SU847403A1 - Устройство дл измерени удельногоСОпРОТиВлЕНи пО СОпРОТиВлЕНию PACTE-КАНи - Google Patents
Устройство дл измерени удельногоСОпРОТиВлЕНи пО СОпРОТиВлЕНию PACTE-КАНи Download PDFInfo
- Publication number
- SU847403A1 SU847403A1 SU792705617A SU2705617A SU847403A1 SU 847403 A1 SU847403 A1 SU 847403A1 SU 792705617 A SU792705617 A SU 792705617A SU 2705617 A SU2705617 A SU 2705617A SU 847403 A1 SU847403 A1 SU 847403A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- measuring
- cylindrical
- spherical
- resistance
- microscope
- Prior art date
Links
Landscapes
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
Изобретение относитс к измеритель ной технике и может быть использовано дл контрол распределени легирующей примеси по поверхности и глубине полупроводниковых структур.
Наиболее близким к предлагаемому вл етс устройство дл измерени , содержащее держатель зондовых голо вок , механизм перемещени зондов, микроскоп и предметный столик с механизмом юстировки 1.
Однако известное устройство не обеспечивает высокой точности измерени .
Цель изобретени - повышение точности ,измерени .
Указанна цель достигаетс тем, что в устройстве дл измерени удельного сопротивлени по сопротивлению растекани , преимущественно дл измерени профил распределени удель--. ного сопротивлени по сферическому . или цилиндрическому шлифу полупроводниковых структур, содержащем держатель головки, механизм перемещени зондов, микроскоп и предметный столик с механизмом юстировки, последний снабжен вогнутой цилиндрической опорой с подвижно установленным на нем выпуклым цилиндрическим i
сегментом, с возможностью угловых перемещений перпендикул рно плоскости, проход щей через точки контактироЬани зондов со сферической или цилиндри- ческой поверхностью шлифа измер емой, структуры и совмещенной с оптической осью микроско/та.
На чертеже схематически изображено устройство дл измерени удельно10 го сопротивлени , общий вид.
Измерительный зонд 1 закреплен в держателе зондовой головки 2, шарнирно установленной на механизме 3 перемещени зонда. Образец 4 со сферичео15 ким или цилиндрическим пшифом 5 установлен на площадке клинообразного компенсатора 6,. имеющего возможность перемещатьс по наклонной направл ющей выпуклого цилиндрического сегмен20 та 7,опирающегос на вогнутую цилиндрическую поверхность. 8, установленной на основании 9 предметного столика. Перемещени компенсатора 6, сегмента 7, опоры 8 осуществл ютс
25 соответственно посредством приводов 10, 11, 12. Над зондом установлен микроскоп 13, имеющий в поле зрени перекрестие.
Сн тие профил распределени удель30 ного сопротивлени по глубине полупро
Claims (1)
- Формула изобретенияУстройство для измерения удельного сопротивления по сопротивлению растекания, преимущественно для измерения профиля распределения удельного сопротивления по сферическому или цилиндрическому шлифу полупроводниковых структур, содержащее держатель зондовых головок,'механизм перемещения зон1П дов' микроскоп и предметный столик с механизмом юстировки, отличающееся тем) что, с целью повышения точности измерения, механизм юстировки снабжен вогнутой цилиндрической опорой с подвижно установленным 15 на нем выпуклым цилиндрическим сегментом с возможностью угловых перемещений перпендикулярно плоскости, проходящей через точки контактирования зондов со сферической или цилин20 дрической поверхностью шлифа измеряемой структуры и совмещенной с оптической осью микроскопа.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU792705617A SU847403A1 (ru) | 1979-01-04 | 1979-01-04 | Устройство дл измерени удельногоСОпРОТиВлЕНи пО СОпРОТиВлЕНию PACTE-КАНи |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU792705617A SU847403A1 (ru) | 1979-01-04 | 1979-01-04 | Устройство дл измерени удельногоСОпРОТиВлЕНи пО СОпРОТиВлЕНию PACTE-КАНи |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU847403A1 true SU847403A1 (ru) | 1981-07-15 |
Family
ID=20802285
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU792705617A SU847403A1 (ru) | 1979-01-04 | 1979-01-04 | Устройство дл измерени удельногоСОпРОТиВлЕНи пО СОпРОТиВлЕНию PACTE-КАНи |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU847403A1 (ru) |
-
1979
- 1979-01-04 SU SU792705617A patent/SU847403A1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4155173A (en) | Mounting for coordinate measuring machine arms and probes | |
| DE3064126D1 (en) | Additional arrangement on a support for an optical observation apparatus | |
| JPH0478927B2 (ru) | ||
| US5551906A (en) | Caliper assembly for grinder | |
| GB1062053A (en) | Apparatus for the precise measurement of profiles of straight lines | |
| CN209961611U (zh) | 一种基于尺读望远镜及光杠杆的测定装置 | |
| GB989707A (en) | Improved testing machine | |
| SU847403A1 (ru) | Устройство дл измерени удельногоСОпРОТиВлЕНи пО СОпРОТиВлЕНию PACTE-КАНи | |
| US4613232A (en) | Measuring device for testing optical systems of an endoscope | |
| US3321840A (en) | Apparatus for measuring surface finish of pinion tooth and like curved surfaces | |
| US3501841A (en) | Surface-testing apparatus | |
| GB1561733A (en) | Hardness testing machine | |
| US4432141A (en) | High precision height comparator apparatus | |
| JPS60161503A (ja) | 表面粗さ測定機用検出装置 | |
| US5643049A (en) | Floating contact gage for measuring cylindrical workpieces exiting a grinder | |
| US2984014A (en) | Instruments for measuring the curvature of curved surfaces | |
| US2376303A (en) | Measuring and indicating apparatus for machine tools | |
| US3368395A (en) | Method and machine for assessing the finish of cylindrical surface | |
| SU1188543A1 (ru) | Щелева диафрагма | |
| CN107588746B (zh) | 一种测针精密快速校核装置及其工作方法 | |
| JPS6315139A (ja) | ひつかき硬さ試験装置 | |
| SU35420A1 (ru) | Прибор типа индикатора дл определени степени шероховатости образца | |
| SU1469335A1 (ru) | Способ измерени отклонений шариков от сферичности и устройство дл его осуществлени | |
| US2986030A (en) | Hardness testing apparatus | |
| SU1051624A1 (ru) | Устройство дл измерени электрофизических параметров слитков полупроводниковых материалов |