操作だけで容易に所望の測定力を得ることができる。
次に測定力調整用ねじ１１を進退させたときの移動量、
つまりコイルばね１２の上端の移動量に対シ１、測定力
の変化が小さく、従って測定力の微調整が容易に行える
ことについて第３図により説明する。第３図はピボット
軸６のは〈真上のピン１６にコイルばね１２を取付けた
状態を幾何学的に拡大した図である。図においてピボッ
ト軸６と触針４との間隔なＬ１ピボット軸６とビン１６
との間隔をＬｌ、ピン１６と測定力調整用ねじ１１の先
端との間隔をＬ２、垂直状態におけるコイルばね１２の
張力をＷとすると測定力調整ねじ１１を進退させてコイ
ルばね１２の上端がα点から６点に寸法ｌだけ移動した
ときの張力Ｗ はＷ ＝ ｋ −（２−Ｌ ２Ｊ ＋
Ｗ（ｋ：ばね定数片・（１） また、コイルばね１２の上端が６点に移動したときのコ
イルばね１２の延長線とピポッド軸６を通る上記延長線
と平行な線との間隔１．つまり図のピボット軸６と０点
との間隔εは、 ε ・ Ｌ ””゛（３） で表わされる。
つまりコイルばね１２の上端の移動量に対シ１、測定力
の変化が小さく、従って測定力の微調整が容易に行える
ことについて第３図により説明する。第３図はピボット
軸６のは〈真上のピン１６にコイルばね１２を取付けた
状態を幾何学的に拡大した図である。図においてピボッ
ト軸６と触針４との間隔なＬ１ピボット軸６とビン１６
との間隔をＬｌ、ピン１６と測定力調整用ねじ１１の先
端との間隔をＬ２、垂直状態におけるコイルばね１２の
張力をＷとすると測定力調整ねじ１１を進退させてコイ
ルばね１２の上端がα点から６点に寸法ｌだけ移動した
ときの張力Ｗ はＷ ＝ ｋ −（２−Ｌ ２Ｊ ＋
Ｗ（ｋ：ばね定数片・（１） また、コイルばね１２の上端が６点に移動したときのコ
イルばね１２の延長線とピポッド軸６を通る上記延長線
と平行な線との間隔１．つまり図のピボット軸６と０点
との間隔εは、 ε ・ Ｌ ””゛（３） で表わされる。
（２）式からも明らかなようにＬ２に対しＬｌを小さく
しておけばｌがかなり大きく変化しても、つまり測定力
調整用ねじ１１の進退量が多少大きくてもεの変化量は
小さい。従ってＬは大きくとっであるから（３）式にお
いて下の変化量も小さい。つまり測定力調整用ねじ１１
の進退量ｌが大きくても、測定力Ｆの変化量は小さいか
ら微少な測定力の調整が容易に可能である。
しておけばｌがかなり大きく変化しても、つまり測定力
調整用ねじ１１の進退量が多少大きくてもεの変化量は
小さい。従ってＬは大きくとっであるから（３）式にお
いて下の変化量も小さい。つまり測定力調整用ねじ１１
の進退量ｌが大きくても、測定力Ｆの変化量は小さいか
ら微少な測定力の調整が容易に可能である。
以上詳述したように本願発明によれば触針な有するアー
ムを軽い測定力によっても回動可能に、しかも安定性を
もって軸支することカキきると共に、測定力の微調整が
可能であるという効果を奏し得た他に２個のピボット軸
受の位置調整をそれ程厳密に行なわなくても済むから、
組立が容易である等の効果をも奏することができた。
ムを軽い測定力によっても回動可能に、しかも安定性を
もって軸支することカキきると共に、測定力の微調整が
可能であるという効果を奏し得た他に２個のピボット軸
受の位置調整をそれ程厳密に行なわなくても済むから、
組立が容易である等の効果をも奏することができた。
第１図は本発明の一実施例側断面図、第２図は第１図の
■−■線断面図、第３図は測定圧調整機能の幾何学的説
明図。 ６：７−ム ４：触針 ５：７−ムホルダ ６：ピボット軸 ７．８：ピボット軸受 １１：測定圧微調整用ねじ １２：コイルばね特許出願
人 株式会社 東京精密 ｒ ト
■−■線断面図、第３図は測定圧調整機能の幾何学的説
明図。 ６：７−ム ４：触針 ５：７−ムホルダ ６：ピボット軸 ７．８：ピボット軸受 １１：測定圧微調整用ねじ １２：コイルばね特許出願
人 株式会社 東京精密 ｒ ト
Claims (1)
- 一端に触針を保持するアームを取付は他の一端に前記触
針が被測定物の凹凸に追従して変位したときの変位量を
検出する検出器を取付けたアームホルダと、前記７−ム
ホルダを回動自在に軸支する軸受部と、一端を前記アー
ムホルダの前記軸受部よりわずかに離れた位置に取付け
、他の一端を外枠に進退可能に設けられた測定圧調整用
ねじに取付け、常時前記アームホルダを一定方向に付勢
するコイルばねとを備えたことを特徴とする表面粗さ測
定機用検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1760984A JPS60161503A (ja) | 1984-02-01 | 1984-02-01 | 表面粗さ測定機用検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1760984A JPS60161503A (ja) | 1984-02-01 | 1984-02-01 | 表面粗さ測定機用検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60161503A true JPS60161503A (ja) | 1985-08-23 |
| JPH0330084B2 JPH0330084B2 (ja) | 1991-04-26 |
