JPH0252742A

JPH0252742A - スクリーンレスパターン描画装置

Info

Publication number: JPH0252742A
Application number: JP20326888A
Authority: JP
Inventors: Haruo Osugi; 春夫大杉; Masabumi Wada; 和田　正文; Hajime Sato; 肇佐藤; Kohei Yabuno; 薮野　光平; Kazuhiko Ato; 和彦阿藤; Yoji Tajiri; 洋治田尻; Hitoshi Odajima; 均小田島
Original assignee: Hitachi Techno Engineering Co Ltd; Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd; Hitachi Plant Technologies Ltd
Priority date: 1988-08-17
Filing date: 1988-08-17
Publication date: 1990-02-22
Anticipated expiration: 2011-01-17
Also published as: JPH082647B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、ハイブリッドＩＣや感熱ヘッドなどの回路の
厚膜パターン形成に好適なスクリーンレスパターン描画
装置に関する。

〔従来の技術〕

従来、ハイブリッドＩＣの抵抗体パターンの形成方法と
して、たとえばｒＮａｔｉｏｎａｌ　　Ｔｅｃｈｎｉｃ
ａｌＲｅｐｏｒｔＪ　　ＶＯｌ、３１　　Ｆ＆１５　０
ｃｔ、１９８５　　ｐｐ、６５６　６６４に記載される
ように、スクリーン印刷法と描画法とが知られている。

スクリーン印刷法は形成すべきパターンの原画が予め形
成されたスクリーンを用いるものである。

第１８図はスクリーン印刷法の原理を示すものであって
、基板４上にスクリーン２が配置される。スクリーン２
はメツシュ状をなし、不要なメツシュを乳剤によって目
止めすることにより、所望の原画パターンが描かれてい
る。このスクリーン２上にペースト３が置かれ、このス
クリーン２上を駆動モータ６によって矢印方向にスキー
ジ１を移動させる。すると、このスキージ１によってペ
ースト３はスクリーン２の目止めされないメツシュを通
して基板２上に付着される。これにより、スクリーン２
上の原画パターンが基板４上にペーストのパターン５と
して転写される。

しかしながら、このスクリーン印刷法によると、所望の
原画パターンが形成されたスクリーンの制作には日数が
かかり、しかも、新たなデバイスを開発するに際しては
、試行錯誤が繰り返されるために、その都度スクリーン
を制作しなければならず、作業の効率の点で問題がある
。また、スクリーン印刷法では形成されるパターンの線
幅に限界があり、現在の技術では約２００μｍが限界と
いわれている。さらに、スクリーン印刷法では、スキー
ジの印刷圧力が一定とならないため、得られるパターン
に凹凸が生ずるという問題もある。

一方、描画法は、スクリーンを用いず、ペーストを吐出
するノズルを使用して基板上にパターンを形成する方法
である。

すなわち、第１９図において、テーブル９上に載された
基板４の上方にペースト３が収納されたノズル７が設け
られ、パイプ１０を通してノズル７内に圧縮空気を送り
込むことにより、ペースト３に押圧力が加わってペース
ト３がノズル７の先端から吐出される。テーブル９は駆
動モータ８によって矢印方向に移動し、このため、ノズ
ル７の先端から吐出されるペースト３は移動する基板４
上に付着し、これによって基板４上にペースト３による
所望のパターン５が形成される。

このように、描画法では、スクリーンが不要であるため
に、パターン形成作業の効率化がはかれ、テーブル９の
動きによって任意のパターンを高精細度で描画できる。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、上記従来のスクリーンレスのパターン描
画法では、パターンの膜厚はノズルの先端と基板の表面
との間のギャップの距離によっても決まるため、基板の
平面度が高いときには、定の膜厚のパターンを得ること
ができるが、一般に、基板には反りや凹凸があることか
ら、これら反りや凹凸によって上記のギャップは変動し
、パターンの膜厚が変化してパターンに凹凸が生ずるこ
とになる。このパターンが抵抗体パターンの場合、この
パターンの凹凸によって抵抗値の変動が生ずることにな
る。特に、感熱ヘッドの発熱抵抗体パターンは非常に微
細なものであるために、このパターンのわずかな凹凸で
もその抵抗値に大きく影響し、プリンタなどの性能を著
しく劣化させることになる。

また、従来のスクリーンレスパターン描画装置において
は、圧縮空気を送るパイプをノズルに直結しているため
に、ペーストが使いつくされてノズルにペーストを補充
する場合、この補充作業に手間がかかるし、また、ノズ
ルでのペーストの残量を知ることができないため、適切
な補充時期を知ることができず、作業効率が低下する。

さらに、種々の断面のパターンが得られるようにするた
めには、従来、ノズル先端形状の異なるノズルを用いる
必要があり、したがって、先端形状の異なる複数のノズ
ルを用意しなければならず、不経済となるし、また、断
面が異なるパターンを描かせる場合には、ノズル交換の
手間がかかるという問題がある。

本発明の目的は、かかる問題点を解消し、性能や作業効
率が向上したスクリーンレスパターン描画装置を提供す
ることにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するために、本発明は、ノズルと、該ノ
ズルと該基板との間のギャップを測長する第１のセンサ
とを第１のテーブルに固定してなるペースト吐出機構と
、第２のセンサを固定して搭載し該ペースト吐出機構を
移動可能に搭載しかつ該ペースト吐出機構の支持部材を
有する第２のテーブルと、該第２のテーブルを駆動する
駆動装置とからなるテーブル機構と、該第１５第２のセ
ンサの検出出力に応じて該駆動装置を制御するコントロ
ーラとを設ける。

また、本発明は、ノズルと基板との間のギャップを測長
するセンサを該ノズルと一体に、もしくは該ノズルから
分離して設ける。

また、本発明は、ギャップを測長するセンサをノズルに
一体化し、該センサの測長結果から制御データを形成す
るとともに、該ノズルが該センサの測長位置に達するま
で遅延して該ノズルの駆動手段に供給するコントローラ
を設ける。

また、本発明は、ノズルの取付室と、該ノズル内のペー
ストを押圧して吐出させるための圧縮空気が送り込まれ
る空気室と、ペースト保温用の液体が流入、流出する液
体室を有するノズル装着装置を設け、該ノズル装着装置
に該ノズルを着脱可能とする。

該ノズル装着装置に装着される該ノズルにはピストンが
設けられ、該ピストンに該圧縮空気で圧力を加えること
により、ペーストを押圧して該ノズルから吐出させる。

該ピストンには該ノズル装着装置から外部に突出するシ
ャフトを設け、該ペーストの該ノズルからの吐出しに伴
なう該ピストンの降下により、該シャフトを降下させる
。あるいは、該ノズルのノズル室および該ノズル装着装
置の少なくとも下部壁面に夫々透明窓を設ける。

また、本発明は、ノズルの先端に一体に、または着脱可
能に整形片を設ける。さらに、該整形片内に吐出された
ペーストを温める手段を設ける。

〔作　用〕

前記ペースト吐出機構、テーブル機構、コントローラは
次のように作用する。すなわち、該コントローラのもと
に駆動装置が制御され、まず、上記第２のテーブルが降
下する。これとともに、上記支持部材で支持される上記
第１のテーブルも降下する。上記ノズルが基板に接触す
ると、上記第１のテーブルは停止して支持部材による支
持が解除され、上記第２のテーブルのみが降下する。し
かる後、上記第２のテーブルとともに降下する＼上記第
２のセンサが上記第１のテーブルによって作動して上記
ノズルが基板に接触したことが検知される。そこで、コ
ントローラは上記第２のテーブルを上昇させ、再び支持
部材が上記第１のテーブルを支持して上記ノズルを上昇
させる。その後、コントローラは上記第１のセンサの測
長結果に応じて上記第２のテーブルを所定量上昇させて
停止させる。このようにして、上記ノズルの先端と基板
との間のギャップが所定の距離に初期設定される。

また、ノズルと基板との間のギャップを測長するセンサ
を該ノズルと一体に、もしくは該ノズルから分離して設
けることにより、該基板の表面状態に応じて該ノズルの
上下位置を制御し、この表面状態にかかわらず該ギャッ
プを所定の距離に保持して形成されるパターンの膜厚を
一定にする。

該センサが該ノズルに一体化される場合、該センサの検
出結果による該ノズルの位置制御は、この検出結果が得
られた位置に該ノズルが達するまで遅延され、これによ
り、該ノズル直下の基板の表面状態が検出されたことに
なり、上記ギャップを精度よ（所定距離に保持する。

また、上記ノズル装着装置を設けることにより、上記圧
縮空気や保温用液体の配送系を上記ノズルと別体となり
、上記ノズルの交換作業が極めて簡単となる。上記ノズ
ル内に上記ピストンを設けて該ピストンに上記シャフト
を一体に設けることにより、もしくは上記透明窓を上記
ノズルと上記）ズル装着装置とに設けることにより、上
記ノズル内での上記ピストンの位置を上記シャフトもし
くは目視によって知ることができ、上記ノズル内でのペ
ースト残留量を把握できて上記ノズルの交換時期を正確
に知ることができる。

また、上記ノズルの先端に上記整形片を設けることによ
り、形成されるパターンの断面形状９寸法を所定に設定
できる。また、該整形片を着脱可能とすることにより、
該整形片を交換するだけで形成されるパターンの断面形
状１寸法を任意に変えることができる。さらに、該整形
片内に吐出されたペーストを温める手段を設けることに
より、該ペーストの粘度が高まり、該整形片からのペー
ストのにじみが防止できて形成されるパターンの断面形
状２寸法が精度よく得られる。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図面によって説明する。

第１図は本発明によるスクリーンレスパターン描画装置
の一実施例を示す構成図であって、１１はノズル、１２
はセンサ、１３は副テーブル、１４はペースト吐出機構
、１５は主テーブル、１６は駆動モータ、１７はガイド
、１８はセンサ、１９はバネ、２０はガイド、２１はＺ
テーブル機構、２２はコントローラ、２３は基板である
。

同図において、この実施例はペースト吐出機構１４、Ｚ
テーブル機構２１．コントローラ２２および基板２３の
駆動機構（図示せず）、ノズル１１の基板２３上での位
置検出機構（図示せず）などで構成されている。ペース
ト吐出機構１４はノズル１１、先端に接触子を有する電
磁マイクロメータなどセンサ１２およびこれらを搭載し
た副テーブル１３などから構成されてお、す、Ｚテーブ
ル機構２１はこのペースト吐出機構１４と電磁マイクロ
メータなどのセンサ１８を搭載した主テーブル１５と、
駆動モータ１６と、主テーブル１５を案内するガイド１
７と、バネ１９とガイド２０とからなる副テーブル１３
の支持部材などから構成されている。

ノズル１１とセンサ１２は副１−プル１３に固定されて
いるが、センサ１２の接触子は自由に落下しく矢印Ａ方
向）、基板２３の表面に接触している。そして、センサ
１２はこの接触子の上下方向（矢印Ａ。

Ａ′方向）の位置を検知しており、この検知結果がコン
トローラ２２に送られる。副テーブル１３は上下方向に
移動可能に主テーブル１５に取りつけられ、主テーブル
１５の下端に設けられたバネ１９の付勢により、同じ（
主テーブル１５の下端に設けられたガイド２０が副テー
ブル１３の下面に当接しており、このようにして、副テ
ーブル１３がガイド２０によって支持されている。セン
サ１８は主テーブル１５の副テーブル１３よりも上方に
取りつけられており、その接触子は、自由に落下するが
、副テーブル１３の上面に接触している。この接触子の
センサ１８本体を基準とする位置もセンサ１８で検知さ
れ、このヰ★知結果がコントローラ２２に送られる。主
テーブル１５は、コントローラ２２の制御によって駆動
される駆動モータ１６により、ガイド１７に沿って上下
方向に移動する。

次に、この実施例によるパターン形成動作を行うための
ノズル１１と基板２３との間のギャップΔＺ０の初期設
定動作を、第２図および第３図によって説明する。なお
、第２図はこの初期設定動作での状態の変化を示し、第
１図に対応する部分には同一符号をつけている。また、
第３図は、副テーブル１３が主テーブル１５のガイド２
０で支持されてノズル１１が基板２３に接触している状
態を、以下、基準状態とすると、主テーブル１５のこの
基準状態での位置からの変位（第３図（ａ））、センサ
１２．１８の接触子の基準状態での位置からの変位（第
３図（ｂ））を表している。第３図（ａ）、　（ｂ）に
おける破線は基準状態での主テーブル１５．センサ１２
．１Ｂの接触子の位置を表している。

まず、基板２３が設置されたときには、第２図（ａ）に
示すように、ノズル１１．主テーブル１５は基板２３の
表面から光分離されており、センサ１２の接触子のみが
基板２３の表面に接触している。これが第３図（ａ）、
　（ｔ＋１でｔ−Ｑの状態である。センサ１２の接触子
は基準状態のときよりも充分変位しているが、センサ１
８では、副テーブル１３が主テーブル１５のガイド２０
で支持されていることから、その接触子は基準状態と同
じ位置にあり、その変位は零である。

次に、コントローラ２２（第１図）によって駆動モータ
１６を起動し、主テーブル１５を矢印Ａ（第１図）方向
に降下させる。これにより、遂には、第２図（ｂ）に示
すように、ノズル１１が基板２３の表面に接触する。こ
の状態が基準状態であり、第３図（ａ）。

（ｂ）では１＝１．の状態であって主テーブル１５．セ
ンサ１２．１８での変位量は零である。しかし、駆動モ
ータ１６はさらに回転し、主テーブル１５を降下させる
。このとき、ノズル１１が基板２３に接触しているため
に、副テーブル１３は降下することができず、主テーブ
ル１５に関して相対的に上昇（矢印Ａ′（第１図）方向
に変位）することになる。主テーブル１５の降下ととも
にガイド２０は副テーブル１３の下面から離れ、バネ１
９が伸長される。このバネ１９の復元力により、ノズル
１１は基板２３の表面に当接した状態に保持される。そ
こで、この副テーブル１３によってセンサ１８の接触子
は持上げられることになる。センサ１８にはリミッタス
イッチが設けられており、第２図（Ｃ）に示すように、
主テーブル１５が基準状態での位置り、よりも所定距離
δだけ変位して位置Ｄ２に達すると、接触子の上昇によ
ってこのリミッタスイッチが作動し、この結果がコント
ローラ２２に送られて駆動モータ１６を停止させる。第
３図（ａ）、　（ｂ）における１＝１．の状態がこのと
きの状態である。コントローラ２２はこの距離δを保持
している。

次に、コントローラ２２は駆動モータ１６を逆転起動し
、主テーブル１５を上昇させる。この主テーブル１５の
上昇量はセンサ１２の検知結果から求められる。主テー
ブル１５が位置Ｄ！から距離δだけ上昇して位置Ｄ１に
達すると、ガイド２０が副テーブル１３の下面に当接す
る。それまでの間、バネ１９の付勢力により、ノズル１
１は基板２３の表面に接触したままにあり、ガイド２０
が副テーブル１３の下面に当接して基準状態となる。こ
れが第３図（ａｌ、　（ｂｌにおける１＝１２の状態で
ある。

その後、主テーブル１５はさらに上昇し、これと一体と
なってペースト吐出機構１４も上昇する。そして、主テ
ーブル１５が基準状態での位置り、から所定距離ΔＺ０
だけ上昇したとき、駆動モータ１６は停止する（第２図
（ｄ））、このときの状態が第３図（ａｌ、　（ｂ）で
ｔｘｔ、の状態であり、ノズル１１と基板２３の表面と
の間のギャップが所定の距離ΔＺ０に設定されて初期設
定動作が完了する。

以上のようにして初期設定が行われるが、この状態（第
３図（ａ）、　（ｂ）では１＝１．の状態）からパター
ン形成動作が開始される。コントローラ２２は初期設定
完了時のセンサ１２の検出結果を基準とし、描画に際し
ての基板２３の表面の凹凸に伴なうセンサ１２の接触子
の上下方向の変位量を検出し、これによって駆動モータ
１６を制御してノズル１１と基板２３の表面との間のギ
ャップを所定距離Δｚ０に保つ。

以上のように、初期設定はノズル１１を降下させて一旦
基板２３の表面に接触させ、しかる後、ノズル１１を上
昇させてノズル１１と基板２３の表面との間のギャップ
を所定の距離ΔＺ０に設定するのであるが、ノズル１１
が基板２３の表面に接触したことを、例えば、これらの
間のギャップを測定するなどして直接検知することは非
常に難しく、したがって、この検知の結果から初期設定
を行うことは精度の点で問題がある。

これに対し、この実施例では、上記のように、ノズル１
１を有するペースト吐出機構１４を搬送する主テーブル
１５の位置を検出することによって初期設定を行うよう
に構成されており、この際、センサ１８のリミッタスイ
ッチの副テーブル１３による作動により、主テーブル１
５が、ノズル１１が基板２３の表面に当接した時点より
も、距離δだけ降下したことが検出され、しかも、セン
サ１２．１８の応答速度は充分速く、主テーブル１５の
移動速度を充分遅くすることにより、この距離δを常に
一定とすることができるから、ノズル１１が基板２３の
表面に接触した時点での主テーブル１５の位置ＤＩ　　
（第２図（Ｃ））を高精度に検知することができ、した
がって、ノズル１１と基板２３の表面との間のギャップ
を所定距離ΔＺ０とする初期設定を高精度に行うことが
できる。したがって、精密パターンの描画が可能となる
。

次に、描画時にノズルと基板面との間のギヤツブを所定
距離に保持するようにした本発明の他の実施例について
説明するが、まず、ギャップ検出用のセンサをノズルと
一体化した非分離構造の実施例について説明する。

第４図はその一実施例を示す概略構成図であって、１１
はノズル、１２はセンサ、１６は駆動モータ、２２はコ
ントローラ、２３は基板、２４は駆動装置、２５゜２６
はエンコーダ、２７は駆動モータ、２８はＸテーブル、
２９はＺテーブル、３０はパターンである。

同図において、基板２３は駆動モーフ２７によって水平
方向（矢印Ｘ方向）に移動するＸテーブル２８上に１３
２１される。ノズル１１は駆動モータ１６によって基板
２３の表面に対して垂直方向に移動するＸテーブル２９
に載置されている。これら駆動モータ２７゜２５は駆動
装置２４によって駆動制御される。また、この駆動装置
２４はコントローラ２２によって制御される。エンコー
ダ２６は駆動モータ２７の回転を検出してＸテーブル２
８、したがって基板２３の表面でのノズル１１の位置（
以下、Ｘ軸位置という）を検出する。また、エンコーダ
２５は駆動モータ１６の回転を検出して基板２３の表面
に対して垂直方向（上下方向）の位置（以下、Ｘ軸位置
という）を検出する。エンコーダ２６の検出出力（以下
、Ｘ軸位置信号という）ｂはコントローラ２２に供給さ
れ、ノズル１１のＸ軸位置が判定される。図示しないが
、Ｘテーブル２８をＹ軸方向に移動させるＸテーブルや
駆動モータも設けられ、この駆動モータの回転を検出す
るエンコーダからのＹ軸位置信号もコントローラ２２に
供給されて、ノズル１１のＹ軸位置も判定される。コン
トローラ２２はこれらＸ、Ｙ軸位置の判定にもとづいて
駆動装置２４を制御し、駆動モータ２７にモータ制御信
号ｄを、また、Ｙ軸方向の駆動モータにもモータ制御信
号を送り、ノズル１１からのペーストによって基板２３
に所望のパターン３０が描画されるように、Ｘテーブル
２８やＸテーブルを移動させる。

センサ１２は電磁マイクロメータなどからなり、ノズル
１１に一体化されて基板２３の表面に常時接触した接触
子を有している。センサ１２の接触子はノズル１１に近
く配置されるが、ノズル１１のペーストを吐出する先端
との間に距離ΔＸが生ずる。基板２３の表面に凹凸があ
ると、この接触子が上下に変位し、センサ１２はこの接
触子の上下方向の位置を検出して基板表面検出信号Ｃを
出力する。コントローラ２２はこの基板表面検出信号Ｃ
とエンコーダ２５からのＺ軸位置信号ａが供給され、こ
れらからノズル１１の先端と基板２３の表面との間のギ
ャップの距離を判定し、駆動装置２４を制御することに
よって駆動モータ１６にモータ制御信号ｅを送り、ノズ
ル１１の先端と基板２３の表面との間のギャップが所定
距離ΔＺ０となるように、Ｘテーブル２９を上下方向に
変位させる。

このようにして、センサ１２によって基板２３の表面状
態を検出することにより、この表面に凹凸や反りがあっ
ても、検出される表面状態に応じてコントローラ２２は
Ｘテーブル２９を制御し、ノズル１１を上下方向に変位
させてその先端と基板２３の表面との間のギャップが所
定距離ΔＺ０となるようにする。したがって、パターン
３０の膜厚が一定に保持される。

基板２３の表面に接触子を接触することができない場合
などでは、センサ１２として非接触方式のセンサを用い
る。

第５図はセンサ１２を非接触方式としたときの本発明Ｑ
こよる実施例の要部構成図である。この実施例では、セ
ンサ１２に発光素子と受光素子とを設け、発光素子から
出力した光３１を基板２３の表面で反射され、その反射
光を受光素子で受光して発光と受光とのタイミング差か
ら基板２３の表面状態を検出するものである。

なお、光の代わりに超音波などを用いてもよい。

第６図は空気を用いた非接触方式センサによる本発明の
実施例の要部構成図である。この実施例では、ノズル１
１に一体化されたセンサ１２が圧力を加えて空気を基板
２３の表面に放出する。基板２３の表面状態が変化する
と、この圧力が変化する。センサ１２はこの圧力変化を
検出することによって基板２３の表面状態を検出し、コ
ントローラ２２に基板表面検出信号Ｃを送る。

ところで、以上のようにセンサ１２をノズル１１に一体
化してパターンを描画する場合、第４図に示すような基
板２３の表面上でのノズル１１のペーストを吐出する先
端の位置とセンサ１２の検出位置との間の距離（以下、
ノズル１１．センサ１２間距離という）ΔＸを完全に零
とすることはできない、したがって、厳密にはノズル１
１の先端での基板２３の表面状態が検出されるわけでは
ない。

そこで、表面全体にわたって凹凸がゆるやかな基板２３
に対しては、ノズル１１．センサ１２間距離ΔＸは数鶴
以下とすることができるため、基板２３の表面の凹凸の
周期がこの距離ΔＸよりも充分大きければ、ノズル１１
の先端とセンサ１２の検出位置とでの基板２３の表面状
態はほとんど等しく、センサ１２の検出結果にもとづい
てコントローラ２２が直チにノズル１１の上下位置を制
御しても、ノズル１１の先端と基板２３との間のギャッ
プの距離がこの凹凸によって影響されることはほとんど
ない。

しかしながら、基板２３によっては、周期が短い凹凸や
大きな反りがあったり、突起などがあるものもある。こ
のような基板２３に対しては、センサ１２の検出結果を
そのまま直ちにノズル１１の位置制御に用いると、ノズ
ル１１の先端と基板２３との間のギャップの距離に不所
望な誤差が生ずる。

第７図はかかる問題も解消するようにした本発明の一実
施例の要部構成図であって、第４図に対応する部分には
同一符号をっけている。

まず、基ＦＪ、２３の表面の凹凸によるノズル１１の先
端と基板２３の表面との間のギャップへの影響について
説明する。

第７図において、いま、ノズル１１の先端が基板２３の
表面上の点Ａに達し、センサ１２がそれより距離ΔＸだ
け進んだ点Ｂに達してセンサ１２が基板２３の表面状態
を検出したものとする。また、このとき、ノズル１１は
一点鎖線で示す状態にあり、その先端と基板２３の表面
との間のギャップが所定距離ΔＺ０にあって、点Ｂは点
ＡよりもΔＺ７だけ高いものとする。

かかる状態においては、センサ１２は基板２３の表面が
ΔＺｎだけ高くなったことを検出するが、コントローラ
２２がこの検出結果をもとに駆動装置２４を制御すると
、ノズル１１は直ちにΔＺ７だけ上昇する。このために
、点Ａでノズル１１の先端と基板２３の表面との間のギ
ャップの距離は（ΔＺ、＋ΔＺ、）となり、本来必要な
距離ΔＺ０に対して誤差が生ずることになる。

そこで、この実施例では、センサ１２が基板２３の表面
状態を検出すると、コントローラ２２はこの検出結果を
補正して駆動装置２４を制御し、ノズル１１の先端と基
板２３の表面との間のギャップを所定距離Δ２．に保持
する。

具体的には、第７図において、説明を箭単にするために
、ノズル１１．センサ１２が距離ΔＸだけ移動する毎に
センサ１２が基板２３の表面状態を検出するものとし、
ノズル１１の先端が点Ａに、センサ１２が点Ｂに夫々達
したときにセンサ１２が基板２３の表面状態を検出する
ものとする。そして、この点Ｂでの検出結果を２１１０
１　とすると、これはコントローラ２２に供給される。

一方、コントローラ２２には、センサ１２の前回の検出
結果も保持されており、その検出位置は点Ａであってそ
の検出結果を２１とする。

コントローラ２２では、まず、これら検出結果Ｚ　６　
＋　ｌ　＊２７から表面状態の変化分ΔＺ１％＋１　、
すなわち、ΔＺイ　、　　！　Ｚｆｉ、、　　−Ｚ、ｌ
を検出し、これをノズル１１が距離ΔＸだけ移動して点
Ｂに達する時間τだけ遅延した後、点Ａでノズル１１の
先端と基板２３の表面との間のギャップを所定距離ΔＺ
、に設定するために用いたデータｆ、（ｚ）を補正し、
すなわち、たとえば、次の補正を行って、データｒａ、
１（Ｚｌを求め、 ’　ｎｏ　＋　（ｚ）　−ｆ　ｎ　（ｚ）＋ΔＺ　＊−
＋　　＝−＝＝−（１）これでノズル１１の上下方向の
位置制御を行う。これにより、ノズル１１の先端が点Ａ
にあるときも、また、点Ｂに達したときにも、ノズル１
１の先端と基板２３の表面との間のギャップは所定の距
離ΔＺ。

に設定される。なお、センサ１２は距離ΔＸ移動する間
に１回もしくは複数回基板２３の表面状態を検出する。

しかし、いずれにしても、センサ１２の検出結果にもと
づく位置データはノズル１１がその検出結果が得られた
位置に達するまで保持（遅延）され、この位置に達した
ときにその位置で得られた検出結果にもとづいてノズル
１１の位置制御が行われる。

なお、コントローラ２２は、ΔＺ□１を検出すると、上
記（１１式の演算を行ない、ノズル１１の点Ａから点Ｂ
への移動とともに、ｆ、（Ｚ）からｆ７や、（２）へ直
線状に変化するデータを駆動装置２４に出力してノズル
１１の位置制御を行なうようにしてもよい。

このようにして、ノズル１１．センサ１２間距離ΔＸが
零でなくとも、ノズル１１の先端での表面状態に応じて
ノズル１１の位置が制御され、ノズル１１の先端と基板
２３の表面との間のギャップが精度よく所望距離ΔＺ、
に保持される。

次に、ギヤツブ検ｄ用のセンサをノズルから分離した分
離構造の実施例について説明する。

第８図はその一実施例を示す概略構成図であって、第４
図に対応する部分には同一符号をつけている。

この実施例は、第８図に示すように、センサ１２がノズ
ル１１から分離されている以外、第４図に示した実施例
と同様である。

この実施例では、第９図に示すように、ノズル１１のペ
ーストを吐出する先端とセンサ１２の接触子との間では
、基板２３の表面上の距離ΔＸが生ずるが、ノズル１１
とセンサ１２とが分離されているため、この距離ΔＸを
充分小さくしてこの接触子をノズル１１の先端の真下に
掻く近接して配置することができ、したがって、このノ
ズル先端のほとんど真下での基板２３の表面状態が検出
できるから、基板２３の表面に反りや凹凸があっても、
ノズル１１の先端と基板２３との間をギャップを高い精
度で所定の距離ΔＺ、に保持することができる。

第１０図は第８図におけるセンサ１２の一具体例を示す
構成図であって、３３は接触子、３４はレバー３５は中
心軸、３６は十字バネ、３７は固定点、３８は測長器、
３９は引張りバネ、４０は固定点、４１は接触子である
。

同図において、レバー３４は、たとえばよく知られてい
る十字バネ３６により、Ｘテーブル２８（第４図）の表
面に平行な中心軸３５を中心に微少回動可能となってい
る。この十字バネ３６は固定点３７に取りつけられてい
る。このレバー３４の一端には接触子３３が設けられ、
他端には固定点４０との間に引張りバネ３９が掛けられ
ている。この引張りバネ３９により、レバー３４は中心
軸３５を中心に図面上反時計方向に付勢されている。ま
た、レバー３４の中心軸３５と引張りバネ３９のバネ掛
けとの間には測長器３８が設けられ、その接触子４１は
、常時Ｌツバ−３４に当接するように、矢印で示す下方
向の力が加えられている。これにより、接触子３３は、
引張りバネ３９の付勢力による接触子３３への作用力と
接触子４１にによる接触子３３への作用力との差の接触
圧でもって基板２３の表面に接触する。測長器３８はこ
の接触子４１の上下方向の位置を検出し、これに応じた
基板表面検出信号Ｃを出力する。

そこで、駆動モータ２７（第４図）などによって移動す
る基板２３の表面の凸部では、接触子３３が持ち上げら
れることによってレバー３４は中心軸３５を中心に時計
方向に回動し、測長器３８の接触子４１は降下する。ま
た、基板２３の表面の凹部では、接触子３３が降下する
ことによってレバー３４は中心軸３５を中心に反時計方
向に回動し、接触子４１は上昇する。このように、基板
２３の表面状態に応じて接触子４１が上下するから、測
長器３８はこの接触子４１の上下位置を検出することに
よって基板２３の表面状態を検出することができる。

かかる構成によると、レバー３４の接触子３３側の先端
部を小形化でき、ノズル１１　（第４図）のペーストを
吐出する先端に極く近接して配置することができるから
、このノズル１１の先端での基板２３の表面状態を検出
でき、ノズル１１の先端と基板２３の表面との間のギャ
ップを高い精度で所定距離ΔＺ０に保持することができ
る。

また、たとえば接触子４１の位置を変えるなどして接触
子４１．引張りバネ３９による作用点のレバーレイショ
を変えるだけで、接触子３３の基板２３への接触圧を変
えることができるため、センサとしての適用の自由度が
向上する。

第１１図は本発明によるスクリーンレスパターン描画装
置のさらに他の実施例を示す要部構成図であって、４２
はペースト、４３はノズル先端、４４はノズル室、４５
は通気穴、４６はノズル装着装置、４７は取付ボルト、
４８は空気室、４９は入口穴、５０は流体室、５１は入
口穴、５２は出口穴、５３はパイプ、５４は制御弁、５
５．５６はパイプ、５７は恒温槽であり、前出図面に対
応する部分には同一符号をつけている。

同図において、ノズル装着装置４６は内部にスペースを
有する円筒状をなし、その内部スペースにノズル１１が
取りつけられる。このノズル１１は、ノズル装着装置４
６の上部に設けられたネジ部（図示せず）に取付ボルト
４７を螺合させて締めつけることにより、ノズル装着装
置４６内に固定して取りつけられる。このとき、ノズル
１１の先端４３は、Ｘテーブル２８側にノズル装着装置
４６から突き出す。また、ノズル１１がノズル装着装置
４６に取りつけられると、このノズル装着装置４６の内
部には、上方に空気室４８が、下方に液体室５０が形成
される。空気室４８の壁面には入口穴４９が設けられ、
この入口穴４９の部分に圧縮空気を通すパイプ５３が設
けられている。また、液体室５０の壁面にはその下部に
入口穴５１が設けられ、その上部の入口穴５１に対向す
る部分に出口穴５２が設けられている。そして、入口穴
５１と恒温槽５７との間、出口穴５２と恒温槽５７との
間に夫々液体を通すパイプ５５．５６が設けられている
。

そこで、ノズル室４４にペースト４２が入れられたノズ
ル１１をノズル装着装置ｆ４６に取りつけ、制御弁５４
を開放し、パイプ５３を通して圧縮空気を送り込むと、
この圧縮空気は入口穴４９がら空気室４８を通り、さら
に通気口４５からノズル１１のノズル室４４に流れ込み
１、ペースト４２の上面に所定の圧力を与える。この圧
力により、ノズル先端４３からペースト４２が吐出され
、駆動モータ２７によって移動する基板２３上にパター
ン３０が形成される。

一方、恒温槽５７で一定の温度に温められたペースト保
温用の液体は、パイプ５５を通り、ノズル装着装置４６
の入口穴５１から液体室５０に送り込まれる。

この温められた液体によってノズル１１が温められ、し
たがって、ペースト４２が温められてその粘度が一定に
保持される。液体室５０の液体は出口穴５２からパイプ
５６に排出され、再び恒温槽５７で一定の温度に温めら
れてパイプ５５に送り込まれる。

取付ボルト４７をノズル装着装置４６から取りはずせば
、ノズル１１をノズル装着装置ｔ！４６から簡単に取り
出すことができる。

以上のように、この実施例では、圧縮空気や保温用液体
の配管系統がノズル装着装置４６に取りつけられ、ノズ
ル１１はこのノズル装着装置４６に単に装着されるだけ
であるから、配管系統に全く触れることなくノズル１１
の取り付け、取り外しが簡単に行うことができ、ノズル
へのペーストの充填作業の能率が高まる。また、基板２
３上に異なるペーストでパターン描画する場合、パター
ン３０の幅。

膜厚などを変更する場合などでは異なるノズルを用いる
が、この実施例では、このような場合のノズル交換作業
も簡単化する。

第１２図は本発明によるスクリーンレスパターン描画装
置のさらに他の実施例を示す要部構成図であって、５８
はピストン、５９はシャフトであり、第１１図に対応す
る部分には同一符号をつけて重複する説明を省略する。

同図において、ノズル１１にはピストン５８が設けられ
、これに液体室４日から通気穴４５を通って流れ込んだ
圧縮空気で圧力を加える。このため、ピストン５８が押
されてペースト４２がノズル先端４３から吐出する。こ
のピストン５８を用いることにより、ペースト４２はノ
ズル先端４３から効率よく吐出される。

ピストン５８には、ノズル１１から外部に突出し、さら
には、ノズル１１がノズル装着装置４６に装着されたと
きには、このノズル装着装置４６から外部に突出するシ
ャフト５９が取りつけられている。このシャフト５９は
ペースト４２の消費とともにピストン５８が降下するこ
とによって降下する。したがって、シャフト５９に指針
を設けるなどして目盛を指示させることにより、ノズル
１１内のペースト４２の残留量を一目で監視することが
できる。

このように、簡単な構成でもってペーストの残留量を監
視することができ、ノズル１１の内部を直接見ることが
できなくとも、ペーストがほとんど使われてしまったこ
とによるノズル１１の交換時期を簡単かつ正確に把握す
ることができるから、パターン描画作業の効率が向上す
る。

第１３図は本発明によるスクリーンレスパターン描画装
置のさらに他の実施例を示す要部構成図であって、６０
．６１は透明窓であり、第１２図に対応する部分には同
一符号をつけて重複する説明を省略する。

同図において、この実施例は、第１２図に示した実施例
のようにピストン５８にシャフト５９を設ける代わりに
、ノズル１１とノズル装着装置４３との側面下部に夫々
透明窓６０．６１を設け、これら透明窓６０゜６１を通
してノズル１１の内部を監視できるようにしたものであ
る。

これによると、ノズル１１内のペースト４２がほとんど
使いつくされたとき、透明窓６０．６１を通してノズル
１１のノズル室底部にまで降下したピストン５８を見る
ことができ、−目でノズル１１の交換時期を知ることが
できる。

なお、ノズル１１やノズル装着装置４３の液体室５０の
部分の全体を透明材料で形成するようにしてもよく、同
様の効果が得られる。

ところで、上記各実施例のように、ノズル先端から基板
上に直接ペーストを吐出することによってパターンを描
画することができるが、この場合のパターンの線幅や膜
厚は、ペーストの粘度、ノズル先端の径、基板の走行速
度によって決まる。

このために、たとえば、基板の走行速度とペーストの粘
度とがバランスしていないと、形成されるパターンに所
望の線幅や膜厚が得られないし、また、基板の走行速度
にむらがあると、これら線幅や膜厚が変動することにな
る。

そこで、次に、かかる問題を解決できるようにした本発
明によるスクリーンレスパターン描画装置におけるノズ
ルの具体例について説明する。

第１４図はその一具体例を示し、同図（ａｌは基板の走
行方向に沿う縦断面図、同図（ｂ）はこの走行方向に垂
直な方向（同図（ａｌの分断線Ａ−Ａ’）に沿う断面図
であって、６２は上面整形片、６３．６４は側面整形片
であり、前出図面に対応する部分には同一符号をつけて
いる。

同図において、ノズル１１の先端４３には、基板２３に
対するノズル１１の走行方向（矢印とは逆方向）に関し
、ノズル先端４３の後方に位置するように、上面整形片
６２が設けられ、また、同じ走行方向に関し、ノズル先
端４３の両側に側面整形片６３．６４が設けられている
。上面整形片６２の下端面と基板２３の表面との間隔は
所定の大きさに設定されており、側面整形片６３．６４
の下端面は基板２３の表面に充分近接している。また、
これら側面整形片６３．６４の相互の対向面はノズル１
１の走行方向に平行であって、これらの間隔は所定の大
きさに設定されている。

ノズル１１のノズル室４７にはペースト４２が収納され
、パイプ４８を通してノズル室４７の上方から圧縮空気
を送り込むと、ペースト４２はこの圧縮空気による上面
への圧力により、ノズル先端４３からペースト４２が吐
出される。そこで、基板２３を矢印方向に移動させ、パ
イプ４８を通してノズル室４７内に圧縮空気を送り込む
と、ペースト４２がノズル先端４３から吐出されて基板
２３の表面に落下し、基板２３の移動とともにその移動
方向に沿うペースト４２のパターン３０が得られる。こ
こで、上面整形片６２や側面整形片６３．６４がない場
合には、パターン３０の断面形状は、第１５図（ａｌに
示すように、円形の一部に近い形状となるが、上面整形
片６２や側面整形片６３゜６４が設けられていることに
より、上面整形片６２によってパターン３０の膜厚が規
制されて側面整形片６３、６４によって線幅が規制され
た、第１５図（ｂ）に示すような略矩形の断面形状のパ
ターン３０が得られる。したがって、基板２３の表面か
らの上面整形片６２の高さ、側面整形片６３．６４の間
隔を適宜設定することにより、パターン３０の膜厚、線
幅を所望に設定できる。このようにパターン３０を形成
することは、特に感熱ヘッドの抵抗パターンのように断
面形状が性能に大きく影響するものについては、特に効
果的である。

第１６図は本発明によるスクリーンレスパターン描画装
置におけるノズルの他の具体例を示す構成図であって、
６５．６６は熱照射装置であり、第１１図に対応する部
分には同一符号をつけている。

同図において、側面整形片６３．６４側には夫々熱照射
装置６５．６６が設けられ、これらからの熱線が側面整
形片６３．６４の下端部に照射される。これにより、こ
れら側面整形片４５．４６の下端部は加熱され、これら
の近傍の部分のペースト４２が温められてわずかではあ
るが粘度が高められ、側面整形片６３、６４と基板２３
の表面との間に隙間があっても、この隙間からペースト
４２かにじみ出ることはなく、第１５図（ｂ）に示した
ような断面形状のパターンを形成することができる。

なお、熱線の代わりに温風などを用いてもよい。

第１７図は本発明によるスクリーンレスパターン描画装
置のノズルのさらに他の具体例を示す構成図であって、
６７は整形片であり、第１４図に対応する部分には同一
符号をつけている。

先の第１４図、第１６図に示した具体例では、上面整形
片６２．側面整形片６３．６４がノズル１１に一体化さ
れていた。ところで、異なる断面形状や断面の寸法のパ
ターンが望まれ、パターン描画装置としては、かかるパ
ターンを形成できることが望ましいが、これら整形片を
ノズル１１に一体化すると、異なる断面のパターン毎に
ノズル１１を作り、これらを交換して用いなければなら
ず、非常に不経済である。

第１７図に示す具体例はこれを防止するものであって、
第１４図に示したような上面整形片６２．側面整形片６
３．６４が一体となった整形片６７がノズル１１のノズ
ル先端４３に差し込みによって着脱可能としている。こ
れにより、整形片６７を種々の構造とし、これらを必要
に応じて交換して用いることにより、種々の断面のパタ
ーンを形成することができる。

したがって、種々の構造の整形片を作るだけで種々の断
面のパターンが形成できて経済的となり、また、整形片
の交換は、ノズル全体を交換するよりも非常に簡単であ
り、このために、パターン描画の作業効率も向上する。

なお、第１１図〜第１３図に示した実施例や第１４図〜
第１７図で示したノズルを用いる実施例では、全体とし
て第１図に示した構成とし、ノズル先端と基板表面との
間のギャップの初期設定を・行い、ま゛た、第４図〜第
１０図に示したようにしてパターン描画時の上記ギャッ
プを所定の距離ΔＺ０に保持することができる。これに
より、所望膜厚、線幅のパターンを形成することができ
る。しかし、第１４図〜第１７図に示したノズルを用い
た本発明によるスクリーンレスパターン描画装置におい
ては、側面整形片６３．６４や整形片６７を基板面に摺
動させることにより、上面整形片６２や整形片６７の上
面整形片相当部分でパターンの膜厚を規制できるから、
上記のようなギャップの初期設定手段や保持手段は必ず
しも必要とはしない。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明によれば、基板とノズル先
端との間のギャップを所定距離に精度よく初期設定する
ことができ、パターン形成動作の開始から該ギャップを
所定距離に保持できる。

また、本発明によれば、センサによって上記ギャップを
測長するから、基板の表面状態にかかわらず上記ギャッ
プを所定距離に保持できる。該センサがノズルから分離
されて設けられることにより、あるいは該センサの検出
結果を遅延することにより、該ノズルの先端での基板の
表面状態が検出され、これによって上記ギャップを所定
距離に精度よく保持できて、形成されるパターンの凹凸
を防止できる。このため、ノズル先端のペースト吐出口
径を３０μｍ程度に細くし、ＣＡＤ情報データにより、
自由に注意のパターンを正確に描画でき、しかも、構造
が簡単で経済性の点からも有利である。

また、本発明によれば、ノズルをノズル装着装置に着脱
可能としているので、ペーストを使いきった場合や異な
るペーストを用いる場合などにおいて、ノズルの交換を
簡単に行えて作業性が向上する。

また、本発明によれば、ノズルを上記ノズル装着装置に
装着しても、ピストンに一体としたシャフトあるいはノ
ズルおよびノズル装着装置に設けた透明窓により、ノズ
ル内でのピストンの位置を知ることができ、これによっ
てノズル内でのペーストの残留量が判明できてノズルの
交換時期を正確に知ることができ、作業性が向上する。

また、本発明によれば、ノズルの先端に整形片を設ける
ことにより、形成されるパターンの断面形状１寸法が精
度よく設定される。該整形片をノズル先端で着脱可能と
することにより、該整形片を交換するだけでパターンの
断面形状２寸法を任意に変更可能となる。さらに、該整
形片内に吐出されたペーストを温める手段を設けること
により、該整形片からのペーストのにじみを防止できる
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるスクリーンレスパターン描画装置
の一実施例を示す構成図、第２図は第１図におけるノズ
ルと基板との間のギャップの初期設定動作を示す説明図
、第３図はこの初期設定動作での主テーブル、センサの
位置変化を示す図、第４図〜第８図は夫々本発明による
スクリーンレスパターン描画装置の他の実施例を示す構
成図、第９図は第８図に示した実施例におけるノズルと
ギャップ検出用のセンサとの配置関係を説明するための
図、第１０図は第８図におけるギャップ検出用センサの
一具体例を示す構成図、第１１図〜第１３図は夫々本発
明によるスクリーンレスパターン描画装置のさらに他の
実施例を示す要部構成図、第１４図は本発明によるスク
リーンレスパターン描画装置におけるノズルの他の具体
例を示す縦断面図、第１５図は形成されるパターンの断
面の例を示す図、第１６図および第１７図は夫々本発明
によるスクリーンレスパターン描画装置におけるノズル
のさらに他の具体例を示す縦断面図、第１８図はスクリ
ーン印刷法の原理を示す図、第１９図は従来のスクリー
ンレスパターン描画装置を示す図である。１１・・・ノズル、１２・・・センサ、１３・・・副テ
ーブル、１４・・・ペースト吐出機構、１５・・・主テ
ーブル、１６・・・駆動モータ、１７・・・ガイド、１
８・・・センサ、１９・・・バネ、２０・・・ガイド、
２１・・・Ｚテーブル機構、２２・・・コントローラ、
２３・・・基板、２７・・・駆動モータ、２８・・・Ｘ
テーブル、２９・・・Ｚテーブル、３０・・・パターン
、４２・・・ペースト、４３・・・ノズル先端、４４・
・・ノズル室、４６・・・ノズル装着装置、４７・・・
取付ボルト、４８・・・空気室、５０・・・液体室、５
３・・・圧縮空気のパイプ、５５．５６・・・ペースト
保温用液体のパイプ、５７・・・恒温室、５８・・・ピ
ストン、５９・・・シャフト、６０．６１・・・透明窓
、６２・・・上面整形片、６３゜６４・・・側面整形片
、６５．６６・・・熱照射装置、６７・・・整形片。第１図第２図（Ｇ）（ｂ）第３図（ｂ）第２図（Ｃ）（ｄ）第４図第５図ＩＩ第６図仁第８図第７図ｎｎｄｓ第９図第１０図第１１図第１３図第１２図第１４図（ｂ）（ｂ）に二き− 」二二二＝Ｌ第１６図第１７図ぐ：＝第旧図第１９図Ｏ手続補正書（自発）

Claims

【特許請求の範囲】

１．ノズルからペーストを基板上に吐出し、該基板を移
動させることにより、該基板上に該ペーストによる所望
パターンを描画するようにしたスクリーンレスパターン
描画装置において、該ノズルと、該ノズルと該基板との
間のギャップを測長する第１のセンサとを第１のテーブ
ルに固定してなるペースト吐出機構と、第２のセンサを
固定して搭載し該ペースト吐出機構を移動可能に搭載し
かつ該ペースト吐出機構の支持部材を有する第２のテー
ブルと該第２のテーブルを駆動する駆動装置とからなる
テーブル機構と、該第１，第２のセンサの検出出力に応
じて該駆動装置を制御するコントローラとを設け、該支
持部材は該第２のテーブルの駆動によつて該ノズルが該
基板に接触しているとき該ペースト吐出機構の支持を解
除し、該第２のセンサは該ノズルの該基板への接触を検
出することを特徴とするスクリーンレスパターン描画装
置。
２．請求項１において、前記コントローラは、前記駆動
装置を制御することにより、前記第２のテーブルを駆動
して前記ノズルを降下させ、前記第２のセンサによる前
記基板への前記ノズルの接触の検知とともに前記ノズル
を上昇させ、前記第１のセンサの測長結果により、前記
ノズルと前記基板との間のギャップが所定の距離になつ
たとき前記駆動装置による前記第２のテーブルの駆動を
停止させ、該ギャップの初期設定を行うことを可能に構
成したことを特徴とするスクリーンレスパターン描画装
置。
３．請求項１において、前記基板の移動とともに前記第
１のセンサは前記基板の表面状態を検知し、前記コント
ローラは前記第１のセンサの検知結果にもとづいて前記
駆動装置を制御し、前記ノズルと前記基板との間のギャ
ップを所定の距離に保持することができるように構成し
たことを特徴とするスクリーンレスパターン描画装置。
４．ノズルからペーストを基板上に吐出し、該基板を移
動させることにより、該基板上に該ペーストによる所望
パターンを描画するようにしたスクリーンレスパターン
描画装置において、該ノズルと該基板との間のギャップ
を測長するセンサを該ノズルに一体に設けたことを特徴
とするスクリーンレスパターン描画装置。
５．請求項４において、前記センサは接触式変位センサ
であることを特徴とするスクリーンレスパターン描画装
置。
６．請求項４において、前記センサは非接触式変位セン
サであることを特徴とするスクリーンレスパターン描画
装置。
７．請求項４，５または６において、前記センサの測長
結果から制御データを形成し、前記ノズルが該センサの
測長位置に達したときに該制御データで前記ノズルの位
置を制御する手段を設けたことを特徴とするスクリーン
レスパターン描画装置。
８．ノズルからペーストを基板上に吐出し、該基板を移
動させることにより、該基板上に該ペーストによる所望
パターンを描画するようにしたスクリーンレスパターン
描画装置において、該ノズルと該基板との間のギャップ
を測長するセンサを該ノズルから分離して設けたことを
特徴とするスクリーンレスパターン描画装置。
９．請求項８において、前記センサは、前記基板の表面
に垂直な平面を回動面とするレバーと、該レバーの一端
に設けられた接触子と、該レバーを所定回動方向に付勢
し該接触子に前記基板への所定の接触圧を付与するバネ
部材と、該レバーの回動量を検出する測長計とからなる
ことを特徴とするスクリーンレスパターン描画装置。
１０．ノズルからペーストを基板上に吐出し、該基板を
移動させることにより、該基板上に該ペーストによる所
望パターンを描画するようにしたスクリーンレスパター
ン描画装置において、該ノズルの取付室と、該ノズル内
のペーストを押圧して吐出させるための圧縮空気が送り
込まれる空気室と、ペースト保温用の液体が流入，流出
される液体室を有するノズル装着装置を設け、該ノズル
装着装置に該ノズルを着脱可能としたことを特徴とする
スクリーンレスパターン描画装置。
１１．請求項１０において、前記ノズル内にピストンを
設け、前記圧縮空気で該ピストンに圧力を加えることに
より、前記ノズルから前記ペーストを吐出することがで
きるように構成したことを特徴とするスクリーンレスパ
ターン描画装置。
１２．請求項１１において、前記ピストンにシャフトを
設け、前記ノズルが前記ノズル装着装置に装着されたと
き、該シャフトが前記ノズル装置の外部に突出すること
を特徴とするスクリーンレスパターン描画装置。
１３．請求項１２において、前記シャフトを前記ノズル
内のペースト残量監視装置とすることを特徴とするスク
リーンレスパターン描画装置。
１４．請求項１１において、前記ノズルにおける前記ペ
ーストが収納されるノズル室の少なくとも下部壁面と、
少なくとも該下部壁面に対応する前記ノズル装着装置の
壁面とに夫々透明窓を設け、該ノズル室の前記下部にあ
る前記ピストンを目視可能に構成したことを特徴とする
スクリーンレスパターン描画装置。
１５．ノズルからペーストを基板上に吐出し、該基板を
移動させることにより、該基板上に該ペーストによる所
望パターンを描画するようにしたスクリーンレスパター
ン描画装置において、該ノズルの先端に該パターンの線
幅，膜厚を設定する整形片を設けたことを特徴とするス
クリーンレスパターン描画装置。
１６．請求項１５において、前記整形片は前記ノズルの
先端に着脱可能であることを特徴とするスクリーンレス
パターン描画装置。
１７．請求項１５または１６において、前記整形片内に
吐出された前記ペーストを温める手段を設けたことを特
徴とするスクリーンレスパターン描画装置。