Family
ID=11948623
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1760984A Granted JPS60161503A (ja) | 1984-02-01 | 1984-02-01 | 表面粗さ測定機用検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60161503A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0252742A (ja) * | 1988-08-17 | 1990-02-22 | Hitachi Techno Eng Co Ltd | スクリーンレスパターン描画装置 |
| US5357787A (en) * | 1991-07-15 | 1994-10-25 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Cantilever for atomic force microscope and method of manufacturing the same |
| JP2003097909A (ja) * | 2001-09-25 | 2003-04-03 | Canon Inc | 表面性識別装置、加熱装置、画像形成装置および表面性識別方法 |
| JP2010008421A (ja) * | 1998-03-13 | 2010-01-14 | Marposs Spa | 機械部品の長さ寸法の検査用のヘッド、装置および方法 |
| KR101219691B1 (ko) | 2006-05-03 | 2013-01-09 | 현대자동차주식회사 | 크랙 판별장치 |
| EP2772722A1 (en) * | 2013-02-28 | 2014-09-03 | Mitutoyo Corporation | Form measuring instrument |
| JP2015059793A (ja) * | 2013-09-18 | 2015-03-30 | 株式会社ミツトヨ | 梃子式測定器 |
| CN109470136A (zh) * | 2018-12-13 | 2019-03-15 | 何永明 | 一种用于冷轧带钢的平面度检测装置 |
-
1984
- 1984-02-01 JP JP1760984A patent/JPS60161503A/ja active Granted
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0252742A (ja) * | 1988-08-17 | 1990-02-22 | Hitachi Techno Eng Co Ltd | スクリーンレスパターン描画装置 |
| US5357787A (en) * | 1991-07-15 | 1994-10-25 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Cantilever for atomic force microscope and method of manufacturing the same |
| JP2010008421A (ja) * | 1998-03-13 | 2010-01-14 | Marposs Spa | 機械部品の長さ寸法の検査用のヘッド、装置および方法 |
| JP2011064694A (ja) * | 1998-03-13 | 2011-03-31 | Marposs Spa | 機械部品の長さ寸法の検査用のヘッド、装置および方法 |
| JP2003097909A (ja) * | 2001-09-25 | 2003-04-03 | Canon Inc | 表面性識別装置、加熱装置、画像形成装置および表面性識別方法 |
| JP4681779B2 (ja) * | 2001-09-25 | 2011-05-11 | キヤノン株式会社 | 表面性識別装置、及び画像形成装置 |
| KR101219691B1 (ko) | 2006-05-03 | 2013-01-09 | 현대자동차주식회사 | 크랙 판별장치 |
| EP2772722A1 (en) * | 2013-02-28 | 2014-09-03 | Mitutoyo Corporation | Form measuring instrument |
| US9285201B2 (en) | 2013-02-28 | 2016-03-15 | Mitutoyo Corporation | Form measuring instrument |
| JP2015059793A (ja) * | 2013-09-18 | 2015-03-30 | 株式会社ミツトヨ | 梃子式測定器 |
| CN109470136A (zh) * | 2018-12-13 | 2019-03-15 | 何永明 | 一种用于冷轧带钢的平面度检测装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0330084B2 (ja) | 1991-04-26 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |